專利名稱：驅(qū)動連接機構(gòu)及具有該驅(qū)動連接機構(gòu)的真空機械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將在固定的位置上被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向可移動的被動旋轉(zhuǎn)軸進行傳遞的驅(qū)動連接機構(gòu)及具有該驅(qū)動連接機構(gòu)的真空機械手。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造裝置等中，由在減壓或真空下進行處理的多個工序，在這些工序中，有在真空容器內(nèi)對基板進行搬送的工序。作為在真空容器內(nèi)搬送基板的裝置，已知有例如專利文獻1所揭示的真空機械手。
該真空機械手，是在真空容器內(nèi)收容有搬送部并將驅(qū)動部收容在大氣側(cè)的機臺內(nèi)的構(gòu)件。在該真空機械手中，通過將驅(qū)動部的電機進行驅(qū)動，利用在真空容器內(nèi)的2個皮帶輪和掛架在這些皮帶輪上的皮帶將電機的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向臂或手進行傳遞。
日本專利特開2002-66976號公報但是，作為在真空中使用的皮帶，已知有鋼帶及帶傾角(日文デイツプ)的鋼帶，但是，鋼帶由于被掛架在皮帶輪的外周上并利用其摩擦力進行驅(qū)動，故有產(chǎn)生打滑的可能性。又，鋼帶，即使考慮安全性而使用具有足夠應(yīng)力的皮帶，當例如安裝進度很差時，往往產(chǎn)生有應(yīng)力異常集中的部位而能使皮帶損壞或切斷。又，帶傾角的鋼帶，當不能正確地形成銷節(jié)距和孔節(jié)距時，由于由銷對其誤差進行修正而使皮帶受傷，故往往也可成為皮帶損壞或切斷的原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而作成的，其目的在于，提供能不會發(fā)生打滑或切斷地進行動力的傳遞的驅(qū)動連接機構(gòu)及具有該驅(qū)動連接機構(gòu)的真空機械手。
為了達到所述目的，本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)，將在固定的位置上被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，向與該主動旋轉(zhuǎn)軸的軸大致平行地延伸并沿與主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的面進行移動的被動旋轉(zhuǎn)軸進行傳遞，其特征在于，具有相對所述主動旋轉(zhuǎn)軸向大致正交的方向延伸、一端部以所述主動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地被安裝的第1臂；相對所述主動旋轉(zhuǎn)軸向大致正交的方向延伸、一端部以所述被動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地被安裝的第2臂；在所述第1臂的另一端部和所述第2臂的另一端部上可旋轉(zhuǎn)地被安裝著的中間軸；相對所述主動旋轉(zhuǎn)軸向大致正交的方向延伸、一端部在所述主動旋轉(zhuǎn)軸的偏心位置向與該主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝、且另一端部在所述中間軸的偏心位置向與該中間軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝的2個以上的第1連桿；相對所述主動旋轉(zhuǎn)軸向大致正交的方向延伸、一端部在所述中間軸的偏心位置向與該中間軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝、且另一端部在所述被動旋轉(zhuǎn)軸的偏心位置向與該被動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝的2個以上的第2連桿，在所述主動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，通過所述第1連桿和所述第2連桿使所述被動旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
