本技術(shù)涉及硅芯磨錐支撐，尤其是涉及一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、方硅芯由高純度硅芯圓棒制成，呈標(biāo)準(zhǔn)的方形平面結(jié)構(gòu)，其在西門子法和硅烷發(fā)多晶硅生產(chǎn)中作為熱載體，用于還原反應(yīng)沉積多晶硅，它連通沉積的硅一起作為多晶硅原料使用，是多晶硅生產(chǎn)中不可缺少的材料。

2、在一些使用情況下需要將硅芯進(jìn)行磨錐加工，創(chuàng)建具有特定錐形結(jié)構(gòu)的硅芯，以滿足這些應(yīng)用的需求，磨錐是將硅芯的某個(gè)部分磨削成錐形，在半導(dǎo)體制造中，精確的研磨和切割是非常重要的步驟，以確保器件的尺寸和形狀滿足設(shè)計(jì)要求。

3、由于硅芯具有一定的長(zhǎng)度，在磨錐時(shí)若不對(duì)其進(jìn)行支撐，不便于硅芯進(jìn)行加工，且由于硅芯具有多種形狀，而磨錐時(shí)硅芯會(huì)隨著加工設(shè)備進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此對(duì)于方形硅芯來說，對(duì)硅芯進(jìn)行支撐是一項(xiàng)亟待解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，能夠避免在對(duì)較長(zhǎng)硅芯磨錐時(shí)，不便于對(duì)旋轉(zhuǎn)的硅芯進(jìn)行支撐的情況。

2、本實(shí)用新型提供一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，包括支撐桿，所述支撐桿的上端安裝有第一旋轉(zhuǎn)組件，所述支撐桿的下端鉸接有滑軌，所述滑軌內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的上端活動(dòng)連接有第二旋轉(zhuǎn)組件，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過在滑軌內(nèi)的滑動(dòng)調(diào)節(jié)第二旋轉(zhuǎn)組件的位置。

3、優(yōu)先的，所述第一旋轉(zhuǎn)組件和第二旋轉(zhuǎn)組件的結(jié)構(gòu)一致。

4、優(yōu)先的，所述第一旋轉(zhuǎn)組件包括固定套，所述固定套通過螺絲與支撐桿連接，所述固定套內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有內(nèi)環(huán)，所述內(nèi)環(huán)的一側(cè)連接有延長(zhǎng)筒。

5、優(yōu)先的，所述延長(zhǎng)筒的內(nèi)部開設(shè)有方形槽口。

6、優(yōu)先的，所述固定套的內(nèi)壁上開設(shè)有環(huán)形槽，所述環(huán)形槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有多個(gè)滾珠，所述內(nèi)環(huán)通過滾珠實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)。

7、優(yōu)先的，其中調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)設(shè)置在滑軌內(nèi)的一對(duì)滑塊，一對(duì)所述滑塊的一側(cè)均設(shè)置有轉(zhuǎn)桿，一對(duì)所述轉(zhuǎn)桿之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有空心桿。

8、優(yōu)先的，所述空心桿內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有內(nèi)桿，所述空心桿上螺紋連接有螺栓，所述螺栓對(duì)內(nèi)桿進(jìn)行固定。

9、優(yōu)先的，所述滑軌的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有絲桿，所述絲桿與滑塊螺紋連接，所述滑軌的另一側(cè)固定設(shè)置有滑桿，所述滑桿與另一個(gè)滑塊滑動(dòng)連接。

10、優(yōu)先的，所述內(nèi)桿的上端開設(shè)有滑孔，所述滑孔內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有移動(dòng)桿，所述移動(dòng)桿的上端設(shè)置有限位頭。

11、優(yōu)先的，所述第二旋轉(zhuǎn)組件的一側(cè)設(shè)置有支撐板。

12、本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，與現(xiàn)有技術(shù)相比：

13、1、本實(shí)用新型通過支撐桿對(duì)固定套進(jìn)行支撐，將工件貫穿延長(zhǎng)筒，利用支撐桿與固定套對(duì)工件進(jìn)行支撐，同時(shí)在工件加工時(shí)需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，工件旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的力度促使?jié)L珠帶著內(nèi)環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)，使固定套和支撐桿始終對(duì)工件進(jìn)行支撐，提高工件加工時(shí)的穩(wěn)定性。

