一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片切割機為生產(chǎn)硅片的必要設(shè)備，起到切割硅錠的作用。也就是說，硅錠經(jīng)過切割機切割后形成硅片，因此，生產(chǎn)硅片必然會用到切割機。由于硅錠的特殊性，切割機在切割硅錠時，其切削液會產(chǎn)生大量的泡沫，為保證切割機的正常運作不得不加入大量的水來保證切割機的正常工作。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中切割機的切削液循環(huán)系統(tǒng)一般是由一根供水管向若干臺切割機統(tǒng)一進行供水，然后參與切割后的切削液再由回水管統(tǒng)一回收進行循環(huán)使用，這種切削液循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，造成切割機在工作過程中切削液會產(chǎn)生大量的泡沫，影響切割機的正常運tx，并且提尚了娃片的不良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中切削液循環(huán)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不合理，切削液參與切割時會產(chǎn)生大量泡沫，進而影響硅片質(zhì)量的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，包括儲水桶，所述儲水桶通過供水管向至少一臺切割機供水，所述切割機包括水箱，所述供水管與水箱相通，所述水箱上開設(shè)有溢流口，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括過濾機，每個水箱上的溢流口均通過溢流管將切削液送至過濾機，所述過濾機與儲水桶之間通過回水管相通，所述溢流管上串接有第一沉淀桶，所述回水管上串接有第二沉淀桶，所述儲水桶上連接有兩個供水栗，兩個供水栗并聯(lián)后均向供水管供水，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括補水桶，所述補水桶與儲水桶之間通過補水管相通，所述補水管上連接有藥水桶，所述補水管上還串接有控制補水桶是否向儲水桶補水的第一控制閥，所述藥水桶與補水管之間串接有第二控制閥。
[0006]上述構(gòu)成中，溢流口與過濾機之間串接有第一沉淀桶，過濾機與儲水桶之間串接有第二沉淀桶，溢流口溢出的切削液先在第一沉淀桶內(nèi)沉淀后再進入過濾機內(nèi)進行過濾，過濾完畢后再經(jīng)第二沉淀桶沉淀后才重新進入儲水桶內(nèi)，然后再由供水栗將其栗入供水管，并由供水管將其引至切割現(xiàn)場，溢流口溢流出的液體會經(jīng)沉淀、過濾后再循環(huán)使用，大大提高了儲水桶內(nèi)切削液的水質(zhì)，從而減少了切削液參于切割時產(chǎn)生的泡沫，提高了硅片的質(zhì)量。
[0007]—種可選的方案，所述第一沉淀桶與第二沉淀桶之間并聯(lián)有兩臺過濾機。兩臺過濾機并聯(lián)使用，也就是說其中一臺過濾機可以作為另一臺過濾機的備用機使用，需要對過濾機進行維護時可以將該過濾機旁路而無需關(guān)閉整個切削液循環(huán)系統(tǒng)，使用方便。
[0008]—種可選的方案，所述過濾機為廂式壓濾機。廂式壓濾機具有較高的過濾效率和較好的過濾效果，使用方便。
[0009]—種可選的方案，所述第二沉淀桶與儲水桶之間設(shè)有備用水桶，所述備用水桶與回水管之間串接有第三控制閥。備用水桶的設(shè)置可以避免由于補水桶內(nèi)沒有水而造成切削液循環(huán)系統(tǒng)停機，進一步提高了切削液循環(huán)系統(tǒng)工作時的穩(wěn)定性能。
