一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片切割機(jī)配件，尤其涉及一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片的生產(chǎn)之前采用的是鋼線載砂漿切割，而如今直接用一種特制的金鋼線帶水切割，此技術(shù)不僅大大縮短了生產(chǎn)加工時(shí)間，并且使產(chǎn)品的整體質(zhì)量上了一個(gè)臺階，生產(chǎn)成本同時(shí)大幅度下降。而金剛線切割技術(shù)對于水質(zhì)的要求較高，例如，需要水具有一定低的溫度，以使切割工作可以正常進(jìn)行。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片切割機(jī)的切削液冷卻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不合理，造成切削液的溫度波動(dòng)范圍大、冷卻系統(tǒng)的冷卻效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型提供的一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置，旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置的冷卻效率低、切削液溫度波動(dòng)大的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置，包括進(jìn)水管道、出水管道、冷水機(jī)、冷水塔和儲水桶，所述冷水機(jī)串接至進(jìn)水管道與冷水塔之間，所述儲水桶串接至冷水塔與出水管道之間，所述進(jìn)水管道與冷水機(jī)之間串接有分流閥，所述分流閥與冷水塔之間設(shè)置有至少兩個(gè)冷水機(jī)，至少兩個(gè)冷水機(jī)并聯(lián)于分流閥與冷水塔之間，所述冷水塔與儲水桶之間設(shè)置有水溫檢測器，所述水溫檢測器與儲水桶之間設(shè)有換向閥，所述換向閥上固定有控制換向閥動(dòng)作的控制器，所述控制器與水溫檢測器通訊，所述換向閥分別與儲水桶、進(jìn)水管道相通，水溫符合要求時(shí)水流經(jīng)換向閥進(jìn)入儲水桶，水溫不符合要求時(shí)水流經(jīng)換向閥進(jìn)入進(jìn)水管道。
[0006]上述構(gòu)成中，進(jìn)水管道上串接有分流閥，并且分流閥與冷水塔之間并聯(lián)有至少兩個(gè)冷水機(jī)，具體工作過程中，由至少兩個(gè)冷水機(jī)對分流閥分流后的水進(jìn)行冷卻，大大提高了冷卻裝置的冷卻效率；
[0007]另外，冷水塔與儲水桶之間設(shè)有水溫檢測器，水溫檢測器與儲水桶之間串接有換向閥，由水溫檢測器檢測冷水塔內(nèi)排出的水，水溫符合要求時(shí)，直接將水排至儲水桶，水溫不符合要求時(shí)，將水排至進(jìn)水管道并依次經(jīng)過各冷卻設(shè)備進(jìn)行再次冷卻，最后重新檢測，確保進(jìn)入儲水桶內(nèi)的水溫度符合要求，減小了水溫的波動(dòng)幅度。
[0008]—種可選的方案，所述儲水桶上設(shè)有進(jìn)水口，所述進(jìn)水口與換向閥相通，所述進(jìn)水口內(nèi)設(shè)有第一單向閥，所述儲水桶內(nèi)設(shè)有與進(jìn)水口相通的混合水管，所述混合水管上開設(shè)有若干個(gè)排水孔，所述混合水管盤繞在儲水桶內(nèi)。在混合水管上開設(shè)若干個(gè)排水孔，位于混合水管內(nèi)的水由若干個(gè)排水孔排出，使得由排水孔內(nèi)排出的水與儲水桶內(nèi)原有的水混合均勻，從而使得經(jīng)出水管道排出的水的溫度具有較小的波動(dòng)幅度。
[0009]一種可選的方案，所述儲水桶內(nèi)設(shè)有溫度檢測器，所述儲水桶內(nèi)還設(shè)有制冷裝置，所述制冷裝置上固定有控制制冷裝置工作的控制裝置，所述控制裝置與溫度檢測器通訊，所述混合水管盤繞在制冷裝置上。儲水桶用于儲存水溫合格的水，但是由于環(huán)境溫度的影響，長期存儲于儲水桶內(nèi)的水水溫可能會產(chǎn)生變化，制冷裝置可以對儲水桶內(nèi)的水進(jìn)行強(qiáng)制降溫，從而確保經(jīng)出水管道排出的水的溫度具有較小的波動(dòng)范圍。
