專利名稱：可將空氣與純水隔離的儲水裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種儲水裝置，尤其涉及一種可將空氣與純水隔離的儲水裝置。
背景技術(shù)：
純水在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中應(yīng)用很廣，一般在水經(jīng)純化處理而成純水后，純水會被儲存于儲水筒中，以隨時供生產(chǎn)機臺使用。
請參閱圖5所示，為一現(xiàn)有的純水儲水筒60，該純水儲水筒60接設(shè)有一進水管61與一出水管62，純水可經(jīng)由進水管61流入純水儲水筒60儲存，而由出水管62流出純水儲水筒60供使用。
為使純水儲水筒60的純水能順利流出筒體，純水儲水筒60尚需與外界空氣連通，以使空氣進入其中，以調(diào)節(jié)純水的進出。然而，由于空氣中含有二氧化碳，二氧化碳會溶解于純水而產(chǎn)生碳酸根(HCO3-)，造成純水的酸堿值改變，而影響純水的導(dǎo)電度，會對后續(xù)的生產(chǎn)制程產(chǎn)生影響，并影響水處理裝置中的樹脂。
因此，現(xiàn)有的純水儲水筒60會另接設(shè)有一進氣管63與一出氣管64，進氣管63供在純水儲水筒60中注入氮氣〔N2〕，使氮氣可經(jīng)由進氣管63流入純水儲水筒60中，再通過出氣管64流出純水儲水筒60外，以調(diào)節(jié)純水儲水筒60中純水的流出與流入。
然而，氮氣雖然可以避免上述二氧化碳對純水造成的影響，但是，氮氣本身需經(jīng)一定的純化制造程序，因此，使用使氮氣儲存純水的成本提高，造成生產(chǎn)成本的增加。
實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有純水儲水筒存在的上述缺點，本實用新型提供一種可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其可有效地將空氣與純水在純水儲水筒中隔離，以避免氮氣的使用以及純水酸堿值的變化，節(jié)省成本。
本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種可將空氣與純水隔離的儲水裝置，包括一儲水筒，具有一內(nèi)空間；其特征在于，一設(shè)于所述內(nèi)空間中的隔膜裝置，該隔膜裝置中將所述內(nèi)空間隔離成一儲氣空間與一儲水空間；一連通于所述儲水空間用以將純水抽入所述儲水空間中的進水泵；一連通于所述儲水空間用以將純水抽出所述儲水空間中的出水泵；一連通于所述儲氣空間并使空氣進出所述儲氣空間，以調(diào)節(jié)儲水空間容積變化的空氣進出口裝置。
前述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一撓性薄膜，該撓性薄膜是設(shè)在所述儲水筒的內(nèi)空間的邊壁上。
前述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一球狀撓性氣囊，該撓性氣囊是設(shè)于所述儲水筒的內(nèi)空間中，并具有一連通于所述空氣進出口裝置的開口端。
前述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一長管狀的撓性氣囊，該撓性氣囊內(nèi)空間中，具有兩分別連通于所述空氣進出口裝置的開口端。
本實用新型具有如下優(yōu)點本實用新型的隔膜裝置可有效地隔離儲水筒內(nèi)空間中的純水與空氣，因此，可直接使空氣進出儲氣空間中，以調(diào)節(jié)儲水空間容積的變化，以利純水進出儲水筒，不必像現(xiàn)有的純水儲水筒需使用氮氣，節(jié)省純水的儲存成本。
同時，由于空氣與純水是被薄膜裝置所隔離，因此純水不會與二氧化碳直接接觸，純水不會產(chǎn)生碳酸根，不會對后端的樹脂處理裝置產(chǎn)生影響，也可節(jié)省后端水處理的成本。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。


圖1是本實用新型較佳實施例的使用狀態(tài)系統(tǒng)方框圖。
圖2是本實用新型第一較佳實施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
圖3是本實用新型第二較佳實施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
圖4是本實用新型第三較佳實施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
圖5是現(xiàn)有的純水儲水裝置的平面示意圖。
圖中標(biāo)號說明10 儲水筒101 儲氣空間102 儲水空間103 空氣進出口裝置104 進水管 106 出水管11 進水泵12 出水泵13 隔膜裝置 131 撓性薄膜132、132’撓性氣囊20 前處理裝置21 逆滲透處理裝置22 樹脂處理裝置60 純水儲水筒61 進水管62 出水管63 進氣管64 出氣管具體實施方式
請參閱
圖1與圖2所示，為本實用新型較佳實施例的可將空氣與純水隔離的儲水裝置是可與一純水處理裝置一起使用，該純水處理裝置具有一前處理裝置20、一逆滲透處理裝置21與一樹脂處理裝置22，而本實用新型的儲水裝置則包含有一儲水筒10、一進水泵11、一出水泵12與一隔膜裝置13。
