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單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?

文檔序號(hào):10585059閱讀:321來(lái)源:國(guó)知局
單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?br>【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?,單段硅棒截?cái)鄼C(jī)包括:機(jī)座;硅棒輸送臺(tái),設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū),用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送;單段切割設(shè)備,包括:移動(dòng)切割架,沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑設(shè)于所述機(jī)座;單段線切割單元,設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)的上方,用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,再通過(guò)單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,可滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
【專利說(shuō)明】
單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒?br>技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及硅棒截?cái)嗉夹g(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒ā?br>【背景技術(shù)】
[0002]硅棒截?cái)嗉夹g(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的開(kāi)方加工技術(shù),它的原理是通過(guò)高速運(yùn)動(dòng)的金剛線對(duì)待加工工件(例如:硅棒、藍(lán)寶石、或其他半導(dǎo)體硬脆材料)進(jìn)行摩擦,切出方錠,從而達(dá)到切割目的。在對(duì)工件的切割過(guò)程中,金剛線通過(guò)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給,在壓力栗的作用下,裝配在設(shè)備上的冷卻水自動(dòng)噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位,由金剛線往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生切削,以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為多塊。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。
[0003]但是,目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)仍然存在不足,例如目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)不能對(duì)硅棒的尺寸進(jìn)行控制,每次切割都是按照統(tǒng)一的切割尺寸,不能滿足不同尺寸的硅棒要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種可以將待切割的硅棒按照任意設(shè)定的尺寸進(jìn)行切割的單段式硅棒截?cái)鄼C(jī)及其截?cái)喾椒ā?br>[0005]為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供了一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī),包括:
[0006]機(jī)座;
[0007]硅棒輸送臺(tái),設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū),用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送;
[0008]單段切割設(shè)備,包括:移動(dòng)切割架,沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑設(shè)于所述機(jī)座;單段線切割單元,設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)的上方,用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0009]本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,再通過(guò)單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且,調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0010]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,還包括:
[0011 ]上料機(jī)構(gòu),設(shè)于所述機(jī)座的上料區(qū)且鄰近于所述硅棒輸送臺(tái),用于將待切割的所述硅棒從所述上料區(qū)輸送至所述切割區(qū)的所述硅棒輸送臺(tái)上。
[0012]本發(fā)明單段娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述上料機(jī)構(gòu)包括:
[0013]座體;
[0014]承載臺(tái);以及
[0015]硅棒輸送單元,設(shè)于所述承載臺(tái)上,具有供承托所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。
[0016]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,還包括:
[0017]軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)上,用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0018]本發(fā)明單段娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述自動(dòng)軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0019]兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)首尾兩端,用于承托所述硅棒;
[0020]水平檢測(cè)單元,用于檢測(cè)兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度;以及
[0021]驅(qū)動(dòng)電機(jī),與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0022]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述硅棒輸送臺(tái)包括用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述單晶硅區(qū)段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件,所述滾輪組件根據(jù)切割的單晶硅區(qū)段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對(duì),每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的兩個(gè)滾輪,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。
[0023]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述單段線切割單元包括:
[0024]傳動(dòng)連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架;以及
[0025]對(duì)稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪,兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。
[0026]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,還包括壓制件,所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對(duì)稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒的壓制板。
[0027]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述單段切割設(shè)備上還配置有測(cè)距單元,用于測(cè)量所述移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺(tái)的滑移距離。
[0028]本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,包?