[0010]所述換向閥通過回流管與進(jìn)水管道相通，所述回流管內(nèi)設(shè)有第二單向閥。在回流管內(nèi)設(shè)置第二單向閥可以避免進(jìn)水管道內(nèi)的水進(jìn)入回流管，減小了水在管道中的損失。
[0011]所述儲水桶上包裹有至少一層隔熱層，所述出水管道上包裹有至少一層隔熱層。通過在儲水桶和出水管道上包裹至少一層隔熱層，減小了環(huán)境溫度對位于儲水桶、出水管道內(nèi)水的影響。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置，具有如下優(yōu)點(diǎn):通過在進(jìn)水管道上設(shè)置分流閥，并且分流閥與冷水塔之間并聯(lián)有至少兩個(gè)冷水機(jī)，工作過程中位于進(jìn)水管道內(nèi)的水先經(jīng)分流閥分出若干支流，然后再由冷水機(jī)對每個(gè)支流的水進(jìn)行單獨(dú)冷卻，大大提高了冷水機(jī)的冷卻效率；
[0013]另外，冷水塔與儲水桶之間設(shè)有水溫檢測器，水溫檢測器與儲水桶之間串接有換向閥，水溫檢測器對冷水塔內(nèi)排出的水進(jìn)行測溫，溫度符合要求時(shí)排至儲水桶，溫度不符合要求時(shí)排至進(jìn)水管道重新冷卻，大大提高了儲水桶內(nèi)水溫的穩(wěn)定性；
[0014]儲水桶內(nèi)設(shè)置溫度檢測器和制冷裝置，進(jìn)一步確保儲水桶內(nèi)水溫的穩(wěn)定性能；而通過在儲水桶、出水管道上均包裹隔熱層，減小了環(huán)境溫度對水溫的影響，進(jìn)一步提高了水溫的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0015]附圖1是本實(shí)用新型一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置作進(jìn)一步說明。如圖1所示，一種硅片切割機(jī)用切削液冷卻裝置，包括進(jìn)水管道1，該進(jìn)水管道1將若干臺參與切割的切割機(jī)廢液匯聚在一起，以便統(tǒng)一冷卻；出水管道2，該出水管道2將儲水桶5內(nèi)的水供給至若干臺參與切割的切割機(jī)；冷水機(jī)3，用于對水進(jìn)行第一次冷卻；冷水塔4，用于對水進(jìn)行第二次冷卻；儲水桶5，用于儲存冷卻后的水；
[0017]參見圖1，所述冷水機(jī)3串接至進(jìn)水管道1與冷水塔4之間，所述儲水桶5串接至冷水塔4與出水管道2之間，所述進(jìn)水管道1與冷水機(jī)3之間串接有分流閥6，所述分流閥6與冷水塔4之間設(shè)置有至少兩個(gè)冷水機(jī)3，至少兩個(gè)冷水機(jī)3并聯(lián)于分流閥6與冷水塔4之間，進(jìn)入進(jìn)水管道1內(nèi)的水首先被分流閥6分出若干支流，然后由至少兩個(gè)冷水機(jī)3分別對若干支流上的水進(jìn)行冷卻，為了提高冷水機(jī)3的冷卻效率，每條支流應(yīng)由單獨(dú)的冷水機(jī)3進(jìn)行冷卻；水流經(jīng)冷水機(jī)3第一次冷卻后再集中至冷水塔4中進(jìn)行第二次冷卻，然后由冷水塔4內(nèi)排出；
[0018]參見圖1，在實(shí)際使用過程中，由冷水塔4排出的水的溫度不一定都是符合要求的，如某臺冷水機(jī)3損壞，造成冷水機(jī)3無法冷卻等因素，所以應(yīng)檢測冷水塔4內(nèi)排出的水的水溫，以提高儲水桶5內(nèi)水溫的穩(wěn)定性，如:所述冷水塔4與儲水桶5之間設(shè)置有水溫檢測器7，所述水溫檢測器7與儲水桶5之間設(shè)有換向閥8，所述換向閥8上固定有控制換向閥8動(dòng)作的控制器9，所述控制器9與水溫檢測器7通訊，控制器9與水溫檢測器7可以通過有線或無線的方式通訊，所述換向閥8分別與儲水桶5、進(jìn)水管道1相通，水溫符合要求時(shí)水流經(jīng)換向閥8進(jìn)入儲水桶5，水溫不符合要求時(shí)水流經(jīng)換向閥8進(jìn)入進(jìn)水管道1，