本發(fā)明涉及多線切割太陽能級(jí)硅片的方法，特別是一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法。

背景技術(shù)：

太陽能是一種可再生的清潔能源，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣泛，光伏發(fā)電就是最重要的領(lǐng)域之一，根據(jù)光生伏特效應(yīng)原理，利用太陽能電池將太陽能直接轉(zhuǎn)化為電能。硅片是太陽能電池的重要組成部分，目前硅片的制備工藝幾乎都是采用一種多線切割的方法將晶體硅棒切割成所需厚度的硅片。多線切割主要分為兩種：(1)游離磨粒切割，即用細(xì)絲鋼線帶動(dòng)粒徑為8-20um的sic漿液，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體硅的磨削切割，又稱砂線切割；(2)固結(jié)磨粒切割，即先給細(xì)鋼線上電鍍一層直徑8-16um或6-12um的金剛石微粒，然后用電鍍好的細(xì)線切割晶體棒，又稱金剛線切割。隨著技術(shù)的改進(jìn)，市場需求越來越大，砂線切割效率低，且切割過程中使用的油性切割液對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染，因此砂線切割已經(jīng)逐漸被淘汰。金剛線切割由于切割效率高，成本低，環(huán)保壓力小而迅速受到市場青睞。然而，采用現(xiàn)有的金剛線及切割工藝，每切割一個(gè)工件，所需要的時(shí)間為3-4小時(shí)甚至更高，這無論是從企業(yè)盈利方向，還是從市場需求來看，效率還是不能滿足要求。

中國專利文獻(xiàn)cn104476686b公開了一種使用超高密度金剛石線切割太陽能級(jí)硅片的方法，其包括如下步驟：(1)粘棒固定；(2)安裝超高密度金剛石線；(3)線切；(4)清洗檢測。該專利采用超高密度金剛石線切割太陽能級(jí)硅片，提高硅片質(zhì)量和設(shè)備產(chǎn)能，然而該專利切割一個(gè)工件需要3小時(shí)左右，生產(chǎn)效率低，難以滿足目前市場快速需求的狀態(tài)。

中國專利文獻(xiàn)cn106217665a公開了一種超細(xì)鋼線切割超薄硅片方法，其包括如下步驟：(1)主軸開槽；(2)粘棒；(3)配置冷卻液；(4)切割；(5)下料；(6)脫膠、清洗；(7)檢測。該專利采用60um母線金剛線在日本安永tv600最新切片機(jī)型上切割，線速1600m/min，主切割速度1.1-1.3mm/min，推算切割時(shí)間為2.5小時(shí)左右。同時(shí)需要指出的是，該機(jī)型的各項(xiàng)參數(shù)比目前行業(yè)主流機(jī)型高很多(例如線速度1200m/min低于該機(jī)型的1600m/min)，如果按該專利方法在普通機(jī)型上應(yīng)用則切割時(shí)間可能會(huì)達(dá)到3.5小時(shí)左右。

目前市場上的電鍍金剛線在保證產(chǎn)品品質(zhì)不受影響的情況下，很難在2小時(shí)以內(nèi)完成對(duì)8.4inch、650mm長晶體硅棒的順利切割，更進(jìn)一步說要想在1小時(shí)內(nèi)順利切割時(shí)非常困難的。本申請(qǐng)人在申請(qǐng)?zhí)?01710386263.4中提供了一種將切割速度提高至現(xiàn)有技術(shù)的2～3倍，并采用改進(jìn)的逐漸遞進(jìn)或先反向后正向的切割方法進(jìn)行切割，并調(diào)整切割過程中冷卻液在開始切割時(shí)調(diào)節(jié)到最小或者關(guān)掉，切割一定深度后再調(diào)節(jié)到合適流量，縮短切割時(shí)間，保證了切割品質(zhì)。然而，該專利切割時(shí)間僅縮短到1.5～2h，還未能實(shí)現(xiàn)在1h內(nèi)完成切割。

上述問題的主要原因是電鍍金剛線高效切割必須要提高切割速度，從而帶來線弓的增加。1)在切割時(shí)間＜2h時(shí)，帶來線弓明顯增加，到設(shè)備最大行程時(shí)(切割結(jié)束時(shí))線弓依然較大，進(jìn)而導(dǎo)致切不透，最終需要通過增加更多新線量供給、更多切割時(shí)間才能完成剩余切割；2)在切割時(shí)間≤1h時(shí)，帶來線弓快速增加，同時(shí)帶來設(shè)備負(fù)載迅速增加，從而大幅度增加了斷線率與設(shè)備隱患，根本無法順利切割。為避免上述第1種情況線弓大帶來的不利，通常的做法就是采用低切割速度或者增加更多的新線供給量，帶來結(jié)果為：切割時(shí)間不減反增，擴(kuò)大了切割過程中發(fā)生斷線的時(shí)間范圍，帶來硅片表觀質(zhì)量下降，成本增加，生產(chǎn)率下降。針對(duì)第2種情況，目前未了解到行業(yè)內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)1h內(nèi)切割的相關(guān)信息，即行業(yè)內(nèi)目前還沒有1h內(nèi)的切割方法。

