本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶棒固定裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的日趨激烈，降低能耗、節(jié)省成本、提升良率成為技術(shù)發(fā)展的核心。晶棒切割首先需要將晶棒固定在工件板上，然后再切割。現(xiàn)有晶棒切割工藝中，圓柱狀的半導(dǎo)體晶棒粘在工件板上切割，為了防止切到工件板，在半導(dǎo)體晶棒與工件板之間通常設(shè)置樹脂條，一方面作為晶棒的支撐體，另一方面保護(hù)了工件板。

參閱圖1，現(xiàn)有的方法是將樹脂條通過環(huán)氧膠粘接在工件板上，晶棒通過環(huán)氧膠粘接在樹脂條上。通常切割要切入樹脂條才能將晶圓切下，所以每切一根晶棒樹脂條需要更換。刀具切下的晶圓與樹脂條剝離后，殘留的樹脂條與工件板由于粘接在一起，需要高溫烘烤才能分離。烘箱加熱板的溫度要300度，時(shí)間約1小時(shí)，環(huán)氧膠在烘烤時(shí)產(chǎn)生刺鼻的異味與煙，多次的高溫加熱會(huì)引起工件板的變形，影響粘接效果，從而影響再次使用。

切割晶棒的過程由于工件板脫膠困難，給樹脂條更換帶來不便，切割效率低。因此，提供一種方便更換樹脂條的裝置，是提高晶片切割效率的重要問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶棒固定裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中樹脂條與工件板直接粘接，造成樹脂條更換困難的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種晶棒固定裝置，包括工件板、樹脂條以及連接部件，所述連接部件將所述樹脂條固定在所述工件板上。

可選的，所述連接部件包括若干個(gè)螺栓。

可選的，所述工件板上具有若干個(gè)通孔，所述樹脂條上具有若干個(gè)螺紋孔，每個(gè)螺栓通過一個(gè)通孔和一個(gè)螺紋孔將所述樹脂條固定在所述工件板上。

可選的，所述連接部件還包括一鋼板，所述樹脂條固定于所述鋼板上，所述工件板上具有若干個(gè)通孔，所述鋼板上具有若干個(gè)螺紋孔，每個(gè)螺栓通過一個(gè)通孔和一個(gè)螺紋孔將所述鋼板固定在所述工件板上；所述樹脂條利用膠水粘接在所述鋼板上。

可選的，所述連接部件包括：第一夾持單元、第二夾持單元、推進(jìn)裝置以及鎖緊樁，所述第一夾持單元與所述鎖緊樁分別設(shè)置于所述工件板的兩側(cè)，并且相對(duì)設(shè)置，所述第二夾持單元位于所述第一夾持單元和所述鎖緊樁之間，并通過所述推進(jìn)裝置連接在所述鎖緊樁上。

可選的，所述第一夾持單元和所述第二夾持單元均包括一鋸齒狀側(cè)面，所述第一夾持單元的鋸齒狀側(cè)面朝向所述第二夾持單元的鋸齒狀側(cè)面。

可選的，所述第二夾持單元具有一凹陷部，所述鎖緊樁具有一螺紋孔，所述推進(jìn)裝置為一鎖緊旋桿，所述鎖緊旋桿包括依次連接的手柄、螺紋桿以及旋桿凸起部；

其中，所述螺紋桿旋合在所述螺紋孔中，所述旋桿凸起部設(shè)置于所述凹陷部中。

可選的，所述第二夾持單元具有一凹陷部，所述推進(jìn)裝置為一氣缸，所述氣缸包括一活塞桿，所述活塞桿的端部具有活塞桿凸起部；

其中，所述氣缸固定在所述鎖緊樁上，所述活塞桿凸起部設(shè)置于所述凹陷部中。

可選的，所述第一夾持單元與所述鎖緊樁分別通過螺栓固定設(shè)置于所述工件板的兩側(cè)。

可選的，所述第一夾持單元與所述鎖緊樁分別焊接在所述工件板的兩側(cè)。

在本實(shí)用新型提供的晶棒固定裝置中，利用連接部件實(shí)現(xiàn)樹脂條與工件板的連接，從而避免了樹脂條直接粘在工件板上，造成樹脂條更換困難的問題，也有效的保護(hù)了工件板，提高了工件板的使用壽命；進(jìn)一步，通過夾持機(jī)構(gòu)，提高了晶棒固定的自動(dòng)化程度。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中晶棒固定裝置固定晶棒的示意圖；

圖2是本申請(qǐng)實(shí)施例一中晶棒固定裝置的示意圖；

圖3是本申請(qǐng)實(shí)施例一中晶棒固定裝置的示意圖；

圖4是本申請(qǐng)實(shí)施例二中晶棒固定裝置的示意圖；

圖5是本申請(qǐng)實(shí)施例二中晶棒固定裝置的示意圖；

圖中：1-晶棒；2-膠層；3-樹脂條；4-工件板；5-螺栓；6-鋼板；71-第一夾持單元；72-第二夾持單元；81-鎖緊旋桿；82-鎖緊樁；83-氣缸。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的晶棒固定裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

實(shí)施例一

參閱圖2，其具體示出的是本實(shí)施例中晶棒固定裝置的示意圖，本實(shí)施例中晶棒固定裝置通過連接部件將樹脂條3固定在工件板上4，連接部件可以是若干個(gè)螺栓。該方案中的晶棒固定裝置，包括工件板4、樹脂條3以及連接部件，連接部件將樹脂條3固定在工件板4上。在晶棒切割時(shí)，連接部件將樹脂條3固定在工件板4上，切割完畢后，連接部件將樹脂條3從工件板4上卸下，由于樹脂條3和工件板4之間沒有使用膠水粘接，所以樹脂條3不會(huì)殘留在工件板4難以去除。

