本發(fā)明涉及單晶硅，特別涉及一種防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置及晶棒截斷系統(tǒng)。

背景技術：

1、單晶硅晶棒是半導體制造中最重要的原材料之一，單晶硅晶棒的重量和尺寸因直徑和長度的不同而有所差異，以12英寸單晶硅晶棒為例，其直徑為12英寸（300毫米），長度一般為1.5米至2米，重量約為270公斤?，此外，直徑為8-300毫米的半導體硅棒也有不同的重量和尺寸規(guī)格?，然而，單晶硅晶棒需要經(jīng)過多道工序的加工，才可以將單晶硅晶棒加工為晶圓片應用于集成電路制造、半導體器件生產(chǎn)，由此大多數(shù)工作人員選擇晶棒轉(zhuǎn)運裝置在不同的工序之間轉(zhuǎn)運重量較大的晶棒。

2、現(xiàn)有的，如授權公告號為“cn219949148u”的中國實用新型專利公布了一種轉(zhuǎn)運工裝及轉(zhuǎn)運設備，其中，轉(zhuǎn)運工裝，用于晶棒的轉(zhuǎn)運，包括：工裝架、牽引機構和射頻機構，工裝架包括架體、裝載機構和轉(zhuǎn)運滾輪，通過工裝架上裝載機構的設置將晶棒固定，同時通過轉(zhuǎn)運滾輪以及牽引機構配合，實現(xiàn)轉(zhuǎn)運，但是，上述技術方案的工裝架通過“v”型槽固定晶棒，由于重量較大的晶棒在轉(zhuǎn)運過程中的慣性較大，從而容易導致晶棒在工裝架的“v”型槽上軸向滑動，造成晶棒掉落。

技術實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，有必要提供一種防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，以解決重量較大的晶棒在轉(zhuǎn)運過程中的慣性較大，容易導致晶棒在“v”型槽上軸向滑動，造成晶棒掉落的技術問題；

2、還有必要提供一種晶棒截斷系統(tǒng)。

3、一方面，本發(fā)明提供的一種防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，包括支架、第一防掉落組件、移動組件，所述第一防掉落組件至少為兩個，所述第一防掉落組件位于所述支架的上端，所述移動組件位于所述支架的底面，所述第一防掉落組件與所述支架可拆卸連接，所述移動組件與所述支架連接，所述第一防掉落組件包括第一承載部、夾持部，所述夾持部的數(shù)目為兩個，所述第一承載部的上端開設與晶棒相適配的梯形槽，所述第一承載部位于所述支架的上端，兩個所述夾持部分別位于所述第一承載部的兩側，兩個所述夾持部均與所述第一承載部相對垂直，且兩個所述夾持部相對平行，所述第一承載部與所述支架可拆卸連接，兩個所述夾持部均與所述第一承載部轉(zhuǎn)動連接，兩個所述夾持部的相對面共同抵持晶棒，以使晶棒位于所述第一承載部的梯形槽中防止晶棒掉落，所述第一承載部支撐兩個所述夾持部均位于所述支架上。

4、另一方面，本發(fā)明提供的一種晶棒截斷系統(tǒng)，包括上一方面所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置、立式晶棒截斷機，所述防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置用于給立式晶棒截斷機轉(zhuǎn)運晶棒，所述立式晶棒截斷機對晶棒進行切割加工。

5、由上述技術方案可知，本發(fā)明提供的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，包括支架、第一防掉落組件、移動組件，第一防掉落組件至少為兩個，第一防掉落組件位于支架的上端，移動組件位于支架的底面，第一防掉落組件與支架可拆卸連接，移動組件與支架連接，第一防掉落組件包括第一承載部、夾持部，夾持部的數(shù)目為兩個，第一承載部的上端開設與晶棒相適配的梯形槽，第一承載部位于支架的上端，兩個夾持部分別位于第一承載部的兩側，兩個夾持部均與第一承載部相對垂直，且兩個夾持部相對平行，第一承載部與支架可拆卸連接，兩個夾持部均與第一承載部轉(zhuǎn)動連接，第一承載部支撐兩個夾持部均位于支架上，當兩個夾持部的相對面共同抵持晶棒使晶棒位于第一承載部的梯形槽中時，兩個夾持部在晶棒重力的作用下相對轉(zhuǎn)動共同對晶棒進行徑向擠壓，并卷動晶棒具有向兩個夾持部之間運動的趨勢，有效的限制了晶棒的軸向滑動，防止了晶棒從晶棒轉(zhuǎn)運裝置上掉落。

