切削裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及切削板狀的被加工物的切削裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在將半導(dǎo)體晶片這樣的板狀的被加工物分割為多個(gè)芯片時(shí)，例如可使用安裝了圓環(huán)狀的切削刀的切削裝置。切削刀是通過(guò)在陶瓷或類(lèi)樹(shù)脂等的結(jié)合材料中混合金剛石或CBN等的磨粒而形成的，在磨損至某種程度時(shí)被廢棄。
[0003]另外，從事多品種少量生產(chǎn)的廠(chǎng)商等按照被加工物的特性而更換切削刀的情形較多，有時(shí)還會(huì)將尚可使用的切削刀從切削裝置上取下。這種從切削裝置上被取下的切削刀通常在收納于刀盒中的狀態(tài)下進(jìn)行保管。
[0004]對(duì)于切削刀的保管而言，便于以后的使用(再使用)而適當(dāng)管理好切削刀的使用歷史是很重要的。于是，已提出了嵌入有能夠存儲(chǔ)包括使用歷史的信息的無(wú)線(xiàn)1C標(biāo)簽的切削刀(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2006-51596號(hào)公報(bào)
[0006]然而，上述切削刀在制造過(guò)程中無(wú)線(xiàn)1C標(biāo)簽容易破損，基于制造成本等方面而言并不實(shí)用。此外，由于切削時(shí)的振動(dòng)和沖擊等，也會(huì)使無(wú)線(xiàn)1C標(biāo)簽發(fā)生破損。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供一種能夠容易且適當(dāng)?shù)毓芾砬邢鞯兜氖褂脷v史的切削裝置。
[0008]本發(fā)明提供一種切削裝置，其特征在于，具有:卡盤(pán)臺(tái)，其保持被加工物；切削刀，其對(duì)被保持于該卡盤(pán)臺(tái)上的被加工物進(jìn)行切削；切削單元，在該切削單元上以能夠拆裝的方式安裝有該切削刀；控制單元，其根據(jù)為加工被加工物而設(shè)定的加工條件控制該切削單元；以及刀盒支架，其保持收納有該切削刀的刀盒，在該刀盒中配設(shè)有能夠讀出和寫(xiě)入該切削刀的使用歷史信息的1C標(biāo)簽，該控制單元與從保持于該刀盒支架的該刀盒的該1C標(biāo)簽中讀出該切削刀的使用歷史信息并將該切削刀的使用歷史信息寫(xiě)入到該1C標(biāo)簽中的讀寫(xiě)單元連接，將通過(guò)該讀寫(xiě)單元從該1C標(biāo)簽中讀出的該切削刀的使用歷史信息反映于加工條件，并通過(guò)該讀寫(xiě)單元將加工被加工物后的該切削刀的使用歷史信息寫(xiě)入到該1C標(biāo)簽中。
[0009]在本發(fā)明中，所述讀寫(xiě)單元可以配設(shè)于該刀盒支架。此外，所述讀寫(xiě)單元可以配設(shè)于與該刀盒支架相對(duì)的區(qū)域。
[0010]發(fā)明的效果
[0011]本發(fā)明的切削裝置具有安裝有切削刀的切削單元、控制切削單元的控制單元、以及保持收納著切削刀的刀盒的刀盒支架，控制單元與從保持于刀盒支架的刀盒的1C標(biāo)簽中讀出切削刀的使用歷史信息并將切削刀的使用歷史信息寫(xiě)入到1C標(biāo)簽中的讀寫(xiě)單元連接。
[0012]因此，能夠?qū)⑼ㄟ^(guò)讀寫(xiě)單元從1C標(biāo)簽中讀出的切削刀的使用歷史信息反映于加工條件，此外，還能夠通過(guò)讀寫(xiě)單元將加工被加工物后的切削刀的使用歷史信息寫(xiě)入1C標(biāo)簽。由此，能夠容易且適當(dāng)?shù)毓芾砬邢鞯兜氖褂脷v史。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是示意性表示切削裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0014]圖2是示意性表示切削組件的結(jié)構(gòu)例的分解立體圖。
[0015]圖3是示意性表示刀盒的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0016]圖4是示意性表示刀盒的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。
[0017]圖5是示意性表示刀盒支架的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0018]圖6是示意性表示變形例的切削裝置中的刀盒支架的周邊結(jié)構(gòu)的圖。
[0019]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0020]2、62:切削裝置，4:基臺(tái)，6:罩，6a:前表面，6b:側(cè)表面，8:切削刀，10:切削組件(切削單元)，12:卡盤(pán)臺(tái)，14:料盒升降裝置，16:料盒，18:監(jiān)視器，20:刀盒支架，20a:槽部，20b:保持部，20c:支撐部，20d:切口部，22:控制裝置(控制單元)，24:主軸外殼，26:主軸，28:凸緣，30:凸緣部，32:凸起部，34:螺栓，36:支撐基臺(tái)，36a:開(kāi)口，38:切割刃，40:固定環(huán)，42:刀盒，44:收容部，44a:凸部，46:蓋部，48:連結(jié)部，50:爪部，52:1C標(biāo)簽，54:讀寫(xiě)器(讀寫(xiě)單元)，11:被加工物。
