本技術(shù)涉及密封門(mén)，特別涉及一種密封門(mén)組件及半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在制造半導(dǎo)體芯片的過(guò)程中，部分芯片需要在特定的測(cè)試環(huán)境中進(jìn)行測(cè)試，例如氮?dú)猸h(huán)境、低露點(diǎn)環(huán)境等。目前，半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的倉(cāng)體具有測(cè)試腔體，芯在測(cè)試腔體內(nèi)進(jìn)行測(cè)試，為了保證機(jī)械手可以取放芯片，在測(cè)試腔體的側(cè)部留有一個(gè)窗口，供機(jī)械手通過(guò)，為了保證測(cè)試環(huán)境的密閉性，需要考慮如何密封窗口

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型提供一種密封門(mén)組件，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)密封或打開(kāi)窗口，保證測(cè)試環(huán)境的密閉性。

2、本實(shí)用新型還提供一種半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，具有上述的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備。

3、根據(jù)本實(shí)用新型第一方面實(shí)施例的密封門(mén)組件，包括：門(mén)體；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)所述門(mén)體沿第一方向靠近或遠(yuǎn)離窗口，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)所述門(mén)體沿第二方向密封或打開(kāi)窗口，所述第一方向與所述第二方向相互垂直。

4、根據(jù)本實(shí)用新型第一方面實(shí)施例的密封門(mén)組件，至少具有如下有益效果：通過(guò)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)門(mén)體運(yùn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)密封或打開(kāi)窗口，無(wú)需人工操作，具體地，在需要密封窗口時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)裝置先帶動(dòng)門(mén)體沿第一方向靠近窗口，門(mén)體與窗口對(duì)位后，第二驅(qū)動(dòng)裝置再帶動(dòng)門(mén)體沿第二方向密封窗口，完成密封，保證密封性，在需要打開(kāi)窗口時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)裝置先帶動(dòng)門(mén)體沿第二方向打開(kāi)窗口，門(mén)體不與窗口接觸，然后第一驅(qū)動(dòng)裝置再帶動(dòng)門(mén)體沿第一方向遠(yuǎn)離窗口，將窗口完全打開(kāi)，可以供機(jī)械手伸入窗口內(nèi)。

5、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述密封門(mén)組件包括滑動(dòng)組件，所述滑動(dòng)組件包括滑軌、滑塊和滑動(dòng)板，所述滑軌沿所述第一方向延伸，所述滑塊與所述滑軌滑動(dòng)連接，所述滑動(dòng)板與所述滑塊固定連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置與所述滑動(dòng)板固定連接。

6、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述滑軌設(shè)有兩條，兩條滑軌分別位于所述滑動(dòng)板的兩端。

7、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述密封門(mén)組件包括導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件包括直線導(dǎo)桿和直線軸承，所述直線導(dǎo)桿與所述門(mén)體固定連接，所述直線導(dǎo)桿沿所述第二方向延伸，所述直線軸承與所述滑動(dòng)板固定連接，所述直線導(dǎo)桿與所述直線軸承配合。

8、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述導(dǎo)向組件設(shè)有四個(gè)。

9、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置為氣缸，所述滑動(dòng)板與所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接。

10、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置為氣缸，所述門(mén)體與所述第二驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接。

11、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述門(mén)體的邊緣處設(shè)有密封件，所述密封件沿所述門(mén)體的周向延伸，所述密封件用于與所述窗口密封。

12、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述密封件采用海綿制成。

13、根據(jù)本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，包括：倉(cāng)體，設(shè)有窗口；第一方面實(shí)施例的密封門(mén)組件。

14、根據(jù)本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，由于包括第一方面實(shí)施例的密封門(mén)組件，至少具有上述有益效果，在此不再贅述。

15、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.密封門(mén)組件，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述密封門(mén)組件包括滑動(dòng)組件，所述滑動(dòng)組件包括滑軌、滑塊和滑動(dòng)板，所述滑軌沿所述第一方向延伸，所述滑塊與所述滑軌滑動(dòng)連接，所述滑動(dòng)板與所述滑塊固定連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置與所述滑動(dòng)板固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述滑軌設(shè)有兩條，兩條滑軌分別位于所述滑動(dòng)板的兩端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述密封門(mén)組件包括導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件包括直線導(dǎo)桿和直線軸承，所述直線導(dǎo)桿與所述門(mén)體固定連接，所述直線導(dǎo)桿沿所述第二方向延伸，所述直線軸承與所述滑動(dòng)板固定連接，所述直線導(dǎo)桿與所述直線軸承配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述導(dǎo)向組件設(shè)有四個(gè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置為氣缸，所述滑動(dòng)板與所述第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置為氣缸，所述門(mén)體與所述第二驅(qū)動(dòng)裝置的輸出端固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述門(mén)體的邊緣處設(shè)有密封件，所述密封件沿所述門(mén)體的周向延伸，所述密封件用于與所述窗口密封。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的密封門(mén)組件，其特征在于，所述密封件采用海綿制成。

10.半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種密封門(mén)組件及半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備，其中，密封門(mén)組件包括門(mén)體和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)門(mén)體沿第一方向靠近或遠(yuǎn)離窗口，第二驅(qū)動(dòng)裝置用于帶動(dòng)門(mén)體沿第二方向密封或打開(kāi)窗口，第一方向與第二方向相互垂直，本技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)密封或打開(kāi)窗口，保證測(cè)試環(huán)境的密閉性。

技術(shù)研發(fā)人員：林生財(cái)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240105
技術(shù)公布日：2025/1/9