本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種切割機(jī)卡具。

背景技術(shù)：

砷化鎵晶棒加工流程是先將晶棒斷面角度進(jìn)行加工，目前比較通用的方法是使用內(nèi)圓鋸將晶棒的斷面切割出來(lái)，如圖1所示，現(xiàn)有的卡具100包括內(nèi)圓鋸座1、石墨墊2和拓展卡座3，拓展卡座3與內(nèi)圓鋸座1下方平行連接，拓展卡座3開(kāi)有用于卡住石墨墊2的卡槽31。石墨墊2兩側(cè)開(kāi)有卡槽口21，與卡槽31配合相嵌。卡槽31外壁開(kāi)設(shè)有用于插入螺釘?shù)穆菘?2，拓展卡座3與石墨墊2通過(guò)螺釘33固定卡住。

當(dāng)需要對(duì)晶棒4進(jìn)行切割時(shí)，為了使得晶棒4在切割過(guò)程中不被高溫?fù)p壞，首先需要將晶棒4固定在石墨墊2上，石墨墊2的上表面與晶棒4的底部接觸面完全接觸，需要說(shuō)明的是晶棒4可以是通過(guò)高粘度膠水固定在石墨墊2上，例如環(huán)氧樹(shù)脂膠，將兩側(cè)開(kāi)有卡槽口21的石墨墊2卡入拓展卡座3，使得卡槽口21與拓展卡座3的卡槽31完美相嵌，通過(guò)卡槽31外壁的螺口32，將螺釘33插入螺口32對(duì)石墨墊2進(jìn)一步固定，最后，將固定有晶棒4和石墨墊2的卡具100安裝進(jìn)切割機(jī)對(duì)晶棒4進(jìn)行切割。

然而，現(xiàn)有的卡具100只能切割長(zhǎng)度大于40mm的晶棒，并且只能切割出一個(gè)面，小于40mm的晶棒只能通過(guò)膠粘接在石墨上加長(zhǎng)的方法加工。晶棒與石墨的粘接時(shí)間在1個(gè)小時(shí)以上，膠和石墨的使用成本也很高，并且在加工完晶棒角度后還需要將石墨和晶棒分離，在分離過(guò)程中也容易損傷晶棒。

因此，有必要設(shè)計(jì)一種新的卡具以解決上述技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何固定短晶棒并加工、如何提高切割效率。

為實(shí)現(xiàn)前述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：一種卡具，用于晶棒的固定加工，其包括一內(nèi)圓鋸座，所述內(nèi)圓鋸座包括一座體以及固定在座體一端的止擋部，所述卡具還包括固定在內(nèi)圓鋸座另一端上的一卡圈，所述卡圈與止擋部前后相對(duì)設(shè)置，所述座體上開(kāi)設(shè)了一槽，所述卡圈包括一外圈、一內(nèi)圈以及兩固定腳，所述兩固定腳分別固定連接在槽左右兩側(cè)，所述晶棒前后貫穿內(nèi)圈，所述卡圈頂部還設(shè)置有用于緊固晶棒的螺口和螺栓。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述卡圈頂部至少設(shè)置有間隔開(kāi)的兩螺口和兩螺栓。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述卡圈內(nèi)圈呈圓弧形，所述卡圈外圈為六邊形的一部分。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述晶棒與槽兩邊緣抵接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述晶棒與槽兩邊緣之間墊設(shè)有PP固定條。

本實(shí)用新型卡具通過(guò)結(jié)構(gòu)改進(jìn)，無(wú)需用到膠，即可固定晶棒，該卡具適用于長(zhǎng)度小于40mm的晶棒，提高了晶棒切割加工的效率。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有的卡具的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型卡具的實(shí)施例在第一視角下的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型卡具的實(shí)施例在第一視角下的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖2、3，用于晶棒300固定加工的一種卡具200，其包括一內(nèi)圓鋸座210，內(nèi)圓鋸座210包括一座體211以及固定在座體211一端的止擋部212，卡具200還包括固定在座體211另一端上的一卡圈220，卡圈220與止擋部212前后相對(duì)設(shè)置，座體211上開(kāi)設(shè)了一槽2111，卡圈220包括一外圈221、一內(nèi)圈222以及兩固定腳223，兩固定腳223分別固定連接在槽2111左右兩側(cè)，晶棒300前后貫穿內(nèi)圈222，卡圈220頂部還設(shè)置有用于緊固晶棒300的螺口224和螺栓225。

在本實(shí)用新型的某些實(shí)施例中，卡圈220頂部至少設(shè)置有間隔開(kāi)的兩螺口224和兩螺栓225。如圖3所示，在本實(shí)用新型中，卡圈220頂部設(shè)置有三個(gè)螺口224，但僅有兩個(gè)螺口224分別緊固有一個(gè)螺栓225。

在本實(shí)用新型的某些實(shí)施例中，卡圈內(nèi)圈222呈圓弧形，卡圈外圈221為六邊形的一部分。

在本實(shí)用新型的某些實(shí)施例中，晶棒300與槽2111兩邊緣抵接。在本實(shí)用新型的另一些實(shí)施例中，晶棒300與槽2111兩邊緣之間墊設(shè)有PP固定條230，固定條230用于在切割過(guò)程中起緩沖作用保護(hù)晶棒不被損傷。

因晶棒300貫穿卡圈內(nèi)圈222，而后依靠螺口224和兩螺栓225完全固定，即便是長(zhǎng)度小于40mm的晶棒也可以直接放入切割機(jī)中切割，因此，省去了膠和石墨黏貼的時(shí)間，切割效率提高。

本實(shí)用新型卡具200通過(guò)結(jié)構(gòu)改進(jìn)，無(wú)需用到膠，即可固定晶棒300，該卡具適用于長(zhǎng)度小于40mm的晶棒，提高了晶棒切割加工的效率。

盡管為示例目的，已經(jīng)公開(kāi)了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將意識(shí)到，在不脫離由所附的權(quán)利要求書(shū)公開(kāi)的本實(shí)用新型的范圍和精神的情況下，各種改進(jìn)、增加以及取代是可能的。