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一種硅片生產(chǎn)線的制作方法

文檔序號:40590762發(fā)布日期:2025-01-07 20:31閱讀:4來源:國知局
一種硅片生產(chǎn)線的制作方法

本技術(shù)涉及光伏,尤其涉及一種硅片生產(chǎn)線。


背景技術(shù):

1、在硅片的生產(chǎn)流程中,首先通過線切機將硅棒切割成硅片,硅片此時是通過樹脂板粘貼在晶托上的,然后將晶托和切割后的硅片一起放入料框,由料框?qū)⒕泻凸杵黄疝D(zhuǎn)運至脫膠工位,利用脫膠機將晶托與硅片脫膠分離,然后將硅片依次輸送至后續(xù)的插片、清洗、烘干等工位。

2、現(xiàn)有技術(shù)中,料框?qū)杵瑸檎w夾緊限位,在插片前對料框內(nèi)的硅片進行分片上料時,料框解除對所有硅片的夾緊,然后由人工將垂直放置在料框內(nèi)的硅片取出,再由人工將硅片翻轉(zhuǎn)90°后水平放置到小料托中,再進行后續(xù)上料作業(yè)。由于上料時所有硅片都解除了限位,這樣就導(dǎo)致還未上料的硅片在料框內(nèi)容易發(fā)生傾斜擠壓,導(dǎo)致硅片碎裂或隱裂,嚴(yán)重?fù)p壞硅片的質(zhì)量。并且,整個硅片流轉(zhuǎn)過程中,需要人工對硅片進行分片等操作、以及將硅片在不同的工位之間轉(zhuǎn)運,可靠性低,效率低。

3、本背景技術(shù)所公開的上述信息僅僅用于增加對本技術(shù)背景技術(shù)的理解,因此,其可能包括不構(gòu)成本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對背景技術(shù)中指出的問題,本實用新型提供一種硅片生產(chǎn)線,實現(xiàn)硅片轉(zhuǎn)運全流程的自動化,提高硅片轉(zhuǎn)運可靠性和效率。

2、為實現(xiàn)上述實用新型目的,本實用新型采用下述技術(shù)方案予以實現(xiàn):

3、本實用新型提供一種硅片生產(chǎn)線,包括:

4、料框,其用于盛裝切割后的硅片;

5、切割工位,其上設(shè)有切片設(shè)備,所述切片設(shè)備用于將硅棒切割成硅片,切割后的硅片連同晶托一起放入料框中,所述料框由轉(zhuǎn)運小車轉(zhuǎn)運至脫膠工位;

6、脫膠工位,其上設(shè)有脫膠設(shè)備,用于將所述晶托與所述硅片分離;

7、料框水平輸送工位,其上設(shè)有料框輸送模塊,用于將所述料框水平輸送至分片翻轉(zhuǎn)工位;

8、分片翻轉(zhuǎn)工位,其上設(shè)有分片模塊和翻轉(zhuǎn)輸送模塊,所述分片模塊用于將所述料框內(nèi)的硅片分片、并將完成分片后的硅片逐一地以立式姿態(tài)向上輸送,所述翻轉(zhuǎn)輸送模塊用于接收由所述分片模塊輸送來的立式姿態(tài)硅片,將硅片由立式姿態(tài)翻轉(zhuǎn)為水平姿態(tài);

9、硅片水平輸送工位,其上設(shè)有水平輸送模塊,用于接收由所述翻轉(zhuǎn)輸送模塊輸送來的水平姿態(tài)硅片,將硅片以水平姿態(tài)輸送至插片工位;

10、插片工位,其上設(shè)有花籃,用于將由所述水平輸送模塊輸送來的硅片進行插片。

11、在一些實施例中,所述轉(zhuǎn)運小車按照設(shè)定路線在所述切割工位與所述脫膠工位之間自動運行。

12、在一些實施例中,所述料框內(nèi)形成用于盛裝硅片的盛裝空間,所述料框內(nèi)的多片硅片劃分成多個硅片組;

13、所述料框上設(shè)有夾緊組件和解鎖觸發(fā)部;

14、所述夾緊組件包括活動板,所述活動板沿所述盛裝空間的長度方向延伸,所述活動板沿其長度方向上設(shè)有多個依次布置的夾緊部,多個所述夾緊部與多個所述硅片組一一對應(yīng),以夾緊對應(yīng)的所述硅片組,每個所述夾緊部朝遠(yuǎn)離所述硅片的方向運動以解除對應(yīng)所述硅片組的夾緊,所述解鎖觸發(fā)部與所述活動板連接;

15、所述轉(zhuǎn)運小車上設(shè)有解鎖部,將所述料框放置于所述轉(zhuǎn)運小車后,所述解鎖部觸發(fā)所述解鎖觸發(fā)部動作,所述活動板在所述解鎖觸發(fā)部的作用下朝遠(yuǎn)離所述盛裝空間的方向運動,所述活動板帶動設(shè)于其上的多個所述夾緊部同步朝遠(yuǎn)離所述盛裝空間的方向運動;

