本發(fā)明涉及切割設備，尤其涉及一種用于晶棒切割的輔助支撐裝置及單線切割機。

背景技術：

1、單線切割機主要用于藍寶石、碳化硅、鎢合金、鉬合金、水晶、閃爍晶體、半導體、陶瓷、鐵電晶體、磁性材料等硬脆材料的去頭、截斷、開方和小數(shù)量切片及多切口加工，通過精密伺服電機和減速器進行驅(qū)動，以及自上向下的線移動方式，實現(xiàn)更精確和勻速的線進給，提高加工效率和表面質(zhì)量。

2、但現(xiàn)有的單線切割機的加工臺通常采用v型槽結(jié)構(gòu)，以對晶棒的柱面進行穩(wěn)定地支撐，但該v型槽結(jié)構(gòu)的加工臺僅能支持晶棒分段，在對晶棒端面進行切割時，由于晶棒端面無法穩(wěn)定地放置在v型槽內(nèi)，切割線切穿晶棒端面時切割面會出現(xiàn)嚴重崩邊，同時切割后形成的切割塊會因為失去重心掉落至加工臺內(nèi)部，從而造成切割塊表面大面積磕碰，嚴重影響了產(chǎn)品的合格率。為解決該問題，現(xiàn)有技術中的做法是再設計一臺專門用于晶棒端面切割的單線切割機，也即一臺單線切割機專門用于對晶棒柱面進行分段切割，另一臺切割機專門用于對晶棒端面進行分塊切割，但再設計一臺專門用于晶棒端面切割的單線切割機，會極大地提高加工成本，同時晶棒還需要在兩個單線切割機之間進行搬運，導致人工成本進一步增加。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種用于晶棒切割的輔助支撐裝置，能夠避免晶棒端面切穿后出現(xiàn)嚴重崩邊以及切割塊掉落的情況，提高了成品率，降低了加工成本。

2、為達此目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

3、一種用于晶棒切割的輔助支撐裝置，所述用于晶棒切割的輔助支撐裝置用于可拆卸設在槽型加工臺上，所述槽型加工臺上設置有切割縫，所述用于晶棒切割的輔助支撐裝置包括：

4、第一支撐裝置，所述第一支撐裝置包括第一支撐平臺；

5、第二支撐裝置，所述第二支撐裝置包括第二支撐平臺；

6、所述第一支撐裝置和所述第二支撐裝置分別放置在所述切割縫的兩側(cè)；

7、其中，所述用于晶棒切割的輔助支撐裝置具有安裝于所述槽型加工臺的工作狀態(tài)以及從所述槽型加工臺拆下的閑置狀態(tài)，所述工作狀態(tài)下，所述第一支撐平臺和所述第二支撐平臺能夠支撐晶棒的底面端面，所述閑置狀態(tài)下，所述槽型加工臺能夠支撐所述晶棒的側(cè)面柱面。

8、可選地，所述第一支撐裝置還包括第一限位結(jié)構(gòu)，所述第一限位結(jié)構(gòu)設置于所述第一支撐平臺下方，所述第二支撐裝置還包括第二限位結(jié)構(gòu)，所述第二限位結(jié)構(gòu)設置于所述第二支撐平臺下方，所述第一限位結(jié)構(gòu)和所述第二限位結(jié)構(gòu)能夠與所述槽型加工臺限位連接。

9、可選地，所述槽型加工臺包括設于所述切割縫一側(cè)的第一加工臺，所述第一加工臺上間隔開設有第一橫槽和第一斜槽，所述第一限位結(jié)構(gòu)包括第一限位板、第二限位板、第三限位板、第四限位板和第五限位板，所述第一限位板和所述第二限位板分別與所述第一加工臺在長度方向上的兩個外側(cè)面貼合，所述第三限位板卡設在所述第一橫槽內(nèi)，所述第四限位板與所述第一加工臺上形成所述切割縫的斷面貼合，所述第五限位板卡設在所述第一斜槽內(nèi)。