技術特征：

1.一種防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：包括支架、第一防掉落組件、移動組件，所述第一防掉落組件至少為兩個，所述第一防掉落組件位于所述支架的上端，所述移動組件位于所述支架的底面，所述第一防掉落組件與所述支架可拆卸連接，所述移動組件與所述支架連接，所述第一防掉落組件包括第一承載部、夾持部，所述夾持部的數(shù)目為兩個，所述第一承載部的上端開設與晶棒相適配的梯形槽，所述第一承載部位于所述支架的上端，兩個所述夾持部分別位于所述第一承載部的兩側，兩個所述夾持部均與所述第一承載部相對垂直，且兩個所述夾持部相對平行，所述第一承載部與所述支架可拆卸連接，兩個所述夾持部均與所述第一承載部轉(zhuǎn)動連接，兩個所述夾持部的相對面共同抵持晶棒，以使晶棒位于所述第一承載部的梯形槽中防止晶棒掉落，所述第一承載部支撐兩個所述夾持部均位于所述支架上。

2.根據(jù)權利要求1所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述第一承載部為兩個第一支撐板，所述兩個第一支撐板相對平行，兩個所述夾持部均位于所述兩個第一支撐板之間，兩個所述夾持部的一端均與其中一個所述第一支撐板轉(zhuǎn)動連接，兩個所述夾持部的另一端均與另一個所述第一支撐板轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述夾持部包括第一連接軸、第一輥筒，所述第一連接軸位于所述第一輥筒的軸心處，所述第一輥筒位于所述兩個第一支撐板之間，所述第一連接軸的一端與其中一個所述第一支撐板轉(zhuǎn)動連接，所述第一連接軸的另一端與另一個所述第一支撐板轉(zhuǎn)動連接。

4.根據(jù)權利要求3所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述兩個第一支撐板的上端的兩側均開設u型連接孔，所述夾持部還包括第二輥筒，所述第二輥筒與所述第一輥筒相適配，所述第二輥筒與所述第一輥筒同心同軸，所述第二輥筒位于其中一個所述第一支撐板遠離所述第一輥筒的一端，所述第一連接軸的一端插入其中一個所述第一支撐板的u型連接孔中，所述第一連接軸的另一端插入另一個所述第一支撐板的u型連接孔中并與所述第二輥筒連接。

5.根據(jù)權利要求1所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置還包括第二防掉落組件，所述第二放掉落組件至少為一個，所述第一防掉落組件、所述第二防掉落組件間隔分布，所述第一防掉落組件與所述第二防掉落組件同心同軸，所述第二防掉落組件包括第二承載部、過渡夾持部，所述第二承載部的上端同樣開設與晶棒相適配的梯形槽，所述過渡夾持部的數(shù)目為兩個，所述過渡夾持部與所述夾持部相適配，所述第二承載部位于所述支架的上端，所述第二承載部與所述第一承載部同心同軸，兩個所述過渡夾持部位于所述第二承載部的兩側，兩個所述過渡夾持部分別與兩個所述夾持部同心同軸，所述第二承載部與所述支架可拆卸連接，所述過渡夾持部與所述第二承載部轉(zhuǎn)動連接，兩個所述過渡夾持部的相對面共同抵持晶棒，以使兩個所述第一防掉落組件之間的晶棒部分得以固定。