連接部件可以為若干個(gè)螺栓5，具體的，在樹脂條3的平面鉆若干個(gè)螺紋孔(可選為12個(gè)M8螺紋孔)，孔深度為10mm，約樹脂條3厚度的一半，在工件板4的相對(duì)應(yīng)位置鉆12個(gè)Φ8通孔，通過螺栓5鎖緊工件板4與樹脂條3。在連接樹脂條3時(shí)，只需通過螺栓5穿過Φ8通孔，然后旋合在M8螺紋孔上即可；在切割完成后，松懈螺栓5，即可實(shí)現(xiàn)工件板4與樹脂條3的分離。

進(jìn)一步，為了簡(jiǎn)化工序，避免在每個(gè)樹脂條3上都鉆孔，連接部件還可以設(shè)置一鋼板6，具體參閱圖3。螺栓5只需和鋼板6連接，然后將樹脂條3粘接在鋼板6上。每次更換樹脂3條時(shí)候，只需卸下鋼板6進(jìn)行常溫清理，不影響工件板4的使用。具體的，在鋼板6上鉆若干個(gè)螺紋孔(可選為12個(gè)M8螺紋孔)，在工件板4的相對(duì)應(yīng)位置鉆12個(gè)Φ8通孔，每個(gè)螺栓5通過一個(gè)通孔和一個(gè)螺紋孔將鋼板6固定在工件板4上；樹脂條3利用膠水粘接在鋼板6上。較佳的，鋼板6可以使不銹鋼板。

實(shí)施例二

參閱圖4，其示出的是實(shí)施例二中晶棒固定裝置的示意圖。與實(shí)施例一不同的是，本實(shí)施中的連接部件為一夾持機(jī)構(gòu)，包括：第一夾持單元71、第二夾持單元72、推進(jìn)裝置以及鎖緊樁82，第一夾持單元71與鎖緊樁82相對(duì)設(shè)置，第一夾持單元71固定在工件板4的一側(cè)，鎖緊樁82固定在工件板4的另一側(cè)，第二夾持單元72位于第一夾持單元71和鎖緊樁82之間，并通過推進(jìn)裝置連接在鎖緊樁82上。在晶棒切割時(shí)，利用第一夾持單元71和第二夾持單元72將樹脂條3夾緊，從而使樹脂條3固定在工件板4上，晶棒切割完成后，松下第一夾持單元71的預(yù)緊力即可實(shí)現(xiàn)樹脂條3與工件板4的脫離。

具體的，樹脂條3厚度約20mm-30mm，切割結(jié)束時(shí)樹脂條3的切入深度在10mm左右。為了避免連接部件影響刀具的切割，所以連接部件在刀具切割方向的高度不能超過10mm。由于第一夾持單元71和第二夾持單元72是最靠近樹脂條3的，所以可以只控制第一夾持單元71和第二夾持單元72的高度不超過10mm即可。

進(jìn)一步，第一夾持單元71和第二夾持單元72均包括一鋸齒狀側(cè)面，用于在夾持過程中防止樹脂條3滑動(dòng)。第一夾持單元71的鋸齒狀側(cè)面朝向第二夾持單元72的鋸齒狀側(cè)面，第二夾持單元72的鋸齒狀側(cè)面朝向第一夾持單元71的鋸齒狀側(cè)面。

推進(jìn)裝置用于給第二夾持單元72施加預(yù)緊力。推進(jìn)裝置可以為一鎖緊旋桿81，鎖緊旋桿81包括依次連接的手柄、螺紋桿以及旋桿凸起部；

第二夾持單元72具有一凹陷部，凹陷部朝向鎖緊樁82；鎖緊樁82具有一螺紋孔；螺紋桿旋合在螺紋孔中，旋桿凸起部設(shè)置于凹陷部中；從而，利用手柄旋動(dòng)螺紋桿即可實(shí)現(xiàn)旋桿凸起部的左右移動(dòng)，進(jìn)一步推動(dòng)第二夾持單元72使之夾緊或松卸樹脂條3。

為了進(jìn)一步提高自動(dòng)化程度，推進(jìn)裝置也可以為氣缸83(參閱圖5)，氣缸83包括一活塞桿，活塞桿的端部具有活塞桿凸起部；第二夾持單元72具有一凹陷部，凹陷部朝向鎖緊樁82；在鎖緊樁82上開設(shè)一通孔，活塞桿穿過通孔與第二夾持單元72連接，氣缸83固定在鎖緊樁82上，活塞桿凸起部設(shè)置于第二夾持單元72的凹陷部中。從而利用氣缸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的夾持。

鎖緊樁82可以是一鋼塊或鋁塊，第一夾持單元71通過螺栓5固定在工件板4的一側(cè)，鎖緊樁82通過螺栓5固定在工件板4的另一側(cè)。也可以通過焊接實(shí)現(xiàn)固定，具體的，第一夾持單元71焊接在工件板4的一側(cè)，鎖緊樁82焊接在工件板4的另一側(cè)。

具體的，第一夾持單元71和第二夾持單元72可以是鋼板、鋼塊、鋁板或鋁塊等。

綜上，本申請(qǐng)?zhí)峁┑木О艄潭ㄑb置利用連接部件實(shí)現(xiàn)樹脂條與工件板的連接，從而避免了樹脂條直接粘在工件板上，造成樹脂條更換困難的問題，也有效的保護(hù)了工件板，提高了工件板的使用壽命；進(jìn)一步，通過夾持機(jī)構(gòu)，提高了晶棒固定的自動(dòng)化程度。

本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的系統(tǒng)而言，由于與實(shí)施例公開的方法相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。

上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。