采用本發(fā)明，當使主動旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)時，通過可旋轉(zhuǎn)地被安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸的偏心位置上的第1連桿使中間軸進行旋轉(zhuǎn)。通過可旋轉(zhuǎn)地被安裝在中間軸的偏心位置上的第2連桿使被動旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)并將主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸進行傳遞。又，當被動旋轉(zhuǎn)軸進行移動時，第1臂和第2臂隨其進行旋轉(zhuǎn)并使中間軸進行移動，但由于中間軸始終可旋轉(zhuǎn)地被支承在第1臂和第2臂上，故即使被動旋轉(zhuǎn)軸移動也能將主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸傳遞。因此，本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)，由于不使用皮帶，故能不會發(fā)生切斷或打滑等地進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的傳遞，可靠性高。又，因沒有間隙等，故驅(qū)動傳遞精度也高。
在本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)中，最好是，所述第1連桿由2個第1連桿構(gòu)成，在這些第1連桿的各兩端部之間，分別配置著以所述主動旋轉(zhuǎn)軸的軸或所述中間軸的軸為中心進行旋轉(zhuǎn)的曲柄，在這些曲柄的偏心位置上，分別可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著2個第1連桿的兩端部，所述第2連桿由2個第2連桿構(gòu)成，在這些第2連桿的各兩端部之間，分別配置著以所述中間軸的軸或所述被動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心進行旋轉(zhuǎn)的曲柄，在這些曲柄的偏心位置上，分別可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著2個第2連桿的兩端部。
在本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)中，所述2個第1連桿被大致平行地配置著，且以大致30～150°(大致330～210°)的相位差被安裝在所述曲柄上，所述2個第2連桿被大致平行地配置著，且以大致30～150°(大致330～210°)的相位差被安裝在曲柄上，所述2個第1連桿被大致平行地配置著，且以大致90°的相位差被安裝在曲柄上，所述2個第2連桿被大致平行地配置著，隔有大致90°的相位差且與所述第1連桿以大致180°的相位差被安裝在曲柄上。
采用本發(fā)明，由于2個連桿以大致30～150°(大致330～210°)、尤其以大致90°(大致270°)的相位差被安裝在曲柄上，故能以小的驅(qū)動力將主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力向中間軸傳遞和將中間軸的旋轉(zhuǎn)力向被動旋轉(zhuǎn)軸傳遞，效率高。
在本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)中，最好是，在所述曲柄上，設(shè)有使該曲柄的重心位于旋轉(zhuǎn)的軸上的平衡配重。采用本發(fā)明，由于利用平衡配重使曲柄的重心位于旋轉(zhuǎn)的軸上，故能抑制旋轉(zhuǎn)時的振動的發(fā)生。
在本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)中，最好是，所述主動旋轉(zhuǎn)軸，在所述被動旋轉(zhuǎn)軸在直線上進行移動時，被配設(shè)在使所述第1臂與所述第2臂交叉的位置上，所述中間軸，分別通過面對面雙聯(lián)向心推力軸承可旋轉(zhuǎn)地支承在所述第1臂的另一端部和所述第2臂的另一端部上，以及所述第1臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度與所述第2臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度不同。
采用本發(fā)明，在被動旋轉(zhuǎn)軸在直線上進行移動時，當使第1臂與第2臂交叉時，能使第1臂和第2臂的移動順利地進行。又，由于用面對面雙聯(lián)向心推力軸承對第1臂和第2臂進行支承，故能吸收第1臂與第2臂重疊時的精度誤差，能使第1臂和第2臂的移動更順利地進行。又，由于第1臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度與第2臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度不同，故在第1臂與第2臂重疊時能使第1臂和第2臂的移動更順利地進行。
