本發(fā)明涉及一種脆性基板的截?cái)喾椒ā?/p>

背景技術(shù)：

在平板顯示面板或太陽(yáng)電池板等電氣設(shè)備的制造中，常常需要截?cái)啻嘈曰?。在典型的截?cái)喾椒ㄖ校紫?，在脆性基板上形成裂紋線。這里，“裂紋線”是指，沿脆性基板的厚度方向局部行進(jìn)的裂紋在脆性基板的表面上呈線狀延伸的線。接著，進(jìn)行所謂的斷開(kāi)工序。具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)對(duì)脆性基板施加應(yīng)力，使得裂紋線的裂紋可沿厚度方向完全行進(jìn)。由此，沿裂紋線截?cái)啻嘈曰濉?/p>

根據(jù)日本專利公開(kāi)平成9-188534號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)，劃線時(shí)在玻璃板的上表面產(chǎn)生凹痕。在上述公報(bào)中，該凹痕被稱為“劃分線”。另外，在刻出劃分線的同時(shí)，會(huì)產(chǎn)生從劃分線向其正下方向延伸的裂紋。因此可以說(shuō)在上述公報(bào)的截?cái)嗉夹g(shù)中，在形成“劃分線”的同時(shí)，形成有上述裂紋線。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開(kāi)平成9-188534號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明人等開(kāi)發(fā)了與上述現(xiàn)有截?cái)嗉夹g(shù)不同的獨(dú)有的截?cái)嗉夹g(shù)。根據(jù)該技術(shù)，首先，通過(guò)刀尖在脆性基板上的滑動(dòng)而發(fā)生塑性變形，從而形成被稱為溝槽線的凹槽形狀。在形成溝槽線的時(shí)刻，在其下方未形成裂紋。然后，通過(guò)使裂紋沿溝槽線伸展，從而形成裂紋線。也就是說(shuō)，與上述現(xiàn)有技術(shù)不同地，暫先形成不伴隨有裂紋的溝槽線，然后沿溝槽線形成裂紋線。然后，沿裂紋線進(jìn)行斷開(kāi)工序。

不伴隨有裂紋的溝槽線相較于伴隨有裂紋的現(xiàn)有劃分線，能夠以更低載荷下的刀尖滑動(dòng)來(lái)形成。若對(duì)刀尖的載荷較小，則對(duì)刀尖造成的損傷也將減小。因此，根據(jù)該獨(dú)有的截?cái)嗉夹g(shù)，能夠延長(zhǎng)刀尖的壽命。

在上述獨(dú)有的技術(shù)中，需要用于沿溝槽線開(kāi)始形成裂紋線的工序。因此，需要使因溝槽線的形成而在脆性基板中產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力釋放的契機(jī)。作為提供該契機(jī)的方法之一，本發(fā)明者人等發(fā)現(xiàn)以與溝槽線交叉的方式來(lái)形成通常的劃分線的工序頗為有效。然而，由于該工序，使脆性基板的截?cái)喾椒ㄗ兊梅爆崱Ｒ虼?，希望得到更容易的工序?/p>

本發(fā)明是為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題而完成的，其目的在于，提供一種脆性基板的截?cái)喾椒?，該方法能夠在形成其下方不具有裂紋的溝槽線后，容易地形成沿著溝槽線的裂紋線。

(二)技術(shù)方案

本發(fā)明的脆性基板的截?cái)喾椒ň哂幸韵鹿ば颉?/p>

通過(guò)使刀尖在脆性基板的一面上以第一速度從第一位置滑動(dòng)至第二位置，從而在一面上發(fā)生塑性變形，由此形成具有凹槽形狀的第一溝槽線。形成第一溝槽線的工序以獲得無(wú)裂紋狀態(tài)的方式進(jìn)行，該無(wú)裂紋狀態(tài)是在第一溝槽線的下方，脆性基板在與第一溝槽線交叉的方向上連續(xù)性地相連的狀態(tài)。

在形成第一溝槽線的工序之后，通過(guò)使刀尖在脆性基板的一面上以低于第一速度的第二速度進(jìn)一步從第二位置滑動(dòng)至第三位置，從而在一面上發(fā)生塑性變形，由此形成具有凹槽形狀的第二溝槽線。形成第二溝槽線的工序以獲得無(wú)裂紋狀態(tài)的方式進(jìn)行，該無(wú)裂紋狀態(tài)是在第二溝槽線的下方，脆性基板在與第二溝槽線交叉的方向上連續(xù)性地相連的狀態(tài)。