14、2、本實(shí)用新型通過在支撐桿一側(cè)活動(dòng)設(shè)置滑軌，并在滑軌內(nèi)設(shè)置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和第二旋轉(zhuǎn)組件，使調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以根據(jù)工件的長(zhǎng)度調(diào)節(jié)第二旋轉(zhuǎn)組件的位置，利用第二旋轉(zhuǎn)組件加強(qiáng)對(duì)工件的支撐，進(jìn)一步加強(qiáng)工件的穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，包括支撐桿(1)，其特征在于：所述支撐桿(1)的上端安裝有第一旋轉(zhuǎn)組件(2)，所述支撐桿(1)的下端鉸接有滑軌(3)，所述滑軌(3)內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的上端活動(dòng)連接有第二旋轉(zhuǎn)組件(4)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過在滑軌(3)內(nèi)的滑動(dòng)調(diào)節(jié)第二旋轉(zhuǎn)組件(4)的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一旋轉(zhuǎn)組件(2)和第二旋轉(zhuǎn)組件(4)的結(jié)構(gòu)一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一旋轉(zhuǎn)組件(2)包括固定套(21)，所述固定套(21)通過螺絲與支撐桿(1)連接，所述固定套(21)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有內(nèi)環(huán)(23)，所述內(nèi)環(huán)(23)的一側(cè)連接有延長(zhǎng)筒(25)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述延長(zhǎng)筒(25)的內(nèi)部開設(shè)有方形槽口。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述固定套(21)的內(nèi)壁上開設(shè)有環(huán)形槽(22)，所述環(huán)形槽(22)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有多個(gè)滾珠(24)，所述內(nèi)環(huán)(23)通過滾珠(24)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：其中調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括滑動(dòng)設(shè)置在滑軌(3)內(nèi)的一對(duì)滑塊(7)，一對(duì)所述滑塊(7)的一側(cè)均設(shè)置有轉(zhuǎn)桿(71)，一對(duì)所述轉(zhuǎn)桿(71)之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有空心桿(8)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述空心桿(8)內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有內(nèi)桿(9)，所述空心桿(8)上螺紋連接有螺栓(81)，所述螺栓(81)對(duì)內(nèi)桿(9)進(jìn)行固定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述滑軌(3)的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有絲桿(5)，所述絲桿(5)與滑塊(7)螺紋連接，所述滑軌(3)的另一側(cè)固定設(shè)置有滑桿(6)，所述滑桿(6)與另一個(gè)滑塊(7)滑動(dòng)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述內(nèi)桿(9)的上端開設(shè)有滑孔(92)，所述滑孔(92)內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有移動(dòng)桿(93)，所述移動(dòng)桿(93)的上端設(shè)置有限位頭(94)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第二旋轉(zhuǎn)組件(4)的一側(cè)設(shè)置有支撐板(91)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)實(shí)施例提供的一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，涉及硅芯磨錐支撐技術(shù)領(lǐng)域。該方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)，包括支撐桿，所述支撐桿的上端安裝有第一旋轉(zhuǎn)組件，所述支撐桿的下端鉸接有滑軌，所述滑軌內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的上端活動(dòng)連接有第二旋轉(zhuǎn)組件，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過在滑軌內(nèi)的滑動(dòng)調(diào)節(jié)第二旋轉(zhuǎn)組件的位置。本技術(shù)通過支撐桿對(duì)固定套進(jìn)行支撐，將工件貫穿延長(zhǎng)筒，利用支撐桿與固定套對(duì)工件進(jìn)行支撐，同時(shí)在工件加工時(shí)需要進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，工件旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的力度促使?jié)L珠帶著內(nèi)環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)，使固定套和支撐桿始終對(duì)工件進(jìn)行支撐，提高工件加工時(shí)的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：劉小明,李帥,吳海嘯,高萬里,陳耀東,賀濤,雍定利,吳建科,向恩寧,楊霆
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧夏和光新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240520
技術(shù)公布日：2025/1/2