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一種新型晶棒脫膠架的制作方法

文檔序號:11346951閱讀:247來源:國知局
一種新型晶棒脫膠架的制造方法與工藝

本實用新型涉及一種晶棒生產(chǎn)設(shè)備,特別是一種新型晶棒脫膠架。



背景技術(shù):

隨著電子、半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,各種晶體材料,特別是以單晶硅為代表的高科技附加值材料及其相關(guān)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,成為當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的支柱,并使信息產(chǎn)業(yè)成為全球經(jīng)濟(jì)發(fā)展中增長最快的先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。單晶硅作為一種極具潛能,亟待開發(fā)利用的高科技資源,正引起越來越多的關(guān)注和重視。與此同時,鑒于常規(guī)能源供給的有限性和環(huán)保壓力的增加,世界上許多國家正掀起開發(fā)利用太陽能的熱潮并成為各國制定可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略斬重要內(nèi)容。在跨入21世紀(jì)門檻后,世界大多數(shù)國家踴躍參與以至在全球范圍掀起了太陽能開發(fā)利用的“綠色能源熱”,一個廣泛的大規(guī)模的利用太陽能的時代正在來臨,太陽能級單晶硅產(chǎn)品也將因此炙手可熱。

硅片在切割完成后需要與玻璃板進(jìn)行脫膠,現(xiàn)下大多數(shù)公司使用的脫膠架采用的輥子多是為直筒狀的圓柱鋼輥,在實際的生產(chǎn)脫膠過程中,脫膠隔板容易發(fā)生位移,導(dǎo)致脫膠過程中繁瑣程度提高,對脫膠效率和效果都存在影響,而且一般的圓柱鋼輥多是采用焊接的方式固定,導(dǎo)致在圓柱鋼輥彎曲后,維護(hù)不方便。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對上述問題,本實用新型提出了一種新型晶棒脫膠架。

為解決以上技術(shù)問題,本實用新型提供的技術(shù)方案是:

一種新型晶棒脫膠架,其特征在于,包括脫膠架支架、螺紋輥和連接桿,所述脫膠架支架的數(shù)量為2個,且左右對稱設(shè)置,所述螺紋輥和連接桿均設(shè)置于2個脫膠架支架之間,且螺紋輥位于連接桿上方;

所述2個脫膠架支架分別左支架和右支架,所述左支架包括左撐腳和左固定板,所述右支架包括右撐腳和右固定板,所述左撐腳呈三角形,其所呈的三角形的上端設(shè)有左連接板,所述左連接板和左撐腳為一體式結(jié)構(gòu),所述左固定板呈方形,通過螺栓與左連接板以及左撐腳的上端固定連接,左固定板上設(shè)有2個左右對稱、同水平高度的定位凹槽,所述右撐腳呈三角形,其所呈的三角形的上端設(shè)有右連接板,所述右連接板和右撐腳為一體式結(jié)構(gòu),所述右固定板呈方形,通過螺栓與右連接板以及右撐腳的上端固定連接,右固定板上設(shè)有2個右對稱、同水平高度的連接通孔;

所述連接桿的數(shù)量為3個,且水平設(shè)置,其兩端分別與左撐腳和右撐腳固定連接;

所述螺紋輥的兩端均設(shè)有螺桿,螺紋輥的左端上套有定位塊,所述定位塊大小形狀于定位凹槽相匹配,定位塊陷于定位凹槽內(nèi),且通過螺母、螺紋輥左端的螺桿,與螺紋輥固定連接,螺紋輥的右端穿過連接通孔,通過連接件與右固定板固定連接,所述連接通孔的截面呈T向,所述連接件的截面呈T,包括呈圓形的抵壓端和呈六棱柱形的轉(zhuǎn)動端,連接件的中部開有連接螺孔,所述連接螺孔與螺紋輥右端的螺桿對應(yīng)配合;

進(jìn)一步的,所述抵壓端位于連接通孔內(nèi),抵壓端與連接通孔之間設(shè)有防松墊圈;

