本發(fā)明涉及切削由硅、玻璃、陶瓷等硬脆性材料構(gòu)成的工件的固定磨粒絲鋸以及固定磨粒絲的修整方法。

背景技術(shù)：

以往，作為將由硬脆性材料構(gòu)成的工件(即，坯塊)切斷，制造多張薄板(晶片)的裝置之一，已知有絲鋸(即，使用了絲的切削裝置)。上述絲鋸被構(gòu)成為將鋼琴線等芯線并列地架設(shè)在多個(gè)槽輥之間，形成螺旋狀的絲列，通過將坯塊推碰到該絲列的高速行走的絲而進(jìn)行切削，將坯塊切斷成多張晶圓。作為上述絲鋸的切斷方式，有基于一面將含有游離磨粒的加工液(即，漿料)噴涂到上述絲列，一面進(jìn)行切削的游離磨粒方式的切斷方式，和像專利文獻(xiàn)1所示那樣，基于使用磨粒被粘著在上述芯線的表面的固定磨粒絲進(jìn)行切削的固定磨粒方式的切斷方式。游離磨粒方式由于存在漿料的廢棄處理的問題等，所以，近年來，不需要使用上述漿料且與該游離磨粒方式相比切削效率優(yōu)異的固定磨粒方式正在普及。而且，作為在上述固定磨粒方式的絲鋸(即，固定磨粒絲鋸)中使用的固定磨粒絲，已知通過金屬鍍敷使磨粒粘著在芯線的固定磨粒絲(參照專利文獻(xiàn)2)。

但是，在使用這樣的磨粒通過金屬鍍敷被粘著在芯線上的固定磨粒絲的情況下，為了確保更優(yōu)異的切削效率、切削精度，希望磨粒的前端即刃尖總是露出，不存在因切削屑造成的孔堵塞，但是，通常如上述專利文獻(xiàn)2公開的切斷方式那樣，在使用開始前的新品狀態(tài)下，磨粒的刃尖因金屬鍍敷而被包覆，另外，即使在使用開始后，也極難避免孔堵塞。

因此，在引用文獻(xiàn)1記載的絲鋸中，通過將修整石推碰到絲列，對(duì)固定磨粒絲進(jìn)行修整。然而，若從維護(hù)性等運(yùn)用方面的觀點(diǎn)來看該絲鋸，則對(duì)保持坯塊的工件工作臺(tái)和修整石的配置關(guān)系而言，未必能說進(jìn)行了充分的考慮，仍留有設(shè)計(jì)上的改進(jìn)余地。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-28654號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-181698號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

因此，本發(fā)明的技術(shù)的課題是提供一種針對(duì)保持工件的工件工作臺(tái)和用于進(jìn)行固定磨粒絲的修整的修整石的配置關(guān)系，在考慮維護(hù)性等運(yùn)用方面的基礎(chǔ)上，實(shí)施了更合理的設(shè)計(jì)的固定磨粒絲鋸以及這樣的固定磨粒絲鋸中的固定磨粒絲的修整方法。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種固定磨粒絲鋸，所述固定磨粒絲鋸具有：磨粒通過金屬鍍敷被粘著于芯線的表面的固定磨粒絲；相互平行地配設(shè)旋轉(zhuǎn)軸的多個(gè)槽輥；固定工件的工件供給工作臺(tái)；和對(duì)上述固定磨粒絲進(jìn)行修整的修整石，上述固定磨粒絲被螺旋狀地纏掛在上述槽輥之間，形成有在與上述旋轉(zhuǎn)軸呈平行的進(jìn)給方向上以規(guī)定的節(jié)距間隔排列的絲列，所述固定磨粒絲鋸?fù)ㄟ^一面使該固定磨粒絲在其芯線方向上高速行走，一面使上述絲列和被固定在上述工件供給工作臺(tái)的工件相互推碰來用于對(duì)該工件進(jìn)行切削，其特征在于，在上述工件供給工作臺(tái)設(shè)置有用于固定工件的工件固定部，且上述修整石與該工件固定部鄰接地被固定在上述進(jìn)給方向上的與該工件固定部相比的至少上游側(cè)。

