本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工，具體為一種刀片高度測量裝置及半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件背景資料。

2、半導(dǎo)體晶圓劃片是具有激光和刀片兩種切片方式，現(xiàn)有的刀片切割方式在長時間的切割操作下刀片位置容易發(fā)生錯誤且刀片會受到磨損，由于刀片位置和厚度的變化容易使得對晶圓的切割厚度不準(zhǔn)確，且大多劃片機(jī)只能對晶圓均勻劃片，無法進(jìn)晶圓進(jìn)行多種不均勻的劃分，且切割產(chǎn)生的粉料等也會影響下一次切割，容易使得刀片受到磨損增大，使得刀片更易損壞。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種刀片高度測量裝置及半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，以提供一種在每次劃分前均對刀片和晶圓上端距離檢測，確保可以進(jìn)行晶圓不均勻的劃分，且確保每次劃分厚度的精準(zhǔn)，避免刀片磨損和位置移動產(chǎn)生的干擾，且可以自動清理切割后的粉料，減少粉料對刀片的磨損，增加刀片的使用壽命。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種刀片高度測量裝置，包括下安裝板，所述下安裝板的上方設(shè)置有上安裝板，所述下安裝板和上安裝板之間轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動環(huán)，所述上安裝板的上表面固定安裝有上支撐架，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的上端固定安裝有切割刀，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的底部設(shè)置有活動板，所述活動板上設(shè)置有多個通槽，所述活動板的上表面對于所述切割刀的位置固定安裝有紅外距離傳感器，所述活動板的上表面對于所述切割刀的兩側(cè)均設(shè)置有夾持組件，所述上支撐架的下表面上對應(yīng)所述夾持組件的位置也固定安裝有紅外距離傳感器。

3、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述夾持組件包括內(nèi)螺紋桿，所述內(nèi)螺紋桿轉(zhuǎn)動安裝在所述活動板上方且對應(yīng)所述紅外距離傳感器的兩側(cè)，所述內(nèi)螺紋桿的兩端均螺紋連接有夾持板，同側(cè)所述內(nèi)螺紋桿之間設(shè)置有內(nèi)傳動件，所述活動板上轉(zhuǎn)動安裝有中間齒輪，所述活動板上均轉(zhuǎn)動安裝有主齒輪，所述主齒輪上均固定安裝有限位齒輪，所述限位齒輪套接有傳動鏈，所述傳動鏈與所述中間齒輪嚙合，所述內(nèi)傳動件的一側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有從齒輪，所述從齒輪與所述主齒輪嚙合。

4、一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，包括主連接板和側(cè)固定板，所述下安裝板的下表面轉(zhuǎn)動安裝有螺紋件，所述螺紋件內(nèi)螺紋連接有下螺紋桿，所述下螺紋桿的上端與所述活動板固定連接，所述下安裝板的下表面轉(zhuǎn)動安裝有齒輪環(huán)，所述螺紋件上固定安裝有內(nèi)齒輪，所述內(nèi)齒輪與所述齒輪環(huán)的內(nèi)齒牙嚙合，所述下安裝板的下表面轉(zhuǎn)動安裝有驅(qū)動齒輪，所述驅(qū)動齒輪與所述齒輪環(huán)的外齒牙嚙合，所述主連接板和側(cè)固定板均固定安裝在所述上支撐架上，所述主連接板和側(cè)固定板之間設(shè)置有卸料組件。

5、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述上安裝板上表面兩側(cè)均轉(zhuǎn)動安裝有側(cè)齒輪，所述轉(zhuǎn)動環(huán)的上端固定安裝有中間齒環(huán)，所述中間齒環(huán)與所述側(cè)齒輪嚙合，所述側(cè)齒輪的下端固定安裝有連接軸，所述側(cè)齒輪的上端固定安裝有上連接桿，所述連接軸之間設(shè)置有下傳動件。

6、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述上支撐架的上端兩側(cè)均轉(zhuǎn)動安裝有上轉(zhuǎn)動軸，所述上轉(zhuǎn)動軸的下端固定安裝有轉(zhuǎn)動扇，所述上轉(zhuǎn)動軸的上端固定安裝有上錐齒輪，所述上支撐架上對應(yīng)所述上錐齒輪的位置轉(zhuǎn)動安裝上傳動桿，所述上傳動桿的上端固定安裝有下錐齒輪，所述下錐齒輪與所述上錐齒輪嚙合，所述上傳動桿與所述上連接桿之間設(shè)置有上傳動件。