【具體實(shí)施方式】
[0021]參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是示意性表示本實(shí)施方式的切削裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。如圖1所示，切削裝置2具有支撐各結(jié)構(gòu)的基臺(tái)4。
[0022]在基臺(tái)4的上方設(shè)有覆蓋基臺(tái)4的罩6。在罩6的內(nèi)側(cè)形成有空間，且收納著包括切削刀8的切削組件(切削單元)10。切削組件10通過(guò)切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)而在前后方向(Y軸方向、分度進(jìn)給方向)上移動(dòng)。
[0023]在切削組件10的下方設(shè)有吸附保持被加工物11的卡盤(pán)臺(tái)12?？ūP(pán)臺(tái)12通過(guò)卡盤(pán)臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)而在左右方向(X軸方向、加工進(jìn)給方向)上移動(dòng)，并且通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)而繞鉛直軸(Z軸)旋轉(zhuǎn)。
[0024]在基臺(tái)4的角部配置有料盒升降裝置14。在料盒升降裝置14的上表面放置著能夠收納多個(gè)被加工物11的料盒16。被加工物11是例如由硅、藍(lán)寶石、樹(shù)脂等構(gòu)成的圓形的板狀物。料盒升降裝置14構(gòu)成為能夠升降，并且以能夠搬入、搬出該被加工物11的方式，在高度方向(Z軸方向)上調(diào)整料盒16的位置。
[0025]在罩6的前表面6a設(shè)有作為用戶(hù)接口的觸摸面板式的監(jiān)視器18。此外，在罩6的側(cè)表面6b配置有刀盒支架20。后面敘述刀盒支架20的詳細(xì)情況。
[0026]監(jiān)視器18與控制加工裝置2的各部分的控制裝置(控制單元)22連接?？刂蒲b置22根據(jù)通過(guò)監(jiān)視器18而設(shè)定的加工條件等，控制切削組件10、切削組件移動(dòng)機(jī)構(gòu)、卡盤(pán)臺(tái)12、卡盤(pán)臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)等的動(dòng)作。
[0027]圖2是示意性表示切削組件10的結(jié)構(gòu)例的分解立體圖。另外，圖2中省略了切削組件10 —部分構(gòu)成要素。如圖2所示，切削組件10包括以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支撐于主軸外殼24上的主軸26。
[0028]在主軸26的前端部安裝有用于固定切削刀8的凸緣28。凸緣28由沿著徑方向而向外延伸的凸緣部30、以及從凸緣部30的表面(前表面)突出的凸起部32構(gòu)成。
[0029]在凸緣部30的背面(后面)側(cè)，形成有與主軸26的前端部嵌合的嵌合部(未圖示)。如果在該嵌合部?jī)?nèi)嵌入了主軸26的前端部的狀態(tài)下旋入螺栓34并擰緊，則凸緣28會(huì)被固定于主軸26。
[0030]切削刀8是所謂的半葉片(half blade)，且在圓盤(pán)狀的支撐基臺(tái)36的外周固定著環(huán)狀的切割刃38。在支撐基臺(tái)36的中央處形成有供凸緣28的凸起部32插通的開(kāi)口 36a。通過(guò)將凸起部32插通于該開(kāi)口 36a中，切削刀8被安裝于凸緣28。
[0031]切割刃38例如由在陶瓷、類(lèi)樹(shù)脂和金屬(代表性的是鎳)等的結(jié)合材料中混合金剛石或CBN等的磨粒形成為圓環(huán)狀。另外，在本實(shí)施方式中，作為切削刀8使用的是半葉片，也可以使用僅由切割刃構(gòu)成的所謂的墊片刀。
[0032]在凸緣28上安裝有切削刀8的狀態(tài)下，在凸起部32的前端部安裝有圓環(huán)狀的固定環(huán)40。由此，切削刀8被凸緣28和固定環(huán)40夾持住。
[0033]圖3是示意性表示收納切削刀8的刀盒的結(jié)構(gòu)例的立體圖，圖4是示意性表示刀盒的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。如圖3所示，刀盒42包括收納切削刀8的收容部44、以及防止收納于收容部44中的切削刀8的脫落的蓋部46。
[0034]收容部44和蓋部46是將相鄰的2個(gè)角部切取為圓弧狀而構(gòu)成的半矩形狀的板狀部件，并且通過(guò)設(shè)置于未被切取的一側(cè)的外周上的連結(jié)部48 (圖4)而彼此連結(jié)。連結(jié)部48作為相對(duì)于收容部44而開(kāi)閉蓋部46的鉸鏈發(fā)揮功能。在連