孔45。借由將銷(xiāo)32插入于貫通孔45，通過(guò)該銷(xiāo)32而將刀具33保持于保持具31呈旋轉(zhuǎn)自如。貫通孔45的內(nèi)徑，例如為1.5mm左右。
[0094]在本體部41的外周，形成有圓環(huán)狀的刀刃42。
[0095]刀刃42是借由以旋轉(zhuǎn)軸為中心的同心圓狀的內(nèi)周及外周所形成的圓環(huán)狀體。刀刃42在主視觀察下呈大致V字狀，且刀刃42相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸方向的厚度，隨著朝向成為棱線部分的刃前端43而逐漸變小。刃前端43沿刀刃42的最外周部設(shè)置。
[0096]刀具33由硬度較樹(shù)脂薄膜17a及脆性材料基板17b高的材料構(gòu)成。因此，與刀具33的硬度小于脆性材料基板17b的情形相比，可提高該刀具33的壽命。
[0097]刀具33，例如由SK、SKD、SKH等的鋼材或不銹鋼、陶瓷或超硬合金所形成。刀具33也可為使用于超硬合金等基材鍍敷有鉆石(金剛石)等的硬質(zhì)材料膜而成者。
[0098]針對(duì)刀具33的尺寸進(jìn)行說(shuō)明。
[0099]刀具33的外徑Dm為4.0?10.0mm的范圍，較佳為6.0?7.0mm的范圍。在刀具33的外徑Dm小于4.0mm的情形，難以將刃前端43的角度(刃前角Θ I)設(shè)為較小(使刃前端43為銳角)。另一方面，在刀具33的外徑Dm大于10.0mm的情形，因刀刃42與切斷對(duì)象的接觸面積變大，而存在有切斷所需的負(fù)載變大、切斷品質(zhì)降低的情形。
[0100]刃前角Θ I為銳角，且為5蘭Θ I ^ 50 (deg)的范圍，較佳為10 ^ Θ I ^ 30 (deg)的范圍。刃前角Θ I的角度，可對(duì)應(yīng)所欲切斷層的材質(zhì)或厚度等而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。
[0101]刀具33的厚度Th，為0.4?1.2mm的范圍，較佳為0.4?1.1mm的范圍。在刀具33的厚度Th小于0.4mm的情形，易使加工及處理變困難。另一方面，在刀具33的厚度Th大于1.2mm的情形，將使刀具33的材料及制造所需的成本變高。
[0102]接著，針對(duì)深度調(diào)整部34調(diào)整刀具33進(jìn)行切斷的深度的作用的細(xì)節(jié)進(jìn)行說(shuō)明。
[0103]在圖5(a)及圖5(b)中，示意性地表示有作為比較例的刀具單元50對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的狀態(tài)。
[0104]在圖6(a)及圖6(b)中，示意性地表示有刀具單元30對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的狀態(tài)。在圖6中，僅圖示刀具33及被切斷物17周邊。
[0105]以下，關(guān)于被切斷物17針對(duì)僅想要切斷樹(shù)脂薄膜17a、不想要切斷脆性材料基板17b的情形為例進(jìn)行說(shuō)明。也就是，針對(duì)將成為切斷對(duì)象的層(以下，稱(chēng)為“切斷對(duì)象層”)設(shè)為樹(shù)脂薄膜17a、將不成為切斷對(duì)象的層(以下，稱(chēng)為“非切斷對(duì)象層”)設(shè)為脆性材料基板17b的情形進(jìn)行說(shuō)明。
[0106]如圖5(a)及圖5(b)所示，刀具單元50借由保持構(gòu)件51、銷(xiāo)52及刀具53構(gòu)成。刀具53通過(guò)銷(xiāo)52而相對(duì)于保持構(gòu)件51固定。刀具53具有相對(duì)于刃前端43的棱線垂直的平面部54。在刀具單元50中，在想要切斷樹(shù)脂薄膜17a的情形，成為使平面部54與脆性材料基板17b接觸并使刀具53水平移動(dòng)。
[0107]在刀具單元50中，刀具53在不旋轉(zhuǎn)的情況下進(jìn)行水平移動(dòng)。因此，對(duì)被切斷物17進(jìn)行內(nèi)切有困難，必需進(jìn)行外切。因此，在進(jìn)行被切斷物17的切斷時(shí)，其開(kāi)始的位置容易受到限制。
[0108]所謂的“內(nèi)切”，是表示從較被切斷物17的端緣更內(nèi)側(cè)進(jìn)行切斷的方法。所謂的“外切”，是表示從被切斷物17的端緣的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)刀具進(jìn)行切斷的方法。
[0109]在刀具單元50中，必需對(duì)刀具53的平面部54與被切斷物17的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0110]具體而言，在開(kāi)始進(jìn)行切斷前，在被切斷物17的外側(cè)中，必需進(jìn)行考慮樹(shù)脂薄膜17a的厚度、同時(shí)使刀具53的平面部54與脆性材料基板17b的高度一致的作業(yè)。
[0111]如刀具單元50般，在不使刀具53接觸不想要切斷層的構(gòu)成的場(chǎng)合，容易受到載置被切斷物17的場(chǎng)所的影響。
[0112]具體而言，在對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷時(shí)，受到載置該被切斷物17的平臺(tái)16的平坦度的影響，在切斷被切斷物17的深度容易產(chǎn)生偏差。此外，在將切斷對(duì)象積層于脆性材料基板的情形，即使是脆性材料基板表面的微小的凹凸也因此而存在有同樣的影響。