6.根據(jù)權利要求5所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述過渡夾持部包括第二連接軸、第三輥筒，所述第三輥筒的數(shù)目為兩個，所述第二連接軸位于所述第二承載部上，所述第三輥筒位于所述第二連接軸的兩端，所述第二連接軸與所述第二承載部轉(zhuǎn)動連接，所述第二連接軸的一端與其中一個所述第三輥筒的軸心處連接，所述第二連接軸的另一端穿過所述第二承載部與另一個所述第三輥筒的軸心處連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置還包括升降滑動組件，所述升降滑動組件至少為一個，所述升降滑動組件包括驅(qū)動部、升降部、滑動部，所述升降部的數(shù)目為兩個，所述滑動部的數(shù)目與所述升降部相同，所述驅(qū)動部、所述升降部均位于所述支架的中部，所述驅(qū)動部位于兩個所述第一防掉落組件之間，兩個所述升降部分別位于兩個所述第一防掉落組件的下方，兩個所述滑動部分別位于兩個所述升降部的上端，且所述滑動部位于兩個所述夾持部之間，所述驅(qū)動部與所述支架固定連接，所述驅(qū)動部與所述升降部鍵連接，所述升降部的下端與所述支架固定連接，所述升降部的上端與所述滑動部連接，所述驅(qū)動部驅(qū)動兩個所述升降部，且兩個所述升降部分別頂動兩個所述滑動部上升或下降，以使兩個所述滑動部相配合共同帶動晶棒上升或下降，且兩個所述滑動部頂起晶棒使晶棒可沿兩個所述夾持部的軸線方向滑動。

8.根據(jù)權利要求7所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述滑動部包括連接板、第四輥筒，所述連接板的豎截面為u型，所述第四輥筒與晶棒相適配，所述連接板位于所述升降部的上端，所述第四輥筒位于所述連接板上，所述第四輥筒與兩個所述夾持部互相垂直，所述連接板與所述升降部固定連接，所述第四輥筒與所述連接板轉(zhuǎn)動連接，所述連接板支撐所述第四輥筒位于兩個所述夾持部之間，以使晶棒在所述第四輥筒上滑動。

9.根據(jù)權利要求7或8所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于：所述驅(qū)動部包括減速機、驅(qū)動件，所述減速機位于所述支架上，所述驅(qū)動件位于所述減速機上，所述驅(qū)動件與所述減速機的輸入端鍵連接，所述減速機的兩個輸出端分別與兩個所述升降部鍵連接，所述驅(qū)動件驅(qū)動所述減速機轉(zhuǎn)動，所述減速機驅(qū)動所述升降部。

10.一種晶棒截斷系統(tǒng)，其特征在于：包括如權利要求1-9任意一項所述的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置、立式晶棒截斷機，所述防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置用于給立式晶棒截斷機轉(zhuǎn)運晶棒，所述立式晶棒截斷機對晶棒進行切割加工。

技術總結
本發(fā)明提供的防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置及晶棒截斷系統(tǒng)，屬于單晶硅技術領域，其中防止晶棒掉落的晶棒轉(zhuǎn)運裝置包括支架、第一防掉落組件、移動組件，第一防掉落組件位于支架的上端，第一防掉落組件與支架可拆卸連接，第一防掉落組件包括第一承載部、夾持部，夾持部的數(shù)目為兩個，第一承載部的上端開設與晶棒相適配的梯形槽，第一承載部位于支架的上端，兩個夾持部分別位于第一承載部的兩側，兩個夾持部均與第一承載部相對垂直，且兩個夾持部相對平行，第一承載部與支架可拆卸連接，兩個夾持部均與第一承載部轉(zhuǎn)動連接，兩個夾持部的相對面共同抵持晶棒，以使晶棒位于第一承載部的梯形槽中防止晶棒掉落，第一承載部支撐兩個夾持部均位于支架上。

技術研發(fā)人員：陳元壽,王黎光,馬玉懷,芮陽,王忠保,李俊麗,趙娜,白園
受保護的技術使用者：寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/28