本發(fā)明涉及一種保持具接頭，其用于對(duì)下端具備切割輪(也稱劃線輪)的保持具進(jìn)行保持。本發(fā)明的保持具接頭用于如下所述基板加工裝置，該基板加工裝置通過(guò)一邊在基板表面推壓切割輪一邊進(jìn)行劃線，從而在基板上加工出劃分線(截?cái)嘤玫牟?，并進(jìn)行截?cái)?斷開(kāi))，本發(fā)明的保持具接頭尤其適用于用以形成曲線的劃分線的基板加工裝置。

背景技術(shù)：

以往，已知有如下所述基板加工裝置，其在由玻璃、硅、陶瓷、半導(dǎo)體等脆性材料構(gòu)成的基板、貼合基板(以下簡(jiǎn)稱“基板”)的表面，用切割輪形成沿著劃分預(yù)定線的劃分線，或是從截?cái)囝A(yù)定線進(jìn)行完全截?cái)?例如參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。

圖6為表示下述專利文獻(xiàn)等中公開(kāi)的以往的基板加工裝置的立體圖。

基板加工裝置b具備用于載置并保持作為加工對(duì)象的基板w的水平的載臺(tái)31。載臺(tái)31構(gòu)成為能夠通過(guò)內(nèi)置有馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部32在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，且能夠沿著水平的軌道33、33在y方向上移動(dòng)。該y方向上的移動(dòng)通過(guò)依靠馬達(dá)34而轉(zhuǎn)動(dòng)的螺旋軸35進(jìn)行。

而且，以橫跨于載臺(tái)31上的方式設(shè)置有橋38，該橋38具有隔著載臺(tái)31設(shè)置的一對(duì)支柱36、36、以及以連接這些支柱36、36的方式在x方向上水平延伸的導(dǎo)桿37。導(dǎo)桿37上設(shè)置有在x方向上水平延伸的導(dǎo)向件39，劃線頭40配置為能夠沿著導(dǎo)向件39在x方向上移動(dòng)。劃線頭40在x方向上的移動(dòng)依靠馬達(dá)41的驅(qū)動(dòng)來(lái)進(jìn)行。另外，在劃線頭40上經(jīng)由保持具接頭10可裝卸地安裝有具備切割輪21的保持具20，且在劃線頭40的內(nèi)部組裝有可使保持具接頭10升降的升降機(jī)構(gòu)(省略圖示)。

通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，在載置于載臺(tái)31上的基板w上推壓切割輪21，同時(shí)使切割輪21與載臺(tái)31中的某一方或雙方移動(dòng)，由此，能夠在基板w上沿x-y方向進(jìn)行劃線而形成劃分線，并對(duì)基板w進(jìn)行截?cái)唷?/p>

圖7～9表示保持具20以及保持具接頭10的結(jié)構(gòu)。

保持具20具備大致圓柱狀的軀干部22、以及在軀干部22的下端平行于軀干部22的軸心而形成的一對(duì)平坦面23、23，且這對(duì)平坦面23、23之間形成有與該平坦面23平行的切槽24，在該切槽24，經(jīng)由水平的輪軸25可自由旋轉(zhuǎn)地安裝有切割輪21。

另外，軀干部22的上部為用于在保持具接頭10定位并安裝的安裝部26。安裝部26由切掉圓柱狀的軀干部22的一部分而形成的平坦的垂直面26a、以及與該垂直面26a的下端連接形成的傾斜面26b構(gòu)成。傾斜面26b與輪軸25平行地形成，由此，切割輪21的朝向相對(duì)于傾斜面26b與下述的平行銷15的切線正交。另外，軀干部22由鐵等磁性體金屬構(gòu)成。

保持具接頭10在上部具備與基板加工裝置b的劃線頭40連結(jié)的軸承11，其下部為用于對(duì)保持具20進(jìn)行保持的保持部12。在保持部12的內(nèi)部設(shè)置有在上下方向上延伸且其截面大致為圓形的開(kāi)口孔13，且在其最內(nèi)部(最上端)安裝有磁體14。開(kāi)口孔13的內(nèi)徑形成為比插入的保持具20的軀干部22的外徑稍大，在與保持具20的安裝部26上的傾斜面26b的背面?zhèn)取⒓窗惭b部周面27相對(duì)的位置，設(shè)置有相對(duì)于開(kāi)口孔13的內(nèi)周面沿著垂直方向的凹狀的凹陷加工部(逃げ加工部)16。另外，在開(kāi)口孔13的與凹陷加工部16相對(duì)的內(nèi)面，也設(shè)置有為使安裝部26容易插入而使孔徑擴(kuò)大的凹陷加工部17。

