本技術(shù)涉及半導(dǎo)體材料加工，具體為一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)及劃片機設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、劃片機是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路，壓電陶瓷，氧化鋁，氧化鐵，石英，玻璃，陶瓷，太陽能電池片等材料的切割加工。其工作原理是以強力磨削為切割機理，通過空氣靜壓電主軸帶動刀片與工件接觸點的切割線方向呈直線運動，將工件料片上每一個單元分割開來。使用水流降溫、將工件浸入水中更方便加工，并帶走切割碎屑。蛇腹保護(hù)簾(防水簾)保護(hù)劃片機設(shè)備的x運動軸在及加工平臺旋轉(zhuǎn)軸在運動過程中不進(jìn)水。

2、劃片機設(shè)備在切割料片的過程中，蛇腹保護(hù)簾靠近工作平臺的前幾個槽容易積存隨水流沖過來的晶片碎塊，如圖1所示，其會導(dǎo)致運動軸移動過程中蛇腹保護(hù)簾部件破損，嚴(yán)重影響蛇腹保護(hù)簾部件的使用壽命。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)及劃片機設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中蛇腹保護(hù)簾部件內(nèi)容易積存晶片碎塊導(dǎo)致在蛇腹保護(hù)簾部件在工作中容易破損，影響蛇腹保護(hù)簾部件使用壽命的技術(shù)問題。

2、本實用新型是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

3、一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，用于劃片機設(shè)備，包括蛇腹保護(hù)簾部件和若干排水部件，所述蛇腹保護(hù)簾部件沿著劃片機設(shè)備內(nèi)的晶片切割加工平臺的運動端依次設(shè)有若干排v形槽，所述v形槽兩側(cè)為單頁片，若干排水部件一一對應(yīng)分布在靠近晶片切割加工平臺的運動端的v形槽內(nèi)，且與v形槽的兩側(cè)單頁片接觸，用于將晶片切割加工平臺輸出的水源及晶片碎塊分流至v形槽內(nèi)兩端。

4、優(yōu)選的，排水部件內(nèi)嵌在v型槽內(nèi)，其結(jié)構(gòu)與v型槽的槽口結(jié)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置。

5、優(yōu)選的，排水部件的長度與v型槽的長度對應(yīng)設(shè)置。

6、優(yōu)選的，排水部件包括第一防水薄片和第二防水薄片，所述第一防水薄片和第二防水薄片的一側(cè)邊為一體，且連接線為中心線，另一側(cè)邊分別為開合邊，形成條狀v形槽結(jié)構(gòu)。

7、進(jìn)一步的，第一防水薄片的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處，所述第二防水薄片的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處。

8、進(jìn)一步的，第一防水薄片的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處，所述第二防水薄片的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處。

9、進(jìn)一步的，條狀v形槽結(jié)構(gòu)的中部拱起設(shè)置，用于將晶片切割加工平臺輸出的水源及晶片碎塊分流至v形槽內(nèi)兩端，中部拱起部分沿著v形槽開合方向設(shè)有折疊結(jié)構(gòu)，用于使得第一防水薄片和第二防水薄片隨著v形槽開合至最大角度。

10、進(jìn)一步的，條狀v形槽結(jié)構(gòu)的邊沿與蛇腹保護(hù)簾部件的v形槽邊沿對其設(shè)置。

11、優(yōu)選的，排水部件的材質(zhì)包括聚碳酸酯、聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇脂、聚氨脂、有機硅、鐵氟龍及所有聚酯類材料中的任意一種。

12、一種劃片機設(shè)備，所述劃片機設(shè)備內(nèi)設(shè)有上述所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益的技術(shù)效果：

14、本實用新型提供了一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，在靠近劃片機設(shè)備內(nèi)的晶片切割加工平臺運動端的蛇腹保護(hù)簾部件內(nèi)設(shè)置若干排水部件，使得晶片切割加工平臺運動端的作業(yè)過程中水流可以順利地沖走晶片碎塊或碎玻璃，避免在原結(jié)構(gòu)蛇腹保護(hù)簾的v型槽中積存，從而減少蛇腹保護(hù)簾部件的磨損，減少部件破損的概率，以達(dá)到增加劃片機蛇腹保護(hù)簾部件使用壽命的目的，該排水結(jié)構(gòu)針對玻璃切割、晶元劃片過程中飛料狀況較多的情況可以有效保護(hù)蛇腹保護(hù)簾部件。

15、進(jìn)一步的，排水部件內(nèi)嵌在v型槽內(nèi)，其結(jié)構(gòu)與v型槽的槽口結(jié)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置，有效的對蛇腹保護(hù)簾部件中的v型槽進(jìn)行保護(hù)，避免在原結(jié)構(gòu)蛇腹保護(hù)簾的v型槽中積存。

16、進(jìn)一步的，排水部件的長度與v型槽的長度對應(yīng)設(shè)置，可以使得水流可以順利地沖走晶片碎塊或碎玻璃，避免在原結(jié)構(gòu)蛇腹保護(hù)簾的v型槽兩端積存。