上述進水泵11是將水抽入前處理裝置20，經(jīng)前處理裝置20處理后流入逆滲透處理裝置21進行純化，再儲存于儲水筒10中。使用時，可用出水泵12將純水由儲水筒10抽出，經(jīng)樹脂處理裝置22處理后，即可送至機臺端供使用。
儲水筒10中具有一內(nèi)空間，隔膜裝置13是設(shè)于儲水筒10中并將內(nèi)空間隔離成一儲氣空間101與一儲水空間102，隔膜裝置13的第一較佳實施例為一撓性薄膜131，該撓性薄膜131為不透水與不透氣的材質(zhì)制成，并設(shè)于儲水筒10的內(nèi)空間中的邊壁上，撓性薄膜131與儲水筒10內(nèi)空間的邊壁間施以密封，以將內(nèi)空間隔離成儲氣空間101與儲水空間102。
儲水筒10另設(shè)有一連通于儲氣空間101的空氣進出口裝置103、一連通于儲水空間102的進水管104以及一連通于儲水空間102的出水管106?？諝膺M出口裝置103是用以調(diào)節(jié)進出儲氣空間101的空氣。進水管104是依序連通于逆滲透處理裝置21、前處理裝置20與進水泵11，以使進水泵11抽水經(jīng)逆滲透處理裝置21與前處理裝置20處理后，經(jīng)進水管104流入儲水空間102儲存。
當(dāng)水流入儲水空間102，撓性薄膜131產(chǎn)生變形使儲水空間102的容積改變，同時，儲氣空間101中的空氣被壓縮，使儲氣空間101中的空氣經(jīng)由連通的空氣進出口裝置103流出儲氣空間101，達到儲水筒10儲水的目的。
當(dāng)欲使用純水時，出水泵12將水抽出儲水空間102，經(jīng)樹脂處理裝置22處理后，即可供機臺使用。同時，當(dāng)純水從儲水空間102抽出時，儲水空間102的容積變小，使撓性薄膜131產(chǎn)生變形，空氣經(jīng)由連通的空氣進出口裝置103流入儲氣空間101中，達到調(diào)節(jié)儲水筒10純水出水的目的。
請參閱圖3所示，前述隔膜裝置13的第二較佳實施例可為一撓性氣囊132，撓性氣囊132為不透水與不透氣材質(zhì)制成的球狀物，并設(shè)于儲水筒10的內(nèi)空間中，其開口連接于空氣進出口裝置103，以將儲水筒10的內(nèi)空間隔離成該儲氣空間101與該儲水空間102。
如此，可借助進水泵11與出水泵12的作用，使撓性氣囊132體積膨脹或縮小，改變儲水空間102的容積，達到調(diào)節(jié)儲水筒10的儲水空間102中，純水進出水的目的。
請參閱圖4所示，為使用另一撓性氣囊132’的較佳實施例，撓性氣囊132’為不透水與不透氣材質(zhì)制成的長管狀物，并具有兩開口端，撓性氣囊132’是設(shè)于儲水筒10的內(nèi)空間中，以將儲水筒10的內(nèi)空間隔離成儲氣空間101與儲水空間102，其兩開口端分別連通于空氣進出口裝置103。
如此，可借助進水泵11與出水泵12的作用，使撓性氣囊132’可產(chǎn)生體積上的膨脹或縮小，改變儲水空間102的容積，達到調(diào)節(jié)儲水筒10的儲水空間102中，純水進出水的目的。
以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種可將空氣與純水隔離的儲水裝置，包括一儲水筒，具有一內(nèi)空間；其特征在于，一設(shè)于所述內(nèi)空間中的隔膜裝置，該隔膜裝置中將所述內(nèi)空間隔離成一儲氣空間與一儲水空間；一連通于所述儲水空間用以將純水抽入所述儲水空間中的進水泵；一連通于所述儲水空間用以將純水抽出所述儲水空間中的出水泵；一連通于所述儲氣空間并使空氣進出所述儲氣空間，以調(diào)節(jié)儲水空間容積變化的空氣進出口裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一撓性薄膜，該撓性薄膜是設(shè)在所述儲水筒的內(nèi)空間的邊壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一球狀撓性氣囊，該撓性氣囊是設(shè)于所述儲水筒的內(nèi)空間中，并具有一連通于所述空氣進出口裝置的開口端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其特征在于所述隔膜裝置為一長管狀的撓性氣囊，該撓性氣囊內(nèi)空間中，具有兩分別連通于所述空氣進出口裝置的開口端。
專利摘要一種可將空氣與純水隔離的儲水裝置，其包含有一儲水筒，儲水筒具有一內(nèi)空間，其中設(shè)有一隔膜裝置，隔膜裝置可為一不透水與不透氣的撓性薄膜或為一球狀或長管狀的撓性氣囊，以將內(nèi)空間隔離成一儲氣空間與一儲水空間，儲水空間連通設(shè)有一用以將純水抽入儲水空間的進水泵以及一用以將純水抽出儲水空間的出水泵，儲氣空間連通設(shè)有一供空氣進出儲氣空間，以調(diào)節(jié)儲水空間容積變化的空氣進出口裝置，借此，隔膜裝置可有效地將純水與空氣隔離，不必使用氮氣即可使純水不會產(chǎn)生碳酸根而影響其它水處理裝置，節(jié)省成本。
文檔編號E03B11/06GK2697160SQ20042000538
公開日2005年5月4日 申請日期2004年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月23日
發(fā)明者楊基政 申請人:亞斯福科技股份有限公司