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一種單晶硅棒加工線切設(shè)備的制作方法

文檔序號:40600217發(fā)布日期:2025-01-07 20:40閱讀:7來源:國知局
一種單晶硅棒加工線切設(shè)備的制作方法

本技術(shù)涉及單晶硅棒,具體為一種單晶硅棒加工線切設(shè)備。


背景技術(shù):

1、單晶硅通常指的是硅原子以一種排列形式形成的物質(zhì),硅是最常見應用最廣的半導體材料,當熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成晶核,其晶核長成晶面取向相同的晶粒,形成單晶硅,單晶硅棒是通過區(qū)熔或直拉工藝在爐膛中整形或提拉形成的硅單晶體棒。

2、現(xiàn)有技術(shù)的單晶硅棒線切時,通常是對單個單晶硅棒進行固定,然后逐個完成線切,但是切割效率較慢,因此,需要一種單晶硅棒加工線切設(shè)備。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,解決了背景技術(shù)中所提出的問題。

2、本申請實施例提供了一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,包括箱體,所述箱體的后壁安裝有電機,所述電機的輸出軸穿設(shè)置箱體的內(nèi)部并且固定連接有線輥,所述線輥的外部繞設(shè)有切割線,所述箱體的兩側(cè)外壁均固定連接有切割液儲存箱,所述切割液儲存箱的頂端安裝有抽液泵,所述抽液泵的抽液端固定連接有固定管,所述固定管穿設(shè)至切割液儲存箱的內(nèi)部,所述抽液泵的排液端固定連接有連接管,所述連接管穿設(shè)至箱體的內(nèi)部并且固定連接有噴頭,所述箱體的內(nèi)部底端安裝有電動推桿,所述電動推桿的輸出軸的端面固定連接有下夾板,所述下夾板的上方設(shè)置有上夾板,所述上夾板上穿設(shè)有加長螺桿,所述加長螺桿與下夾板螺紋連接,所述下夾板和上夾板相對的一側(cè)均開設(shè)有卡槽,所述卡槽的內(nèi)部卡合連接有單晶硅棒。

3、使用時,首先將多個單晶硅棒依次安裝在下夾板和上夾板之間的卡槽內(nèi),然后通過加長螺桿將上夾板和下夾板進行鎖緊固定即可,電機的輸出軸可帶動線輥以及切割線進行轉(zhuǎn)動,電動推桿的輸出軸可推動單晶硅棒上升,通過切割線完成對單晶硅棒的切割,抽液泵在固定管和連接管的配合下,能夠?qū)⑶懈钜簝Υ嫦鋬?nèi)部的切割液抽至噴頭的內(nèi)部,由噴頭將切割液噴灑在單晶硅棒上,有利于單晶硅棒的切割。

4、可選的,所述卡槽共設(shè)置有七組,七組所述卡槽等距離分布。

5、通過采用上述技術(shù)方案,有利于安裝多個單晶硅棒進行同時線切。

6、可選的,所述線輥的外壁開設(shè)有限位槽。

7、通過采用上述技術(shù)方案,能夠防止切割線從線輥上脫落。

8、可選的,所述箱體的底端固定穿設(shè)有排液管,所述排液管的下方設(shè)置有收集箱。

9、通過采用上述技術(shù)方案,在排液管和收集箱的作用下,能夠?qū)ο潴w內(nèi)排出的切割液進行收集。

10、可選的,所述加長螺桿的頂端兩側(cè)均固定連接有連接塊。

11、通過采用上述技術(shù)方案,通過連接塊可更加靈活的手動轉(zhuǎn)動加長螺桿。

12、可選的,所述電動推桿的外部設(shè)置有防水殼。

13、通過采用上述技術(shù)方案,能夠防止切割液噴灑在電動推桿上。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本申請技術(shù)方案的有益效果如下:

15、本申請技術(shù)方案通過下夾板和上夾板以及兩個夾板上的卡槽的配合,能夠?qū)Χ鄠€單晶硅棒進行夾持固定,然后通過加長螺桿將上夾板和下夾板進行鎖緊固定即可,有利于對多個單晶硅棒進行同時線切,提高了工作效率。



技術(shù)特征:

1.一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于:包括箱體(1),所述箱體(1)的后壁安裝有電機(18),所述電機(18)的輸出軸穿設(shè)置箱體(1)的內(nèi)部并且固定連接有線輥(3),所述線輥(3)的外部繞設(shè)有切割線(2),所述箱體(1)的兩側(cè)外壁均固定連接有切割液儲存箱(6),所述切割液儲存箱(6)的頂端安裝有抽液泵(5),所述抽液泵(5)的抽液端固定連接有固定管(8),所述固定管(8)穿設(shè)至切割液儲存箱(6)的內(nèi)部,所述抽液泵(5)的排液端固定連接有連接管(4),所述連接管(4)穿設(shè)至箱體(1)的內(nèi)部并且固定連接有噴頭(7),所述箱體(1)的內(nèi)部底端安裝有電動推桿(10),所述電動推桿(10)的輸出軸的端面固定連接有下夾板(15),所述下夾板(15)的上方設(shè)置有上夾板(16),所述上夾板(16)上穿設(shè)有加長螺桿(14),所述加長螺桿(14)與下夾板(15)螺紋連接,所述下夾板(15)和上夾板(16)相對的一側(cè)均開設(shè)有卡槽(19),所述卡槽(19)的內(nèi)部卡合連接有單晶硅棒(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于,所述卡槽(19)共設(shè)置有七組,七組所述卡槽(19)等距離分布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于,所述線輥(3)的外壁開設(shè)有限位槽(17)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于,所述箱體(1)的底端固定穿設(shè)有排液管(9),所述排液管(9)的下方設(shè)置有收集箱(11)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于,所述加長螺桿(14)的頂端兩側(cè)均固定連接有連接塊(12)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,其特征在于,所述電動推桿(10)的外部設(shè)置有防水殼。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及單晶硅棒技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種單晶硅棒加工線切設(shè)備,包括箱體,所述箱體的后壁安裝有電機,所述電機的輸出軸穿設(shè)置箱體的內(nèi)部并且固定連接有線輥,所述線輥的外部繞設(shè)有切割線,所述箱體的兩側(cè)外壁均固定連接有切割液儲存箱,所述切割液儲存箱的頂端安裝有抽液泵,所述抽液泵的抽液端固定連接有固定管,所述固定管穿設(shè)至切割液儲存箱的內(nèi)部,所述抽液泵的排液端固定連接有連接管。本技術(shù)技術(shù)方案通過下夾板和上夾板以及兩個夾板上的卡槽的配合,能夠?qū)Χ鄠€單晶硅棒進行夾持固定,然后通過加長螺桿將上夾板和下夾板進行鎖緊固定即可,有利于對多個單晶硅棒進行同時線切,提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員:秦曉劍,汪萍,秦海良
受保護的技術(shù)使用者:江蘇奧匯能源科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240516
技術(shù)公布日:2025/1/6
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