本發(fā)明對(duì)金剛線多線切割的切割機(jī)理、線弓形成、鍍層特征、金剛線疲勞損傷的新穎觀點(diǎn)設(shè)計(jì)快速切割方法，所述快速切割方法是將開始切割、結(jié)束切割的切割速度提高為現(xiàn)在的2-3倍，目的是快速形成線弓，以便能夠發(fā)揮金剛線切割力；所述切割方法主要是對(duì)金剛線單位時(shí)間內(nèi)的供給分配，采用先正后反的方式切割，增加切割工藝總需求線量，同時(shí)多用舊線切割，目的是減少了單位長度金剛線的有效加工時(shí)間，從而降低金剛線疲勞損傷；同時(shí)要求金剛石顆粒鍍層厚度具有薄、易破損特征，便于切割時(shí)快速露出金剛石切割刃。采用本發(fā)明切割方法能夠大幅提高產(chǎn)能，改善品質(zhì)，降低成本，能夠在1h內(nèi)完成對(duì)8.4inch、650mm長硅棒的加工。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中電鍍金剛線切割硅片效率低的問題，本發(fā)明提供一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法。采用本發(fā)明切割方法能夠在1h以內(nèi)完成對(duì)8.4inch、650mm晶體硅棒的順利切割。

術(shù)語解釋：

ttv：totalthicknessvariation縮寫，單張硅片上各個(gè)測試點(diǎn)厚度的最大厚度值與最小厚度值的差值。

破斷張力：金剛線在靜態(tài)拉力試驗(yàn)機(jī)上，被拉斷時(shí)的力。

切割張力：金剛線以螺旋方式纏繞在切割主輥上，切割時(shí)給張力控制器設(shè)定一定的力，且切割張力＜破斷張力。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括如下步驟：(1)粘棒，(2)上料，(3)配制切割液，(4)切割，(5)下料，(6)脫膠、清洗，(7)檢測、包裝；

所述步驟(1)粘棒：將燕尾與樹脂板、樹脂板與硅棒用粘膠粘接；

所述步驟(2)上料：將步驟(1)中粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；

所述步驟(3)配制切割液：將切割液、消泡劑、水按照質(zhì)量比為1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中；

所述步驟(4)切割：所述切割由切割機(jī)架帶動(dòng)硅棒向電鍍金剛線網(wǎng)移動(dòng)，同時(shí)主輥帶動(dòng)電鍍金剛線網(wǎng)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中，電鍍金剛線的線速度為1300-1500m/min，工件切割速度為1-4.5mm/min，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒鍍層厚度為3-5um，切割過程中，電鍍金剛線采用先正向進(jìn)給后反向進(jìn)給的方式，每個(gè)工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給3-5km電鍍金剛線。

進(jìn)一步，所述電鍍金剛線上金剛石鍍層厚度為2-4um，更優(yōu)選為2-2.5um。

進(jìn)一步，所述工件切割速度分為三部分：進(jìn)刀切割速度為1.5-3.5mm/min，主切割速度為3-4.5mm/min，出刀切割速度為1.0-1.5mm/min。

進(jìn)一步，所述工件切割速度分為三部分：進(jìn)刀切割速度為1.5mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.5mm/min。

進(jìn)一步，所述先正向進(jìn)給后反向進(jìn)給的方式為電鍍金剛線以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置100～140mm后，電鍍金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割一定深度所需要的總線量)≥反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割剩余深度所需要的總線量)，更優(yōu)選為正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量＝反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量。

進(jìn)一步，正向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給量90-120m/min，每個(gè)循環(huán)中新線供給600-700m，舊線返回500-600m。

進(jìn)一步，反向進(jìn)給切割時(shí)，舊線供給量130-200m/min，每個(gè)循環(huán)中新線供給500-700m，舊線返回700-850m。

進(jìn)一步，正向進(jìn)給切割與反向進(jìn)給切割交接的切深位置按照程序切割位置劃分，位置選為切割深度100-140mm，優(yōu)選為切割深度120-140mm，所述程序切割位置是指總的切割深度，為161-168mm。