10、可選地，所述槽型加工臺還包括設于所述切割縫另一側(cè)的第二加工臺，所述第二加工臺上間隔開設有第二橫槽和第三橫槽，所述第二限位結(jié)構(gòu)包括第六限位板、第七限位板、第八限位板和第九限位板，所述第六限位板卡設在所述第三橫槽內(nèi)，所述第七限位板卡設在所述第二橫槽內(nèi)，所述第八限位板和所述第九限位板分別與所述第二加工臺在長度方向上的兩個內(nèi)側(cè)面貼合。

11、可選地，所述第一支撐裝置上還設置有第一限位組件，所述第二支撐裝置上還設置有第二限位組件，所述第一限位組件和所述第二限位組件能夠?qū)λ鼍О暨M行限位。

12、可選地，所述第一支撐平臺上設置有第一滑軌，所述第一限位組件包括第一滑塊、第一支撐桿和第一夾爪，所述第一支撐桿設置在所述第一滑塊上，所述第一夾爪設置在所述第一支撐桿上，所述第一滑塊滑動連接在所述第一滑軌內(nèi)；

13、和/或，所述第二支撐平臺上設置有第二滑軌，所述第二限位組件包括第二滑塊、第二支撐桿和第二夾爪，所述第二支撐桿設置在所述第二滑塊上，所述第二夾爪設置在所述第二支撐桿上，所述第二滑塊滑動連接在所述第二滑軌內(nèi)。

14、可選地，所述第一夾爪滑動設置在所述第一支撐桿上；或者，所述第一支撐桿為伸縮桿，所述第一夾爪設置在所述第一支撐桿的活動端；

15、和/或，所述第二夾爪滑動設置在所述第二支撐桿上；或者，所述第二支撐桿為伸縮桿，所述第二夾爪設置在所述第二支撐桿的活動端。

16、可選地，所述第一夾爪可拆卸地連接在所述第一支撐桿上；

17、和/或，所述第二夾爪可拆卸地連接在所述第二支撐桿上。

18、可選地，所述第一夾爪的夾持面上設有第一墊片，所述第二夾爪的夾持面上設置有第二墊片。

19、一種單線切割機，包括槽型加工臺和上述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，所述輔助支撐裝置可拆卸地放置在所述槽型加工臺上，所述槽型加工臺設有支撐所述晶棒的柱面的v型槽。

20、本發(fā)明的有益效果：

21、本發(fā)明提供的輔助支撐裝置可拆卸地設于槽型加工臺上，使其能夠?qū)О舻亩嗣娣€(wěn)定支撐，進而提高單線切割機對晶棒端面進行切割時的穩(wěn)定性，避免晶棒端面切穿后出現(xiàn)嚴重崩邊以及切割塊掉落的現(xiàn)象，提高了成品率，降低了加工成本。

22、本發(fā)明還提供一種單線切割機，可以通過將上述輔助支撐裝置放置在槽型加工臺上，進而實現(xiàn)對晶棒端面切塊，或者不在槽型加工臺上放置上述輔助支撐裝置，進而實現(xiàn)對晶棒柱面切斷，相較于現(xiàn)有技術中需要兩臺單線切割機分別進行晶棒柱面切斷以及晶棒端面切塊，僅需要一臺單線切割機就能實現(xiàn)兩種不同的切割方式，降低了加工成本，同時在一臺單線切割機上就能完成對晶棒兩種方式的切割，無需來回搬運晶棒，且縮短了上下料時間，進一步降低了人工成本。