在形成第二溝槽線的工序中，通過(guò)使滑動(dòng)的刀尖到達(dá)第三位置，從而使脆性基板的裂紋從第三位置沿第二溝槽線伸展，由此形成第一裂紋線。由于第一裂紋線，使得在第二溝槽線的下方，脆性基板在與第二溝槽線交叉的方向上連續(xù)性的相連斷開(kāi)。

通過(guò)使第一裂紋線到達(dá)第二位置，從而使脆性基板的裂紋從第二位置沿第一溝槽線伸展，由此形成第二裂紋線。由于第二裂紋線，使得在第一溝槽線的下方，脆性基板在與第一溝槽線交叉的方向上連續(xù)性的相連斷開(kāi)。

沿第一裂紋線及第二裂紋線將脆性基板截?cái)唷?/p>

(三)有益效果

根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)使為了形成第一溝槽線而滑動(dòng)的刀尖進(jìn)一步滑動(dòng)至第三位置，從而形成沿第一溝槽線的第二裂紋線。也就是說(shuō)，通過(guò)使用于形成第一溝槽線的刀尖進(jìn)一步繼續(xù)滑動(dòng)，能夠沿第一溝槽線容易地形成第二裂紋線。

附圖說(shuō)明

圖1為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式1的脆性基板的截?cái)喾椒ńY(jié)構(gòu)的流程圖。

圖2為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式1的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ谝还ば虻母┮晥D。

圖3為沿圖2的線iii-iii的示意剖視圖。

圖4為沿圖2的線iv-iv的示意剖視圖。

圖5為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式1的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ诙ば虻母┮晥D。

圖6為沿圖5的線vi-vi的示意剖視圖。

圖7為沿圖5的線vii-vii的示意剖視圖。

圖8為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式1的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ谌ば虻母┮晥D。

圖9為沿圖8的線ix-ix的示意剖視圖。

圖10為沿脆性基板的第一裂紋線的截?cái)嗝娴娘@微鏡照片。

圖11為沿脆性基板的第二裂紋線的截?cái)嗝娴娘@微鏡照片。

圖12為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式1的脆性基板的截?cái)喾椒ㄖ惺褂玫那懈钣镁叩慕Y(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖13為在圖12的箭頭xiii視角下的示意俯視圖。

圖14為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式2的脆性基板的截?cái)喾椒ㄖ惺褂玫那懈钣镁叩慕Y(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖15為在圖14的箭頭xv視角下的示意俯視圖。

圖16為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式3的脆性基板的截?cái)喾椒ㄖ惺褂玫那懈钣镁叩慕Y(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖17為在圖16的箭頭xvii視角下的示意俯視圖。

圖18為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式4的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ谝还ば虻母┮晥D。

圖19為沿圖18的線xix-xix的示意剖視圖。

圖20為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式4的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ诙ば虻母┮晥D。

圖21為沿圖20的線xxi-xxi的示意剖視圖。

圖22為示意性地表示本發(fā)明實(shí)施方式4的脆性基板的截?cái)喾椒ǖ谌ば虻母┮晥D。

圖23為沿圖22的線xxiii-xxiii的示意剖視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

4-玻璃基板(脆性基板)；50、50u、50v-切割用具；51、51u、51v-刀尖；cl1、cl2-裂紋線(第一及第二裂紋線)；n1～n4-位置(第一～第四位置)；sf1-上表面(一面)；tl1～tl3-溝槽線(第一～第三溝槽線)。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

(實(shí)施方式1)

(玻璃基板的截?cái)喾椒?

圖1為示意性地表示本實(shí)施方式的脆性基板的截?cái)喾椒ńY(jié)構(gòu)的流程圖。下面，對(duì)該截?cái)喾椒ㄟM(jìn)行說(shuō)明。

參照?qǐng)D2～圖4，首先，準(zhǔn)備要被截?cái)嗖ＡЩ?(脆性基板)。玻璃基板4具有上表面sf1(一面)、以及與其相反的下表面sf2。另外，玻璃基板4具有與上表面sf1垂直的厚度方向dt(圖3)。另外，準(zhǔn)備具有刀尖51的切割用具50(圖4)。此外，對(duì)切割用具50的結(jié)構(gòu)及其使用方法的詳細(xì)內(nèi)容之后予以說(shuō)明。

接著，使遠(yuǎn)離玻璃基板4配置的刀尖51向玻璃基板4靠近。由此，使刀尖51在玻璃基板4的上表面sf1上的位置n1(第一位置)與玻璃基板4接觸。位置n1遠(yuǎn)離玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。