[0010]—種可選的方案，所述供水管上固定有檢測供水管內(nèi)切削液壓力的壓力檢測器，所述供水管上還固定有報警器，所述報警器由固定在供水管上的控制器控制，所述壓力檢測器與控制器相互通訊。供水管上固定壓力檢測器可以時時對供水管內(nèi)切削液的壓力進行檢測，保證切削液循環(huán)系統(tǒng)的水壓正常，進而提高了切削液循環(huán)系統(tǒng)的穩(wěn)定性能。供水管內(nèi)水壓波動過大時報警器報警，操作人員可控制切割機停機，避免造成硅片質(zhì)量降低。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，具有如下優(yōu)點:水箱上開設(shè)有溢流口，溢流口經(jīng)過溢流管與過濾機相通，過濾機經(jīng)過回水管與儲水桶相通，在溢流管上串接有第一沉淀桶、回水管上串接有第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先經(jīng)第一沉淀桶沉淀，然后再經(jīng)過濾機過濾，過濾機過濾后的切削液再經(jīng)第二沉淀桶沉淀，最后再進入儲水桶內(nèi)進行循環(huán)使用，切削液經(jīng)沉淀、過濾、再沉淀后具有良好的水質(zhì)，從而使得切削液循環(huán)使用時不會產(chǎn)生大量的泡沫，減小了切削液循環(huán)系統(tǒng)的用水量；另外，由于切削液的水質(zhì)提高從而使得切割機在切割時更加穩(wěn)定，優(yōu)化了硅片的質(zhì)量；
[0012]兩臺供水栗并聯(lián)向供水管供水，一臺供水栗可做另一臺供水栗的備用機使用，當需要對供水栗檢修時，可以方便地對供水栗進行檢修而不需關(guān)閉整個切削液循環(huán)系統(tǒng)，使用方便。
【附圖說明】
[0013]附圖1是本發(fā)明一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置的結(jié)構(gòu)框圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置作進一步說明。如圖1所示，一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，包括儲水桶1，儲水桶1用于儲存參與循環(huán)的切削液，所述儲水桶1通過供水管2向至少一臺切割機供水，所述切割機包括水箱3，所述供水管2與水箱3相通，參與切割的切削液經(jīng)供水管2輸送到每臺切割機的水箱3，所述水箱3上開設(shè)有溢流口，該溢流口用于溢出多余的切削液，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括過濾機4，每個水箱3上的溢流口均通過溢流管5將切削液送至過濾機4，也就是說，所有溢流口溢出的切削液均匯流至溢流管5內(nèi)再進行輸送，所述過濾機4可以為廂式壓濾機，并且，所述過慮機可以由兩臺并聯(lián)使用，即溢流管5可以向兩臺過濾機4輸送切削液，而同時參與過濾的過濾機4可以為一臺也可以為兩臺，此時，其中一臺過濾機4可作另一臺過濾機4的備用機使用，便于過濾機4的檢修；
[0015]參與切割的切削液中含有較多的雜質(zhì)，因此，參與切割的切削液經(jīng)溢流口溢出后，所述溢流管5上串接有第一沉淀桶7，所述過濾機4與儲水桶1之間通過回水管6相通，所述回水管6上串接有第二沉淀桶8，也就是說，參與切割的切削液經(jīng)溢流口溢出后首先在第一沉淀桶7內(nèi)沉淀，然后再過濾，過濾后再沉淀，最后送入儲水桶1內(nèi)參與循環(huán)使用，提高了切削液的水質(zhì)。
[0016]為了保證供水管2供水的穩(wěn)定性能，所述儲水桶1上連接有兩個供水栗9，兩個供水栗9并聯(lián)后均向供水管2供水，兩個供水栗9并聯(lián)使用，其中一個供水栗9可以作另一個供水栗9的備用機使用，便于供水栗9的檢修，所述供水栗9可以采用氣動隔膜栗；
[0017]為了避免儲水桶1內(nèi)水量過少，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括補水桶10，所述補水桶10與儲水桶1之間通過補水管11相通，所述補水管11上連接有藥水桶12，所述補水管11上還串接有控制補水桶10是否向儲水桶1補水的第一控制閥13，所述藥水桶12與補水管11之間串接有第二控制閥14，補水桶10用于向儲水桶1補水；為了進一步保證儲水桶1內(nèi)的水位恒定，所述第二沉淀桶8與儲水桶1之間設(shè)有備用水桶，所述備用水桶與回水管6之間串接有第三控制閥16。
[0018]為了保證硅錠切割時切削液供給穩(wěn)定，所述供水管2上固定有檢測供水管2內(nèi)切削液壓力的壓力檢測器17，所述供水管2上還固定有報警器18，所述報警器18由固定在供水管2上的控制器19控制，所述壓力檢測器17與控制器19相互通訊。供水管2內(nèi)切削液壓力不符合要求時，報警器18報警，提示操作人員關(guān)閉切割機，保證硅片質(zhì)量穩(wěn)定。
