本技術(shù)涉及晶圓領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指半導(dǎo)體材料(如硅)在制造過(guò)程中切割成的圓形薄片。晶圓通常具有圓形的外形，類似于一個(gè)大型硬幣或cd盤。它們的直徑可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求而變化，常見(jiàn)的直徑有4英寸(約10厘米)、6英寸、8英寸、12英寸等。晶圓的制備過(guò)程中，先通過(guò)單晶生長(zhǎng)技術(shù)獲得單晶硅棒，然后將硅棒切割成薄片，形成圓形的晶圓。這些晶圓在半導(dǎo)體工藝中扮演著關(guān)鍵的角色，作為基板支持著各種電子器件的制造和集成。需要注意的是，雖然晶圓通常是圓形的，但在某些特殊的應(yīng)用中，也可以采用其他形狀的晶圓，如方形或矩形晶圓。這取決于具體的芯片設(shè)計(jì)和制造要求。然而，圓形晶圓仍然是最為常見(jiàn)和廣泛使用的形狀。

2、在晶圓加工成形時(shí)，需要對(duì)其進(jìn)行切片工作，但是由于在切片過(guò)程中，晶圓條直徑大小不一致，當(dāng)直徑偏小時(shí)，切割部位兩端若沒(méi)有固定好，容易出現(xiàn)傾斜現(xiàn)象，切出來(lái)的晶圓段端口不平整，從而影響成品質(zhì)量。

3、因此，有必要提供一種新的晶圓生產(chǎn)用切片裝置解決上述技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有方便對(duì)不同寬度晶圓限位，使其保證在切片時(shí)更加穩(wěn)定的晶圓生產(chǎn)用切片裝置。

2、本實(shí)用新型提供的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，包括底板，還包括：設(shè)置于底板頂部一側(cè)的定位殼，所述定位殼內(nèi)腔的后側(cè)固定連接有隔板，所述隔板前側(cè)的兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有第一槽口，所述第一槽口內(nèi)腔通過(guò)轉(zhuǎn)軸活動(dòng)連接有導(dǎo)向輪；設(shè)置于底板頂部右側(cè)的支撐架，兩個(gè)支撐架的頂部之間固定連接有定位板，所述定位板的底部固定連接有電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿的底部固定連接有切刀架，所述切刀架內(nèi)腔的底部活動(dòng)連接有切片刀；設(shè)置于所述定位殼內(nèi)腔前側(cè)的活動(dòng)板，所述活動(dòng)板的頂部固定連接有驅(qū)動(dòng)件，所述定位殼的前側(cè)固定連接有調(diào)節(jié)件。

3、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述定位殼的前側(cè)和后側(cè)均固定連接有加固板，所述加固板的底部與底板固定連接。

4、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述切刀架頂部的前側(cè)和后側(cè)均固定連接有限位桿，所述限位桿的頂部貫穿至定位板的外側(cè)并固定連接有固位環(huán)。

5、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)件包括導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板的兩側(cè)均固定連接有推板，兩個(gè)推板相對(duì)的一側(cè)均與活動(dòng)板固定連接，所述導(dǎo)向板的前側(cè)固定連接有螺紋套，所述螺紋套的內(nèi)腔螺紋連接有螺桿，所述螺桿的后側(cè)通過(guò)軸座與定位殼固定連接，所述螺桿的前側(cè)固定連接有扭塊。

6、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述導(dǎo)向板前側(cè)的兩側(cè)均固定連接有滑套，所述滑套的內(nèi)腔設(shè)置有滑桿，所述滑桿的后側(cè)與定位殼固定連接。

7、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)件包括固定板，所述固定板固定于所述活動(dòng)板的頂部，所述定位殼的頂部開(kāi)設(shè)有配合固定板使用的限位孔，所述固定板頂部的一側(cè)固定連接有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端固定連接有第一傳動(dòng)桿，所述第一傳動(dòng)桿的底部貫穿至活動(dòng)板的內(nèi)腔并固定連接有第一輸送輪，所述第一傳動(dòng)桿的表面套設(shè)有第一傳動(dòng)輪，所述第一傳動(dòng)輪的表面套設(shè)有傳動(dòng)帶，所述傳動(dòng)帶內(nèi)腔的一側(cè)傳動(dòng)連接有第二傳動(dòng)輪，所述第二傳動(dòng)輪的內(nèi)部固定連接有第二傳動(dòng)桿，所述第二傳動(dòng)桿的底部貫穿至活動(dòng)板的內(nèi)腔并固定連接有第二輸送輪。

