本發(fā)明主要涉及硅棒加工技術領域，特指一種多晶硅棒切割方法。

背景技術：

多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動，把磨料帶入半導體加工區(qū)域進行研磨，將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。

硅片是半導體和光伏等領域的主要生產(chǎn)材料。硅片多線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式，也不同于先進的激光切割和內圓切割，它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割刃料對硅棒進行摩擦，從而達到切割效果。在整個過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺的下降實現(xiàn)工件的進給。

目前在進行切割作業(yè)時，處于同一工作臺進線端（如左側）的硅棒在進行切割時會出現(xiàn)質量不穩(wěn)定的情況，而處于右側的硅棒質量比較穩(wěn)定。究其原因，如圖1所示，發(fā)現(xiàn)由于硅棒在線切割過程中存在線弓（如硅棒下壓的作用力），即在硅棒收刀的時候，硅棒兩端切割的位置并沒有處在同一水平線上，進線端會首先切透硅棒，并且接觸粘膠層（玻璃板與硅棒之間），由于鋼線的高速運轉，從而產(chǎn)生大量的熱，使得凝固的膠水迅速液化，膠水附著在鋼線影響了鋼線的帶砂能力，于是參與切割的碳化硅微粒減少，切割能力減弱，從而降低了硅棒的切割質量。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術問題就在于：針對現(xiàn)有技術存在的技術問題，本發(fā)明提供一種操作簡便、切割質量穩(wěn)定的多晶硅棒切割方法。

為解決上述技術問題，本發(fā)明提出的技術方案為：

一種多晶硅棒切割方法，在對硅棒進行多線切割之前，調整切割工作臺上各硅棒的傾斜角度α，以使切割線網(wǎng)在收刀階段先切割各硅棒出線側的膠水層。

作為上述技術方案的進一步改進：

對切割工作臺上位于進線側的硅棒的傾斜角度α進行調整。

所述硅棒的頂部往切割線網(wǎng)的切割方向傾斜。

所述硅棒的傾斜角度α為5～10度。

在位于硅棒頂部的鳩尾座與切割工作臺的安裝槽之間夾設填充物以調整硅棒的傾斜角度α。

所述填充物為鐵條。

使用呈傾斜狀的鳩尾座以調整硅棒的傾斜角度α。

使用呈傾斜狀的玻璃板以調整硅棒的傾斜角度α。

在進行切割作業(yè)時，對相鄰硅棒之間的切割線網(wǎng)進行噴砂漿處理。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于：

本發(fā)明的多晶硅棒切割方法，通過調整硅棒的傾斜角度α，使其在進行多線切割的收刀階段時收刀階段先切割各硅棒出線側的膠層，避免進線端先切割膠層而影響切割線網(wǎng)的帶砂能力，從而影響硅棒最后段的切割質量；而且調整方法操作簡便、易于實現(xiàn)。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術中切割時的硅棒結構示意圖。

圖2為本發(fā)明實施例一的方法在應用時的硅棒切割示意圖。

圖3為本發(fā)明實施例二的方法在應用時的硅棒切割示意圖。

圖4為本發(fā)明實施例三的方法在應用時的硅棒切割示意圖。

圖中標號表示：1、工作臺；11、安裝槽；12、填充物；2、硅棒；3、膠水層；4、玻璃板；5、鳩尾座；6、切割線網(wǎng)；7、砂漿管。

具體實施方式

以下結合說明書附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步描述。

實施例一：

如圖2所示，多晶硅棒2是固定于切割工作臺1上，即鳩尾座5安裝于切割工作臺1的安裝槽11內，玻璃板4則通過膠水粘貼在鳩尾座5的下表面，硅棒2則通過膠水層3粘貼在玻璃板4的下表面上。本實施例的多晶硅棒切割方法，則是在對硅棒2進行多線切割之前，調整切割工作臺1上各硅棒2的傾斜角度α（之前正常狀態(tài)為各硅棒2及膠水層3處于水平面上），以使切割線網(wǎng)6在收刀階段先切割各硅棒2出線側的膠層。由于切割線網(wǎng)6先切割硅棒2出線側的膠層，從而使切割膠水層3的切割線網(wǎng)6從硅棒2的出線側出去，而處于硅棒2進線側的切割線網(wǎng)6不會先接觸膠層，其對硅棒2的切割無影響，從而保證硅棒2的切割質量。