進(jìn)一步，所述步驟(4)切割過程中，切割設(shè)備中采用直徑為70-80um的電鍍金剛線作為切割線，電鍍金剛線的破斷張力為16-23n，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度300-450顆/mm，金剛石顆粒直徑為5-16um，金剛石顆粒出刃高度為4-7um，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為11-14n，切割液溫度為18-20℃。

進(jìn)一步，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒直徑為8-16um，進(jìn)一步為6-12um，更進(jìn)一步為6-8um。

進(jìn)一步，所述步驟(6)中脫膠是將切割后的硅片浸泡在熱水或草酸或乳酸溶液中進(jìn)行脫膠。

本發(fā)明與申請(qǐng)?zhí)枮?01710386263.4中的觀點(diǎn)一致，認(rèn)為多線切割硬脆材料，對(duì)于切割工具—金剛線來說，如果要形成切入深度，那么線弓的存在正是金剛線發(fā)揮切割能力的必須條件，換句話說對(duì)于金剛線切割過程中，當(dāng)沒有線弓存在時(shí)，也就沒有切割能力，也就不存在去除材料的過程。所以本發(fā)明同樣認(rèn)為要想切割的快，需要讓金剛線從切割一開始(進(jìn)刀)形成較大的線弓，以及切割即將結(jié)束具有較大線弓(出刀)，即進(jìn)刀速度與出刀速度至少是現(xiàn)在的2倍。

同時(shí)，本發(fā)明認(rèn)為引起線弓增加的原因除了通常認(rèn)為的金剛線上金剛石脫落與磨損帶來的切割力下降外，還應(yīng)該考慮到金剛線切割屬于柔性刀具，連續(xù)工作時(shí)間越長，帶來的疲勞損傷也越大，尤其適用更細(xì)的金剛線，如線徑≤70um時(shí)，本身的設(shè)定切割張力就會(huì)比粗線小，如果加上長時(shí)間的工作疲勞，將進(jìn)一步增加切割中的線弓，表現(xiàn)出的結(jié)果就是看似切割過的舊線上金剛石很多，但就是切不動(dòng)。為此，基于這種理論，金剛線切割工件也需要縮短切割時(shí)間。

本發(fā)明除提高進(jìn)刀速度和出刀速度的改進(jìn)外，還有以下兩方面的改進(jìn)，一方面本發(fā)明所選用金剛線要求金剛石鍍層厚度具有薄、易破損特征，所述鍍層薄的條件是金剛石能夠被牢固的鍍在母線基體上；所屬易破損指的是金剛石表面包裹的鎳層具有“龜裂”形貌，在切割受力瞬間容易因應(yīng)力集中而將包裹的鎳層磨損掉，便于迅速發(fā)揮出金剛石的切割力。另一方面本發(fā)明所述切割方法是通過大幅增加工藝用線量，同時(shí)多用舊線切割，目的是減少了單位長度金剛線的有效加工時(shí)間，從而整體降低金剛線磨損量。所述工藝用線量指每個(gè)循環(huán)中，新線供給量與舊線返回量均很大，差值也大；所述每個(gè)工件的整個(gè)切割過程中，正向進(jìn)給的總的新線需求量與返回總的舊線量均很大，但差值很小。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為：

(1)本發(fā)明的切割方法依據(jù)金屬疲勞損傷原理，通過大幅增加切割過程中工藝用線量，讓更多的舊線參與切割，能夠降低單個(gè)工件的新線需求量，也能夠減少單位長度金剛線切割硅材料的量，從而降低單位長度金剛線疲勞度。

(2)本發(fā)明所選用金剛線的金剛石鍍層厚度具有薄、易破損特征，金剛石表面包裹的鎳層具有“龜裂”形貌，在切割受力瞬間因應(yīng)力集中而容易將包裹的鎳層磨損掉，便于迅速發(fā)揮出金剛石的切割力。

(3)本發(fā)明采用直徑為70-80um的電鍍金剛線作為切割線，在切割過程中，進(jìn)刀切割速度為1.5mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.5mm/min，能夠?qū)崿F(xiàn)在1h內(nèi)順利完成切割。

附圖說明

圖1為本發(fā)明硅棒切割示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)例1中所用80um電鍍金剛線的電子顯微照片；

圖3為本發(fā)明實(shí)例2和3中所用70um電鍍金剛線的電子顯微照片；

圖4為本發(fā)明實(shí)例2切割出來的硅片照片；

圖5為本發(fā)明實(shí)例3切割出來的硅片照片；

圖中：1-燕尾，2-樹脂板，3-硅棒，4-電鍍金剛線網(wǎng)，5-主輥。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

