一種冷卻噴淋自動啟停機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于硅片切割技術領域，特別是涉及一種冷卻噴淋自動啟停機構。
【背景技術】
[0002]使用金剛線設備進行硅片切片加工時，需要噴淋冷卻液進行冷卻和潤滑，由于冷卻液含有乳化劑、表面活性劑等成分，在高速切割過程中，會由于沖擊作用產(chǎn)生大量泡沫，影響冷卻液流量穩(wěn)定性。
[0003]為避免雙向切割時，未參與冷卻一側冷卻液被直接甩出，需要進行左右噴液自動啟停。
[0004]可能的解決方向有機械控制和電子控制兩種。
[0005]前者采用機械結構控制，以截流的思路進行設計，不對管道壓力和幕簾形成影響，只在使用端進行截流和放行切換，簡單可靠。
[0006]后者采用三通電磁閥門來實現(xiàn)，使得未使用側瞬間關停，使用側快速穩(wěn)定噴淋，由于左右切換頻率高，在切換過程存在管道壓力變化的問題，可能引起供應泵因阻力波動大而壽命衰減，同時開啟側的噴淋幕簾也無法快速形成穩(wěn)定狀態(tài)。

【發(fā)明內容】

[0007]本實用新型目的在于針對金剛線雙向切割過程中，未使用側的冷卻液被線網(wǎng)甩出形成大量泡沫，影響冷卻液流量，最終影響切割加工品質的問題，提供一種機械式冷卻噴淋自動啟停機構。
[0008]本實用新型為實現(xiàn)上述目的，采用如下技術方案:
[0009]一種冷卻噴淋自動啟停機構，用于硅片切割設備，其特征在于:其包括設置在兩個主輥上方的平衡框架，分別設置在兩個主輥外側的兩塊觸發(fā)擋板，設置在冷卻液噴管前方截流擋板；所述平衡框架在主輥軸向設置有樞軸，可繞樞軸左右擺動；所述觸發(fā)擋板一端與平衡框架的一側相連接，用于感受冷卻液的沖擊，并帶動平衡框架繞樞軸傾斜；所述截流擋板固定在平衡框架的一側，平衡框架向一側傾斜時，同側的截流擋板封住冷卻液噴管的下沿，將冷卻液導向非工作區(qū)。
[0010]其進一步特征在于:所述平衡框架為矩形，所述樞軸設置在垂直于主輥軸線兩條邊的中心位置，所述兩塊觸發(fā)擋板和兩塊截流擋板分別設置在平衡框架平行于主輥軸線的兩條邊上。
[0011]進一步的:所述觸發(fā)擋板包括觸發(fā)器和連接桿，所述連接桿連接平衡框架和觸發(fā)器，所述觸發(fā)器用于感受冷卻液的沖擊。
[0012]優(yōu)選的:所述觸發(fā)器為L形截面擋板，其寬度小于主輥長度。
[0013]所述截流擋板為U形截面的溝槽。
[0014]本實用新型結構簡單可靠，在原有設備基礎上進行簡單改造加裝即可使用，并且不會對原有設備的電子、動力設備產(chǎn)生任何干擾，同時達到了消除未使用側冷卻液甩出飛濺的情況，減弱了冷卻液富泡化的缺陷，使得切割加工穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型正視示意圖。
[0016]圖2為本實用新型俯視示意圖。
[0017]圖3為本實用新型一種工作狀態(tài)示意圖。
[0018]圖4為本實用新型一種工作狀態(tài)下冷卻液流向示意圖。
[0019]圖5為本實用新型另一種工作狀態(tài)示意圖。
[0020]圖6為本實用新型另一種工作狀態(tài)下冷卻液流向示意圖。
【具體實施方式】
[0021]如圖1、2所示，一種冷卻噴淋自動啟停機構，用于硅片切割設備，其包括設置在兩個主輥4上方的矩形平衡框架1，分別設置在兩個主輥4外側的兩塊觸發(fā)擋板2，設置在冷卻液噴管5前方截流擋板3。所述平衡框架I在垂直于主輥4軸線兩條邊的中心位置設置有樞軸11，可繞樞軸11左右擺動。所述兩塊觸發(fā)擋板2和兩塊截流擋板3分別設置在平衡框架I平行于主輥4軸線的兩條邊上。所述觸發(fā)擋板2 —端與平衡框架I的一側相連接，用于感受冷卻液的沖擊，并帶動平衡框架I繞樞軸11傾斜；所述截流擋板3固定在平衡框架I的一側，平衡框架I向一側傾斜時，同側的截流擋板3封住冷卻液噴管5的下沿，將冷卻液導向非工作區(qū)。