進(jìn)一步，在開(kāi)口孔13的內(nèi)部，在遠(yuǎn)離開(kāi)口孔13的軸心的位置設(shè)置有在與該軸心正交的方向上延伸的定位用的平行銷15。在保持具20的安裝部26被插入保持具接頭10的開(kāi)口孔13時(shí)，該平行銷15與安裝部26的傾斜面26b接觸，將傾斜面26b背面?zhèn)鹊陌惭b部周面27向開(kāi)口孔13的內(nèi)面推壓，且以使保持具20的方向、姿勢(shì)一定的方式進(jìn)行定位。

將保持具20安裝于保持具接頭10時(shí)，將保持具20的安裝部26側(cè)插入保持具接頭10的開(kāi)口孔13并進(jìn)行安裝。若將安裝部26插入保持具接頭10的開(kāi)口孔13中，則在平行銷15與安裝部26的傾斜面26b接觸而進(jìn)行定位的同時(shí)，保持具20的上端部被磁體14吸引而被保持。由此，能夠以保持具20的姿勢(shì)自動(dòng)地朝向一定方向的狀態(tài)安裝于保持具接頭10。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開(kāi)2010-000744號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利公開(kāi)2011-218815號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

上述結(jié)構(gòu)中，在保持具接頭10的開(kāi)口孔13的與保持具20的安裝部周面27相對(duì)的內(nèi)周面上，設(shè)置有沿著垂直方向的凹狀的凹陷加工部16，因此安裝部26的傾斜面26b被平行銷15推壓時(shí)，如圖10所示，在凹陷加工部16的緣部附近，在開(kāi)口孔13的內(nèi)周面的p1、p2兩處，安裝部周面27進(jìn)行線接觸從而被保持。此時(shí)，理想情況是，如圖9的(b)所示，連結(jié)接觸點(diǎn)p1、p2的線與平行銷15平行，接觸點(diǎn)p1、p2與平行銷15的中央接觸點(diǎn)p3相連而形成的形狀為等腰三角形，平行銷15向保持具20施加的推壓力左右平衡地負(fù)載在接觸點(diǎn)p1、p2上。

通常，在加工直線的劃分線的情況下，可以維持平行銷15向保持具20施加的推壓力左右平衡地負(fù)載在接觸點(diǎn)p1、p2上的狀態(tài)。但是，在加工曲線的劃分線的情況下，由于相對(duì)于切割輪21的行進(jìn)方向的橫向的力會(huì)通過(guò)切割輪21施加在保持具20上，因此劃線后接觸點(diǎn)p1、p2可能會(huì)偏離理想的點(diǎn)。

如果發(fā)生這種現(xiàn)象，保持具的穩(wěn)定性會(huì)惡化，切割輪的位置及朝向會(huì)發(fā)生橫向偏離，從而難以高精度地加工劃分線。

因此，本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題，其目的在于，提供一種在加工曲線的劃分線的情況下也能夠消除保持具的晃動(dòng)而切實(shí)地對(duì)其進(jìn)行保持的保持具接頭。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明采取了如下技術(shù)方案。即，本發(fā)明的保持具接頭是一種對(duì)具備切割輪的保持具進(jìn)行保持的保持具接頭，其構(gòu)成為：由朝下開(kāi)口且在上下延伸的開(kāi)口孔、設(shè)置于所述開(kāi)口孔內(nèi)且與插入該開(kāi)口孔的保持具的安裝部接觸的定位部件、配置于所述開(kāi)口孔的最內(nèi)部的磁體、設(shè)置于所述開(kāi)口孔的內(nèi)面的彈性部件構(gòu)成，所述彈性部件形成為可以對(duì)插入所述開(kāi)口孔的保持具的安裝部與定位部件接觸的一側(cè)的外周面彈性地進(jìn)行推壓。

在此，優(yōu)選地，所述彈性部件由球塞形成，該球塞由筒狀的殼體、以周面的一部分從該殼體的頂端突出的狀態(tài)出沒(méi)自由地保持在所述殼體的球、以及始終對(duì)該球向突出方向施力的彈簧構(gòu)成。