接下來(lái)，步驟s10(圖1)中，在玻璃基板4的上表面sf1上，如箭頭m1(圖2及圖4)所示，使刀尖51從位置n1滑動(dòng)至與位置n1不同的位置n2(第二位置)。該滑動(dòng)速度即第一速度，可以是使用機(jī)械性的刀尖的情況下的典型的劃線速度，例如為100mm/秒左右。通過(guò)該滑動(dòng)，從而在上表面sf1上發(fā)生塑性變形。由此，形成具有凹槽形狀的溝槽線tl1(第一溝槽線)。

溝槽線tl1以獲得無(wú)裂紋狀態(tài)的方式來(lái)形成。這里無(wú)裂紋狀態(tài)是指，在溝槽線tl1的下方，玻璃基板4在與溝槽線tl1的延長(zhǎng)方向(圖2及圖4中的橫向)交叉的方向dc(圖3)上連續(xù)性地相連的狀態(tài)。在無(wú)裂紋狀態(tài)下，形成因塑性變形所致的溝槽線tl1，但未形成沿著它的裂紋。為了獲得無(wú)裂紋狀態(tài)，將施加在刀尖51上的載荷減小到不產(chǎn)生裂紋的程度，且調(diào)整至發(fā)生塑性變形并在之后在其下方產(chǎn)生裂紋的程度。對(duì)于后述的其它溝槽線，仍對(duì)無(wú)裂紋狀態(tài)進(jìn)行同樣的定義。

此外，上述塑性變形以不切削玻璃基板4表面的低載荷可充分形成，但是玻璃基板4也可以被稍微切削。但是由于這樣的切削會(huì)產(chǎn)生不宜的微小碎片，因此優(yōu)選不產(chǎn)生碎片。

接著，在步驟s20(圖1)中，在玻璃基板4的上表面sf1上，如箭頭m2(圖2及圖4)所示，使刀尖51進(jìn)一步從位置n2向與位置n1及位置n2中的任一個(gè)都不同的位置n3(第三位置)滑動(dòng)。如果將所述溝槽線tl1的形成工序也包含在內(nèi)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明的話，則使刀尖51從位置n1經(jīng)由位置n2向位置n3連續(xù)性地滑動(dòng)。位置n3遠(yuǎn)離玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。通過(guò)該滑動(dòng)，在上表面sf1上發(fā)生塑性變形。由此，形成具有凹槽形狀的溝槽線tl2(第二溝槽線)。

溝槽線tl2以獲得無(wú)裂紋狀態(tài)的方式來(lái)形成。在形成溝槽線tl2時(shí)施加在刀尖51上的載荷可以與形成溝槽線tl1時(shí)施加在刀尖51上的載荷相同，也可以不同。此外，使兩載荷相同的情況下，易于進(jìn)行載荷控制。

刀尖從位置n2向位置n3的滑動(dòng)是以低于所述第一速度的第二速度來(lái)進(jìn)行的。第二速度優(yōu)選為小于25mm/秒，更優(yōu)選為小于5mm/秒，例如1mm/秒左右。因此，從工序的效率上考慮，將上述的第一速度設(shè)為100mm/秒以上的情況下，第二速度優(yōu)選為小于第一速度的25％，更優(yōu)選為小于第一速度的5％。

參照?qǐng)D5～圖7，在步驟s30(圖1)中，通過(guò)在形成溝槽線tl2的工序中使滑動(dòng)的刀尖51到達(dá)位置n3，從而如箭頭r1(圖5及圖7)所示，使厚度方向dt上的玻璃基板4的裂紋從位置n3起沿溝槽線tl2伸展。由此，形成裂紋線cl1(第一裂紋線)。

通過(guò)形成裂紋線cl1，溝槽線tl2的無(wú)裂紋狀態(tài)消失。換言之，由于裂紋線cl1，使得在溝槽線tl2的下方，玻璃基板4在與溝槽線tl2的延伸方向(圖5及圖7中的橫向)交叉的方向dc(圖6)上連續(xù)性的相連斷開(kāi)。這里所說(shuō)的“連續(xù)性地相連”，換言之即不被裂紋隔斷的相連。此外，在如上所述般使連續(xù)性的相連斷開(kāi)的狀態(tài)下，玻璃基板4的各部分彼此可以介由裂紋線cl1的裂紋接觸。另外，也可以在溝槽線tl的正下略微殘留有連續(xù)性的相連。

