載體剝離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種載體剝離裝置，特別涉及一種從在載體的表面上形成有撓性板的復(fù)合板剝離載體的載體剝離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為燒性O(shè)LED (Organic Light-Emitting D1de:有機(jī)發(fā)光二極管)板等燒性板的生產(chǎn)工序，設(shè)計(jì)了如下的撓性板生產(chǎn)方法，即:在載體玻璃的表面上成膜，用成膜面貼合成膜后的載體玻璃，從而形成由載體玻璃夾著兩面的撓性板的復(fù)合板，此后，從復(fù)合板剝離載體玻璃。因此，一直在尋求一種穩(wěn)定高速地剝離易碎的載體玻璃的載體剝離裝置。
[0003]關(guān)于這樣的載體的剝離，在專利文獻(xiàn)1 (日本特開(kāi)2004-17623號(hào)公報(bào))中公開(kāi)了一種載體薄膜剝離方法，用于在載體薄膜的表面上形成有陶瓷生片的復(fù)合片中從所述陶瓷生片剝離所述載體薄膜，包含如下工序:剝離余量形成工序，在從所述復(fù)合片的端部開(kāi)始到中途為止的區(qū)間內(nèi)形成剝離余量，所述剝離余量是從所述陶瓷生片分離了的所述載體薄膜的一部分；以及載體薄膜去除工序，將外周面具有粘接性的粘接輥推到所述剝離余量的區(qū)域中避開(kāi)了所述端部的位置，并對(duì)所述載體薄膜進(jìn)行保持，隨后使所述粘接輥旋轉(zhuǎn)并從所述陶瓷生片剝下所述載體薄膜(參照權(quán)利要求1)。
[0004]另外，在專利文獻(xiàn)2(日本專利第4482757號(hào)公報(bào))中公開(kāi)了一種片材貼附裝置(從襯紙剝離片材的剝離裝置)，所述片材貼附裝置利用保持于片材的下表面并能在剝離棱邊與被貼附物之間線性運(yùn)動(dòng)的貼附頭，在所述剝離棱邊位置從所述襯紙剝離連續(xù)貼附于襯紙上的片材(參照權(quán)利要求1)。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2004-17623號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本專利第4482757號(hào)公報(bào)
[0007]在引用文獻(xiàn)1公開(kāi)的剝離方法中，由于利用粘接輥對(duì)載體薄膜進(jìn)行剝離，因而需要從粘接輥去除已剝離了的載體薄膜。因此，將剝離方法分成剝離余量形成工序以及載體薄膜去除工序，在載體薄膜去除工序中形成載體薄膜的端部未保持于粘接輥的狀態(tài)而形成能夠從粘接輥除去載體薄膜的結(jié)構(gòu)?？墒牵捎谠谝梦墨I(xiàn)1公開(kāi)的剝離方法中載體薄膜的剝離所需時(shí)間變長(zhǎng)，因而難以使生產(chǎn)性得到提高。
[0008]另外，在引用文獻(xiàn)2公開(kāi)的剝離方法中，由于利用剝離棱邊從襯紙開(kāi)始剝離片材，因而如果將其用于從由載體玻璃夾著兩面的撓性板剝離載體玻璃的工序，則恐怕存在超過(guò)允許彎曲界限而導(dǎo)致載體玻璃、撓性板破損的風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的課題在于提供一種剝離裝置，所述剝離裝置能夠高效地從在載體的表面上形成有撓性板的復(fù)合板剝離載體。
[0010]用于解決課題的方案
[0011]為了解決這樣的課題，本發(fā)明提供一種載體剝離裝置，其特征在于，所述載體剝離裝置具備:保持工作臺(tái)，所述保持工作臺(tái)載置由上載體、板、以及下載體構(gòu)成的復(fù)合板；第一粘接升降銷，所述第一粘接升降銷設(shè)置于所述保持工作臺(tái)，且具有能夠上下移動(dòng)的第一軸體部、以及設(shè)置于該第一軸體部的端部的第一粘接部；第二粘接升降銷，所述第二粘接升降銷設(shè)置于所述保持工作臺(tái)，且具有能夠上下移動(dòng)的第二軸體部、以及設(shè)置于該第二軸體部的端部的第二粘接部；以及弓狀的剝離工作臺(tái)，所述剝離工作臺(tái)具有第三粘接部以及橡膠吸附部。
[0012]發(fā)明效果
[0013]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種高效地從在載體的表面上形成有撓性板的復(fù)合板剝離載體的載體剝離裝置。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是復(fù)合板及本實(shí)施方式的載體剝離裝置的示意圖。
[0015]圖2是表示本實(shí)施方式的載體剝離裝置的剝離動(dòng)作的流程圖。
[0016]圖3是表示剝離上載體玻璃的狀態(tài)的載體剝離裝置的動(dòng)作圖。
[0017]圖4是表示從剝離工作臺(tái)回收已剝離的上載體玻璃的狀態(tài)的載體剝離裝置的動(dòng)作圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0019]1載體剝離裝置
[0020]10保持工作臺(tái)