進(jìn)一步的,所述脫膠架支架下端設(shè)有橡膠墊;

進(jìn)一步的,所述右固定板上設(shè)有導(dǎo)向管,所述導(dǎo)向管位于連接通孔的左側(cè),螺紋輥穿過導(dǎo)向管。

本實用新型的有益效果為:

本實用新型提出的一種新型晶棒脫膠架,包括左支架、右支架、螺紋輥和連接桿,左支架包括左撐腳和左固定板,右支架包括右撐腳和右固定板,連接桿的兩端分別與左撐腳和右撐腳固定連接,螺紋輥的兩端設(shè)置定位塊和連接件,定位塊與左固定板上的定位凹槽相匹配,連接件設(shè)置在右固定板上的連接通孔處,并以螺紋緊固的方式,與螺紋輥固定連接,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計合理,采用螺紋輥替代原有脫膠架的圓柱鋼輥,當(dāng)擋板插在脫膠架上,不易發(fā)生位移,從提提高晶棒的脫膠效率和效果,同時,螺紋輥的兩端通過定位塊和連接件進(jìn)行緊固固定,配合導(dǎo)向管,提供軸向穩(wěn)定的同時,也保證了螺紋輥的固定效果,而且,更換更為便捷,方便維護(hù)。

附圖說明

圖1 本實用新型示意圖。

圖2 左支架示意圖。

圖3 連接通孔截面圖。

具體實施方式

如圖所示的一種新型晶棒脫膠架,其特征在于,包括脫膠架支架1、螺紋輥2和連接桿3,所述脫膠架支架1的數(shù)量為2個,且左右對稱設(shè)置,所述螺紋輥2和連接桿3均設(shè)置于2個脫膠架支架1之間,且螺紋輥2位于連接桿3上方;

所述2個脫膠架支架1分別左支架4和右支架5,所述左支架4包括左撐腳6和左固定板7,所述右支架5包括右撐腳8和右固定板9,所述左撐腳6呈三角形,其所呈的三角形的上端設(shè)有左連接板10,所述左連接板10和左撐腳6為一體式結(jié)構(gòu),所述左固定板7呈方形,通過螺栓與左連接板10以及左撐腳6的上端固定連接,左固定板7上設(shè)有2個左右對稱、同水平高度的定位凹槽11,所述右撐腳8呈三角形,其所呈的三角形的上端設(shè)有右連接板12,所述右連接板12和右撐腳8為一體式結(jié)構(gòu),所述右固定板9呈方形,通過螺栓與右連接板12以及右撐腳8的上端固定連接,右固定板9上設(shè)有2個右對稱、同水平高度的連接通孔13;

所述連接桿3的數(shù)量為3個,且水平設(shè)置,其兩端分別與左撐腳6和右撐腳8固定連接;

所述螺紋輥2的兩端均設(shè)有螺桿,螺紋輥2的左端上套有定位塊14,所述定位塊14大小形狀于定位凹槽11相匹配,定位塊14陷于定位凹槽11內(nèi),且通過螺母、螺紋輥2左端的螺桿,與螺紋輥2固定連接,螺紋輥2的右端穿過連接通孔13,通過連接件15與右固定板9固定連接,所述連接通孔13的截面呈T向,所述連接件15的截面呈T,包括呈圓形的抵壓端16和呈六棱柱形的轉(zhuǎn)動端17,連接件15的中部開有連接螺孔18,所述連接螺孔18與螺紋輥2右端的螺桿對應(yīng)配合;

進(jìn)一步的,所述抵壓端16位于連接通孔13內(nèi),抵壓端16與連接通孔13之間設(shè)有防松墊圈;

進(jìn)一步的,所述脫膠架支架1下端設(shè)有橡膠墊19;

進(jìn)一步的,所述右固定板9上設(shè)有導(dǎo)向管20,所述導(dǎo)向管20位于連接通孔13的左側(cè),螺紋輥2穿過導(dǎo)向管20。

以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到的變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。因此,本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。

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