本發(fā)明實(shí)施例中所用切割液為常州高特新材料有限公司生產(chǎn)的硅片切割液，所用消泡劑為東莞市德豐消泡劑有限公司生產(chǎn)的消泡劑，也可以選用巴索國際貿(mào)易(上海)有限公司生產(chǎn)的切割液，所用環(huán)氧樹脂ab膠為市購產(chǎn)品。

一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括如下步驟：(1)粘棒，(2)上料，(3)配制切割液，(4)切割，(5)下料，(6)脫膠、清洗，(7)檢測、包裝；

將燕尾1與樹脂板2、樹脂板2與硅棒3用環(huán)氧樹脂ab膠粘接；將粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；將購買的高特切割液、德豐消泡劑、水按照質(zhì)量比例1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中，備用。

圖2為本實(shí)施例中所用電鍍金剛線的電子顯微照片，本實(shí)施例中采用直徑為80um的電鍍金剛線作為切割線，如圖2所示，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度為300±20顆/mm，金剛石顆粒直徑為10±1um，金剛石顆粒出刃高度6.5um，金剛石鍍層厚度為3.5um。

在工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給3.8km電鍍金剛線。切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為14n，電鍍金剛線的線速度為1300m/min，進(jìn)刀切割速度為1.5mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.5mm/min，切割液溫度為20±1℃，如圖1b所示，切割過程中，燕尾1與硅棒3形成的整體在切割機(jī)架的帶動(dòng)下向電鍍金剛線網(wǎng)4移動(dòng)，同時(shí)主輥5帶動(dòng)電鍍金剛線網(wǎng)4作往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中電鍍金剛線網(wǎng)4以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置120mm后，電鍍金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割0-120mm深度所需要的總線量)＞反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割120-165mm深度所需要的總線量)，具體的是，正向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量3.8km，正向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中新線供給650m/min，反向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量3.7km，反向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中反線供給700m/min。

本實(shí)施例中，總的切割深度為164mm。

在本實(shí)施例中，所述脫膠、清洗：將切割后的硅片浸泡在熱水中脫膠；將硅片經(jīng)過不同的酸堿工藝槽進(jìn)行清洗，清除附著的雜質(zhì)、金屬離子、硅粉等，保持硅片表面的潔凈，清洗工藝為本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)。

在本實(shí)施例中，所述切割設(shè)備中的主輥圓周表面涂覆有厚度15mm、邵氏硬度90-98的聚氨酯材料，彈性材料上設(shè)置有細(xì)微的槽子，金剛線就繞在這些槽內(nèi)。

利用本實(shí)施例的切割方法加工尺寸為8.4inch、長650mm的硅棒，加工時(shí)間為60min，比現(xiàn)有技術(shù)的切割效率有很大的提高。本實(shí)施例的切割用線分配表、切割實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表1和2所示：

表1實(shí)施例1切割用線分配表

表2實(shí)施例1切割數(shù)據(jù)表

實(shí)施例2

一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括如下步驟：(1)粘棒，(2)上料，(3)配制切割液，(4)切割，(5)下料，(6)脫膠、清洗，(7)檢測、包裝；

將燕尾1與樹脂板2、樹脂板2與硅棒3用環(huán)氧樹脂ab膠粘接；將粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；將購買的高特切割液、德豐消泡劑、水按照質(zhì)量比例1∶1∶300混合均勻后，倒入切割液缸中，備用。

圖3為本實(shí)施例中所用電鍍金剛線的電子顯微照片，本實(shí)施例中采用直徑為70um的電鍍金剛線作為切割線，如圖3所示，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度為430±20顆/mm，金剛石顆粒直徑為8±1um，金剛石顆粒出刃高度5.8um，金剛石鍍層厚度為3.5um。

在工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給3.5km電鍍金剛線。切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為11.5n，電鍍金剛線的線速度為1400m/min，進(jìn)刀切割速度為1.6mm/min；主切割速度為3mm/min；出刀切割速度為1.2mm/min，切割液溫度為18±1℃，如圖1b所示，切割過程中，燕尾1與硅棒3形成的整體在切割機(jī)架的帶動(dòng)下向電鍍金剛線網(wǎng)4移動(dòng)，同時(shí)主輥5帶動(dòng)電鍍金剛線網(wǎng)4作往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中電鍍金剛線網(wǎng)4以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置130mm后，電鍍金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割0-130mm深度所需要的總線量)等于反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割130-165mm深度所需要的總線量)，具體的是，正向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量4km，正向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中新線供給700m/min，反向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量4km，反向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中反線供給750m/min。