此時(shí)，優(yōu)選上述修整石由第1修整石以及第2修整石構(gòu)成，在上述工件供給工作臺(tái)上，上述第1修整石與該工件固定部鄰接地被固定在上述進(jìn)給方向上的與工件固定部相比的上游側(cè)，且第2修整石與該工件固定部鄰接地被固定在與該工件固定部相比的下游側(cè)。

而且，更優(yōu)選上述第1修整石中的與上述絲列相向的前端面與上述第2修整石中的與該絲列相向的前端面相比向該絲列側(cè)突出。

另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種固定磨粒絲鋸，所述固定磨粒絲鋸具有：磨粒通過金屬鍍敷被粘著于芯線的表面的固定磨粒絲；相互平行地配設(shè)旋轉(zhuǎn)軸的多個(gè)槽輥；和固定工件的工件供給工作臺(tái)，上述固定磨粒絲被螺旋狀地纏掛在上述槽輥之間，形成有在與上述旋轉(zhuǎn)軸呈平行的進(jìn)給方向上以規(guī)定的節(jié)距間隔排列的絲列，所述固定磨粒絲鋸?fù)ㄟ^一面使該固定磨粒絲在其芯線方向上高速行走，一面使上述絲列和被固定在上述工件供給工作臺(tái)的工件相互推碰來用于對(duì)該工件進(jìn)行切削，其特征在于，在上述工件供給工作臺(tái)設(shè)置有用于固定工件的工件固定部和用于固定修整石的磨石固定部，上述修整石對(duì)上述固定磨粒絲進(jìn)行修整，該磨石固定部與該工件固定部鄰接地被配置在上述進(jìn)給方向上的與該工件固定部相比的至少上游側(cè)。

此時(shí)，優(yōu)選上述磨石固定部由第1磨石固定部以及第2磨石固定部構(gòu)成，在上述工件供給工作臺(tái)上，上述第1磨石固定部與該工件固定部鄰接地被配置在上述進(jìn)給方向上的與工件固定部相比的上游側(cè)，且第2磨石固定部與該工件固定部鄰接地被配置在該工件固定部的下游側(cè)。

再有，根據(jù)本發(fā)明，提供一種固定磨粒絲的修整方法，其特征在于，具有下述步驟：將磨粒通過金屬鍍敷被粘著于芯線的表面的固定磨粒絲螺旋狀地纏掛在相互平行地配置旋轉(zhuǎn)軸的多個(gè)槽輥之間，由此形成在與上述旋轉(zhuǎn)軸呈平行的進(jìn)給方向上以規(guī)定的節(jié)距間隔排列的絲列的步驟；將工件固定在工件供給工作臺(tái)，且將修整石與該工件鄰接地固定在該工件供給工作臺(tái)中的與該工件相比的上述進(jìn)給方向的至少上游側(cè)的位置的步驟；通過一面使上述固定磨粒絲在其芯線方向上高速行走，一面使上述工件供給工作臺(tái)和上述絲列向相互接近的方向移動(dòng)，由上述修整石對(duì)與上述工件相比處于上述進(jìn)給方向的上游側(cè)的固定磨粒絲進(jìn)行修整，且通過由該修整后的固定磨粒絲形成的絲列切削上述工件的步驟。

在本發(fā)明的上述修整方法中，優(yōu)選被固定在上述工件供給工作臺(tái)的修整石中的與上述絲列相向的前端面與被固定在該工件供給工作臺(tái)的工件中的與上述絲列相向的前端面相比向絲列側(cè)突出。

