真空設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種真空設(shè)備，包括真空腔體和門蓋，所述真空腔體設(shè)有開(kāi)口，所述門蓋設(shè)于開(kāi)口處，還包括設(shè)于所述開(kāi)口處的可拆卸式密封件，所述密封件與真空腔體可拆卸式連接，所述密封件與門蓋相對(duì)的一面設(shè)有光滑的密封面，所述門蓋上設(shè)有與所述密封面對(duì)應(yīng)設(shè)置的密封部。上述真空設(shè)備，當(dāng)對(duì)真空腔體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)時(shí)，若不小心劃傷密封件的密封面，則可將密封件從真空腔體上拆卸下來(lái)進(jìn)行維修，同時(shí)也可以換上備用的密封件。這樣，該真空設(shè)備仍然可以繼續(xù)使用，對(duì)工藝的影響非常小。
【專利說(shuō)明】真空設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代制造技術(shù)中，很多工藝都需要制造真空環(huán)境。真空設(shè)備就是用來(lái)維持一個(gè)相對(duì)密封的環(huán)境以提供一定真空度。傳統(tǒng)的真空設(shè)備一般包括真空腔體，其上設(shè)有開(kāi)口。在開(kāi)口處設(shè)有可開(kāi)合的門蓋，門蓋面對(duì)開(kāi)口的一側(cè)設(shè)有密封圈，對(duì)應(yīng)所述密封圈的真空腔體上，環(huán)繞該開(kāi)口的位置是經(jīng)精密機(jī)械加工后的密封面，當(dāng)門蓋蓋合在開(kāi)口上時(shí)，密封圈貼合在密封面上，以形成良好的密封。
[0003]由于工藝或是設(shè)備需要，經(jīng)常會(huì)打開(kāi)門蓋對(duì)真空腔體內(nèi)部進(jìn)行清潔、更換部件、維護(hù)保養(yǎng)等動(dòng)作。當(dāng)門蓋打開(kāi)后，真空腔體開(kāi)口處的密封面就會(huì)外露，由于人為因素，該密封面可能會(huì)被劃傷或損壞，此時(shí)整個(gè)真空設(shè)備就不能維持良好的真空環(huán)境。真空腔體需要被拆卸下來(lái)送修，真空設(shè)備就不能繼續(xù)使用，對(duì)工藝進(jìn)程影響較大。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]基于此，有必要提供一種在密封面劃傷需要送修時(shí)，可以避免真空腔體被拆卸的真空設(shè)備。
[0005]一種真空設(shè)備，包括真空腔體和門蓋，所述真空腔體設(shè)有開(kāi)口，所述門蓋設(shè)于開(kāi)口處，還包括設(shè)于所述開(kāi)口處的可拆卸式密封件，所述密封件與真空腔體可拆卸式連接，所述密封件與門蓋相對(duì)的一面設(shè)有光滑的密封面，所述門蓋上設(shè)有與所述密封面對(duì)應(yīng)設(shè)置的密封部。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述真空腔體包括腔室部和自腔室部設(shè)有開(kāi)口的一側(cè)面向外延伸的開(kāi)口部，所述開(kāi)口部與腔室部連通，且開(kāi)口部的開(kāi)口尺寸小于腔室部的側(cè)面尺寸，所述密封件套接在所述開(kāi)口部外側(cè)并與腔室部外側(cè)密封連接。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述腔室部上、環(huán)繞開(kāi)口部的位置設(shè)有螺紋沉孔；相應(yīng)地，所述密封件上的也設(shè)有螺紋沉孔，所述密封件和腔室部通過(guò)螺釘固定連接。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述開(kāi)口部為矩形。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述密封件內(nèi)側(cè)壁環(huán)設(shè)向內(nèi)凸起的抵擋部，所述開(kāi)口部的開(kāi)口外緣與所述抵擋部抵接以密封。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述密封件為剛性結(jié)構(gòu)，所述開(kāi)口部為彈性結(jié)構(gòu)。
[0011 ] 在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述門蓋與真空腔體轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述門蓋與密封件轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述密封部為密封圈。
[0014]上述真空設(shè)備，當(dāng)對(duì)真空腔體內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)時(shí)，若不小心劃傷密封件的密封面，則可將密封件從真空腔體上拆卸下來(lái)進(jìn)行維修，同時(shí)也可以換上備用的密封件。這樣，該真空設(shè)備仍然可以繼續(xù)使用，對(duì)工藝的影響非常小。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為一實(shí)施例的真空設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為圖1中的真空腔體的放大圖；
[0017]圖3為圖1中的密封件的放大圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。
[0019]如圖1所示，為一實(shí)施例的真空設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。該真空設(shè)備10包括真空腔體100、門蓋200和密封件300。真空腔體100設(shè)有開(kāi)口 102，開(kāi)口 102處設(shè)有可拆卸式密封件300，即密封件300與真空腔體100可拆卸式連接。密封件300與門蓋200相對(duì)的一面設(shè)有光滑的密封面302。門蓋200與密封件300相對(duì)的一面設(shè)有密封部，與密封面302對(duì)應(yīng)設(shè)置。本實(shí)施例中該密封部為密封圈202。在其他實(shí)施例中，該密封部還可以是密封墊等其他可以輔助密封、加強(qiáng)密封效果的部件。當(dāng)門蓋蓋在密封件300上時(shí)，密封圈202與密封面302緊密貼合形成密封。