[0029]將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺(tái)上;
[0030]根據(jù)工件規(guī)格,驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對(duì)應(yīng)的位置;
[0031]下降單段線切割單元,將所述硅棒輸送臺(tái)上的所述硅棒進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0032]本發(fā)明的硅棒截?cái)喾椒ǎ雀鶕?jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,再通過(guò)單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且,調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。
[0034]圖2是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的較佳實(shí)施例的立體圖。
[0035]圖3是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。
[0036]圖4是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0037]圖5是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的側(cè)視圖。
[0038]圖6是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒輸送臺(tái)的側(cè)視圖。
[0039]圖7是應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0041]請(qǐng)參閱圖1至圖7。須知,本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ),亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0042]參見(jiàn)圖1所示,圖1是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),包括:
[0043]機(jī)座10。
[0044]硅棒輸送臺(tái)20,設(shè)于機(jī)座10的切割區(qū),用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)硅棒90沿著硅棒90的軸向進(jìn)行輸送。
[0045]單段切割設(shè)備30包括:移動(dòng)切割架301,沿著硅棒輸送臺(tái)20滑設(shè)于機(jī)座10;單段線切割單元302,設(shè)于移動(dòng)切割架301且通過(guò)一升降機(jī)構(gòu)40可升降地設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20的上方,用于將待切割的硅棒90切割進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段930。優(yōu)選地,單段切割設(shè)備30上還配置有測(cè)距單元,用于測(cè)量移動(dòng)切割架301沿著硅棒輸送臺(tái)20的滑移距離。
[0046]參見(jiàn)圖2所述,圖2是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的較佳實(shí)施例的立體圖。在本發(fā)明的較佳實(shí)施例中,本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),還包括送料設(shè)備I,用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2,然后再輸送到硅棒輸送臺(tái)20上進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)。如圖2所示,機(jī)座20的外部設(shè)置有保護(hù)罩4,起到保護(hù)單段切割設(shè)備30以及待切割的硅棒90在截?cái)噙^(guò)程不受外界干擾的作用,保護(hù)罩4上設(shè)有多個(gè)監(jiān)控窗口 5,可供工作人員對(duì)硅棒截?cái)噙^(guò)程進(jìn)行監(jiān)控。
[0047]其中,送料設(shè)備I包括:
[0048]上料機(jī)構(gòu),位于待上料區(qū)域2,用于將待切割的硅棒90自待上料區(qū)域2輸送至截?cái)嘣O(shè)備3。
[0049]送料機(jī)構(gòu)13,鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu),用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2的所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0050]具體地,參見(jiàn)圖3所示,圖3是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。所述上料機(jī)構(gòu)包括:座體11、承載臺(tái)12、以及娃棒輸送單元14,娃棒輸送單元14設(shè)于承載臺(tái)12上,具有供承托待切割的硅棒90的滾輪組件(或輸送帶)以及用于控制所述滾輪組件(或輸送帶)的電機(jī)組件。優(yōu)選地,承載臺(tái)12上還設(shè)有硅棒提升機(jī)構(gòu)15,可以將待切割的硅棒90進(jìn)行提升后運(yùn)輸至待上料區(qū)域2。
[0051]進(jìn)一步地,參見(jiàn)圖4所示,圖4是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。在本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例中,本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),還包括軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20上,用于將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0052]兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于硅棒輸送臺(tái)20的首尾兩端,用于承托待切割的硅棒90。
[0053]水平檢測(cè)單元,用于檢測(cè)兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的待切割的硅棒90的水平度。
[0054]驅(qū)動(dòng)電機(jī)16,與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0055]參見(jiàn)圖5所示,圖5是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的側(cè)視圖。單段線切割單元302進(jìn)一步包括設(shè)于移動(dòng)切割架301且傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的支架以及對(duì)稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切割輪321,兩個(gè)切割輪321之間設(shè)有切割線322。進(jìn)一步地,所述支架包括設(shè)于移動(dòng)切割架301且傳動(dòng)連接于升降機(jī)構(gòu)40的水平框架323以及對(duì)稱設(shè)置于水平框架323底部的兩個(gè)豎直框架324,切割輪321設(shè)于豎直框架324上。優(yōu)選地,兩個(gè)豎直框架324分別設(shè)于水平框架323的底部?jī)啥?,水平框?23與兩個(gè)豎直框架324拼接形成倒凹字型支架。