如上所述裂紋開(kāi)始伸展的詳細(xì)機(jī)理并不清楚，因此難以預(yù)先嚴(yán)密地預(yù)測(cè)位置n3在哪兒。然而，如果上述第二速度足夠小的話，則根據(jù)該速度，在較高概率下，位置n3成為距位置n2足夠近的位置。

在步驟s40(圖1)中，若裂紋線cl1到達(dá)位置n2，則其成為契機(jī)，如箭頭r2(圖5及圖7)所示，使厚度方向上的玻璃基板4的裂紋從位置n2起沿著溝槽線tl1伸展。由此，形成裂紋線cl2(第二裂紋線)。通過(guò)形成裂紋線cl2，從而溝槽線tl1的無(wú)裂紋狀態(tài)消失。換言之，由于裂紋線cl2，使得在溝槽線tl1的下方，玻璃基板4在與溝槽線tl1交叉的方向上連續(xù)性的相連斷開(kāi)。

參照?qǐng)D8及圖9，在本實(shí)施方式中，在如上所述般形成裂紋線cl1后，也繼續(xù)刀尖51的滑動(dòng)。即，在玻璃基板4的上表面sf1上，如箭頭m3所示，使刀尖51以第二速度進(jìn)一步從位置n3滑動(dòng)至與位置n1～n3中的任意一個(gè)都不同的位置n4(第四位置)。通過(guò)該滑動(dòng)使上表面sf1上發(fā)生塑性變形。由此，形成具有凹槽形狀的溝槽線tl3(第三溝槽線)。溝槽線tl3能夠以獲得無(wú)裂紋狀態(tài)的方式來(lái)形成。換言之，刀尖51在位置n1～n4進(jìn)行滑動(dòng)，在位置n2～n4之間的任意一個(gè)位置n3上產(chǎn)生裂紋。

接著，在玻璃基板4的上表面sf1上的位置n4，刀尖51遠(yuǎn)離玻璃基板4。位置n4遠(yuǎn)離玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。由此，刀尖51從位置n1依次經(jīng)由位置n2及位置n3到位置n4的滑動(dòng)工序結(jié)束。刀尖51在位置n2與位置n4之間滑動(dòng)的距離小于刀尖51在位置n1與位置n2之間滑動(dòng)的距離。刀尖51在位置n2與位置n4之間滑動(dòng)的距離優(yōu)選為2mm以上，更優(yōu)選為20mm以上。因此，在上述的第二速度為1mm/秒的情況下，刀尖51在位置n2與位置n4之間滑動(dòng)的時(shí)間優(yōu)選為2秒以上，更優(yōu)選為20秒以上。

接下來(lái)，在步驟s50(圖1)中，沿裂紋線cl1及裂紋線cl2截?cái)嗖ＡЩ?。即，進(jìn)行所謂的斷開(kāi)工序。斷開(kāi)工序可以通過(guò)對(duì)玻璃基板4施加外力來(lái)進(jìn)行。例如，朝向玻璃基板4的上表面sf1上的裂紋線cl1及裂紋線cl2(圖9)，向下表面sf2上推壓應(yīng)力施加部件(例如，稱為“斷開(kāi)棒(breakbar)”的部件)，由此對(duì)玻璃基板4施加使裂紋線cl1及裂紋線cl2的裂紋擴(kuò)開(kāi)的應(yīng)力。此外，在裂紋線cl1及裂紋線cl2于其形成時(shí)沿厚度方向dt完全行進(jìn)的情況下，裂紋線cl1及裂紋線cl2的形成與玻璃基板4的截?cái)鄬⑼瑫r(shí)發(fā)生。

此外，上述裂紋線的形成工序與所謂的斷開(kāi)工序在本質(zhì)上是不同的。斷開(kāi)工序是通過(guò)使已形成的裂紋在厚度方向上進(jìn)一步伸展，從而將基板完全分離的工序。另一方面，裂紋線的形成工序是帶來(lái)由溝槽線的形成而得到的無(wú)裂紋狀態(tài)向有裂紋狀態(tài)變化的工序。該變化被認(rèn)為是由具有無(wú)裂紋狀態(tài)的內(nèi)部應(yīng)力的釋放而產(chǎn)生的。