7、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述卸料組件包括傳輸件，所述上支撐架靠近所述主連接板的一側(cè)設(shè)置有次連接板，所述傳輸件設(shè)置在所述主連接板和次連接板之間，所述上支撐架之間轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿上對應(yīng)夾持組件的位置固定安裝有抽真空件，所述抽真空件的下端固定安裝滑動安裝有吸附件，所述吸附件與所述抽真空件之間設(shè)置有抽吸管，所述轉(zhuǎn)動桿的兩端均固定安裝有從動齒輪。

8、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述側(cè)固定板之間轉(zhuǎn)動安裝有主動桿，所述主動桿的兩端均固定安裝有主動盤，所述主動盤上均固定安裝有撥動桿，所述上支撐架上轉(zhuǎn)動安裝有連接件，所述連接件的一側(cè)固定安裝有半幅齒輪，所述撥動桿導(dǎo)入到所述連接件內(nèi)。

9、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述傳輸件靠近所述上支撐架的一端與所述主動桿之間設(shè)置有側(cè)傳動件。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

11、1、本發(fā)明中活動板上的紅外距離傳感可以用來測量活動板與切割刀之間距離，支撐上的紅外距離傳感器可以用來測量支撐與夾持組件之間固定的晶圓上端之間的距離，由于切割刀片和上支撐架之間的距離固定，上下兩組紅外距離傳感器數(shù)據(jù)可以得出晶圓上端與切割刀片之間的距離，紅外距離傳感器在每次切割后均進(jìn)行一側(cè)距離測量，可以在每次切割后均進(jìn)行一側(cè)距離定位，確保每次切割的厚度的準(zhǔn)確，避免刀片位置移動和厚度變化等對切割厚度的影響，確保厚度的精準(zhǔn)，且可以通過活動板移動調(diào)整每次切割厚度的大小，以對晶圓進(jìn)行不均勻的切割。

12、2、本發(fā)明在進(jìn)行切割時，晶圓固定在活動板上，通過轉(zhuǎn)動電機(jī)驅(qū)動一組連接軸轉(zhuǎn)動，連接軸轉(zhuǎn)動帶動側(cè)齒輪轉(zhuǎn)動，側(cè)齒輪轉(zhuǎn)動帶動中間齒環(huán)轉(zhuǎn)動，中間齒環(huán)轉(zhuǎn)動帶動切割刀轉(zhuǎn)動，切割刀轉(zhuǎn)動對晶圓進(jìn)行切割，隨著活動板不斷上移對晶圓逐漸切割，晶圓上端被卸料組件吸附，切割后卸料組件自動將劃片轉(zhuǎn)運，避免人工進(jìn)行轉(zhuǎn)運的麻煩，劃片及時轉(zhuǎn)運可以使得晶圓表面的切割粉料進(jìn)行清理，切割產(chǎn)生粉料殘余在晶圓表面對切割刀造成磨損的狀況，增加切割刀的使用壽命。

技術(shù)特征：

1.一種刀片高度測量裝置，包括下安裝板（1），其特征在于：所述下安裝板（1）的上方設(shè)置有上安裝板（2），所述下安裝板（1）和上安裝板（2）之間轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動環(huán)（3），所述上安裝板（2）的上表面固定安裝有上支撐架（4），所述轉(zhuǎn)動環(huán)（3）的上端固定安裝有切割刀（10），所述轉(zhuǎn)動環(huán)（3）的底部設(shè)置有活動板（34），所述活動板（34）上設(shè)置有多個通槽（47），所述活動板（34）的上表面對于所述切割刀（10）的位置固定安裝有紅外距離傳感器（40），所述活動板（34）的上表面對于所述切割刀（10）的兩側(cè)均設(shè)置有夾持組件，所述上支撐架（4）的下表面上對應(yīng)所述夾持組件的位置也固定安裝有紅外距離傳感器（40）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種刀片高度測量裝置，其特征在于：所述夾持組件包括內(nèi)螺紋桿（41），所述內(nèi)螺紋桿（41）轉(zhuǎn)動安裝在所述活動板（34）上方且對應(yīng)所述紅外距離傳感器（40）的兩側(cè)，所述內(nèi)螺紋桿（41）的兩端均螺紋連接有夾持板（42），同側(cè)所述內(nèi)螺紋桿（41）之間設(shè)置有內(nèi)傳動件（43），所述活動板（34）上轉(zhuǎn)動安裝有中間齒輪（46），所述活動板（34）上均轉(zhuǎn)動安裝有主齒輪（45），所述主齒輪（45）上均固定安裝有限位齒輪（8），所述限位齒輪（8）套接有傳動鏈（28），所述傳動鏈（28）與所述中間齒輪（46）嚙合，所述內(nèi)傳動件（43）的一側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有從齒輪（44），所述從齒輪（44）與所述主齒輪（45）嚙合。

