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脆性基板的分割方法與流程

文檔序號(hào):11373344閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種脆性基板的分割方法,在具有三個(gè)面所匯合的頂點(diǎn)的刀尖以其棱線為后側(cè)滑動(dòng)的情況下,易于準(zhǔn)備刀尖,并且確保刀尖足夠的壽命。準(zhǔn)備刀尖,刀尖具有第一面(SD1)、第二面(SD2)和第三面(SD3),第二面(SD2)與第一面(SD1)相鄰,第三面(SD3)通過與第二面(SD2)相鄰而形成棱線、并且通過與第一面(SD1)和第二面(SD2)的每一個(gè)相鄰而形成頂點(diǎn)。棱線為未進(jìn)行倒角加工的棱線。在脆性基板(4)的一個(gè)面(SF1)上使刀尖(51)向著從棱線(PS)朝向第一面(SD1)的方向滑動(dòng),從而在脆性基板(4)的一個(gè)面(SF1)上以無裂紋狀態(tài)形成具有槽形狀的溝槽線(TL)。沿溝槽線(TL)形成裂紋線(CL)。沿裂紋線(CL)分割脆性基板(4)。

技術(shù)研發(fā)人員:曾山浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星鉆石工業(yè)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.23
技術(shù)公布日:2017.09.05
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