16、將所述料框從所述轉(zhuǎn)運小車上取下,所述解鎖部與所述解鎖觸發(fā)部脫離,所述夾緊部在復(fù)位件的作用下朝靠近所述硅片的方向運動,以夾緊所述硅片。

17、在一些實施例中,所述料框水平輸送工位上設(shè)有解鎖裝置,所述料框輸送模塊帶動所述料框沿水平方向運動時,所述料框與所述解鎖裝置之間產(chǎn)生相對運動,多個所述夾緊部隨著所述料框與所述解鎖裝置之間的相對運動而依次與所述解鎖裝置接觸,所述解鎖裝置向所述夾緊部施加外力以使夾緊部遠(yuǎn)離對應(yīng)的所述硅片組。

18、在一些實施例中,所述夾緊部包括第二銷軸,所述第二銷軸穿經(jīng)所述料框和所述活動板,所述第二銷軸的第一端上設(shè)有解鎖塊,所述第二銷軸的第二端設(shè)有夾緊塊,所述第二銷軸上套設(shè)彈簧,所述彈簧位于所述夾緊塊與所述料框之間;

19、所述活動板朝遠(yuǎn)離所述盛裝空間的方向運動時,所述活動板推動所有所述解鎖塊同步朝遠(yuǎn)離所述盛裝空間的方向運動,使所有所述夾緊塊遠(yuǎn)離所述盛裝空間;

20、所述夾緊塊在所述彈簧的復(fù)位力作用下朝靠近所述硅片的方向運動,以夾緊對應(yīng)的所述硅片組;

21、所述解鎖裝置向所述解鎖塊施加外力以使對應(yīng)的所述夾緊部遠(yuǎn)離對應(yīng)的所述硅片組。

22、在一些實施例中,所述解鎖塊包括橫向部和豎向部,所述橫向部用于與所述活動板抵靠,所述豎向部用于與所述解鎖裝置作用;

23、所述豎向部與所述活動板之間具有一定距離,所述豎向部在朝向所述活動板的一側(cè)上設(shè)有傾斜面,沿所述硅片的出料方向,所述傾斜面與所述活動板之間的距離先減小、再增大;

24、所述解鎖裝置包括第一滾輪,所述料框與所述解鎖裝置之間產(chǎn)生相對運動時,所述第一滾輪運動至所述傾斜面與所述活動板之間、并與所述傾斜面接觸,通過所述第一滾輪與所述傾斜面之間的相對位移以使所述第二銷軸朝遠(yuǎn)離所述硅片的方向運動。

25、在一些實施例中,所述料框包括上框架和下框架,所述上框架可拆卸設(shè)于所述下框架的上方,所述上框架上設(shè)有用于對所述晶托進行限位的限位結(jié)構(gòu),所述夾緊組件設(shè)于所述下框架上;

26、所述料框放置到所述脫膠工位上,將所述下框架抬離所述上框架以使所述晶托與所述硅片分離,所述料框輸送模塊將所述下框架沿水平方向輸送。

27、在一些實施例中,所述分片模塊包括噴水部和立式輸送部,所述噴水部用于對所述料框內(nèi)解鎖后的硅片組進行噴水,將所述硅片組內(nèi)的多片硅片分片,所述立式輸送部用于將完成分片后的硅片逐一地以立式姿態(tài)向上輸送至所述翻轉(zhuǎn)輸送模塊。

28、在一些實施例中,所述立式輸送部包括第一安裝架,所述第一安裝架上設(shè)有吸附部和立式傳送帶,所述吸附部用于將完成分片后的硅片吸附到所述立式傳送帶上,所述立式傳送帶帶動所述硅片以立式姿態(tài)向上運動。

29、在一些實施例中,所述翻轉(zhuǎn)輸送模塊包括翻轉(zhuǎn)輔助部和覆膠滾動輪,所述翻轉(zhuǎn)輔助部包括第二安裝架,所述第二安裝架上設(shè)有吹氣部,所述吹氣部位于所述立式輸送部的上方,所述吹氣部用于向由所述立式輸送部向上輸送來的立式硅片吹氣,以使所述硅片傾倒至所述覆膠滾動輪上,所述覆膠滾動輪帶動所述硅片運動至水平姿態(tài)。

30、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的優(yōu)點和積極效果是:

31、本技術(shù)所公開的硅片生產(chǎn)線中,切割工位完成硅棒切割,脫膠工位完成晶托與硅片的脫膠分離,料框水平輸送工位實現(xiàn)料框水平輸送,分片翻轉(zhuǎn)工位完成分片、立式上料輸送,硅片水平輸送工位完成硅片水平輸送,插片工位完成硅片插片,清洗烘干工位完成硅片清洗及烘干。該硅片生產(chǎn)線實現(xiàn)硅片的全流程流轉(zhuǎn)自動化,提高硅片傳送、分片、上料、插片等作業(yè)的可靠性和效率。

32、結(jié)合附圖閱讀本實用新型的具體實施方式后,本實用新型的其他特點和優(yōu)點將變得更加清楚。

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