[0022]所述觸發(fā)擋板2包括觸發(fā)器22和連接桿21，所述連接桿21連接平衡框架I和觸發(fā)器22，所述觸發(fā)器22用于感受冷卻液的沖擊。所述觸發(fā)器22為L形截面擋板，其寬度小于主輥長度。所述截流擋板3為U形截面的溝槽。
[0023]如圖1、2所示，在未使用狀態(tài)，平衡框架I趨于左右平衡。如圖3、4所示，切割開始后，冷卻液未使用端會由于線網(wǎng)高速運轉導致冷卻液甩出，沖擊該側觸發(fā)擋板2，使得整體框架I向該側傾斜，截流擋板3接住冷卻液噴管5的冷卻液，觸發(fā)擋板2不再受到?jīng)_擊，由于截流擋板3內的液體重力作用維持住整個機構的傾斜狀態(tài)。如圖5、6所示，直到切割換向后，另一側冷卻液甩出，平衡框架I被另一個觸發(fā)擋板2觸發(fā)傾斜向另一側，另一側的截流擋板3接住另一側冷卻液噴管5的冷卻液，另一側觸發(fā)擋板2不再受到?jīng)_擊，整個機構進入另一個方向的傾斜狀態(tài)。如此循環(huán)往復。
【主權項】
1.一種冷卻噴淋自動啟停機構，用于硅片切割設備，其特征在于:其包括設置在兩個主輥上方的平衡框架，分別設置在兩個主輥外側的兩塊觸發(fā)擋板，設置在冷卻液噴管前方截流擋板；所述平衡框架在主輥軸向設置有樞軸，可繞樞軸左右擺動；所述觸發(fā)擋板一端與平衡框架的一側相連接，用于感受冷卻液的沖擊，并帶動平衡框架繞樞軸傾斜；所述截流擋板固定在平衡框架的一側，平衡框架向一側傾斜時，同側的截流擋板封住冷卻液噴管的下沿，將冷卻液導向非工作區(qū)。
2.根據(jù)權利要求1所述的冷卻噴淋自動啟停機構，其特征在于:所述平衡框架為矩形，所述樞軸設置在垂直于主輥軸線兩條邊的中心位置，所述兩塊觸發(fā)擋板和兩塊截流擋板分別設置在平衡框架平行于主輥軸線的兩條邊上。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的冷卻噴淋自動啟停機構，其特征在于:所述觸發(fā)擋板包括觸發(fā)器和連接桿，所述連接桿連接平衡框架和觸發(fā)器，所述觸發(fā)器用于感受冷卻液的沖擊。
4.根據(jù)權利要求3所述的冷卻噴淋自動啟停機構，其特征在于:所述觸發(fā)器為L形截面擋板，其寬度小于主輥長度。
5.根據(jù)權利要求1或2所述的冷卻噴淋自動啟停機構，其特征在于:所述截流擋板為U形截面的溝槽。
【專利摘要】本實用新型公布了一種冷卻噴淋自動啟停機構，用包括設置在兩個主輥上方的平衡框架，分別設置在兩個主輥外側的兩塊觸發(fā)擋板，設置在冷卻液噴管前方截流擋板；所述平衡框架在主輥軸向設置有樞軸，可繞樞軸左右擺動；所述觸發(fā)擋板一端與平衡框架的一側相連接，用于感受冷卻液的沖擊，并帶動平衡框架繞樞軸傾斜；所述截流擋板固定在平衡框架的一側，平衡框架向一側傾斜時，同側的截流擋板封住冷卻液噴管的下沿，將冷卻液導向非工作區(qū)。本實用新型結構簡單可靠，在原有設備基礎上進行簡單改造加裝即可使用，且不會對原有設備的電子、動力設備產(chǎn)生任何干擾，同時達到了消除未使用側冷卻液甩出飛濺的情況，減弱了冷卻液富泡化的缺陷，使得切割加工穩(wěn)定。
【IPC分類】B28D5-04, B28D7-02
【公開號】CN204414396
【申請?zhí)枴緾N201520029290
【發(fā)明人】李斌全, 劉愛軍, 何江濤
【申請人】無錫隆基硅材料有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年1月15日