本實施例中，對切割工作臺1上位于進線側的硅棒2的傾斜角度α進行調整，由于切割線網(wǎng)6的線弓弧度問題，處于出線側的硅棒2不會有切割線網(wǎng)6受影響的問題，從而不需要調整，而只需要對進線側的硅棒2進行調整。

本實施例中，硅棒2的頂部往切割線網(wǎng)6的切割方向傾斜，傾斜的角度與線弓弧度有關，可經(jīng)過實驗得到，具體的傾斜角度α為5～10度，從而保證切割線網(wǎng)6會收刀階段會首先接觸硅棒2出線側的膠層，保證切割硅棒2的切割線網(wǎng)6不會受膠水層3的影響。

如圖2所示，本實施例中，在位于硅棒2頂部的鳩尾座5與切割工作臺1的安裝槽11之間夾設填充物12以調整硅棒2的傾斜角度α，填充物12可以為鐵條，其厚度依據(jù)其需要傾斜的角度而定。

如圖2所示，本實施例中，切割工作臺1上設有兩個硅棒2，分為左硅棒和右硅棒，切割線網(wǎng)6的切割方向為從左至右，在對左硅棒進行固定時，先在鳩尾座5與切割工作臺1的安裝槽11之間插入一定厚度的鐵條，再對左硅棒進行緊固，使左硅棒的傾斜角度α為6度。進行切割時，隨著工作臺1不斷下降，硅棒2同時下降，當收刀階段，左硅棒處的切割線網(wǎng)6會先接觸膠水層3的右側再往右出硅棒2，而左硅棒左側的切割線網(wǎng)6一直在切割左硅棒而未與膠水層3接觸，直至全部硅棒2切割完成。另外在各硅棒2之間均設有砂漿管7，用于對切割完后的切割線網(wǎng)6進行噴砂漿作業(yè)，避免前一硅棒2的切割對后續(xù)硅棒2切割的影響。

本實施例中，切割線網(wǎng)6為鋼線，在進行切割時，鋼線與硅棒2之間由碳化硅微粉和切割液按一定比例混合而成的砂漿，當鋼線高速運轉時，鋼線帶動砂漿中的碳化硅微粒，使碳化硅微粒對硅棒2產(chǎn)生切割力，所以碳化硅微粒的切割力決定了砂線液的切割能力，即碳化硅微粒的形狀，大小和數(shù)量決定了砂線液的切割能力。如果砂漿中混入了其他物質，碳化硅微粉的占比減少，這樣就會明顯減弱砂線液的切割能力，從而影響到硅片的切割質量。

實施例二：

本實施例與實施例一的區(qū)別僅在于：調整硅棒2傾斜狀態(tài)的方法不同，如圖3所示，本實施例中采用呈傾斜狀的鳩尾座5來安裝硅棒2，從而使硅棒2處于傾斜狀態(tài)。其它未述內容與實施例一相同，在此不再贅述。

實施例三：

本實施例與實施例一的區(qū)別僅在于：調整硅棒2傾斜狀態(tài)的方法不同，如圖4所示，本實施例中采用呈傾斜狀的玻璃板4來安裝硅棒2，從而使硅棒2處于傾斜狀態(tài)。其它未述內容與實施例一相同，在此不再贅述。

以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，本發(fā)明的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本發(fā)明思路下的技術方案均屬于本發(fā)明的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理前提下的若干改進和潤飾，應視為本發(fā)明的保護范圍。