技術特征：

1.一種用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述用于晶棒切割的輔助支撐裝置用于可拆卸設在槽型加工臺(5)上，所述槽型加工臺(5)上設置有切割縫(6)，所述用于晶棒切割的輔助支撐裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐裝置(1)還包括第一限位結(jié)構(gòu)(12)，所述第一限位結(jié)構(gòu)(12)設置于所述第一支撐平臺(11)下方，所述第二支撐裝置(2)還包括第二限位結(jié)構(gòu)(22)，所述第二限位結(jié)構(gòu)(22)設置于所述第二支撐平臺(21)下方，所述第一限位結(jié)構(gòu)(12)和所述第二限位結(jié)構(gòu)(22)能夠與所述槽型加工臺(5)限位連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述槽型加工臺(5)包括設于所述切割縫(6)一側(cè)的第一加工臺(51)，所述第一加工臺(51)上間隔開設有第一橫槽(511)和第一斜槽(512)，所述第一限位結(jié)構(gòu)(12)包括第一限位板(121)、第二限位板(122)、第三限位板(123)、第四限位板(124)和第五限位板(125)，所述第一限位板(121)和所述第二限位板(122)分別與所述第一加工臺(51)在長度方向上的兩個外側(cè)面貼合，所述第三限位板(123)卡設在所述第一橫槽(511)內(nèi)，所述第四限位板(124)與所述第一加工臺(51)上形成所述切割縫(6)的斷面貼合，所述第五限位板(125)卡設在所述第一斜槽(512)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述槽型加工臺(5)還包括設于所述切割縫(6)另一側(cè)的第二加工臺(52)，所述第二加工臺(52)上間隔開設有第二橫槽(521)和第三橫槽(522)，所述第二限位結(jié)構(gòu)(22)包括第六限位板(221)、第七限位板(222)、第八限位板(223)和第九限位板(224)，所述第六限位板(221)卡設在所述第三橫槽(522)內(nèi)，所述第七限位板(222)卡設在所述第二橫槽(521)內(nèi)，所述第八限位板(223)和所述第九限位板(224)分別與所述第二加工臺(52)在長度方向上的兩個內(nèi)側(cè)面貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐裝置(1)上還設置有第一限位組件(3)，所述第二支撐裝置(2)上還設置有第二限位組件(4)，所述第一限位組件(3)和所述第二限位組件(4)能夠?qū)λ鼍О暨M行限位。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐平臺(11)上設置有第一滑軌(111)，所述第一限位組件(3)包括第一滑塊(31)、第一支撐桿(32)和第一夾爪(33)，所述第一支撐桿(32)設置在所述第一滑塊(31)上，所述第一夾爪(33)設置在所述第一支撐桿(32)上，所述第一滑塊(31)滑動連接在所述第一滑軌(111)內(nèi)；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一夾爪(33)滑動設置在所述第一支撐桿(32)上；或者，所述第一支撐桿(32)為伸縮桿，所述第一夾爪(33)設置在所述第一支撐桿(32)的活動端；

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一夾爪(33)可拆卸地連接在所述第一支撐桿(32)上；

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，其特征在于，所述第一夾爪(33)的夾持面上設有第一墊片，所述第二夾爪(43)的夾持面上設置有第二墊片。

10.一種單線切割機，其特征在于，包括槽型加工臺(5)和如權(quán)利要求1-9任一項所述的用于晶棒切割的輔助支撐裝置，所述輔助支撐裝置可拆卸地放置在所述槽型加工臺(5)上，所述槽型加工臺(5)設有支撐所述晶棒的柱面的v型槽。

技術總結(jié)
本發(fā)明屬于切割設備技術領域，公開了一種用于晶棒切割的輔助支撐裝置及單線切割機。輔助支撐裝置包括第一支撐裝置和第二支撐裝置，其中，第一支撐裝置包括第一支撐平臺，第二支撐裝置包括第二支撐平臺，第一支撐裝置和第二支撐裝置可拆卸地設在槽型加工臺上且分設于切割縫的兩側(cè)，進而通過第一支撐平臺和第二支撐平臺對晶棒的端面進行支撐。通過該輔助支撐裝置能夠提高對晶棒端面進行切割時的穩(wěn)定性，避免晶棒端面切穿后出現(xiàn)嚴重崩邊以及切割塊掉落的現(xiàn)象，還使得現(xiàn)有具有槽型加工臺的單線切割機通用性提高，利用一臺單線切割機就能實現(xiàn)晶棒柱面切斷及晶棒端面切塊兩種不同切割方式的切換，降低了加工成本。

技術研發(fā)人員：田梓豪,陳猛
受保護的技術使用者：上海超硅半導體股份有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/23