本實(shí)用新型涉及一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置，具體涉及一種高密度陶瓷靶材生胚成型裝置，屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著全球電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，薄膜材料的使用越來越頻繁，靶材的性能對薄膜材料的生產(chǎn)至關(guān)重要。而陶瓷靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等；亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域；還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。以往陶瓷靶材的生產(chǎn)制作主要是粉末冶金法包括粉末壓制燒結(jié)法、粉末熱等靜壓法等。用此類方法幾乎可以生產(chǎn)出所有種類的陶瓷靶材，而且可以達(dá)到較高的靶材密度，然而此類方法不僅生產(chǎn)周期長、工序復(fù)雜而且生產(chǎn)成本高。近年來諸如AZO、TiO₂等陶瓷靶材生產(chǎn)都采用相對簡便的高溫?zé)Y(jié)法生產(chǎn)，其最大的困難是用石膏注漿成型法生產(chǎn)出一定密度的生胚再控制好燒結(jié)氣氛加以燒結(jié)。生胚生產(chǎn)過程主要是將陶瓷粉料配成具有流動(dòng)性的泥漿，然后注入多孔模具內(nèi)(主要為石膏模)，水分在被石膏吸入后便形成了具有一定厚度的均勻泥層，脫水干燥過程中同時(shí)形成具有一定強(qiáng)度的坯體，然而用此類方法制造存在以下缺點(diǎn)：

(1) 無法精確控制注漿量。

(2) 石膏注漿成型胚體含水量高達(dá)50%-70%，燒成時(shí)容易變形。

(3) 石膏注漿成型胚體密度小，收縮大，不容易控制形狀。

(4)生產(chǎn)周期長，一般需要幾天甚至更長。

(5)模具損耗大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置，相比普通石膏注漿成型該裝置操作方便，成型速度快，并可生產(chǎn)出高密度陶瓷靶材生胚。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置，包括上模具、下模具、半透膜濾布和真空抽濾機(jī)，所述上模具嵌套于所述下模具中，所述半透膜濾布設(shè)置于所述上模具和所述下模具之間，所述上模具底部設(shè)置有網(wǎng)格，所述下模具底部設(shè)置有一連接口，所述真空抽濾機(jī)包括抽濾瓶和真空泵，所述抽濾瓶入口端通過所述連接口與所述下模具連通，所述抽濾瓶出口端與所述真空泵連通。

其中，所述上模具與所述下模具過盈配合。

其中，所述上模具與所述下模具的嵌套結(jié)合處設(shè)置密封膠。

其中，所述上模具側(cè)壁設(shè)置有刻度。

其中，所述網(wǎng)格目數(shù)為200目。

其中，所述連接口的直徑為6mm。

其中，所述半透膜濾布的過濾等級(jí)為納米等級(jí)。

相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型有如下優(yōu)勢：

1、對比石膏注漿成型胚體該實(shí)用新型生產(chǎn)過程全程可視，操作簡便，本實(shí)用新型可以通過上模具刻度實(shí)際精確控制胚體厚度從而計(jì)算出胚體水分占比避免出現(xiàn)異常。

2、通過本實(shí)用新型成型胚體的含水比重可以降到10%-15%，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于石膏注漿成型胚體的含水比重50-70%。

3、通過真空泵持續(xù)抽氣實(shí)現(xiàn)加壓，因而胚體更為密實(shí)均勻，可制造出高密度陶瓷靶材生胚，比石膏注漿成型胚體密度高10-20%。

4、成型速度快，整個(gè)過程只需要30min，生產(chǎn)時(shí)間大大縮短。

5、上模具和下模具成本低，可多次循環(huán)使用，易損件只有半透膜濾布，如有損壞只需重新更換半透膜濾布即可。

6、脫模簡便，解決接觸面與胚體其它位置水分占比差異。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置的整體示意圖；

圖2為上模具的俯視圖；

圖3為下模具的俯視圖；

圖4為上模具和下模具的裝配后的俯視圖；

圖5為上模具和下模具裝配后的剖視圖；

圖6為圖5中A處局部放大圖。

圖中附圖標(biāo)記表示為：

1-上模具、2-下模具、3-半透膜濾布、4-真空抽濾機(jī)、41-抽濾瓶、42-真空泵、5-連接口、6-網(wǎng)格、7-密封膠。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例來對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的說明。

參見圖1至圖5，一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置，包括上模具1、下模具2、半透膜濾布3和真空抽濾機(jī)4，所述上模具1嵌套于所述下模具2中，參見圖5，所述半透膜濾布3設(shè)置于所述上模具1和所述下模具2之間，所述上模具1底部設(shè)置有網(wǎng)格6，所述下模具2底部設(shè)置有一連接口5，所述真空抽濾機(jī)4包括抽濾瓶41和真空泵42，所述抽濾瓶41入口端通過所述連接口5與所述下模具2連通，所述抽濾瓶41出口端與所述真空泵42連通。

所述上模具1與所述下模具2過盈配合，過盈配合是為了進(jìn)一步保障所述上模具1與所述下模具2連接的緊密度。

參見圖6，所述上模具1與所述下模具2的嵌套結(jié)合處設(shè)置密封膠7，進(jìn)一步保障所述上模具1與所述下模具2連接的牢固度。

參見圖5，所述上模具1側(cè)壁設(shè)置有刻度，可以精確控制陶瓷靶材生胚厚度。

所述網(wǎng)格6目數(shù)為200目。

所述連接口5的直徑為6mm。

所述半透膜濾布3的過濾等級(jí)為納米等級(jí)。

一種高密度陶瓷靶材生胚的制造裝置工作過程為：檢查上模具1、下模具2、半透膜濾布3和真空抽濾機(jī)4，確定氣密性良好后，將混合好的漿料沿著上模具1的邊緣加入到上模具1中，打開真空泵42，由于下模具2空氣陸續(xù)被抽出，下模具2氣壓遠(yuǎn)小于上模具1的氣壓，水分開始透過上模具1底部的網(wǎng)格6和半透膜濾布3，并通過連接口5進(jìn)入抽濾瓶41干燥，整個(gè)過程約為30min即可完成。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。