[0019]以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，旨在體現(xiàn)本發(fā)明的突出技術(shù)效果和優(yōu)勢，并非是對本發(fā)明的技術(shù)方案的限制。本領(lǐng)域技術(shù)人員應當了解的是，一切基于本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容所做出的修改、變化或者替代技術(shù)特征，皆應涵蓋于本發(fā)明所附權(quán)利要求主張的技術(shù)范疇內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，其特征在于:包括儲水桶(1)，所述儲水桶(1)通過供水管(2)向至少一臺切割機供水，所述切割機包括水箱(3)，所述供水管(2)與水箱(3)相通，所述水箱(3)上開設(shè)有溢流口，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括過濾機(4)，每個水箱(3)上的溢流口均通過溢流管(5)將切削液送至過濾機(4)，所述過濾機(4)與儲水桶(1)之間通過回水管(6)相通，所述溢流管(5)上串接有第一沉淀桶(7)，所述回水管(6)上串接有第二沉淀桶(8)，所述儲水桶(1)上連接有兩個供水栗(9)，兩個供水栗(9)并聯(lián)后均向供水管(2)供水，該多線切割機用切削液循環(huán)裝置還包括補水桶(10)，所述補水桶(10)與儲水桶(1)之間通過補水管(11)相通，所述補水管(11)上連接有藥水桶(12)，所述補水管(11)上還串接有控制補水桶(10)是否向儲水桶⑴補水的第一控制閥(13)，所述藥水桶(12)與補水管(11)之間串接有第二控制閥(14)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，其特征在于:所述第一沉淀桶(7)與第二沉淀桶(8)之間并聯(lián)有兩臺過濾機(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，其特征在于:所述過濾機(4)為廂式壓濾機。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，其特征在于:所述第二沉淀桶⑶與儲水桶⑴之間設(shè)有備用水桶(15)，所述備用水桶(15)與回水管(6)之間串接有第三控制閥(16)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，其特征在于:所述供水管(2)上固定有檢測供水管(2)內(nèi)切削液壓力的壓力檢測器(17)，所述供水管(2)上還固定有報警器(18)，所述報警器(18)由固定在供水管(2)上的控制器(19)控制，所述壓力檢測器(17)與控制器(19)相互通訊。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中切削液循環(huán)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)不合理，切削液參與切割時會產(chǎn)生大量泡沫，進而影響硅片質(zhì)量的不足。本發(fā)明提供的一種多線切割機用切削液循環(huán)裝置，水箱上開設(shè)有溢流口，溢流口經(jīng)過溢流管與過濾機相通，過濾機經(jīng)過回水管與儲水桶相通，在溢流管上串接有第一沉淀桶、回水管上串接有第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先經(jīng)第一沉淀桶沉淀，然后再經(jīng)過濾機過濾，過濾機過濾后的切削液再經(jīng)第二沉淀桶沉淀，最后再進入儲水桶內(nèi)進行循環(huán)使用，切削液經(jīng)沉淀、過濾、再沉淀后具有良好的水質(zhì)，從而使得切削液循環(huán)使用時不會產(chǎn)生大量的泡沫，減小了切削液循環(huán)系統(tǒng)的用水量。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/04
【公開號】CN105269698
【申請?zhí)枴緾N201510730862
【發(fā)明人】陳小力, 王雪鳳
【申請人】浙江輝弘光電能源有限公司
【公開日】2016年1月27日
【申請日】2015年10月30日