[0113]此外，在刀具單元50中，必需使刀具53的硬度低于非切斷對(duì)象層的硬度(至少為與切斷對(duì)象層接觸的面的附近)。此是由于在刀具53的硬度高于非切斷對(duì)象層的硬度的情形，將使該非切斷對(duì)象層破損(遭受劃傷)之故。
[0114]具體而言，刀具53的硬度，必需高于樹(shù)脂薄膜17a的硬度、同時(shí)低于脆性材料基板17b的硬度。
[0115]若使刀具53的硬度低，則其壽命將降低。
[0116]另一方面，如圖6所示，在欲借由刀具單元30進(jìn)行切斷被切斷物17的情形，保持具31的深度調(diào)整部34的曲面部37與樹(shù)脂薄膜17a的表面接觸。一旦曲面部37與樹(shù)脂薄膜17a的表面接觸，則決定刀具單元30相對(duì)于被切斷物17的位置(高度)。一旦刀具單元30的位置被決定，則決定了刀具33的位置，使該刀具33之中從深度調(diào)整部34突出的部分對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷。
[0117]以如此的方式，調(diào)整刀具33對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的深度。
[0118]在刀具單元30中，刀具33是圓盤(pán)形狀且為旋轉(zhuǎn)自如。因此，能夠?qū)Ρ磺袛辔?7進(jìn)行內(nèi)切。
[0119]如刀具單元30般，在一邊接觸切斷對(duì)象層表面、一邊進(jìn)行切斷的構(gòu)成的情形，與一邊接觸非切斷對(duì)象層、一邊進(jìn)行切斷的情形相比，較不易受到載置被切斷物17的場(chǎng)所或非切斷對(duì)象層表面的微小的凹凸的影響。
[0120]具體而言，在對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷時(shí)，由于以切斷對(duì)象層即樹(shù)脂薄膜17a的表面為基準(zhǔn)而定位刀具33，因此容易使從該樹(shù)脂薄膜17a的表面起的深度為一定。因此，可抑制在對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的深度產(chǎn)生偏差。
[0121]刀具33的突出量，設(shè)定成一邊對(duì)切斷對(duì)象層進(jìn)行切斷、一邊不與非切斷對(duì)象層接觸。在本實(shí)施形態(tài)中，將刀具33的突出量，設(shè)定為樹(shù)脂薄膜17a厚度的90%左右。因此，根據(jù)刀具單元30可一邊對(duì)樹(shù)脂薄膜17a進(jìn)行切斷相對(duì)于厚度方向的90% (實(shí)質(zhì)上切斷)、一邊避免與脆性材料基板17b接觸。
[0122]此外，由于銷(xiāo)32相對(duì)于保持具31固定，因此與該銷(xiāo)32本身構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)自如的情形相比，可抑制在刀具33的突出量產(chǎn)生的不均。
[0123]在刀具單元30中，成為刀具33不與非切斷對(duì)象層接觸。因此，可緩和對(duì)應(yīng)非切斷對(duì)象層的硬度而限制刀具33的硬度的情況。
[0124]具體而言，即使是使刀具33的硬度高于脆性材料基板17b的硬度，也可抑制使該脆性材料基板17b受到破損的情況。
[0125]接著，針對(duì)刀具單元30相對(duì)于被切斷物17表面的高低不均的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0126]在圖7(a)中，示意性地表示有作為比較例的刀具單元60對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的狀態(tài)。在圖7(b)中，示意性地表示有刀具單元30對(duì)被切斷物17進(jìn)行切斷的狀態(tài)。
[0127]以下，以被切斷物17以積層樹(shù)脂薄膜17a及樹(shù)脂薄膜17c的方式構(gòu)成、且將切斷對(duì)象層設(shè)為樹(shù)脂薄膜17a、將非切斷對(duì)象層設(shè)為樹(shù)脂薄膜17c的情形為例進(jìn)行說(shuō)明。在被切斷物17借由樹(shù)脂薄膜17a及樹(shù)脂薄膜17c構(gòu)成的情形，與包含脆性材料基板17b的情形相比，容易在該被切斷物17的表面高低產(chǎn)生不均。
[0128]作為由多層樹(shù)脂薄膜(樹(shù)脂薄膜17a及樹(shù)脂薄膜17c)構(gòu)成的被切斷物17，假定為使用于液晶顯示器(IXD)或OLED等的材料。
[0129]如圖7(a)所示，刀具單元60借由保持構(gòu)件61、銷(xiāo)62及刀具63構(gòu)成。刀具63通過(guò)銷(xiāo)62而保持成相對(duì)于保持構(gòu)件61旋轉(zhuǎn)自如。刀具單元60在進(jìn)行欲切斷樹(shù)脂薄膜17a的情形，成為一邊使刀具63旋轉(zhuǎn)、一邊進(jìn)行移動(dòng)。
[0130]在刀具單元60中，成為僅刀具63與被切斷物17接觸。在僅刀具63與被切斷物17接觸的情形，在被切斷物17表面的高度已變動(dòng)時(shí)，該刀具單元60的高度難以變動(dòng)。刀