一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間，包括設(shè)置于超凈間前端的入風(fēng)端、設(shè)置于超凈間后端的回流端和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道；超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道，操作通道的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備；在所述起重設(shè)備和所述走風(fēng)通道之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)，儲(chǔ)物區(qū)中放置有儲(chǔ)物架；超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門(mén)；所述門(mén)同時(shí)還作為出風(fēng)口；所述回流端的入風(fēng)口設(shè)置在門(mén)的左右兩側(cè)，回流端的出風(fēng)口與所述走風(fēng)通道相連接；所述入風(fēng)端設(shè)置有多個(gè)風(fēng)扇單元；所述回流端的走風(fēng)通道的連接處設(shè)置有匯流風(fēng)扇。本發(fā)明設(shè)置了回流風(fēng)扇，使得超凈間中的空氣循環(huán)效率加快，可有效增加超凈間中，尤其是儲(chǔ)物區(qū)的潔凈等級(jí)。
【專利說(shuō)明】
一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制成技術(shù)，具體涉及一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間。
【背景技術(shù)】
[0002]超凈間用于制藥工業(yè)或者半導(dǎo)體制成工業(yè)，在制作晶圓、TFT或者LCD時(shí)，都需要使用超凈間，超凈間最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造?，F(xiàn)有的超凈間的問(wèn)題主要在，氣體的流通僅僅依靠入風(fēng)口和出風(fēng)口的對(duì)流效應(yīng)，氣體循環(huán)效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，本發(fā)明公開(kāi)了一種一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間，包括設(shè)置于超凈間前端的入風(fēng)端、設(shè)置于超凈間后端的回流端和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道;超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道，操作通道的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備;在所述起重設(shè)備和所述走風(fēng)通道之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)，儲(chǔ)物區(qū)中放置有儲(chǔ)物架;超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門(mén)；所述門(mén)同時(shí)還作為出風(fēng)口；所述回流端的入風(fēng)口設(shè)置在門(mén)的左右兩側(cè)，回流端的出風(fēng)口與所述走風(fēng)通道相連接;所述入風(fēng)端設(shè)置有多個(gè)風(fēng)扇單元;所述回流端的走風(fēng)通道的連接處設(shè)置有匯流風(fēng)扇。
[0006]本發(fā)明的有益技術(shù)效果是:
[0007]本發(fā)明設(shè)置了回流風(fēng)扇，使得超凈間中的空氣循環(huán)效率加快，可有效增加超凈間中，尤其是儲(chǔ)物區(qū)的潔凈等級(jí)。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本發(fā)明的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]圖1是本發(fā)明的示意圖。如圖1所示，本發(fā)明的超凈間包括設(shè)置于超凈間前端的入風(fēng)端1、設(shè)置于超凈間后端的回流端2和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道3;超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道4，操作通道4的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備5;在起重設(shè)備5和走風(fēng)通道3之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)7，儲(chǔ)物區(qū)7中放置有儲(chǔ)物架8;超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門(mén)9;門(mén)9同時(shí)還作為出風(fēng)端；回流端2的入風(fēng)口設(shè)置在門(mén)9的左右兩側(cè)，回流端2的出風(fēng)口與走風(fēng)通道3相連接。入風(fēng)端I設(shè)置有多個(gè)風(fēng)扇單元10?；亓鞫?和走風(fēng)通道3相連接處安裝有回流風(fēng)扇11。
[0010]操作員由門(mén)9進(jìn)入超凈間，并進(jìn)入操作通道4，進(jìn)行工作，起重設(shè)備5可根據(jù)操作員的指示，由儲(chǔ)物區(qū)7中的儲(chǔ)物架8之上拿取或者放下相關(guān)設(shè)備，幫助操作員工作。潔凈風(fēng)由入風(fēng)端I的風(fēng)扇單元10吹出，經(jīng)由走風(fēng)通道3吹出，在走風(fēng)通道3中時(shí)，一部分風(fēng)還向側(cè)邊吹入儲(chǔ)物區(qū)7，經(jīng)過(guò)儲(chǔ)物架8，由操作通道4吹出，最后所有的風(fēng)均吹向門(mén)9的方向，但有一部分風(fēng)從門(mén)9的左右兩側(cè)的回流端2的入風(fēng)口吹入，被回流風(fēng)扇11帶動(dòng)，再次吹向儲(chǔ)物架8，則儲(chǔ)物區(qū)7的潔凈程度增高。
[0011]以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明不限于以上實(shí)施例?？梢岳斫?，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和構(gòu)思的前提下直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的其他改進(jìn)和變化，均應(yīng)認(rèn)為包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種安裝有回流風(fēng)扇的超凈間，其特征在于，包括設(shè)置于超凈間前端的入風(fēng)端(I)、設(shè)置于超凈間后端的回流端(2)和設(shè)置于超凈間內(nèi)側(cè)左右邊的走風(fēng)通道(3);超凈間左右兩側(cè)的中軸線上設(shè)置有操作通道(4)，操作通道(4)的兩側(cè)設(shè)置有起重設(shè)備(5);在所述起重設(shè)備(5)和所述走風(fēng)通道(3)之間設(shè)置有左右通透的儲(chǔ)物區(qū)(7)，儲(chǔ)物區(qū)(7)中放置有儲(chǔ)物架(8);超凈間后端還設(shè)置有用于供操作員出入的門(mén)(9);所述門(mén)(9)同時(shí)還作為出風(fēng)口；所述回流端(2)的入風(fēng)口設(shè)置在門(mén)(9)的左右兩側(cè)，回流端(2)的出風(fēng)口與所述走風(fēng)通道(3)相連接;所述入風(fēng)端(I)設(shè)置有多個(gè)風(fēng)扇單元(10);所述回流端(2)的走風(fēng)通道(3)的連接處設(shè)置有匯流風(fēng)扇(11)。
【文檔編號(hào)】E04H1/12GK106088673SQ201610481509
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月28日
【發(fā)明人】呂耀安
【申請(qǐng)人】無(wú)錫宏納科技有限公司