另外，優(yōu)選上述修整石由第1修整石以及第2修整石構(gòu)成，在上述工件供給工作臺(tái)上，上述第1修整石與該工件鄰接地被固定在上述進(jìn)給方向上的與上述工件相比的上游側(cè)，且第2修整石與該工件鄰接地被固定在與該工件相比的下游側(cè)。

此時(shí)，更優(yōu)選上述第1修整石中的與上述絲列相向的前端面與上述第2修整石中的與絲列相向的前端面相比向該絲列側(cè)突出，且第2修整石的該前端面和工件的該前端面被配置成距該絲列大致相同的距離。

發(fā)明效果

根據(jù)上面記載的本發(fā)明，被構(gòu)成為在由固定磨粒絲的絲列對(duì)工件切削前，由修整石修整該固定磨粒絲。因此，能夠在將包覆該固定磨粒絲的磨粒的表面的金屬鍍敷層除去，使磨粒的刃尖露出后，切削工件，能夠提高對(duì)工件的切削效率。另外，由于被構(gòu)成為將上述工件和修整石固定于相同的工件供給工作臺(tái)，所以，在維護(hù)等運(yùn)用方面也發(fā)揮優(yōu)異的效果，例如，不僅能夠避免構(gòu)造的復(fù)雜化，還能夠在進(jìn)行工件更換的同時(shí)進(jìn)行修整石的更換等。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的固定磨粒絲鋸的一實(shí)施方式的示意圖。

圖2是表示圖1的固定磨粒絲鋸的切削部的概略立體圖。

圖3是示意性地表示上述切削部中的工件切削前的狀態(tài)的概略局部放大圖。

圖4是示意性地表示在上述切削部中，在工件切削開始前進(jìn)行的固定磨粒絲的修整狀態(tài)的概略局部放大圖。

圖5是示意性地表示上述切削部中的工件切削開始時(shí)的狀態(tài)的概略局部放大圖。

圖6是示意性地表示上述切削部中的工件切削中途的狀態(tài)的概略局部放大圖。

附圖標(biāo)記說明

1：固定磨粒絲鋸；2：固定磨粒絲；3-5：槽輥；6：工件供給工作臺(tái)；15：工件固定部；16：第1磨石固定部；17：第2磨石固定部；30：絲列；41:第1修整石；41a:前端面；42：第2修整石；42a:前端面；W:工件；W1：前端面。

具體實(shí)施方式

圖1-圖6表示本發(fā)明的固定磨粒絲鋸的一實(shí)施方式。本實(shí)施方式的固定磨粒絲鋸1如圖1以及圖2所示具有：磨粒通過金屬鍍敷被粘著在芯線的表面的固定磨粒絲2；相互平行地配設(shè)了旋轉(zhuǎn)軸的多個(gè)槽輥3-5；固定有工件W的工件供給工作臺(tái)6；和通過與上述固定磨粒絲2接觸來修整該固定磨粒絲2的修整石41、42，上述工件W通過被推壓在絲列30而切片成多張晶圓，上述絲列30通過將固定磨粒絲2卷繞在槽輥3-5之間而形成。另外，如圖2或圖3所示，在本實(shí)施方式中，使用硅坯塊作為上述工件W，該硅坯塊被形成為在一方向長(zhǎng)的四方柱狀。

上述固定磨粒絲2在由鋼琴線等構(gòu)成的芯線上通過鎳等金屬鍍敷粘著例如金剛、由立方氮化硼(cBN)等構(gòu)成的硬質(zhì)細(xì)微的磨粒，在修整前的新品狀態(tài)的固定磨粒絲2中，處于磨粒的表面整體由金屬鍍敷層包覆的狀態(tài)。另外，在本實(shí)施方式中，作為上述固定磨粒絲2使用平均絲徑為0.1mm左右的固定磨粒絲，能夠提高切削精度，且抑制切削余量。