[0021]11真空吸附部
[0022]12、12A、12B 粘接升降銷
[0023]13軸體部(第一軸體部、第二軸體部)
[0024]14粘接部(第一粘接部、第二粘接部)
[0025]15滑動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0026]20剝離單元
[0027]21剝離工作臺(tái)
[0028]22弓狀板部
[0029]23粘接部(第二粘接部)
[0030]24橡膠吸附部
[0031]25輥單元
[0032]26 輥
[0033]27滑動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0034]28 導(dǎo)軌
[0035]29剝離工作臺(tái)卡定機(jī)構(gòu)
[0036]30機(jī)座部
[0037]31 導(dǎo)軌
[0038]32支承柱
[0039]33線性驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器(掀起機(jī)構(gòu))
[0040]100、100A 復(fù)合板
[0041]101上載體玻璃(上載體)
[0042]102撓性板(板)
[0043]103下載體玻璃(下載體)
[0044]Ml方向(保持工作臺(tái)的移動(dòng)方向)
[0045]M2方向(剝離單元端部的移動(dòng)方向)
[0046]M3方向(輥單元的移動(dòng)方向)
[0047]M4方向(剝離工作臺(tái)端部的移動(dòng)方向)
【具體實(shí)施方式】
[0048]以下，適當(dāng)參照附圖詳細(xì)地對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式(以下稱為“實(shí)施方式”)進(jìn)行說(shuō)明。此外，在各圖中，對(duì)于通用的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)說(shuō)明。
[0049]<復(fù)合板>
[0050]首先，在對(duì)本實(shí)施方式的載體剝離裝置1進(jìn)行說(shuō)明之前，利用圖1對(duì)復(fù)合板100進(jìn)行說(shuō)明。圖1是復(fù)合板100及本實(shí)施方式的載體剝離裝置1的示意圖。
[0051]如圖1所示，復(fù)合板100由上載體玻璃101、撓性板102、以及下載體玻璃103層疊構(gòu)成。即，復(fù)合板100具有由載體玻璃101、103夾著撓性板102的兩面的構(gòu)造。
[0052]<載體剝離裝置>
[0053]接下來(lái)，對(duì)本實(shí)施方式的載體剝離裝置1進(jìn)行說(shuō)明。在此，本實(shí)施方式的載體剝離裝置1是從復(fù)合板100 (撓性板102)剝離上載體玻璃101的裝置。
[0054]如圖1所示，本實(shí)施方式的載體剝離裝置1由保持工作臺(tái)10、剝離單元20、機(jī)座部30、以及控制部(未圖示)構(gòu)成。
[0055]保持工作臺(tái)10具備:真空吸附部11、粘接升降銷12、以及滑動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)15。
[0056]真空吸附部11形成于保持工作臺(tái)10的上表面。在復(fù)合板100載置于保持工作臺(tái)10的上表面的狀態(tài)下，真空吸附部11利用減壓機(jī)構(gòu)(未圖示)在保持工作臺(tái)10的上表面與復(fù)合板100的下表面之間減壓，從而能夠?qū)?fù)合板100真空吸附于保持工作臺(tái)10的上表面。此外，控制部(未圖示)控制減壓機(jī)構(gòu)(未圖示)的動(dòng)作，從而能夠?qū)φ婵瘴讲?1上的復(fù)合板100的真空吸附及解除進(jìn)行控制。
[0057]粘接升降銷12具有:借助驅(qū)動(dòng)部(未圖示)而上下移動(dòng)的軸體部13、以及由設(shè)置在軸體部13的上端部的粘接構(gòu)件構(gòu)成的粘接部14。在復(fù)合板100載置于保持工作臺(tái)10的上表面的狀態(tài)下，粘接升降銷12利用驅(qū)動(dòng)部(未圖示)使軸體部13上升，從而能夠?qū)⒄辰硬?4粘接于復(fù)合板100的下表面，對(duì)復(fù)合板100進(jìn)行保持。另外，利用驅(qū)動(dòng)部(未圖示)使軸體部13下降，從而能夠從復(fù)合板100的下表面剝下粘接部14，解除復(fù)合板100的保持。此外，控制部(未圖示)控制驅(qū)動(dòng)部(未圖示)的動(dòng)作，從而能夠?qū)φ辰由典N12的上下移動(dòng)進(jìn)行控制。
[0058]另外，對(duì)于粘接升降銷12而言，在后述的剝離工作臺(tái)21剝離上載體玻璃101的剝離方向(圖1中的左右方向)上觀察，其設(shè)置于真空吸附部11的兩側(cè)。在以下的說(shuō)明中，在圖1中真空吸附部11的左側(cè)的粘接升降銷12稱為粘接升降銷12A，在圖1中真空吸附部11的右側(cè)的粘接升降銷12稱為粘接升降銷12B。此外，粘接升降銷12