如上所述進(jìn)行玻璃基板4的截?cái)?。?duì)于玻璃基板4的截?cái)嗝娴馁|(zhì)量，相較于沿裂紋線cl1的部分，沿裂紋線cl2的部分更為良好。圖10及圖11分別為沿著玻璃基板4的裂紋線cl1及裂紋線cl2的截?cái)嗝娴娘@微鏡照片。在沿裂紋線cl1的截?cái)嗝?圖10)上，在裂紋線cl1的區(qū)域中，明確觀察到呈凹凸的鯊魚(yú)齒狀的樣態(tài)。相對(duì)于此，在沿裂紋線cl2的截?cái)嗝?圖10)上，未觀察到這樣的樣態(tài)，而觀察到更良好的鏡面。

(切割用具)

圖12為示意性地表示切割用具50的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖13為圖12的箭頭xiii的視角下的示意俯視圖。此外，箭頭xiii的方向與玻璃基板4的上表面sf1的法線方向相對(duì)應(yīng)。切割用具50具有刀尖51及刀柄52。刀尖51通過(guò)固定于作為其支架的刀柄52而被保持。

刀尖51具有突起部pp、棱線部ps1～ps4(第一～第四棱線部)、以及側(cè)面sd1～sd4。側(cè)面sd1～sd4朝向彼此不同的方向。棱線部ps1為側(cè)面sd1及sd2之間的邊界部。棱線部ps2為側(cè)面sd3及sd4之間的邊界部。棱線部ps3為側(cè)面sd1及sd3之間的邊界部。棱線部ps4為側(cè)面sd2及sd4之間的邊界部。在箭頭xiii(圖12)的視野下觀察刀尖51的俯視視角(圖13)下，棱線部ps1及棱線部ps2在一條直線(圖中為橫向的直線)上從突起部pp沿彼此相反方向延伸。在圖12中棱線部ps1及ps2所形成的角度，換言之就是棱線部ps1從突起部pp起延伸的方向與棱線部ps2從突起部pp起延伸的方向所形成的角度，優(yōu)選為鈍角，例如為140°左右。刀尖51如圖12及圖13所示，優(yōu)選具有四棱錐的頂點(diǎn)部形狀。

此外，由于棱線部ps1是在側(cè)面sd1與側(cè)面sd2之間刀尖51的表面匯合的部分，因此若在微觀下觀察，則可以具有若干量的曲率半徑(以下稱為棱線部ps1的曲率半徑)。該曲率半徑例如為幾微米(μm)～十幾微米(μm)左右。對(duì)于棱線部ps2也是同樣的。棱線部ps1的曲率半徑與棱線部ps2的曲率半徑可以彼此相同，也可以不同。

出于硬度以及能夠減小表面粗度這方面考慮，刀尖51優(yōu)選用金剛石來(lái)制作。即，刀尖51優(yōu)選為金剛石筆(diamondpoint)。更優(yōu)選地，刀尖51由單晶金剛石制作。此外，也可以使用非單晶的金剛石，例如，也可以使用通過(guò)cvd(chemicalvapordeposition：化學(xué)氣相沉積)法合成的多晶金剛石。或者，也可以采用通過(guò)鐵族元素等結(jié)合材料使單晶或多晶金剛石粒子結(jié)合而成的燒結(jié)金剛石。多晶金剛石粒子可以通過(guò)使微粒石墨或非石墨狀碳在不含鐵族元素等的結(jié)合材料的前提下燒結(jié)而獲得。

刀柄52沿軸向ax延伸。在圖12所示的例子中，以使軸向ax大致沿著棱線部ps1從突起部pp起延伸的方向、與棱線部ps2從突起部pp起延伸的方向的中間方向的方式，來(lái)將刀尖51安裝至刀柄52。

接著，對(duì)于形成溝槽線tl1～tl3(圖9)時(shí)的切割用具50的使用方法，進(jìn)行如下說(shuō)明。

首先，刀尖51(圖12)的突起部pp在位置n1(圖4)被推壓至上表面sf1。然后，使被推壓的刀尖51在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)。使刀尖51在上表面sf1上在從棱線部ps2朝向棱線部ps1的方向da上滑動(dòng)。嚴(yán)格地說(shuō)，是使刀尖51在將從棱線部ps2朝向棱線部ps1的方向投影到上表面sf1上的方向da上滑動(dòng)。方向da大致沿著將突起部pp附近的棱線部ps1及棱線部ps2的各自的延伸方向投影到上表面sf1上的方向。在圖12中，方向da與從刀尖51延伸的軸向ax投影到上表面sf1上的方向相對(duì)應(yīng)。由此，刀尖51被刀柄52在上表面sf1上拖拽滑動(dòng)。