如圖1所示，上述固定磨粒絲2其兩端側(cè)分別被卷繞在一對(duì)絲線筒7、8，在這些絲線筒7、8之間形成有將上述工件W進(jìn)行切片的切削部20。另外，在一對(duì)絲線筒7、8之間，將切削部20夾著其間地設(shè)置一方的絲線筒7側(cè)的絲行走路徑9和另一方的絲線筒8側(cè)的絲行走路徑10。而且，在這些絲行走路徑9、10中分別配設(shè)：橫移裝置11，其用于使該固定磨粒絲2進(jìn)行橫移動(dòng)作，以便適當(dāng)?shù)貙⒃摴潭チ＝z2從絲線筒7、8放出，并適當(dāng)?shù)鼐砣∮诮z行走路徑；調(diào)節(jié)輥12，其用于賦予行走的絲2一定的張力；和導(dǎo)向輥13，其在該調(diào)節(jié)輥12的前后用于對(duì)上述固定磨粒絲2進(jìn)行導(dǎo)向。

在上述絲線筒7、8上分別連結(jié)未圖示出的馬達(dá)。通過驅(qū)動(dòng)該馬達(dá)，上述固定磨粒絲2從一方的絲線筒7被送出，在環(huán)繞配置在上述切削部20的槽輥3-5后，被另一方的絲線筒8回收，在這些絲線筒7、8之間，在其芯線方向上高速行走。

另外，上述固定磨粒絲2可以沿其芯線方向僅在一方向(從一方的絲線筒7去向另一方的絲線筒8的方向)行走，或者也可以往復(fù)行走。在本實(shí)施方式中，被構(gòu)成為在切削工件W的情況下，固定磨粒絲2在絲線筒7、8之間往復(fù)行走。而且，通過將從一方的絲線筒7供給的固定磨粒絲2的放出量比卷回到該絲線筒7的卷取量長(zhǎng)，由此，從該絲線筒7依次放出新的固定磨粒絲，向上述絲列30供給。另外，在本實(shí)施方式中，被構(gòu)成為將上述進(jìn)給量設(shè)定為約400m，將返回量設(shè)定為397m，向上述絲列30供給的固定磨粒絲2在每一個(gè)往復(fù)被替換為3m新的固定磨粒絲2。

如圖1或圖2所示，在上述切削部20配置3根輥，包括：位于一方的絲行走路9側(cè)的第1槽輥3、位于另一方的絲行走路10側(cè)的第2槽輥4和位于這些第1及第2槽輥3、4的下方的第3槽輥5。這3根槽輥3-5被配置成旋轉(zhuǎn)軸相互呈平行，在從其軸方向看時(shí)，各旋轉(zhuǎn)軸分別位于三角形的頂點(diǎn)。

另外，在槽輥3-5的外周面以規(guī)定的節(jié)距分別形成多個(gè)固定磨粒絲2的定位用的環(huán)狀的絲槽14，上述固定磨粒絲2一面與這些槽輥3-5的絲槽14卡合一面被螺旋狀地纏掛。據(jù)此，在上述第1以及第2槽輥3、4之間，形成固定磨粒絲2在與上述旋轉(zhuǎn)軸呈平行的進(jìn)給方向上以規(guī)定的節(jié)距間隔排列的上述絲列30。另外，在本實(shí)施方式的絲列30中，長(zhǎng)度約800m左右的固定磨粒絲2被架設(shè)在槽輥3-5之間，該固定磨粒絲2朝向上述進(jìn)給方向以0.3mm的節(jié)距被并列設(shè)置。