又，本發(fā)明的真空機械手，其特征在于，具有前述的驅(qū)動連接機構(gòu)。本發(fā)明的真空機械手，由于具有前述的本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)，故可靠性高，并且，驅(qū)動傳遞精度也高。
如上所述，采用本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)，當主動旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)時，由于通過第1連桿和第2連桿使被動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并將主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸進行傳遞，并且，即使被動旋轉(zhuǎn)軸進行移動、也可利用第1臂和第2臂使主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸傳遞，因此，不會發(fā)生切斷或打滑等地進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的傳遞，可靠性高。又，因沒有間隙等，故驅(qū)動傳遞精度也高。又，本發(fā)明的機械手，由于具有前述的本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)，故可靠性高，并且，驅(qū)動傳遞精度也高。


圖1是表示本發(fā)明的真空機械手的一例的側(cè)視圖。
圖2是表示本發(fā)明的真空機械手的一例的俯視圖。
圖3是表示本發(fā)明的真空機械手的搬送部本體的一例的局部概略剖視圖。
圖4是表示本發(fā)明的真空機械手的一例的立體圖。
圖5是表示本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)的一例的立體圖。
圖6是表示本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)的一例的俯視圖。
圖7是表示本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)的一例的結(jié)構(gòu)圖。
圖8是圖7中的用A所示的部分的放大剖視圖。
圖9是圖7中的用B所示的部分的放大剖視圖。
圖10是圖7中的用C所示的部分的放大剖視圖。
圖11是表示本發(fā)明的第1臂的一例的圖，(a)是俯視圖，(b)是剖視圖。
圖12是表示本發(fā)明的第2臂的一例的圖，(a)是俯視圖，(b)是剖視圖。
圖13是表示本發(fā)明的連桿的一例的圖，(a)是俯視圖，(b)是剖視圖。
圖14是表示本發(fā)明的曲柄的一例的圖，(a)是俯視圖，(b)是剖視圖。
圖15是表示本發(fā)明的第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的一例的圖，(a)是剖視圖，(b)是圖(a)中D-D線向視圖，(c)是圖(a)中的E-E線向視圖。
圖16是表示本發(fā)明的第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的一例的圖，(a)是剖視圖，(b)是圖(a)中F-F線向視圖，(c)是圖(a)中的G-G線向視圖。
圖17是表示本發(fā)明的第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的一例的圖，(a)是剖視圖，(b)是俯視圖。
圖18是表示主動旋轉(zhuǎn)軸進行直線移動時的第1臂和第2臂的軌跡的圖。
圖19是表示主動旋轉(zhuǎn)軸進行直線移動時的第1臂和第2臂的軌跡的圖。
圖20是表示主動旋轉(zhuǎn)軸進行直線移動時的第1臂和第2臂的軌跡的圖。
具體實施例方式
以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)及具有該驅(qū)動連接機構(gòu)的真空機械手進行詳細說明。
(真空機械手)圖1、圖2和圖4是表示本發(fā)明的真空機械手的一例的圖。圖3是表示本發(fā)明的真空機械手的搬送部本體的一例的圖。本發(fā)明的真空機械手，如圖1～圖4所示，由配置在真空容器2(參照圖8)內(nèi)的搬送部3和配置在真空容器2外的驅(qū)動部4構(gòu)成。搬送部3，由搬送部本體11；堆疊有基板等的叉(日文フオ一ク)部12；可對搬送部本體11直線往復(fù)移動地進行支承的導(dǎo)向部13構(gòu)成。