17、進(jìn)一步的，排水部件包括第一防水薄片和第二防水薄片，第一防水薄片和第二防水薄片的一側(cè)邊為一體，且連接線為中心線，另一側(cè)邊分別為開合邊，形成條狀v形槽結(jié)構(gòu)，第一防水薄片和第二防水薄片呈一體結(jié)構(gòu)，貼附在v型槽內(nèi)，薄片質(zhì)量輕，在對蛇腹保護(hù)簾進(jìn)行保護(hù)的同時不影響蛇腹保護(hù)簾工作。

18、進(jìn)一步的，第一防水薄片的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處，第二防水薄片的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處，提高了第一防水薄片和第二防水薄片與v型槽貼附的穩(wěn)定性，提高了排水效率。

19、進(jìn)一步的，第一防水薄片的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處，第二防水薄片的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處，提高了第一防水薄片和第二防水薄片與v型槽貼附的穩(wěn)定性，提高了排水效率。

20、進(jìn)一步的，條狀v形槽結(jié)構(gòu)的中部拱起設(shè)置，用于將晶片切割加工平臺輸出的水源及晶片碎塊分流至v形槽內(nèi)兩端，有效的提高了對蛇腹保護(hù)簾部件保護(hù)，同時對流入條狀v形槽結(jié)構(gòu)的水流進(jìn)行導(dǎo)向作用，使其朝兩側(cè)將晶體碎片或玻璃排出，中部拱起部分沿著v形槽開合方向設(shè)有折疊結(jié)構(gòu)，用于使得第一防水薄片和第二防水薄片隨著v形槽開合至最大角度，避免影響蛇腹保護(hù)簾正常作業(yè)。

技術(shù)特征：

1.一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，用于劃片機設(shè)備，其特征在于，包括蛇腹保護(hù)簾部件(2)和若干排水部件(3)，所述蛇腹保護(hù)簾部件(2)沿著劃片機設(shè)備內(nèi)的晶片切割加工平臺(1)的運動端依次設(shè)有若干排v形槽，所述v形槽兩側(cè)為單頁片，若干排水部件(3)一一對應(yīng)分布在靠近晶片切割加工平臺(1)的運動端的v形槽內(nèi)，且與v形槽的兩側(cè)單頁片接觸，用于將晶片切割加工平臺(1)輸出的水源及晶片碎塊分流至v形槽內(nèi)兩端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排水部件(3)內(nèi)嵌在v型槽內(nèi)，其結(jié)構(gòu)與v型槽的槽口結(jié)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排水部件(3)的長度與v型槽的長度對應(yīng)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排水部件(3)包括第一防水薄片(31)和第二防水薄片(32)，所述第一防水薄片(31)和第二防水薄片(32)的一側(cè)邊為一體，且連接線為中心線，另一側(cè)邊分別為開合邊，形成條狀v形槽結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一防水薄片(31)的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處，所述第二防水薄片(32)的開合邊頂部內(nèi)側(cè)通過防水膠帶貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部外側(cè)處。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一防水薄片(31)的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處，所述第二防水薄片(32)的開合邊頂部外側(cè)通過防水膠水貼附在v型槽的另一側(cè)單頁片的頂部內(nèi)側(cè)處。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述條狀v形槽結(jié)構(gòu)的中部拱起設(shè)置，用于將晶片切割加工平臺(1)輸出的水源及晶片碎塊分流至v形槽內(nèi)兩端，中部拱起部分沿著v形槽開合方向設(shè)有折疊結(jié)構(gòu)，用于使得第一防水薄片(31)和第二防水薄片(32)隨著v形槽開合至最大角度。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述條狀v形槽結(jié)構(gòu)的邊沿與蛇腹保護(hù)簾部件(2)的v形槽邊沿對其設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排水部件(3)的材質(zhì)包括聚碳酸酯、聚丙烯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇脂、聚氨脂、有機硅、鐵氟龍及所有聚酯類材料中的任意一種。

10.一種劃片機設(shè)備，其特征在于，所述劃片機設(shè)備內(nèi)設(shè)有權(quán)利要求1-9任一項所述的一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)及劃片機設(shè)備，在靠近劃片機設(shè)備內(nèi)的晶片切割加工平臺運動端的蛇腹保護(hù)簾部件內(nèi)設(shè)置若干排水部件，使得晶片切割加工平臺運動端的作業(yè)過程中水流可以順利地沖走晶片碎塊或碎玻璃，避免在原結(jié)構(gòu)蛇腹保護(hù)簾的V型槽中積存，從而減少蛇腹保護(hù)簾部件的磨損，減少部件破損的概率，以達(dá)到增加劃片機蛇腹保護(hù)簾部件使用壽命的目的，該排水結(jié)構(gòu)針對玻璃切割、晶元劃片過程中飛料狀況較多的情況可以有效保護(hù)蛇腹保護(hù)簾部件。

技術(shù)研發(fā)人員：蔡文瑄,朱龍,張瀟灑,魏寧,熊柯柯,熊芩,邊永生,袁萬利
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華天慧創(chuàng)科技(西安)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231222
技術(shù)公布日：2025/1/9