本技術(shù)涉及石墨載片器加工,具體為一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭。
背景技術(shù):
1、石墨載片器是mocvd外延生長所使用的載具,由整塊石墨材料制成,放置在反應(yīng)室里面的加熱絲等構(gòu)成的底座上面,底座可以帶動石墨載盤勻速旋轉(zhuǎn)已達(dá)到加熱均勻的目的,在石墨盤載片器表面根據(jù)生長的外延片尺寸挖不同數(shù)量的槽叫做“外延片槽”。
2、每次在裝片時需要對外延片槽進(jìn)行清理,通常的做法是用吸塵器進(jìn)行處理,現(xiàn)有的吸塵器頭都為塑料的材質(zhì),容易對石墨盤造成損傷,而石墨盤表面劃傷后將影響外延材料的生長,造成是石墨盤無法使用且無法修復(fù),而報廢,如若在石墨盤上殘留有塑料材質(zhì),則對外延片的生長影響更大,為此,我們設(shè)計出一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,來解決上述問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,解決了現(xiàn)有吸塵器頭多為塑料的材質(zhì),在實際應(yīng)用中,容易對石墨盤造成損傷與出現(xiàn)殘留的問題。
2、為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,包括吸嘴主體,所述吸嘴主體包括與吸塵器輸入管裝配的插接管和與石墨盤接觸的吸嘴管,所述插接管的裝配端設(shè)置有便于其插入到吸塵器輸入管內(nèi)部的插接錐形角,所述插接錐形角的背部設(shè)置有對吸塵器輸入管內(nèi)部保護(hù)的插接倒角,所述吸嘴管的作業(yè)端設(shè)置有與石墨盤接觸保護(hù)的吸嘴倒角。
3、優(yōu)選的,所述插接管和吸嘴管之間通過變徑管同軸連接。
4、優(yōu)選的,所述插接管和變徑管、吸嘴管的材質(zhì)皆為石英。
5、有益效果
6、本實用新型提供了一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果:
7、該新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,通過改進(jìn)傳統(tǒng)的吸塵機(jī)轉(zhuǎn)接頭的材質(zhì),以石英材質(zhì)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的塑料材質(zhì),石英材質(zhì)相對于傳統(tǒng)的塑料材質(zhì)來說更耐磨損,借助于吸嘴倒角可以避免作業(yè)時對石墨盤表面造成的劃傷,并且不會因為意外劃傷殘留而影響石墨盤的使用壽命以及外延片的生長環(huán)境,同時通過變徑管增加吸塵器氣流的流速,能更好更徹底的將石墨盤表面的落塵等顆粒處理干凈,
1.一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:包括吸嘴主體(1),所述吸嘴主體(1)包括與吸塵器輸入管裝配的插接管(2)和與石墨盤接觸的吸嘴管(4),所述插接管(2)的裝配端設(shè)置有便于其插入到吸塵器輸入管內(nèi)部的插接錐形角(201),所述插接錐形角(201)的背部設(shè)置有對吸塵器輸入管內(nèi)部保護(hù)的插接倒角(202),所述吸嘴管(4)的作業(yè)端設(shè)置有與石墨盤接觸保護(hù)的吸嘴倒角(401)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述插接管(2)和吸嘴管(4)之間通過變徑管(3)同軸連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型吸塵器轉(zhuǎn)接頭,其特征在于:所述插接管(2)和變徑管(3)、吸嘴管(4)的材質(zhì)皆為石英。