搬送部本體11立設(shè)在真空容器2內(nèi)。搬送部本體11，向重力方向延伸，并形成水平剖面大致為矩形。在搬送部本體11內(nèi)，如圖3所示，設(shè)有向其高度方向(重力方向)延伸的滾珠絲杠15。
滾珠絲杠15的上部可旋轉(zhuǎn)地與上部軸承16進行軸連接，并且，下部可旋轉(zhuǎn)地與下部軸承17進行軸連接，滾珠絲杠15可旋轉(zhuǎn)地被支承。上部軸承16和下部軸承17，只要是一般已知的滾珠絲杠的軸承，不特別限定，可列舉例如滾珠軸承等。
在滾珠絲杠15的上部軸承16與下部軸承17之間，軸安裝有移動部18，該移動部18當滾珠絲杠15旋轉(zhuǎn)驅(qū)動時就沿滾珠絲杠15上下地進行移動。在移動部18上安裝著叉部12。
叉部12，如圖1、圖2和圖4所示，由安裝在移動部18上的安裝體20和安裝在該安裝體20上的叉21構(gòu)成。安裝體20，形成為向水平方向延伸的細長的矩形箱狀。在該安裝體20的上下，在向水平方向延伸的同時以規(guī)定的間隔安裝著多個例如上下6個合計12個的叉21。
搬送部本體11的底部，設(shè)有能對搬送部本體11直線往復(fù)移動地進行支承的導(dǎo)向部13。在真空容器2的底部，配設(shè)有移動電機23，通過該移動電機23的驅(qū)動，搬送部本體11被導(dǎo)向部13引導(dǎo)地進行移動。導(dǎo)向部13，通過凸緣24被固定在真空容器2的底部上。在導(dǎo)向部13的大致中央部的附近的真空容器2的底部上設(shè)有驅(qū)動部4。
驅(qū)動部4，如圖8所示，具有使主動旋轉(zhuǎn)軸31進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動電機(未圖示)。該驅(qū)動電機，是能進行正反旋轉(zhuǎn)的電機，被配設(shè)在真空容器2的底部的外側(cè)。由驅(qū)動電機的驅(qū)動而被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸31貫通真空容器2的底部并在真空容器2內(nèi)向垂直方向延伸。具體地說，例如，在真空容器2的底部上設(shè)有例如圓筒狀的貫通孔33，在該貫通孔33中，安裝著向真空容器2的高度方向延伸的壁部34。
壁部34，例如，形成為外徑比貫通孔33的直徑小的尺寸的圓筒狀。驅(qū)動箱35利用螺栓36等的緊固構(gòu)件裝拆自如地被安裝在壁部34的下部，在該驅(qū)動箱35中收容有驅(qū)動電機等。
壁部34的下方的外周以密封狀態(tài)被安裝在真空容器2的底部上。該壁部34與真空容器2的底部的密封結(jié)構(gòu)，不特別限定，但可使用例如波紋管41和O形圈42、43、44。具體地說，例如，固定體45利用螺栓46等的緊固構(gòu)件被安裝在形成貫通孔33的真空容器2的底部的內(nèi)側(cè)。固定體45，形成為外徑比貫通孔33的直徑大的直徑、內(nèi)徑比貫通孔33的直徑小的直徑的環(huán)狀，并被安裝在與貫通孔33大致同軸上。在該固定體45與真空容器2的底部之間，設(shè)有第1的O形圈42以對其間進行密封。
在真空容器2的外側(cè)的固定體45上，利用螺栓48等的緊固構(gòu)件安裝著第1安裝體47。第1安裝體47，形成為外徑比貫通孔33的直徑小且比固定體45的內(nèi)徑大的直徑、內(nèi)徑比固定體45的直徑小的直徑的環(huán)狀，在該第1安裝體47與固定體45之間，設(shè)有第2的O形圈43以對其間進行密封。在第1安裝體47上，安裝著波紋管41的一端部。
在位于真空容器2內(nèi)的壁部34的外周上，設(shè)有向其徑向外方延伸的凸緣部49，在該凸緣部49的下面，利用螺栓51等的緊固構(gòu)件安裝著第2安裝體50。第2安裝體50，形成為外徑比固定體45的內(nèi)徑稍小的直徑的環(huán)狀，在該第2安裝體50與凸緣部49之間，設(shè)有第3的O形圈44以對其間進行密封。在該第2安裝體50上，安裝著波紋管41的另一端部，在第2安裝體50與第1安裝體47之間進行密封。利用該波紋管41和所述3個O形圈42、43、44，將壁部34與真空容器2的底部之間進行密封。壁部34的凸緣部49，以該凸緣部49的上面與安裝板55的下面抵接的狀態(tài)利用螺栓52等的緊固構(gòu)件被安裝在安裝板55上，該安裝板55，例如被固定在導(dǎo)向部13的凸緣24上。
在壁部34的內(nèi)部，利用驅(qū)動電機進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸31被設(shè)在大致同軸上。主動旋轉(zhuǎn)軸31(壁部34)，配置在與滾珠絲杠15進行直線移動的大致中間部的直線大致正交的線上，利用設(shè)在壁部34內(nèi)的軸承56可旋轉(zhuǎn)地支承。