(三)有益效果

本發(fā)明如上所述地構(gòu)成，因此插入保持具接頭的開(kāi)口孔的保持具在通過(guò)平行銷與保持具的傾斜面的接觸而被定位的同時(shí)，以通過(guò)彈性部件使設(shè)置有傾斜面的一側(cè)的外周面被彈性地推壓的狀態(tài)被保持。由此，對(duì)保持具接頭的保持夾頭(チップホルダ)進(jìn)行保持的力增大，在進(jìn)行曲線的劃線加工等的、切割輪受到相對(duì)于其行進(jìn)方向的橫向的力的情況下，也能夠消除保持具在保持具接頭內(nèi)的晃動(dòng)而切實(shí)地對(duì)其進(jìn)行保持，能夠高精度地加工劃分線。另外，在進(jìn)行直線的劃線加工的情況下，也能抑制因施加突發(fā)力而引發(fā)的保持具在保持具接頭內(nèi)的搖動(dòng)，因此，能夠使劃線精度更加穩(wěn)定。

另外，在本發(fā)明中，較佳地構(gòu)成為，所述彈性部件設(shè)置于所述開(kāi)口孔的開(kāi)口部附近且遠(yuǎn)離所述定位部件的下方位置。

由此，能夠在上方的平行銷與下方的彈性部件這上下兩處推壓保持具軀干部，能夠更穩(wěn)定地對(duì)保持具進(jìn)行保持。

附圖說(shuō)明

圖1為表示本發(fā)明的保持具接頭與安裝于該保持具接頭的保持具的立體圖。

圖2為表示圖1的保持具接頭的構(gòu)造的縱截面圖與橫截面圖。

圖3為表示圖1的保持具接頭的保持具安裝狀態(tài)的縱截面圖與橫截面圖。

圖4為表示本發(fā)明的保持具接頭的另一實(shí)施例的橫截面圖。

圖5為表示圖4的保持具接頭的保持具安裝狀態(tài)的橫截面圖。

圖6為表示使用了保持具接頭的基板加工裝置的立體圖。

圖7為表示安裝于保持具接頭的保持具的立體圖。

圖8為表示以往的保持具接頭的構(gòu)造的縱截面圖與保持部的仰視圖。

圖9為表示圖8的保持具接頭的保持具安裝狀態(tài)的縱截面圖與c-c線截面的放大圖。

圖10為表示以往的保持具接頭上的保持具的接觸點(diǎn)的說(shuō)明圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

a-保持具接頭；1-軸承；2-保持部；3-開(kāi)口孔；4-磁體；5-平行銷；7-彈性部件；7a-殼體；7b-球；7c-彈簧；20-保持具；21-切割輪；22-軀干部；26-安裝部；26b-傾斜面；27-安裝部周面。

具體實(shí)施方式

以下將基于表示實(shí)施方式的附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

圖1～3示出了本發(fā)明的保持具接頭a，與之連接的保持具20與上述圖7的保持具20相同。

保持具接頭a在上部具備軸承1，下部為對(duì)保持具20進(jìn)行保持的保持部2，該保持具接頭a利用上部的軸承1的部分可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于基板加工裝置b(參照?qǐng)D6)的劃線頭40。在保持部2的內(nèi)部，設(shè)置有在上下方向上延伸的開(kāi)口孔3，且在最內(nèi)部安裝有磁體4。

在開(kāi)口孔3的內(nèi)部，作為定位部件，在遠(yuǎn)離開(kāi)口孔3的軸心的位置設(shè)置有在與該軸心正交的方向上延伸的定位用的平行銷5。在保持具20被插入開(kāi)口孔3時(shí)，該平行銷5與保持具20的傾斜面26b接觸，將傾斜面26b背面?zhèn)鹊陌惭b部周面27向相對(duì)的開(kāi)口孔3的內(nèi)面推壓，且以使保持具20的方向、姿勢(shì)一定的方式進(jìn)行定位。

開(kāi)口孔3的內(nèi)徑形成為比插入的保持具20的軀干部22的外徑稍大，另外，在與保持具20的安裝部26上的傾斜面26b的背面?zhèn)?、即安裝部周面27相對(duì)的位置，設(shè)置有相對(duì)于開(kāi)口孔3的內(nèi)周面沿著垂直方向的凹狀的凹陷加工部6。另外，在開(kāi)口孔3的與凹陷加工部6相對(duì)的內(nèi)面，也設(shè)置有為使安裝部26容易插入而使孔徑括大的凹陷加工部8。

以上結(jié)構(gòu)與圖8所示的以往的保持具接頭的結(jié)構(gòu)相同。

進(jìn)一步，在本發(fā)明在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，還在保持具接頭a的開(kāi)口孔3的內(nèi)面設(shè)置有將插入該開(kāi)口孔3的保持具20的軀干部22向凹陷加工部6的方向彈性地推壓的彈性部件7，在本實(shí)施例中，作為彈性部件7，使用球塞來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。