在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)的刀尖51(圖12)的棱線部ps1及棱線部ps2分別與玻璃基板4的上表面sf1形成角度ag1及角度ag2。優(yōu)選地，角度ag2大于角度ag1。若將角度ag2設(shè)置得小于角度ag1，則難以產(chǎn)生裂紋線cl1(圖7)。另外，若角度ag1與角度ag2大致相同，則是否產(chǎn)生裂紋線cl1將容易變得不穩(wěn)定。對(duì)于產(chǎn)生這些現(xiàn)象的正確的機(jī)理尚不清楚，但推測(cè)可能是因?yàn)橛傻都?1的滑動(dòng)而引起玻璃基板4內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力分布根據(jù)刀尖51的姿勢(shì)而發(fā)生變化。

(效果)

根據(jù)本實(shí)施方式，如圖2及圖4所示，為了形成溝槽線tl1而滑動(dòng)的刀尖51進(jìn)一步向位置n3滑動(dòng)。因此，如圖5及圖7所示，形成溝槽線tl2，然后，沿溝槽線tl2形成裂紋線cl1。以該裂紋線cl1到達(dá)位置n2為契機(jī)，形成沿溝槽線tl1的裂紋線cl2。由此，僅通過(guò)進(jìn)一步繼續(xù)滑動(dòng)用于形成溝槽線tl1的刀尖51，就能夠沿溝槽線tl1容易地形成裂紋線cl2。

位置n1(圖4)遠(yuǎn)離玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。由此，能夠避免因刀尖51與玻璃基板4的上表面sf1的邊緣碰撞所造成的問(wèn)題。具體而言，刀尖51的高度方向的控制將變得容易。另外，能夠抑制對(duì)刀尖51的損傷。另外，也能夠避免玻璃基板4的邊緣缺損。

位置n3遠(yuǎn)離(圖7)玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。由此，為了產(chǎn)生裂紋線cl1，也不一定需要使刀尖51滑動(dòng)至玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。因此，能夠避免因刀尖51切割玻璃基板4的邊緣所造成的問(wèn)題。具體而言，刀尖51的高度方向的控制將變得容易。另外，能夠抑制對(duì)刀尖51的損傷。另外，也能夠避免玻璃基板4的邊緣缺損。

在本實(shí)施方式中，在形成裂紋線cl1之后，仍將繼續(xù)刀尖51的滑動(dòng)。即，在玻璃基板4的上表面sf1上使刀尖51以第二速度從位置n3進(jìn)一步滑動(dòng)至位置n4，由此形成溝槽線tl3(圖9)。其理由是因?yàn)殡y以預(yù)測(cè)形成裂紋線cl1的時(shí)刻，或者難以在形成裂紋線cl1的瞬間瞬時(shí)實(shí)施使刀尖51的滑動(dòng)狀態(tài)變化的反饋。因此，在開(kāi)始形成裂紋線cl1的可能性概率性地較高的時(shí)刻之后，仍在一定程度上持續(xù)形成溝槽線即形成溝槽線tl3的方法是用于充分提高裂紋線cl1的產(chǎn)生概率的高實(shí)用性方法。但是，在允許使用高度的控制系統(tǒng)的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)上述反饋，在這種情況下，可以將例如刀尖51的滑動(dòng)的終點(diǎn)設(shè)為位置n3。

位置n4(圖9)遠(yuǎn)離玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。由此，無(wú)需使刀尖51滑動(dòng)至玻璃基板4的上表面sf1的邊緣。因此，能夠避免因刀尖51切割玻璃基板4的邊緣所造成的問(wèn)題。具體而言，刀尖51的高度方向的控制將變得容易。另外，能夠抑制對(duì)刀尖51的損傷。另外，也能夠避免玻璃基板4的邊緣缺損。

刀尖51(圖9)在位置n2與位置n4之間滑動(dòng)的距離小于刀尖51在位置n1與位置n2之間滑動(dòng)的距離。由此，將提高刀尖51滑動(dòng)的總距離中溝槽線tl1所占的比例。由于形成溝槽線tl1的第一速度比形成溝槽線tl2的第二速度快，因此工序所需的時(shí)間將縮短。另外，由于沿溝槽線tl1(即沿裂紋線cl2)的截?cái)嗝?圖11)具有比沿溝槽線tl2(即沿裂紋線cl1)的截?cái)嗝娓哔|(zhì)量的截?cái)嗝?，因此能夠增加截?cái)嗝嬷懈哔|(zhì)量部分的比例。