另外，在切削部20中，被形成為橫向長(zhǎng)的上述工件供給工作臺(tái)6以沿上述進(jìn)給方向的方式配置在上述絲列30的架設(shè)方向上的中央的上方，由未圖示出的工作臺(tái)進(jìn)給裝置，被驅(qū)動(dòng)成相對(duì)于絲列30升降自由。伴隨著工件供給工作臺(tái)6朝向絲列30降下，被固定在該工件供給工作臺(tái)6的下表面的工件W被推壓在該絲列30并被切削，其結(jié)果為，該工件W被同時(shí)切片成多張晶圓。另外，也可以被構(gòu)成為，若工件W相對(duì)于絲列30被相對(duì)地推壓，則一面保持例如3個(gè)槽輥3-5的相對(duì)的位置關(guān)系，一面利用使這些槽輥3-5上升、下降的升降裝置，使絲列30朝向被固定在工件供給工作臺(tái)6的工件W上升?；蛘?，還可以構(gòu)成為工件供給工作臺(tái)6以及絲列30均可相互接近地移動(dòng)。

如圖3所示，在上述工件供給工作臺(tái)6上設(shè)置有用于固定工件W的工件固定部15和用于固定上述修整石41、42的磨石固定部16、17。

上述工件固定部15被設(shè)置在面向絲列30(圖1的下方側(cè))的工件供給工作臺(tái)6的下表面?zhèn)戎械纳鲜鲞M(jìn)給方向的大致中央位置，上述工件W的在長(zhǎng)邊方向上延伸的一側(cè)面沿該進(jìn)給方向被安裝。另外，在工件固定部15安裝仿形(ダミー)材等襯底，上述工件W由粘接劑等經(jīng)該襯底固定。

上述磨石固定部16、17由第1磨石固定部16和第2磨石固定部17構(gòu)成，與上述工件固定部15同樣，被分別設(shè)置在工件供給工作臺(tái)6的下表面?zhèn)取＞唧w地說，第1磨石固定部16在上述進(jìn)給方向上的與工件固定部15相比的上游側(cè)與該工件固定部15鄰接地被配置，且第2磨石固定部17在上述進(jìn)給方向上的與工件固定部15相比的下游側(cè)，與該工件固定部15鄰接地被配置。

兩個(gè)修整石41、42由粘接劑等固定在磨石固定部16、17。如圖3所示，第1修整石41被安裝在上述第1磨石固定部16，且第2修整石42被安裝在第2磨石固定部17。據(jù)此，如圖2所示，被構(gòu)成為，在上述進(jìn)給方向上，第1修整石41被配置在與固定工件W的工件固定部15相比的上游側(cè)，第2修整石42被配置在與工件固定部15相比的下游側(cè)。這些修整石41、42分別呈大致矩形的平板狀(大致長(zhǎng)方體)，被配置成在固定了工件W的狀態(tài)下，它們的板厚方向上的一方的側(cè)端面分別與工件W的長(zhǎng)度方向上的各側(cè)端面相向。

此時(shí)，第1修整石41中的與絲列30相向的前端面41a與第2修整石42的與絲列30相向的前端面42a相比向該絲列30側(cè)突出。另外，在工件W被固定在工件固定部15的狀態(tài)下，使上述第1修整石的前端面41a與和絲列30相向的工件W的前端面W1相比向該絲列30側(cè)突出。另一方面，上述第2修整石42的前端面42a在工件W被固定在工件固定部15的狀態(tài)下，從該工件W的前端面W1和絲列30離開大致相同的距離，其結(jié)果為，兩前端面42a、W1呈大致齊平面。另外，就這些修整石41、42而言，也可以經(jīng)仿形物(ダミー)固定在上述磨石固定部16、17。

第1以及第2修整石41、42被配置在形成絲列30的多個(gè)固定磨粒絲2組中的、位于上述進(jìn)給方向上的最上游側(cè)的固定磨粒絲2和同樣位于進(jìn)給方向最下游側(cè)的固定磨粒絲2之間。這樣一來，能夠由第1修整石41修整位于上述進(jìn)給方向上的與工件W相比的上游側(cè)的新的(未使用的)固定磨粒絲2，將包覆磨粒的前端(刃尖)金屬鍍敷物除去，在切削工件W前，使磨粒的刃尖露出。而且，伴隨著固定磨粒絲2的往復(fù)行走，該固定磨粒絲2通過在切削了工件W后，由該修整石41再度修整，能夠抑制由以切削工件W為起因的切削屑造成的孔堵塞。再有，也由第2修整石42修整切削上述工件W后的固定磨粒絲，使附著在固定磨粒絲的切削屑脫落，抑制上述孔堵塞。