8、作為本實(shí)用新型提供的一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，優(yōu)選的，所述電機(jī)表面的底部固定連接有加固環(huán)，所述加固環(huán)的底部與固定板固定連接。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

10、該晶圓生產(chǎn)用切片裝置，通過(guò)扭動(dòng)扭塊使螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，在螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)使螺紋套會(huì)帶動(dòng)導(dǎo)向板移動(dòng)，此時(shí)隨著導(dǎo)向板的移動(dòng)帶動(dòng)推板移動(dòng)，從而使活動(dòng)板調(diào)節(jié)，方便對(duì)晶圓條進(jìn)行限位夾持，提高切片時(shí)的穩(wěn)定，解決了現(xiàn)有的切片裝置不便于對(duì)不同寬度的晶圓進(jìn)行限位固定的問(wèn)題。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，包括底板(1)，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述定位殼(2)的前側(cè)和后側(cè)均固定連接有加固板(14)，所述加固板(14)的底部與底板(1)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述切刀架(9)頂部的前側(cè)和后側(cè)均固定連接有限位桿(15)，所述限位桿(15)的頂部貫穿至定位板(7)的外側(cè)并固定連接有固位環(huán)(16)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件(13)包括導(dǎo)向板(1301)，所述導(dǎo)向板(1301)的兩側(cè)均固定連接有推板(1302)，兩個(gè)推板(1302)相對(duì)的一側(cè)均與活動(dòng)板(11)固定連接，所述導(dǎo)向板(1301)的前側(cè)固定連接有螺紋套(1303)，所述螺紋套(1303)的內(nèi)腔螺紋連接有螺桿(1304)，所述螺桿(1304)的后側(cè)通過(guò)軸座與定位殼(2)固定連接，所述螺桿(1304)的前側(cè)固定連接有扭塊(1305)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向板(1301)前側(cè)的兩側(cè)均固定連接有滑套(1306)，所述滑套(1306)的內(nèi)腔設(shè)置有滑桿(1307)，所述滑桿(1307)的后側(cè)與定位殼(2)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件(12)包括固定板(1201)，所述固定板(1201)固定于所述活動(dòng)板(11)的頂部，所述定位殼(2)的頂部開(kāi)設(shè)有配合固定板(1201)使用的限位孔(1202)，所述固定板(1201)頂部的一側(cè)固定連接有電機(jī)(1203)，所述電機(jī)(1203)的輸出端固定連接有第一傳動(dòng)桿(1204)，所述第一傳動(dòng)桿(1204)的底部貫穿至活動(dòng)板(11)的內(nèi)腔并固定連接有第一輸送輪(1205)，所述第一傳動(dòng)桿(1204)的表面套設(shè)有第一傳動(dòng)輪(1206)，所述第一傳動(dòng)輪(1206)的表面套設(shè)有傳動(dòng)帶(1207)，所述傳動(dòng)帶(1207)內(nèi)腔的一側(cè)傳動(dòng)連接有第二傳動(dòng)輪(1208)，所述第二傳動(dòng)輪(1208)的內(nèi)部固定連接有第二傳動(dòng)桿(1209)，所述第二傳動(dòng)桿(1209)的底部貫穿至活動(dòng)板(11)的內(nèi)腔并固定連接有第二輸送輪(1210)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓生產(chǎn)用切片裝置，其特征在于，所述電機(jī)(1203)表面的底部固定連接有加固環(huán)(1211)，所述加固環(huán)(1211)的底部與固定板(1201)固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種晶圓生產(chǎn)用切片裝置，該晶圓生產(chǎn)用切片裝置，包括底板，還包括：設(shè)置于底板頂部一側(cè)的定位殼，所述定位殼內(nèi)腔的后側(cè)固定連接有隔板，所述隔板前側(cè)的兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有第一槽口，所述第一槽口內(nèi)腔通過(guò)轉(zhuǎn)軸活動(dòng)連接有導(dǎo)向輪；設(shè)置于底板頂部右側(cè)的支撐架，兩個(gè)支撐架的頂部之間固定連接有定位板，所述定位板的底部固定連接有電動(dòng)推桿，所述電動(dòng)推桿的底部固定連接有切刀架，所述切刀架內(nèi)腔的底部活動(dòng)連接有切片刀；設(shè)置于所述定位殼內(nèi)腔前側(cè)的活動(dòng)板，所述活動(dòng)板的頂部固定連接有驅(qū)動(dòng)件。本技術(shù)提供的晶圓生產(chǎn)用切片裝置解決了現(xiàn)有的切片裝置不便于對(duì)不同寬度的晶圓進(jìn)行限位固定的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：李春財(cái),張吉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇晶利恒半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240412
技術(shù)公布日：2025/1/6