彈性部件(球塞)7是由筒狀的殼體7a、以周面的一部分從殼體7a的頂端突出的狀態(tài)出沒(méi)自由地保持在殼體7a的球7b、以及始終對(duì)該球7b向突出方向施力的彈簧7c構(gòu)成，安裝于保持具接頭a的開(kāi)口孔3的開(kāi)口部附近且遠(yuǎn)離平行銷5的下方位置。

在這樣的結(jié)構(gòu)中，將保持具20安裝于保持具接頭a時(shí)，如圖3的(a)所示，首先將保持具20的安裝部26側(cè)插入保持具接頭a的開(kāi)口孔3并進(jìn)行安裝。由此，在平行銷5與安裝部26的傾斜面26b接觸而進(jìn)行定位的同時(shí)，保持具20的上端部被磁體4吸引而被保持。這時(shí)，通過(guò)磁體4拉升保持具20，因此安裝部26的傾斜面26b與平行銷5接觸且被其推壓，且以使保持具20的位置、姿勢(shì)一定的方式進(jìn)行定位，同時(shí)如圖3的(b)所示，保持具20的安裝部周面27在凹陷加工部6的緣部附近與開(kāi)口孔3的內(nèi)周面線接觸而被保持。

另外，與此同時(shí)，通過(guò)由彈性部件7將插入開(kāi)口孔3的保持具20的軀干部22向凹陷加工部6彈性地推壓，由此，在進(jìn)行曲線的劃線加工等的、保持具20受到相對(duì)于切割輪21的行進(jìn)方向的橫向的力的情況下，也能夠消除晃動(dòng)而切實(shí)地保持于保持具接頭a。

此外，通過(guò)將彈性部件7的安裝位置設(shè)置于開(kāi)口孔3的開(kāi)口部附近且遠(yuǎn)離平行銷5的下方位置，由此，能夠在上方的平行銷5與下方的彈性部件7這上下兩處推壓保持具20的軀干部22，能夠進(jìn)一步提高安裝保持具20時(shí)的穩(wěn)定性。

圖4表示對(duì)保持具接頭的開(kāi)口孔的形狀進(jìn)行了一些變更的另一實(shí)施例。在該實(shí)施例中，在開(kāi)口孔3’的內(nèi)面，沿著垂直方向形成有以在俯視視角下呈v字形的方式左右對(duì)稱地配置的一對(duì)平坦面9、9。這些左右的平坦面9、9分布在與平行銷5的中央正交的水平的虛擬直線l的左右而形成，且形成為在保持具20被插入開(kāi)口孔3’時(shí)與保持具20的安裝部周面27接觸。較佳地，該左右的平坦面9、9所呈的角度α形成在50～100度的范圍內(nèi)，優(yōu)選形成在60度。

在該實(shí)施例中，如圖5所示，在將保持具20插入開(kāi)口孔3’時(shí)，通過(guò)彈性部件7以及平行銷5的推壓，可以使保持具20的安裝部周面27切實(shí)地與呈v字形配置的左右的平坦面9、9接觸并對(duì)保持具20的安裝部周面27進(jìn)行保持，由此，能夠進(jìn)一步提高對(duì)保持具20進(jìn)行保持時(shí)的穩(wěn)定性。

以上對(duì)本發(fā)明代表性的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不一定被特定為上述實(shí)施方式。例如，在上述實(shí)施例中，作為彈性部件7，使用了球塞來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但也可以使用板簧等彈性材料代替球塞。另外，作為定位部件，只要在保持具20被插入保持具接頭10的開(kāi)口孔13并被磁體4拉升時(shí)，能夠?qū)惭b部26背面?zhèn)鹊陌惭b部周面27向開(kāi)口孔13的內(nèi)面推壓即可，可以設(shè)為球等任意形狀來(lái)代替平行銷。在該情況下，安裝部26的形狀也可以根據(jù)定位部件的形狀而變更。

此外，在本發(fā)明中，在實(shí)現(xiàn)其目的且不脫離權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行適當(dāng)修改、變更。

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明能夠在如下基板加工裝置中用作對(duì)切割輪的保持具進(jìn)行保持的保持具接頭，該基板加工裝置通過(guò)一邊在基板表面推壓切割輪一邊進(jìn)行劃線，從而在基板上加工出截?cái)嘤玫膭澐志€，并截?cái)嗷濉?/p>