另外，這些修整石41、42綜合考慮被粘著在固定磨粒絲2的芯材的磨粒的種類、粒徑、集中度或鍍敷層的金屬材料等，使用適宜的修整石。如上所述，由于第1修整石41主要是在切削開始前進(jìn)行固定磨粒絲2的磨粒的磨銼的修整石，所以，也可以是比第2修整石42粗糙的修整石。另外，針對(duì)修整石的板厚，能夠與固定磨粒絲2的絲徑、進(jìn)給量等相匹配地適宜地選擇。例如，在本實(shí)施方式中，使用第1修整石41的板厚為約30mm左右的修整石，能夠在絲列30接觸的狀態(tài)下，修整約100根左右的固定磨粒絲2組。

在切削上述工件W的情況下，首先，像上述那樣，將固定磨粒絲2裝配于絲鋸1，螺旋狀地纏掛在上述槽輥3-5之間，由此形成絲列30。另外，將工件W固定于上述工件供給工作臺(tái)6的工件固定部15，且將上述第1修整石41固定于同樣被設(shè)置在工件供給工作臺(tái)6的第1磨石固定部16，將第2修整石42固定于第2磨石固定部17。另外，如圖3所示，在固定了工件W和修整石41、42的狀態(tài)下，該第1以及第2修整石41、42分別被配置成它們的上述一方的側(cè)端面與工件W的上述各側(cè)端面為非接觸的狀態(tài)，但是，例如，也可以配設(shè)成這些修整石41、42中的任意一方與工件W接觸，或也可以配置成兩修整石41、42均與工件W接觸。

然后，若驅(qū)動(dòng)未圖示出的馬達(dá)，使一對(duì)絲線筒7、8旋轉(zhuǎn)，則上述固定磨粒絲2在其芯線方向上高速行走，且上述絲列30朝向上述進(jìn)給方向被依次進(jìn)給。而且，通過使工件供給工作臺(tái)6朝向該絲列30逐漸降下，一面由兩個(gè)修整石41、42修整與上述工件W相比處于進(jìn)給方向的上游側(cè)以及下游側(cè)的固定磨粒絲2，一面以絲列30的節(jié)距間隔漸漸切削被固定于該工件供給工作臺(tái)6的工件固定部15的工件W，最終，同時(shí)切斷成多張晶圓。

對(duì)固定磨粒絲2的修整方法更具體地進(jìn)行說明。首先，使該工件供給工作臺(tái)6從上述工件供給工作臺(tái)6下降前的狀態(tài)(圖3)朝向正在行走的絲列30下降一定距離。而且，如圖4所示，使被配置于在進(jìn)給方向與工件W相比的上游側(cè)的絲列30的多根固定磨粒絲2組接觸與工件W的前端面相比突出到絲列30側(cè)的第1修整石41(前端面4la)。此時(shí)，上述絲列30處于相對(duì)于上述工件W非接觸的狀態(tài)。通過一面維持該狀態(tài)一面使工件供給工作臺(tái)6漸漸下降，由此，固定磨粒絲2一面切入第1修整石41，形成槽18，一面在該修整石41的槽18內(nèi)被修整，包覆磨粒的表面的金屬鍍敷層被切掉，磨粒的刃尖露出。