刀尖51(圖9)在位置n2與位置n4之間滑動(dòng)的距離優(yōu)選為2mm以上，更優(yōu)選為20mm以上。由此，能夠更切實(shí)地產(chǎn)生裂紋線cl1。

形成溝槽線tl2(圖4)時(shí)的刀尖51的滑動(dòng)速度即第二速度，優(yōu)選為小于25mm/秒，更優(yōu)選為小于5mm/秒。由此，能夠更切實(shí)地產(chǎn)生裂紋線cl1。

(實(shí)施方式2)

參照?qǐng)D14及圖15，在本實(shí)施方式中，使用切割用具50u來(lái)替代切割用具50(圖12)。切割用具50u具有刀尖51u，以替代刀尖51(圖12及圖13)。在刀尖51u上設(shè)置有頂面td1及圍繞頂面td1的多個(gè)面。該多個(gè)面包括側(cè)面td2及側(cè)面td3。頂面td1、側(cè)面td2及側(cè)面td3朝向彼此不同的方向，且彼此相鄰。刀尖51u具有頂面td1、側(cè)面td2及側(cè)面td3所匯合的頂點(diǎn)，由該頂點(diǎn)構(gòu)成了刀尖51u的突起部pp。另外，側(cè)面td2及側(cè)面td3形成從突起部pp延伸的棱線部ps。

接著，對(duì)于形成溝槽線tl1～tl3(圖9)時(shí)的切割用具50u的兩種使用方法，進(jìn)行如下說(shuō)明。

在第一使用方法中，首先，刀尖51u(圖14)的突起部pp在位置n1(圖4)被推壓至上表面sf1。接著，使被推壓的刀尖51u在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)。使刀尖51u在上表面sf1上沿從頂面td1朝向棱線部ps的方向da滑動(dòng)。嚴(yán)格地講，是使刀尖51u沿著將從頂面td1朝向棱線部ps的方向投影到上表面sf1上的方向da滑動(dòng)。方向da大致沿著將突起部pp附近的棱線部ps的延伸方向投影到上表面sf1上的方向。在圖14中，方向da與從刀尖51u延伸的軸向ax投影到上表面sf1上的方向相對(duì)應(yīng)。由此，刀尖51u被刀柄52在上表面sf1上拖拽滑動(dòng)。在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)的刀尖51u的棱線部ps及頂面td1分別與玻璃基板4的上表面sf1形成角度ah1及角度ah2。為了易于產(chǎn)生裂紋線cl1(圖7)，只要以使角度ah1減小且使角度ah2增大的方式調(diào)整刀尖51的姿勢(shì)即可。

在第二使用方法中，將刀尖51u的滑動(dòng)方向設(shè)為與方向da相反的方向db。因此，刀尖51u通過(guò)刀柄52在上表面sf1上從位置n1向位置n4推進(jìn)。為了易于產(chǎn)生裂紋線cl1(圖7)，與上述相反地，只要以使角度ah1增大且使角度ah2減小的方式調(diào)整刀尖51的姿態(tài)即可。

(實(shí)施方式3)

參照?qǐng)D16及圖17，在本實(shí)施方式中，使用切割用具50v來(lái)替代切割用具50(圖12)。切割用具50v具有刀尖51v，以替代刀尖51(圖12及圖13)。刀尖51v上設(shè)置具有以突起部pp為頂點(diǎn)的圓錐面sc。

接著，對(duì)形成溝槽線tl1～tl3(圖9)時(shí)的切割用具50v的使用方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，刀尖51v(圖16)的突起部pp在位置n1(圖4)被推壓至上表面sf1。接著，使被推壓的刀尖51v在玻璃基板4的上表面sf1上滑動(dòng)。在圖16中，方向da與將從刀尖51v延長(zhǎng)的軸向ax投影到上表面sf1上的方向相對(duì)應(yīng)。因此，刀尖51v被刀柄52在上表面sf1上拖拽滑動(dòng)。為了易于產(chǎn)生裂紋線cl1(圖7)，如圖16所示，只要使圓錐面sc與上表面sf1所形成的角度，相較于方向da的相反側(cè)(圖16中的左側(cè))，在方向da側(cè)(圖16中的右側(cè))減小即可。

(實(shí)施方式4)

