本技術(shù)涉及晶片切割,具體為一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置。
背景技術(shù):
1、機(jī)械切割是晶片切割最為常見的方式,通常使用批量生產(chǎn)的半導(dǎo)體切割機(jī)完成,該機(jī)器使用一把能耐切割晶圓材料的硬質(zhì)刀片,以高速旋轉(zhuǎn)的方式對(duì)晶圓進(jìn)行切割,機(jī)械切割適用于各種晶圓材料,具有成本低、穩(wěn)定性好、效率高等優(yōu)點(diǎn);
2、傳統(tǒng)的切割方式是先進(jìn)行定位在進(jìn)行切割,該方式的切割效率較低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的先定位再切割導(dǎo)致的效率低的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案,包括:工作平臺(tái)一,所述工作平臺(tái)一的一側(cè)固定連接有工作平臺(tái)二,所述工作平臺(tái)二的上端表面固定連接有支撐柱,所述工作平臺(tái)一的上端表面固定連接有外殼體,所述外殼體的一側(cè)表面固定連接有側(cè)殼體,所述工作平臺(tái)一的上端設(shè)有傳動(dòng)機(jī)構(gòu),傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二將待切割物料運(yùn)送至切割處。
3、優(yōu)選的,其中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:所述外殼體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)輪一,所述傳動(dòng)輪一的一側(cè)表面固定連接有傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸的一端表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑塊一,所述側(cè)殼體的內(nèi)壁表面固定連接有滑軌,所述側(cè)殼體的內(nèi)壁與滑塊一的下端表面之間連接有彈簧,所述外殼體的上端表面固定連接有上殼體,所述上殼體的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)輪二,所述上殼體的一側(cè)表面固定安裝有電機(jī)。
4、采用上述技術(shù)方案,傳動(dòng)機(jī)構(gòu)方便了物料的傳送。
5、優(yōu)選的,所述工作平臺(tái)二的上端表面設(shè)有切片機(jī)構(gòu),其中切片機(jī)構(gòu)包括:所述支撐柱的上端表面固定連接有滑槽,所述滑槽的表面滑動(dòng)連接有滑塊二,所述滑塊二的上端表面固定連接有直通氣缸,所述直通氣缸的活塞桿一端表面固定連接有切割機(jī),所述滑槽的內(nèi)壁表面與滑塊二的一側(cè)表面之間連接有拉簧,所述滑塊二的一側(cè)表面固定連接有無軌氣缸,所述無軌氣缸的滑動(dòng)組件表面固定連接有夾持臂,所述夾持臂的一端表面固定連接有橡膠墊。
6、采用上述技術(shù)方案,切片機(jī)構(gòu)方便了在柱形晶體原料運(yùn)送的過程中進(jìn)行切割。
7、優(yōu)選的,所述外殼體的兩側(cè)表面設(shè)有開口,所述側(cè)殼體的一側(cè)表面設(shè)有開口,所述側(cè)殼體以外殼體的中心為軸對(duì)稱設(shè)置,且側(cè)殼體的開口與外殼體的開口重合。
8、采用上述技術(shù)方案,為傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與切片機(jī)構(gòu)提供結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)。
9、優(yōu)選的,所述滑塊一與滑軌為滑動(dòng)連接,所述傳動(dòng)軸設(shè)置在外殼體的開口處,所述傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二的整體形狀相同,且傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二的表面均設(shè)有環(huán)形凹陷,所述電機(jī)的輸出軸一端貫穿上殼體的一側(cè)表面設(shè)置,且電機(jī)的輸出軸一端固定連接在傳動(dòng)輪二的一側(cè)表面。
10、采用上述技術(shù)方案,由于側(cè)殼體內(nèi)彈簧的作用,使得傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二將原料緊緊的夾持住,從而確保了柱形晶體原料在運(yùn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定。
11、優(yōu)選的,2個(gè)所述夾持臂的間距中心處與傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二的間距中心處處于同一高度。
12、采用上述技術(shù)方案,方便切割機(jī)的切割。
13、優(yōu)選的,所述滑槽的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)有孔洞,所述拉簧設(shè)置在滑槽的內(nèi)壁孔洞內(nèi),所述滑塊二的一側(cè)表面固定連接有柱形凸起,且滑塊二的一側(cè)凸起與滑槽的孔洞直徑大小相同。
14、采用上述技術(shù)方案,方便拉簧將滑塊二拉回初始位置,以方便下次切割。
15、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置:
