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一種線筒室的制作方法

文檔序號(hào):11396959閱讀:247來源:國(guó)知局

本實(shí)用新型屬于硅片線切割技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種線筒室。



背景技術(shù):

傳統(tǒng)的硅片線切割設(shè)備的線筒室小導(dǎo)輪的數(shù)量為10個(gè),切割室的數(shù)量為4個(gè),結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理,切割效率低,斷線概率大。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決現(xiàn)有技術(shù)和實(shí)際情況中存在的上述問題,本實(shí)用新型提供了一種線筒室,包括底板、所述底板上部平行安裝有兩個(gè)張力臂電機(jī),與所述張力臂電機(jī)相連設(shè)有張力臂,所述張力臂下端設(shè)有張力臂導(dǎo)向輪,所述底板下部平行設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向輪支架,所述導(dǎo)向輪支架上設(shè)有轉(zhuǎn)向?qū)蜉啠髠?cè)導(dǎo)向輪支架位于左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪的右下方,右側(cè)導(dǎo)向輪支架位于右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪的右下方;所述底板右側(cè)依次設(shè)有放線輪和收線輪,所述收線輪和放線輪左上方分別設(shè)有收線導(dǎo)向輪和放線導(dǎo)向輪,依次纏繞放線輪、放線導(dǎo)向輪、左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪、左側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉喸O(shè)有通向切割室切割線,依次纏繞右側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉?、右?cè)張力臂導(dǎo)向輪、收線導(dǎo)向輪和收線輪設(shè)有由切割室回來切割線。

優(yōu)選地,所述收線導(dǎo)向輪和放線導(dǎo)向輪上分別設(shè)有測(cè)量切割線張力的測(cè)力傳感器。

本實(shí)用新型優(yōu)化導(dǎo)向輪排布結(jié)構(gòu),線筒室小導(dǎo)輪的數(shù)量由原來的10個(gè)減少到6個(gè),切割室由4個(gè)減少到2個(gè),提升切割效率,降低斷線概率;本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)改變,同時(shí)改變張力臂和電機(jī)排布位置,提升切割效率,適應(yīng)專用金剛線切割。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的線筒室的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示,一種線筒室,包括底板1、所述底板1上部平行安裝有兩個(gè)張力臂電機(jī)2,與所述張力臂電機(jī)2相連設(shè)有張力臂3,所述張力臂下端設(shè)有張力臂導(dǎo)向輪4,所述底板1下部平行設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向輪支架12,所述導(dǎo)向輪支架12上設(shè)有轉(zhuǎn)向?qū)蜉?,左側(cè)導(dǎo)向輪支架12位于左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪4的右下方,右側(cè)導(dǎo)向輪支架12位于右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪4的右下方;所述底板右側(cè)依次設(shè)有放線輪9和收線輪8,所述收線輪8和放線輪9左上方分別設(shè)有收線導(dǎo)向輪7和放線導(dǎo)向輪6,依次纏繞放線輪9、放線導(dǎo)向輪6、左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪4、左側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉?設(shè)有通向切割室切割線10,依次纏繞右側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉?、右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪4、收線導(dǎo)向輪7和收線輪8設(shè)有由切割室回來切割線11。

所述收線導(dǎo)向輪7和放線導(dǎo)向輪6上分別設(shè)有測(cè)量切割線張力的測(cè)力傳感器。

最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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