另外，在開始切削該工件W前進(jìn)行的修整中，至少在遍及被搭掛于在切削時(shí)與工件W抵接的范圍的長(zhǎng)度的程度(即，被搭掛在第1以及第2修整石41、42之間的長(zhǎng)度的程度)來修整該絲2。這樣一來，可由最初起磨粒的刃尖就露出的固定磨粒絲2，開始工件W的切削。另外，在該修整中，也可以不使固定磨粒絲2往復(fù)行走，而是向一方側(cè)高速行走，據(jù)此，縮短修整所花費(fèi)的時(shí)間。

而且，在由第1修整石41在開始切削前對(duì)上述固定磨粒絲2進(jìn)行的修整完成后，使工件W的前端面W1與多個(gè)固定磨粒絲2組接觸，開始該工件W的切削(圖5)。此時(shí)，如上所述，切削工件W的多個(gè)固定磨粒絲2組已經(jīng)由第1修整石41修整，磨粒的前端(刃尖)露出。因此，能夠防止切削初期的固定磨粒絲2的鋒利不足，抑制在工件W的切削面產(chǎn)生的碎屑的生成，能夠穩(wěn)定且高精度地切削工件W。另外，構(gòu)成上述絲列30的固定磨粒絲2也與第2修整石42接觸，該第2修整石42與第1修整石41一起被切入進(jìn)去，據(jù)此，與上述工件W的上游側(cè)同樣，在工件W的下游側(cè)也對(duì)多個(gè)固定磨粒絲2組進(jìn)行修整。而且，通過進(jìn)一步使工件供給工作臺(tái)6下降，如圖6所示，固定磨粒絲2一面切入第1以及第2修整石41、42，形成槽18、19而被修整，一面切入上述工件W，形成槽50而被漸漸切削下去。另外，在最終完成工件W的切斷，進(jìn)行新的工件W的切削加工的情況下，將被載置在工件供給工作臺(tái)6的切斷加工完成后的工件W和修整石41、42更換為新品，按照上述的步驟，一面進(jìn)行固定磨粒絲2的修整一面切削工件W。

這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的固定磨粒絲鋸1，能夠以相對(duì)于工件供給工作臺(tái)6將第1修整石41在固定磨粒絲2的上述進(jìn)給方向上的與工件W相比的上游側(cè)的位置與該工件W鄰接地固定這樣簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，在開始切削該工件W前修整固定磨粒絲2，進(jìn)行磨粒的磨銼。而且，通過將該修整石41與工件W一起設(shè)置在同一工件供給工作臺(tái)6上，由此能夠容易地進(jìn)行例如工件W以及修整石的更換等維護(hù)作業(yè)等，在運(yùn)用方面也發(fā)揮優(yōu)異的效果。

另外，在本實(shí)施方式中設(shè)置有兩個(gè)修整石41、42，但是，并非限定于此。例如，在上述工件W為粘性低的坯塊的情況下等，若沒有必要一定進(jìn)行絲列30的下游側(cè)的修整，則也可以不設(shè)置第2修整石42，在第1磨石固定部16僅配備第1修整石41。另外，就修整石的形狀而言，例如也可以是面向絲列30的前端面呈圓弧狀的修整石，或像朝向絲列30呈銳角狀那樣具有尖細(xì)(或尖寬)的形狀的修整石，選擇適宜形狀的修整石。再有，在像本實(shí)施方式那樣，使上述固定磨粒絲2往復(fù)行走的情況下，與工件W的長(zhǎng)度、原料等相匹配地適宜設(shè)定該固定磨粒絲2的往復(fù)行走長(zhǎng)度(進(jìn)給量、返回量)。另外，雖然使上述工件W為四方柱狀的工件，但是，若被固定在工件固定部15，則也可以使用例如圓柱狀的坯塊。

上面，對(duì)本發(fā)明的固定磨粒絲鋸以及固定磨粒絲的修整方法進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并非被限定于上述的實(shí)施方式，當(dāng)然可在不脫離權(quán)利要求書的主旨的范圍進(jìn)行各種各樣的設(shè)計(jì)變更。