壁部34的上部，從安裝板55向真空容器2內(nèi)延伸，在該壁部34的內(nèi)部，設(shè)有將壁部34與主動旋轉(zhuǎn)軸31之間進行密封的密封構(gòu)件57。作為密封構(gòu)件57，只要能密封則不特別限定，例如，可使用磁性密封等。由此，對驅(qū)動箱35內(nèi)與真空容器2內(nèi)進行密封。主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部，形成為外徑大的臺階狀的擋止部31a。該主動旋轉(zhuǎn)軸31的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力通過驅(qū)動連接機構(gòu)60向與滾珠絲杠15連接的被動旋轉(zhuǎn)軸61傳遞。在滾珠絲杠15的下部，如圖10所示，通過聯(lián)軸器58、59在同軸上與被動旋轉(zhuǎn)軸61連接著。
(驅(qū)動連接機構(gòu))圖5～圖7是表示本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)的一例的圖。本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)60，如圖5～圖7所示，是將在固定的位置上被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸31的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向與主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸大致平行地延伸并在與主動旋轉(zhuǎn)軸31大致正交的面、例如在直線上進行移動的被動旋轉(zhuǎn)軸61進行傳遞的機構(gòu)。
本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)60，具有一端部以主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地安裝著的第1臂62；一端部以被動旋轉(zhuǎn)軸61的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地安裝著的第2臂63；第1臂62的另一端部和第2臂63的另一端部上可旋轉(zhuǎn)地安裝著的中間軸64；一端部在與該主動旋轉(zhuǎn)軸31大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地軸安裝于主動旋轉(zhuǎn)軸31的偏心位置上、且另一端部在與中間軸64大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地軸安裝于中間軸64的偏心位置上的2個以上的第1連桿65；一端部在與該中間軸64大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地軸安裝于中間軸64的偏心位置上、且另一端部在與被動旋轉(zhuǎn)軸61大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地軸安裝于被動旋轉(zhuǎn)軸61的偏心位置上的2個以上的第2連桿66。
第1臂62，相對主動旋轉(zhuǎn)軸31向大致正交的方向延伸，第1臂62的一端部以主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸為中心沿與主動旋轉(zhuǎn)軸31大致正交的面可旋轉(zhuǎn)地被安裝著(軸安裝)。第1臂62，只要沿與主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸大致正交的面能進行旋轉(zhuǎn)，其一端部的旋轉(zhuǎn)支承結(jié)構(gòu)不特別限定，也能可旋轉(zhuǎn)地直接安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31上，而如圖8所示，也可以可旋轉(zhuǎn)地安裝在壁部34上。
具體地說，例如，在第1臂62的一端部上，如圖8和圖11所示，設(shè)有與壁部34的外徑大致相同或稍大尺寸內(nèi)徑的貫通孔62a，將壁部34插入該貫通孔62a中。在這些相互相對的壁部34的外周和貫通孔62a中，分別設(shè)有收容對第1臂62旋轉(zhuǎn)自如地進行支承的軸承70的凹狀的軸承收容部37、62b。形成這些軸承收容部37、62b的側(cè)部(與安裝板相反側(cè)的側(cè)部)38、62c，利用螺栓39、71等的緊固構(gòu)件可裝拆地安裝在壁部34的上部或第1臂62的側(cè)端部，以將第1臂62安裝在壁部34上(將壁部34插入于貫通孔62a中)的狀態(tài)就能將軸承70安裝在軸承收容部37、62b中。作為該軸承70，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第1臂62則不特別限定，而在用壁部34支承第1臂62的場合，最好是交叉滾子軸承等，在用主動旋轉(zhuǎn)軸31支承第1臂62的場合，最好是面對面雙聯(lián)向心推力軸承等。