3.一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，包括權(quán)利要求1-2任意一項所述的一種刀片高度測量裝置，其特征在于：還包括主連接板（7）和側(cè)固定板（25），所述下安裝板（1）的下表面轉(zhuǎn)動安裝有螺紋件（37），所述螺紋件（37）內(nèi)螺紋連接有下螺紋桿（16），所述下螺紋桿（16）的上端與所述活動板（34）固定連接，所述下安裝板（1）的下表面轉(zhuǎn)動安裝有齒輪環(huán)（36），所述螺紋件（37）上固定安裝有內(nèi)齒輪（38），所述內(nèi)齒輪（38）與所述齒輪環(huán)（36）的內(nèi)齒牙嚙合，所述下安裝板（1）的下表面轉(zhuǎn)動安裝有驅(qū)動齒輪（39），所述驅(qū)動齒輪（39）與所述齒輪環(huán)（36）的外齒牙嚙合，所述主連接板（7）和側(cè)固定板（25）均固定安裝在所述上支撐架（4）上，所述主連接板（7）和側(cè)固定板（25）之間設(shè)置有卸料組件。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，其特征在于：所述上安裝板（2）上表面兩側(cè)均轉(zhuǎn)動安裝有側(cè)齒輪（5），所述轉(zhuǎn)動環(huán)（3）的上端固定安裝有中間齒環(huán)（9），所述中間齒環(huán)（9）與所述側(cè)齒輪（5）嚙合，所述側(cè)齒輪（5）的下端固定安裝有連接軸（6），所述側(cè)齒輪（5）的上端固定安裝有上連接桿（14），所述連接軸（6）之間設(shè)置有下傳動件（35）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，其特征在于：所述上支撐架（4）的上端兩側(cè)均轉(zhuǎn)動安裝有上轉(zhuǎn)動軸（12），所述上轉(zhuǎn)動軸（12）的下端固定安裝有轉(zhuǎn)動扇（13），所述上轉(zhuǎn)動軸（12）的上端固定安裝有上錐齒輪（17），所述上支撐架（4）上對應(yīng)所述上錐齒輪（17）的位置轉(zhuǎn)動安裝上傳動桿（20），所述上傳動桿（20）的上端固定安裝有下錐齒輪（18），所述下錐齒輪（18）與所述上錐齒輪（17）嚙合，所述上傳動桿（20）與所述上連接桿（14）之間設(shè)置有上傳動件（19）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，其特征在于：所述卸料組件包括傳輸件（23），所述上支撐架（4）靠近所述主連接板（7）的一側(cè)設(shè)置有次連接板（15），所述傳輸件（23）設(shè)置在所述主連接板（7）和次連接板（15）之間，所述上支撐架（4）之間轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動桿（21），所述轉(zhuǎn)動桿（21）上對應(yīng)夾持組件的位置固定安裝有抽真空件（32），所述抽真空件（32）的下端固定安裝滑動安裝有吸附件（11），所述吸附件（11）與所述抽真空件（32）之間設(shè)置有抽吸管（33），所述轉(zhuǎn)動桿（21）的兩端均固定安裝有從動齒輪（22）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，其特征在于：所述側(cè)固定板（25）之間轉(zhuǎn)動安裝有主動桿（24），所述主動桿（24）的兩端均固定安裝有主動盤（27），所述主動盤（27）上均固定安裝有撥動桿（31），所述上支撐架（4）上轉(zhuǎn)動安裝有連接件（30），所述連接件（30）的一側(cè)固定安裝有半幅齒輪（26），所述撥動桿（31）導(dǎo)入到所述連接件（30）內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，其特征在于：所述傳輸件（23）靠近所述上支撐架（4）的一端與所述主動桿（24）之間設(shè)置有側(cè)傳動件（29）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域的一種刀片高度測量裝置及半導(dǎo)體加工的劃片機(jī)，包括下安裝板，下安裝板的上方設(shè)置有上安裝板，下安裝板和上安裝板之間轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動環(huán)，上安裝板的上表面固定安裝有上支撐架，轉(zhuǎn)動環(huán)的上端固定安裝有切割刀，轉(zhuǎn)動環(huán)的底部設(shè)置有活動板，活動板上設(shè)置有多個通槽，活動板的上表面對于切割刀的位置固定安裝有紅外距離傳感器，活動板的上表面對于切割刀的兩側(cè)均設(shè)置有夾持組件，本發(fā)明提供一種在每次劃分前均對刀片和晶圓上端距離檢測，確?？梢赃M(jìn)行晶圓不均勻的劃分，且確保每次劃分厚度的精準(zhǔn)，避免刀片磨損和位置移動產(chǎn)生的干擾，且可以自動清理切割后的粉料，減少粉料對刀片的磨損，增加刀片的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：王龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：泰興盈拓科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2