參照?qǐng)D18及圖19，在本實(shí)施方式中，在溝槽線tl1的形成與溝槽線tl2的形成中，不僅使刀尖51的滑動(dòng)速度變化，也使刀尖51給予玻璃基板4的載荷變化。具體來(lái)說(shuō)，在通過(guò)使刀尖51以上述第一速度滑動(dòng)來(lái)形成溝槽線tl1時(shí)，在本實(shí)施方式中，相較于其它實(shí)施方式，將使刀尖51的載荷進(jìn)一步降低。此外，通過(guò)使刀尖51以上述第二速度滑動(dòng)來(lái)形成溝槽線tl2時(shí)的載荷與其它實(shí)施方式中的載荷相同。因此，形成溝槽線tl1時(shí)的載荷小于形成溝槽線tl2時(shí)的載荷。這樣選擇載荷的結(jié)果是，溝槽線tl1的寬度變得比溝槽線tl2的寬度小。另外，溝槽線tl1的深度變得比溝槽線tl2的深度小。

參照?qǐng)D20及圖21，通過(guò)使在形成溝槽線tl2的工序中滑動(dòng)的刀尖51到達(dá)玻璃基板4的上表面sf1上的位置n3，如箭頭r1所示，厚度方向dt上的玻璃基板4的裂紋沿溝槽線tl2從位置n3伸展至位置n2。由此，形成裂紋線cl1。在本實(shí)施方式中，通過(guò)如上所述般減小形成溝槽線tl時(shí)的刀尖51的載荷，從而與實(shí)施方式1不同，不會(huì)形成裂紋線cl2(圖5及圖7)。換言之，溝槽線tl1及溝槽線tl2之中僅沿溝槽線tl2形成裂紋線。

參照?qǐng)D22及圖23，然后，以與實(shí)施方式1(圖8及圖9)同樣的理由，刀尖51從位置n3繼續(xù)滑動(dòng)至位置n4。由此形成溝槽線tl3。形成溝槽線tl3時(shí)的載荷可以與形成溝槽線tl2時(shí)的載荷相同。接下來(lái)，使刀尖51在位置n4遠(yuǎn)離玻璃基板4。由此，刀尖51從位置n1依次經(jīng)由位置n2及位置n3到達(dá)位置n4的滑動(dòng)工序結(jié)束。

接著，玻璃基板4沿裂紋線cl1(換言之，為溝槽線tl2)及溝槽線tl1被截?cái)唷＜?，進(jìn)行所謂的斷開(kāi)工序。斷開(kāi)工序可以通過(guò)對(duì)玻璃基板4施加外力來(lái)進(jìn)行。例如，通過(guò)朝著玻璃基板4的上表面sf1上的裂紋線cl1(圖23)向下表面sf2上推壓應(yīng)力施加部件(例如，被稱為“斷開(kāi)棒”的部件)，對(duì)玻璃基板4施加使裂紋線cl1的裂紋擴(kuò)開(kāi)的應(yīng)力。以該應(yīng)力施加為契機(jī)，使裂紋沿溝槽線tl1從位置n2向位置n1伸展。由此，玻璃基板4截?cái)嗟奈恢贸擞闪鸭y線cl1(換言之，為溝槽線tl2)規(guī)定，還由溝槽線tl1所規(guī)定。

此外，對(duì)于除上述以外的結(jié)構(gòu)，由于與上述其它實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)大致相同，因此對(duì)相同或者相對(duì)應(yīng)要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，不再重復(fù)其說(shuō)明。

根據(jù)本實(shí)施方式，使形成溝槽線tl1時(shí)的刀尖51的載荷進(jìn)一步減小。由此能夠抑制刀尖51的磨損。

此外，在上述各實(shí)施方式中對(duì)玻璃基板4的上表面sf1為平坦?fàn)畹那闆r進(jìn)行了說(shuō)明，但是上表面sf1也可以彎曲。另外，對(duì)溝槽線tl1～tl3為直線狀的情況進(jìn)行了圖示，但是溝槽線tl1～tl3也可以是曲線狀。另外，刀尖51在玻璃基板4的上表面sf1上的滑動(dòng)是通過(guò)在玻璃基板4與刀尖51之間的相對(duì)移動(dòng)來(lái)實(shí)施的，因此只要控制玻璃基板4及刀尖51中的至少任意一個(gè)的移動(dòng)即可實(shí)施。另外，對(duì)于將玻璃基板4用作脆性基板的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是脆性基板也可以是由玻璃以外的脆性材料制成，例如可由陶瓷、硅、化合物半導(dǎo)體、藍(lán)寶石或者石英來(lái)制得。