第2臂63，相對主動旋轉(zhuǎn)軸31向大致正交的方向延伸，第2臂63的一端部，如圖10和圖12所示，以被動旋轉(zhuǎn)軸61的軸為中心沿與被動旋轉(zhuǎn)軸61大致正交的面可旋轉(zhuǎn)地被安裝著(軸安裝)。第2臂63，只要沿與被動旋轉(zhuǎn)軸61的軸大致正交的面能進行旋轉(zhuǎn)，其一端部的旋轉(zhuǎn)支承結(jié)構(gòu)不特別限定，也能可旋轉(zhuǎn)地安裝在搬送部本體11上，如圖所示，也可以直接可旋轉(zhuǎn)地安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸61(下部被動旋轉(zhuǎn)軸61a)上。
具體地說，例如，在被動旋轉(zhuǎn)軸61(下部被動旋轉(zhuǎn)軸61a)的下部附近，形成有外徑大的臺階狀的擋止部61b。在第2臂63的一端部上，設(shè)有與被動旋轉(zhuǎn)軸61的擋止部61b的直徑大致相同或稍大尺寸的內(nèi)徑的貫通孔63a，將被動旋轉(zhuǎn)軸61設(shè)在該貫通孔63a中。在該貫通孔63a中，設(shè)有凹狀的軸承收容部63b，在該軸承收容部63b中所收容的軸承72可旋轉(zhuǎn)地對第2臂63進行支承，并能防止第2臂63從被動旋轉(zhuǎn)軸61的拔出。形成軸承收容部63b的側(cè)部(滾珠絲杠側(cè)的側(cè)部)63c，利用螺釘73等的緊固構(gòu)件可裝拆地安裝在第2臂63的側(cè)端部，以將第2臂63安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸61上(將被動旋轉(zhuǎn)軸61插入于貫通孔63a中)的狀態(tài)就能將軸承72安裝在軸承收容部63b中。作為該軸承72，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第2臂63則不特別限定，而在用被動旋轉(zhuǎn)軸61支承第2臂63的場合，最好是面對面雙聯(lián)向心推力軸承等，在用搬送部本體11支承第2臂63的場合，最好是交叉滾子軸承等。
在第1臂62的另一端部和第2臂63的另一端部上，如圖7和圖9所示，可旋轉(zhuǎn)地安裝著中間軸64。中間軸64，以與主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸大致平行地延伸的狀態(tài)相互可旋轉(zhuǎn)地支承在第1臂62的另一端部和第2臂63的另一端部上。具體地說，例如，在中間軸64(第1中間軸64a)的下部附近，形成有外徑大的臺階狀的擋止部64b。在第1臂62的另一端部上，設(shè)有與中間軸64的擋止部64b的直徑大致相同或稍大尺寸的內(nèi)徑的貫通孔62d，將中間軸64(第1中間軸64a)插入于該貫通孔62d中。在該貫通孔62d中，設(shè)有凹狀的軸承收容部62e，在該軸承收容部62e中所收容的軸承74可旋轉(zhuǎn)地對第1臂62進行支承，并能防止第1臂62從中間軸64(第1中間軸64a)的拔出。形成軸承收容部62e的上方的側(cè)部62f、利用螺釘75等的緊固構(gòu)件可裝拆地安裝在第1臂62的側(cè)端部，以將第1臂62安裝在中間軸64上(將中間軸64插入于貫通孔62d中)的狀態(tài)就能將軸承74安裝在軸承收容部62e中。作為該軸承74，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第1臂62、則不特別限定，而最好是面對面雙聯(lián)向心推力軸承等。
又，在中間軸64(第2中間軸64c)的中央部的稍上方，形成有外徑大的臺階狀的擋止部64d。在第2臂63的另一端部上，設(shè)有與中間軸64的擋止部64d的直徑大致相同或稍大尺寸的內(nèi)徑的貫通孔63d，將中間軸64插入于該貫通孔63d中。在該貫通孔63d中，設(shè)有凹狀的軸承收容部63e，在該軸承收容部63e中所收容的軸承76可旋轉(zhuǎn)地對第2臂63進行支承，并能防止第2臂63從中間軸64的拔出。形成軸承收容部63e的上方的側(cè)部64f，利用螺釘77等的緊固構(gòu)件可裝拆地安裝在第2臂63的側(cè)端部，以將第2臂63安裝在中間軸64上(將中間軸64插入于貫通孔63d中)的狀態(tài)就能將軸承76安裝在軸承收容部63e中。作為該軸承76，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第2臂63、則不特別限定，而最好是面對面雙聯(lián)向心推力軸承等。由此，第1臂62和第2臂63以大致中間軸64的軸為軸心分別獨立地進行旋轉(zhuǎn)，即使被動旋轉(zhuǎn)軸61進行直線移動、第1臂62和第2臂63也可在各自的兩端部進行旋轉(zhuǎn)，通過第1臂62和第2臂63使主動旋轉(zhuǎn)軸31始終與被動旋轉(zhuǎn)軸61連接著。
