一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及藍寶石專用切割設備技術領域，特別涉及一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機。
【背景技術】
[0002]藍寶石單晶體的莫氏硬度為9，其硬度僅次于金剛石，所以長期以來多是用鍍有金剛石顆粒的圓盤鋸片來進行切割。為了得到較好的表面質量，藍寶石單晶體也采用鍍有金剛石顆粒的內圓式刀片和線鋸來切割。同時圓盤鋸片的厚度最薄的也在Imm以上，加工時藍寶石單晶體材料浪費嚴重。而金剛石線鋸的鋸縫僅為0.2-0.4_，所以采用金剛石線鋸能夠減少原材料浪費。
[0003]在用藍寶石晶圓制作方形晶體塊時，需要使用開方機對其進行開方處理，現有技術所公開的開方機存在以下缺陷:
[0004]1、因為藍寶石單晶體的硬度高，即使使用金剛石線來對其進行切割，切割效率也還是很低下，特別是在金剛石線所切割的工件截面較大時，工件單位面積上所受到的壓力小，切割效率尤為低下，而目前現有技術所公開的開方機為不搖擺方式。
[0005]2、現有技術所公開的開方機是采用分為上下二層十字交叉的線網布置，二層的線網之間的間隔一般在50mm左右，下層的線網先接觸到工件進行切割，而上層的線網處于空轉狀態(tài)，同理，當下層的線網切穿工件后，上層的線網還在切割，而下層的線網處于空轉狀態(tài)，由于藍寶石切割較慢，大大浪費了切割時間。
[0006]3、切割機頭布線不方便，無法布置很小的線網間隔，一般金剛石線之間的間隔均在50mm以上,無法開方切割小于50mm以下的方塊。

【發(fā)明內容】

[0007]為解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機，以達到提升開方的切割效率，減少金剛石線在切割過程中的斷線現象，并使切割機頭布線更為方便的目的。
[0008]為達到上述目的，本發(fā)明的技術方案如下:
[0009]一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機，包括機架，還包括放線機構、收線機構、相互成90度或180度夾角設置的兩個切割機頭、切割機頭升降機構和回轉工作臺。
[0010]所述放線機構和所述收線機構分別位于所述機架的兩端。
[0011]兩個所述切割機頭位于所述機架的中部。
[0012]所述回轉工作臺的回轉角度為90度或180度或270度或360度，所述回轉工作臺包括第一工作臺和第二工作臺，所述第一工作臺和所述第二工作臺分別位于兩個所述切割機頭下方。
[0013]所述切割機頭包括與所述切割機頭升降機構連接的滑板，還包括搖擺機架，所述搖擺機架上設有圓弧線軌和位于所述圓弧線軌圓心處的擺動軸，所述搖擺機架通過所述圓弧線軌和所述擺動軸與所述滑板連接，所述滑板上同軸設置有伺服電機、第一減速器和齒輪，所述搖擺機架上還設有與所述齒輪的齒紋相嚙合的弧形齒條。
[0014]所述搖擺機架下部關于所述擺動軸對稱設有兩組切割組件，所述搖擺機架上部設有繞線組件。
[0015]優(yōu)選的，所述切割組件包括切割滾輪和滾輪驅動電機，所述切割滾輪和所述滾輪驅動電機之間通過帶輪和皮帶傳動。
[0016]優(yōu)選的，所述繞線組件包括兩組分別設置在兩個所述切割組件上方的平行導輪組，所述平行導輪組的軸線與所述切割滾輪的軸線平行。
[0017]優(yōu)選的，所述切割機頭升降機構包括從上至下依次設置的升降電機、第二減速器和絲桿。
[0018]優(yōu)選的，兩個所述切割機頭之間設置有過渡導輪組和張力調節(jié)機構?？刂苾蓚€切割機頭之間出線端和進線端的張力，保證兩個切割機頭的切割效率相同，同時有效的降低了斷線機率。
[0019]通過上述技術方案，本發(fā)明提供的一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機的切割機頭在切割過程中可以小幅搖擺，在擺動過程中金剛石線所切割的工件截面相對于固定不動時大大的減小，從而提高了單位面積的下壓力，提升了切割效率；采用了切割機頭在上工件在下的切割方式，方便工件裝夾，加工時金剛石線從上往下進給；切割機頭采用敞開式布線，布線方便，且切割機頭布線可以布置很小的線網間隔，金剛石線之間的最小間隔可以達到25mm，可以開方切割最小為25X25mm的方塊；兩邊的線網同時接觸到工件實施切割，無空轉等待時間，縮短了切割時間。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0021]圖1為本發(fā)明實施例所公開的一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機的整機結構示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明切割機頭的結構示意圖；
[0023]圖3為滑板與搖擺機架連接處的局部爆炸示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明切割組件的結構示意圖。
[0025]圖中數字所表示的相應部件名稱:
[0026]1、機架2、放線機構3、收線機構4、切割機頭升降機構4-1、升降電機4-2、第二減速器4-3、絲桿5、回轉工作臺5-1、第一工作臺5-2、第二工作臺6、切割機頭6_1、滑板6_2、搖擺機架6-3、圓弧線軌6-4、擺動軸6-5、伺服電機6-6、第一減速器6_7、齒輪6_8、弧形齒條6-9、切割組件6-9-1、切割滾輪6-9-2、滾輪驅動電機6_10、繞線組件7、過渡導輪組8、張力調節(jié)機構。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0028]實施例1
[0029]根據圖1，本發(fā)明提供了一種雙頭搖擺式藍寶石晶圓開方機，包括機架(1)，還包括放線機構(2)、收線機構(3)、相互成90度夾角設置的兩個切割機頭(6)、切割機頭升降機構(4)和回轉工作臺(5)。
[0030]放線機構和收線機構分別位于機架的左右兩端。
[0031 ] 兩個切割機頭位于機架的中部。
[0032]回轉工作臺的回轉角度為90度或180度或270度或360度，回轉工作臺包括第一工作臺(5-1)和第二工作臺(5-2)，第一工作臺和第二工作臺分別位于兩個切割機頭下方。
[0033]切割機頭的切割中心位于回轉工作臺的圓盤分度頭圓心所在的圓