[0056]進(jìn)一步地,本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī),還包括壓制件,所述壓制件包括通過(guò)一壓緊氣缸而可升降地設(shè)于單段線切割單元302的所述支架上的升降塊以及對(duì)稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒90的壓制板620。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)40驅(qū)動(dòng)單段線切割單元302下降時(shí),兩個(gè)壓制板620共同壓制待切割的硅棒90,將待切割的硅棒90壓持穩(wěn)定,以防止待切割的硅棒90在切割時(shí)發(fā)生移動(dòng)。
[0057]參見(jiàn)圖6所示,圖6是本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒輸送臺(tái)的側(cè)視圖。本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī),可以通過(guò)單段線切割單元302通過(guò)多次切割進(jìn)而將硅棒90切割成多個(gè)不同尺寸的單段硅棒截段930,硅棒輸送臺(tái)20包括用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動(dòng)切割后的多段單段硅棒截段930沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件210以及用于控制滾輪組件210的電機(jī)組件,滾輪組件210根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段211(如圖4所示,劃分為四個(gè)滾輪組件區(qū)段,可分別標(biāo)識(shí)為211&、21113、211(3、211(1),每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對(duì),每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸212相連的兩個(gè)滾輪213,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。當(dāng)待切割的硅棒90被單段線切割單元302切割為多段單段硅棒截段930(圖6中所示為910a、910b、910c、910d)后,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的每一個(gè)所述滾輪對(duì)在對(duì)應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行滾動(dòng),以驅(qū)動(dòng)該滾輪組件區(qū)段211中的單段硅棒截段930沿著單段硅棒截段930的軸向進(jìn)行輸送,以此實(shí)現(xiàn)多段單段硅棒截段930進(jìn)行依序卸料。在圖6所示的實(shí)施例中,多段單段硅棒截段930的尺寸是一樣的,當(dāng)然,也可以根據(jù)不同的尺寸要求,將多段單段硅棒截段930截?cái)酁椴灰粯拥某叽纭?br>[0058]現(xiàn)以圖6中的各個(gè)單段硅棒截段930的卸料過(guò)程為例進(jìn)行說(shuō)明,在圖6中,單段線切割單元302將硅棒90切割為四個(gè)單段硅棒截段930(圖中所示為930a、930b、930c以及930d)。在卸料時(shí),先啟動(dòng)最接近卸貨區(qū)(假設(shè)卸貨區(qū)是位于左側(cè))的第一個(gè)單段硅棒截段930a所對(duì)應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部電機(jī),控制第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)第一個(gè)單段硅棒截段930a朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)谝粋€(gè)單段硅棒截段930a輸送后與相鄰的第二個(gè)單段硅棒截段930b達(dá)到一安全距離之后,啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第二個(gè)單段硅棒截段930b的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部電機(jī),控制第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)第二個(gè)單段硅棒截段930b輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)诙€(gè)單段硅棒截段930b輸送后與相鄰的第三個(gè)單段硅棒截段930c達(dá)到一安全距離之后,啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第三個(gè)單段硅棒截段930c的第三個(gè)滾輪組件區(qū)段21 Ic內(nèi)的全部電機(jī),控制第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)第三個(gè)單段硅棒截段930c輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)谌齻€(gè)單段硅棒截段930c輸送后與相鄰的第四個(gè)單段硅棒截段930d達(dá)到一安全距離之后,啟動(dòng)對(duì)應(yīng)第四個(gè)單段硅棒截段930d的第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部電機(jī),控制第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)第四個(gè)單段硅棒截段930d輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料,從而完成所有四個(gè)單段硅棒截段930的依序卸料。
[0059]本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī),先根據(jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,再通過(guò)單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且,調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0060]以下介紹應(yīng)用上述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,包?
[0061 ]步驟S1:將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺(tái)上;
[0062]步驟S2:根據(jù)工件規(guī)格,驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對(duì)應(yīng)的位置;
[0063]步驟S3:下降單段線切割單元,將所述硅棒輸送臺(tái)上的所述硅棒進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
[0064]通過(guò)上述的硅棒截?cái)喾椒?,先根?jù)規(guī)定的硅棒尺寸調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,再通過(guò)單段線切割單元將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,使待切割的硅棒符合規(guī)定的切割長(zhǎng)度,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。并且,調(diào)節(jié)移動(dòng)切割架的位置,可以滿足任意尺寸的硅棒的切割工作。
[0065]以下介紹應(yīng)用上述的包括送料設(shè)備的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,包?