[0020]當(dāng)對(duì)真空腔體100內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)時(shí)，若不小心劃傷密封件200的密封面302，則可將密封件從真空腔體100上拆卸下來(lái)進(jìn)行維修，同時(shí)也可以換上備用的密封件200。這樣，該真空設(shè)備10仍然可以繼續(xù)使用，對(duì)工藝的影響非常小。
[0021]圖2是圖1中的真空腔體的放大圖。參考圖2，真空腔體100包括腔室部110和開(kāi)口部120。其中開(kāi)口部120自腔室部110設(shè)有開(kāi)口的一側(cè)面向外延伸形成。開(kāi)口部120與腔室部110連通，且開(kāi)口部120的開(kāi)口尺寸小于其所在的腔室部110的側(cè)面尺寸。本實(shí)施例中，真空腔體100為立方體結(jié)構(gòu)，開(kāi)口部120相應(yīng)的為矩形框結(jié)構(gòu)。也即開(kāi)口為矩形開(kāi)口。由于開(kāi)口部120的開(kāi)口尺寸小于其所在的腔室部110的側(cè)面尺寸，腔室部110的側(cè)面外部留有環(huán)繞開(kāi)口部120外側(cè)的區(qū)域112。在該區(qū)域112中設(shè)有螺紋沉孔114。
[0022]圖3是圖1中的密封件的放大圖。參考圖3，密封件300包括框形主體310和設(shè)置在框形主體310 —側(cè)的密封面302。本實(shí)施例中，密封面302是凸出于框形主體310 —側(cè)O-ring結(jié)構(gòu)。環(huán)繞該密封面302的框形主體310上也設(shè)有螺紋沉孔312，其與真空腔體100上的螺紋沉孔114對(duì)應(yīng)設(shè)置。這樣，密封件300可以套接在真空腔體100的開(kāi)口部120外側(cè)，并與腔室部110外側(cè)通過(guò)螺釘固定連接。
[0023]密封件300內(nèi)側(cè)壁還環(huán)設(shè)向內(nèi)凸起的抵擋部(圖未示)，開(kāi)口部120的開(kāi)口外緣與抵擋部抵接以實(shí)現(xiàn)密封。本實(shí)施例中，密封件300為剛性結(jié)構(gòu)，開(kāi)口部120為彈性結(jié)構(gòu)。密封件300的剛性可以保證一定的強(qiáng)度，在組裝過(guò)程中不會(huì)變形。開(kāi)口部120的彈性則可以實(shí)現(xiàn)一定程度的抵接壓力和彈性，保證良好的密封性。
[0024]門蓋200可以與真空腔體100或密封件300轉(zhuǎn)動(dòng)連接。當(dāng)開(kāi)合門蓋200時(shí)，門蓋200圍繞設(shè)于真空腔體100 —側(cè)的轉(zhuǎn)軸或者設(shè)于密封件300 —側(cè)的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0025]可以理解，上述開(kāi)口部120的形狀不限于矩形，還可以是圓形等合適的形狀。
[0026]可以理解，密封件300與真空腔體100的連接方式不限于螺釘連接，還可以是扣合、粘合等方式。
[0027]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空設(shè)備，包括真空腔體和門蓋，所述真空腔體設(shè)有開(kāi)口，所述門蓋設(shè)于開(kāi)口處，其特征在于，還包括設(shè)于所述開(kāi)口處的可拆卸式密封件，所述密封件與真空腔體可拆卸式連接，所述密封件與門蓋相對(duì)的一面設(shè)有光滑的密封面，所述門蓋上設(shè)有與所述密封面對(duì)應(yīng)設(shè)置的密封部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述真空腔體包括腔室部和自腔室部設(shè)有開(kāi)口的一側(cè)面向外延伸的開(kāi)口部，所述開(kāi)口部與腔室部連通，且開(kāi)口部的開(kāi)口尺寸小于腔室部的側(cè)面尺寸，所述密封件套接在所述開(kāi)口部外側(cè)并與腔室部外側(cè)密封連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述腔室部上、環(huán)繞開(kāi)口部的位置設(shè)有螺紋沉孔；相應(yīng)地，所述密封件上的也設(shè)有螺紋沉孔，所述密封件和腔室部通過(guò)螺釘固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述開(kāi)口部為矩形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述密封件內(nèi)側(cè)壁環(huán)設(shè)向內(nèi)凸起的抵擋部，所述開(kāi)口部的開(kāi)口外緣與所述抵擋部抵接以密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述密封件為剛性結(jié)構(gòu)，所述開(kāi)口部為彈性結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述門蓋與真空腔體轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述門蓋與密封件轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備，其特征在于，所述密封部為密封圈。
【文檔編號(hào)】E06B7/16GK204186263SQ201420646186
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月30日
【發(fā)明者】陳祥麟 申請(qǐng)人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國(guó)顯光電有限公司