16、1.傳動(dòng)機(jī)構(gòu)方便了物料的傳送,需要對(duì)柱形晶體原料進(jìn)行切割時(shí),將柱形晶體原料的一端塞入傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二之間,由于晶體原料的擠壓,滑塊一在滑軌上向下運(yùn)動(dòng),由于側(cè)殼體內(nèi)彈簧的作用,從而確保了柱形晶體原料在運(yùn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定,該機(jī)構(gòu)方便了柱形晶體原料的定位與運(yùn)動(dòng),將柱形晶體原料塞入傳動(dòng)輪一與傳動(dòng)輪二之間即可,從而提升了工作效率。
17、2.切片機(jī)構(gòu)方便了在柱形晶體原料運(yùn)送的過程中進(jìn)行切割,將氣泵的輸氣管接入直通氣缸與無軌氣缸,在柱形晶體原料運(yùn)送的過程中,啟動(dòng)氣泵,夾持臂一端的橡膠墊將柱形晶體原料夾持住,由于橡膠墊提供的摩擦作用,滑塊二得以在滑槽中運(yùn)動(dòng),在此過程中,切割機(jī)將柱形晶體原料切割,相對(duì)于傳統(tǒng)先定位再進(jìn)行切割,在物料運(yùn)送的過程中進(jìn)行切割提升了切割的效率。
1.一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,包括:工作平臺(tái)一(1),所述工作平臺(tái)一(1)的一側(cè)固定連接有工作平臺(tái)二(12),所述工作平臺(tái)二(12)的上端表面固定連接有支撐柱(13),所述工作平臺(tái)一(1)的上端表面固定連接有外殼體(2),所述外殼體(2)的一側(cè)表面固定連接有側(cè)殼體(3),其特征在于:所述工作平臺(tái)一(1)的上端設(shè)有傳動(dòng)機(jī)構(gòu),傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過電機(jī)(11)帶動(dòng)傳動(dòng)輪一(4)與傳動(dòng)輪二(10)將待切割物料運(yùn)送至切割處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:其中傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:所述外殼體(2)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)輪一(4),所述傳動(dòng)輪一(4)的一側(cè)表面固定連接有傳動(dòng)軸(5),所述傳動(dòng)軸(5)的一端表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑塊一(6),所述側(cè)殼體(3)的內(nèi)壁表面固定連接有滑軌(7),所述側(cè)殼體(3)的內(nèi)壁與滑塊一(6)的下端表面之間連接有彈簧(8),所述外殼體(2)的上端表面固定連接有上殼體(9),所述上殼體(9)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有傳動(dòng)輪二(10),所述上殼體(9)的一側(cè)表面固定安裝有電機(jī)(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:所述工作平臺(tái)二(12)的上端表面設(shè)有切片機(jī)構(gòu),其中切片機(jī)構(gòu)包括:所述支撐柱(13)的上端表面固定連接有滑槽(14),所述滑槽(14)的表面滑動(dòng)連接有滑塊二(15),所述滑塊二(15)的上端表面固定連接有直通氣缸(16),所述直通氣缸(16)的活塞桿一端表面固定連接有切割機(jī)(17),所述滑槽(14)的內(nèi)壁表面與滑塊二(15)的一側(cè)表面之間連接有拉簧(21),所述滑塊二(15)的一側(cè)表面固定連接有無軌氣缸(18),所述無軌氣缸(18)的滑動(dòng)組件表面固定連接有夾持臂(19),所述夾持臂(19)的一端表面固定連接有橡膠墊(20)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:所述外殼體(2)的兩側(cè)表面設(shè)有開口,所述側(cè)殼體(3)的一側(cè)表面設(shè)有開口,所述側(cè)殼體(3)以外殼體(2)的中心為軸對(duì)稱設(shè)置,且側(cè)殼體(3)的開口與外殼體(2)的開口重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:所述滑塊一(6)與滑軌(7)為滑動(dòng)連接,所述傳動(dòng)軸(5)設(shè)置在外殼體(2)的開口處,所述傳動(dòng)輪一(4)與傳動(dòng)輪二(10)的整體形狀相同,且傳動(dòng)輪一(4)與傳動(dòng)輪二(10)的表面均設(shè)有環(huán)形凹陷,所述電機(jī)(11)的輸出軸一端貫穿上殼體(9)的一側(cè)表面設(shè)置,且電機(jī)(11)的輸出軸一端固定連接在傳動(dòng)輪二(10)的一側(cè)表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:2個(gè)所述夾持臂(19)的間距中心處與傳動(dòng)輪一(4)與傳動(dòng)輪二(10)的間距中心處處于同一高度。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種設(shè)有隨動(dòng)切割?yuàn)A持結(jié)構(gòu)的晶片切割裝置,其特征在于:所述滑槽(14)的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)有孔洞,所述拉簧(21)設(shè)置在滑槽(14)的內(nèi)壁孔洞內(nèi),所述滑塊二(15)的一側(cè)表面固定連接有柱形凸起,且滑塊二(15)的一側(cè)凸起與滑槽(14)的孔洞直徑大小相同。