本實(shí)施例中，總的切割深度為164mm。

在本實(shí)施例中，所述脫膠、清洗：將切割后的硅片浸泡在草酸中脫膠；將硅片經(jīng)過不同的酸堿工藝槽進(jìn)行清洗，清除附著的雜質(zhì)、金屬離子、硅粉等，保持硅片表面的潔凈，清洗工藝為本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)。

在本實(shí)施例中，所述切割設(shè)備中的主輥圓周表面涂覆有厚度15mm、邵氏硬度90-98的聚氨酯材料，彈性材料上設(shè)置有細(xì)微的槽子，金剛線就繞在這些槽內(nèi)。

利用本實(shí)施例的切割方法加工尺寸為8.4inch、長650mm的硅棒，加工時(shí)間為60min，比現(xiàn)有技術(shù)的切割效率有很大的提高，且如圖4所示，為本實(shí)施例切割成品的硅片照片，表面平整。本實(shí)施例的切割用線分配表、切割實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表3和4所示：

表3實(shí)施例2切割用線分配表

表4實(shí)施例2切割實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

實(shí)施例3

一種超高效電鍍金剛線快速切割硅片的方法，包括如下步驟：(1)粘棒，(2)上料，(3)配制切割液，(4)切割，(5)下料，(6)脫膠、清洗，(7)檢測、包裝；

將燕尾1與樹脂板2、樹脂板2與硅棒3用環(huán)氧樹脂ab膠粘接；將粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機(jī)；將購買的高特切割液、德豐消泡劑、水按照質(zhì)量比例1∶1∶300混合均勻后，倒入切割液缸中，備用。

如圖3所示，為本實(shí)施例中所用電鍍金剛線的電子顯微照片，本實(shí)施例中采用直徑為70um的電鍍金剛線作為切割線，如圖3所示，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度為430±20顆/mm，金剛石顆粒直徑為8±1um，金剛石顆粒出刃高度5.8um，金剛石鍍層厚度為3.5um。

在工件開始加工時(shí)，先向收線輪進(jìn)給4.5km電鍍金剛線。切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為12n，電鍍金剛線的線速度為1400m/min，進(jìn)刀切割速度為2mm/min；主切割速度為4.5mm/min；出刀切割速度為1mm/min，切割液溫度為18±1℃，如圖1b所示，切割過程中，燕尾1與硅棒3形成的整體在切割機(jī)架的帶動(dòng)下向電鍍金剛線網(wǎng)4移動(dòng)，同時(shí)主輥5帶動(dòng)電鍍金剛線網(wǎng)4作往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)切割，切割過程中電鍍金剛線網(wǎng)4以往復(fù)切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，當(dāng)電鍍金剛線切入工件位置135mm后，電鍍金剛線又以往復(fù)切割方式從主輥的末端向著頭端行走，所述每個(gè)往復(fù)過程電鍍金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進(jìn)，所述正向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割0-135mm深度所需要的總線量)＞反向進(jìn)給所需電鍍金剛線總量(切割135-165mm深度所需要的總線量)，具體的是，正向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量4.5km，正向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中新線供給750m/min，反向進(jìn)給切割時(shí)，新線供給總量4.4km，反向進(jìn)給切割中的每個(gè)循環(huán)中反線供給850m/min。

本實(shí)施例中，總的切割深度為165mm。

在本實(shí)施例中，所述脫膠、清洗：將切割后的硅片浸泡在乳酸中脫膠；將硅片經(jīng)過不同的酸堿工藝槽進(jìn)行清洗，清除附著的雜質(zhì)、金屬離子、硅粉等，保持硅片表面的潔凈，清洗工藝為本領(lǐng)域的現(xiàn)有技術(shù)。

在本實(shí)施例中，所述切割設(shè)備中的主輥圓周表面涂覆有厚度15mm、邵氏硬度90-98的聚氨酯材料，彈性材料上設(shè)置有細(xì)微的槽子，金剛線就繞在這些槽內(nèi)。

利用本實(shí)施例的切割方法加工尺寸為8.4inch、長650mm的硅棒，加工時(shí)間為60min，比現(xiàn)有技術(shù)的切割效率有很大的提高，且如圖5所示，為本實(shí)施例切割成品的硅片照片，表面平整。本實(shí)施例的切割用線分配表、切割實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表5和6所示：

表5實(shí)施例3切割用線分配表

表6實(shí)施例3切割實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

上述實(shí)施例中切割數(shù)據(jù)可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)整，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，一切基于本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容所做的修改、變化或者替代技術(shù)特征，皆應(yīng)包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。