[0066]步驟S10:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺(tái)上;
[0067]步驟S20:通過(guò)所示軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將硅棒輸送臺(tái)承載的待切割的硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);
[0068]步驟S30:下降單段線切割單元,對(duì)硅棒輸送臺(tái)上的待切割的硅棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為單段硅棒截段;
[0069]步驟S40:由硅棒輸送臺(tái)將切割后的單段硅棒截段依序運(yùn)離出去。
[0070]優(yōu)選地,在下降單段線切割單元之前,還包括:下降所述單段線切割單元,由所述單段線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
[0071 ]其中,在上述步驟SlO中,將待切割的硅棒由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的硅棒輸送臺(tái)上,包括:
[0072]步驟Sll:將待切割的硅棒放置于所述滾輪組件上;
[0073]步驟S12:通過(guò)所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件驅(qū)動(dòng)待切割的硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送;
[0074]步驟S13:待切割的硅棒輸送到位后,通過(guò)所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件停止運(yùn)動(dòng)。
[0075]其中,在上述步驟S30中,下降單段線切割單元,對(duì)娃棒輸送臺(tái)上的待切割的娃棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為單段硅棒截段,包括:
[0076]步驟S31:在所述硅棒輸送臺(tái)上通過(guò)所述升降機(jī)構(gòu)可升降地設(shè)置所述單段線切割單元;
[0077]步驟S32:將所述單段線切割單元通過(guò)所述連桿傳動(dòng)連接于所述升降機(jī)構(gòu)上;
[0078]步驟S33:通過(guò)所述升降機(jī)構(gòu)控制所述連桿向下移動(dòng),進(jìn)而驅(qū)動(dòng)單段線切割單元下降,對(duì)所述硅棒輸送臺(tái)上的所述硅棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為單段硅棒截段。
[0079]其中,在上述步驟S40中,由硅棒輸送臺(tái)將切割后的單段硅棒截段依序運(yùn)離出去,包括:
[0080]步驟S41:通過(guò)單段線切割單元通過(guò)多次切割進(jìn)而將硅棒切割成多個(gè)不同尺寸的單段硅棒截段,將所述電機(jī)組件分為多個(gè)電機(jī),將所述滾輪組件劃分為與切割后的多個(gè)單段硅棒截段的數(shù)量對(duì)應(yīng)的多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī);
[0081]步驟S42:啟動(dòng)最接近卸貨區(qū)的第一個(gè)硅棒截段所對(duì)應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)所述第一個(gè)硅棒截段朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料;
[0082]步驟S43:當(dāng)所述第一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段達(dá)到一安全距離之后,啟動(dòng)對(duì)應(yīng)所述第二個(gè)硅棒截段的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)所述第二個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;
[0083]步驟S44:重復(fù)上述步驟,S卩,當(dāng)前一個(gè)單段硅棒截段輸送后與相鄰的后一個(gè)單段硅棒截段達(dá)到一安全距離之后,啟動(dòng)對(duì)應(yīng)所述后一個(gè)單段硅棒截段的后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動(dòng)所述后一個(gè)單段硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料,直至將最后一個(gè)單段硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料。
[0084]另外,參見(jiàn)圖7所示,圖7是應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng),包括:
[0085]送料設(shè)備I,用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2。
[0086]本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),設(shè)置在保護(hù)罩4內(nèi)。
[0087]硅棒傳送設(shè)備6,銜接截?cái)嘣O(shè)備3,用于傳送單段硅棒截段930。優(yōu)選地,硅棒傳送設(shè)備6即為傳送帶設(shè)備。
[0088]娃棒組合加工機(jī)7,設(shè)于娃棒傳送設(shè)備6旁側(cè),用于對(duì)從娃棒傳送設(shè)備6上獲取的單段硅棒截段930執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。優(yōu)選地,硅棒傳送設(shè)備6上的單段硅棒截段930均通過(guò)機(jī)械手傳輸?shù)焦璋艚M合加工機(jī)7,以執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0089]邊料輸送設(shè)備8,用于將多余或是切割損壞的邊料進(jìn)行輸送,以進(jìn)行二次利用。
[0090]工作轉(zhuǎn)移設(shè)備9,設(shè)于截?cái)嘣O(shè)備3和硅棒傳送設(shè)備6之間,用于將單段硅棒截段930轉(zhuǎn)移至硅棒傳送設(shè)備6。優(yōu)選地,該工件轉(zhuǎn)移設(shè)備9為機(jī)械手,能將截段設(shè)備3輸出的橫向放置的單段硅棒截段930抓起并以豎直放置的方式置放到硅棒傳送設(shè)備6上。
[0091]進(jìn)一步地,應(yīng)用本發(fā)明單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的硅棒流水作業(yè)方法,包括:
