本技術(shù)涉及切割設(shè)備,具體涉及一種多晶硅樣片切割設(shè)備。
背景技術(shù):
1、目前,所用的多晶硅樣片切割機(jī)的樣棒裝夾在一個用螺釘沿樣棒徑向鎖緊的帶孔工裝上,之后按下開關(guān),金剛石鋸片啟動對樣棒進(jìn)行切割,切割兩刀之后即可得到中間2~3mm厚的樣片。
2、然而,以上切割樣棒得到樣片的過程,存在以下問題:
3、1、樣棒徑向采用螺釘鎖緊,固定點(diǎn)位較為單一且不夠穩(wěn)定,若螺釘擰緊力度較大,易發(fā)生樣棒斷裂現(xiàn)象;
4、2、在切割第二刀時,因樣片厚度較薄,樣片在切割到底部時,易發(fā)生崩斷現(xiàn)象,導(dǎo)致底部邊緣不整齊;
5、3、使用的金剛石鋸片會在樣片兩側(cè)表面留下明顯的切割痕跡,不夠平整和美觀;
6、4、現(xiàn)有切割機(jī)一次(兩刀)只能切割出一件樣片,無法實(shí)現(xiàn)多件樣片同時切割,效率較慢。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供一種多晶硅樣片切割設(shè)備,以解決現(xiàn)有樣棒裝夾后易斷裂、樣片邊緣不整齊和兩側(cè)表面有明顯切割痕跡以及切割效率較慢的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案:
3、一種多晶硅樣片切割設(shè)備,包括:
4、箱體,具有一下沉的切割區(qū);
5、夾持器,設(shè)于所述切割區(qū),用于裝夾多晶硅樣棒;及
6、切割器,設(shè)于所述切割區(qū),其切割頭可沿多晶硅樣棒的徑向進(jìn)給以對多晶硅樣棒進(jìn)行切割而得到樣片;
7、其中,所述夾持器主要由可相對移動的三齒夾爪和穩(wěn)定器組成,所述三齒夾爪用于夾持多晶硅樣棒一端,所述穩(wěn)定器用于頂住多晶硅樣棒另一端。
8、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述三齒夾爪包括夾爪本體及第一伸縮缸,所述第一伸縮缸的缸體與所述切割區(qū)一側(cè)的箱體固定連接、活塞桿與所述夾爪本體相連接;
9、所述穩(wěn)定器包括圓盤及第二伸縮缸,所述第二伸縮缸的缸體與所述切割區(qū)另一側(cè)的箱體固定連接、活塞桿與所述圓盤相連接;
10、所述箱體內(nèi)置有含數(shù)控程序的控制模塊,分別用于控制所述夾爪本體、第一伸縮缸及第二伸縮缸動作。
11、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述夾爪本體內(nèi)襯聚氨酯軟墊,且所述圓盤與多晶硅樣棒接觸的一面貼有聚氨酯軟墊。
12、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述夾持器沿所述切割頭進(jìn)給方向等間距并列設(shè)置有多套。
13、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述切割器包括固定安裝在所述切割區(qū)的箱體內(nèi)的直線步進(jìn)電機(jī);
14、所述直線步進(jìn)電機(jī)的工作端與所述切割頭相連接、以驅(qū)動所述切割頭沿多晶硅樣棒的徑向進(jìn)給。
15、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述切割頭包括u型機(jī)架、驅(qū)動輪、張緊輪及一對被動切割輪;
16、所述u型機(jī)架連接于所述直線步進(jìn)電機(jī)的工作端;
17、所述驅(qū)動輪、張緊輪及一對被動切割輪分別轉(zhuǎn)動連接于所述u型機(jī)架且它們通過環(huán)形的金剛線相傳動連接;
18、所述驅(qū)動輪與張緊輪離被切割的多晶硅樣棒較遠(yuǎn)且所述驅(qū)動輪位于所述張緊輪下方;
19、一對所述的被動切割輪離被切割的多晶硅樣棒較近。
20、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述u型機(jī)架安裝有出口朝向多晶硅樣棒切割處的噴淋管,所述噴淋管通過伸縮軟管與內(nèi)置于所述箱體的水泵相連接,所述水泵與外界儲水箱相連接;
21、所述切割區(qū)的底部設(shè)有排水濾網(wǎng)。
22、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述切割區(qū)上罩設(shè)有與所述箱體通過合頁相連接的防護(hù)罩;
23、所述防護(hù)罩上設(shè)有透明觀察窗及把手。
24、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述箱體傾斜設(shè)置的前側(cè)面上安裝有顯示屏及多個位于所述顯示屏右側(cè)的操控按鈕;
25、所述顯示屏用于顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài);
26、所述操控按鈕分別用于控制第一伸縮缸和第二伸縮缸的伸縮、驅(qū)動輪和水泵的啟停、直線步進(jìn)電機(jī)的進(jìn)給。
27、在本申請公開的一個實(shí)施例中,所述箱體上設(shè)有通過磁力吸附在其前側(cè)面的標(biāo)識牌,用于標(biāo)識設(shè)備已啟動、處于運(yùn)行中。
28、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:
29、1、通過三齒夾爪和穩(wěn)定器及其相對移動以固定多晶硅樣棒兩端,穩(wěn)定性高,樣棒不易斷裂,同時在切割第二刀時能夠避免樣片發(fā)生崩斷,從而保證樣片具有整齊的邊緣,提高了樣片的外觀質(zhì)量。
30、2、多套夾持器可分別裝夾一根多晶硅樣棒,從而使得切割頭能夠一次進(jìn)給對多個多晶硅樣棒進(jìn)行切割,進(jìn)而兩刀切割出多個樣片,有效提高了工作效率。
31、3、以金剛線代替現(xiàn)有金剛石鋸片對多晶硅樣棒進(jìn)行線切割,運(yùn)行平穩(wěn),能夠進(jìn)一步避免在切割第二刀時樣片發(fā)生崩斷,保證樣片邊緣整齊、側(cè)面平整且美觀,有效解決樣片切割面留下明顯痕跡的問題。
1.一種多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于,所述夾爪本體內(nèi)襯聚氨酯軟墊,且所述圓盤與多晶硅樣棒接觸的一面貼有聚氨酯軟墊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于,所述夾持器沿所述切割頭進(jìn)給方向等間距并列設(shè)置有多套。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于:
10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的多晶硅樣片切割設(shè)備,其特征在于,所述箱體上設(shè)有通過磁力吸附在其前側(cè)面的標(biāo)識牌,用于標(biāo)識設(shè)備已啟動、處于運(yùn)行中。