[0092]步驟SlOl:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備上;
[0093]步驟S201:由本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)對(duì)由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過(guò)來(lái)的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以;
[0094]步驟S301:由硅棒傳送設(shè)備將本發(fā)明的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)切割的單段硅棒截段予以傳送;
[0095]步驟S401:由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述單段硅棒截段并對(duì)所述單段硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0096]本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0097]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,包括: 機(jī)座; 硅棒輸送臺(tái),設(shè)于所述機(jī)座的切割區(qū),用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)所述硅棒沿著所述娃棒的軸向進(jìn)行輸送; 單段切割設(shè)備,包括:移動(dòng)切割架,沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑設(shè)于所述機(jī)座;單段線切割單元,設(shè)于所述移動(dòng)切割架且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)的上方,用于將所述硅棒切割進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,還包括: 上料機(jī)構(gòu),設(shè)于所述機(jī)座的上料區(qū)且鄰近于所述硅棒輸送臺(tái),用于將待切割的所述硅棒從所述上料區(qū)輸送至所述切割區(qū)的所述硅棒輸送臺(tái)上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述上料機(jī)構(gòu)包括: 座體; 承載臺(tái);以及 硅棒輸送單元,設(shè)于所述承載臺(tái)上,具有供承托所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,還包括: 軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)上,用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述自動(dòng)軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括: 兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于所述硅棒輸送臺(tái)首尾兩端,用于承托所述硅棒; 水平檢測(cè)單元,用于檢測(cè)兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度;以及驅(qū)動(dòng)電機(jī),與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動(dòng)以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述硅棒輸送臺(tái)包括用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動(dòng)切割后的多個(gè)所述單晶硅區(qū)段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件,所述滾輪組件根據(jù)切割的單晶硅區(qū)段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對(duì),每一個(gè)滾輪對(duì)包括有通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的兩個(gè)滾輪,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對(duì)對(duì)應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對(duì)共用一個(gè)所述電機(jī)。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述單段線切割單元包括: 傳動(dòng)連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架;以及 對(duì)稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪,兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,還包括壓制件,所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對(duì)稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒的壓制板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述單段切割設(shè)備上還配置有測(cè)距單元,用于測(cè)量所述移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺(tái)的滑移距離。10.—種應(yīng)用如權(quán)利要求1所述的單段硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,其特征在于,包? 將待切割的硅棒輸送至切割區(qū)的硅棒輸送臺(tái)上;根據(jù)工件規(guī)格,驅(qū)動(dòng)移動(dòng)切割架沿著所述硅棒輸送臺(tái)滑移直至到達(dá)與所述工件規(guī)格對(duì)應(yīng)的位置; 下降單段線切割單元,將所述硅棒輸送臺(tái)上的所述硅棒進(jìn)行單段切割,獲得符合工件規(guī)格的單段硅棒截段。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK105946127SQ201610345661
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月23日
【發(fā)明人】盧建偉
【申請(qǐng)人】上海日進(jìn)機(jī)床有限公司
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