第1臂62的長度(第1臂62的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度)和第2臂63的長度(第2臂63的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度)，不特別限定，但形成為被動旋轉(zhuǎn)軸61進行直線移動的最大長度的1/4以上的尺寸。第1臂62的長度和第2臂63的長度，根據(jù)主動旋轉(zhuǎn)軸31的位置任意地決定。主動旋轉(zhuǎn)軸31的配置位置，最好是當被動旋轉(zhuǎn)軸61在直線上進行移動時，使第1臂62與第2臂63進行交叉的位置，例如，如圖18和圖19所示，配設(shè)在被動旋轉(zhuǎn)軸61進行移動的直線的附近或其直線上。這是由于被動旋轉(zhuǎn)軸61在直線上進行移動時、當?shù)?臂62與第2臂63交叉，則第1臂62與第2臂63的移動能順利地進行的緣故。另外，如圖20所示，也可以將主動旋轉(zhuǎn)軸31配置成即使被動旋轉(zhuǎn)軸61進行移動、2個臂也不重疊。
又，第1臂62的長度與第2臂63的長度也可以是相同，但最好是不同的。這是由于在2個臂的長度為相同的場合、盡管難以吸收第1臂62與第2臂63重疊時的精度誤差，但這時，通過用面對面雙聯(lián)向心推力軸承對第1臂62和第2臂63進行支承，就能吸收第1臂62與第2臂63重疊時的精度誤差，能更順利地進行第1臂62和第2臂63的移動。又，通過第1臂62的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度與第2臂63的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度不同，在第1臂62與第2臂63重疊時能更順利地進行第1臂62和第2臂63的移動。
第1連桿65，是將主動旋轉(zhuǎn)軸31的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向中間軸64進行傳遞的構(gòu)件，一端部被軸安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31的偏心位置上，另一端部被軸安裝在中間軸64的偏心位置上。第1連桿65的數(shù)目，不特別限定，一般為2個以上，例如，在圖5～圖9所示的形態(tài)中是2個。2個連桿(第1a連桿65a和第1b連桿65b)使用相同的連桿。第1連桿65(第1a連桿65a和第1b連桿65b)，向與主動旋轉(zhuǎn)軸31大致正交的方向延伸，第1連桿65(第1a連桿65a和第1b連桿65b)的一端部沿與主動旋轉(zhuǎn)軸31大致正交的面可旋轉(zhuǎn)地被安裝(軸安裝)在主動旋轉(zhuǎn)軸31的偏心位置上。
具體地說，例如，在主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部，依次地安裝著第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81；第1連桿的一方的連桿(第1a連桿65a)(第1偏心軸84)；第1曲柄82和第1連桿的其余的連桿(第1b連桿65b)(第2偏心軸87)。
第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81，如圖16所示，形成為細長的板狀，在其一方的面的長度方向的大致中央部上，如圖8和圖16所示，設(shè)有主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部嵌合的軸嵌合凹部81a。即，主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部，從壁部34突出，在該突出的主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部安裝有第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81。
在軸嵌合凹部81a內(nèi)，在其圓周方向以規(guī)定的間隔設(shè)有8個貫通孔。這些貫通孔中的第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的中央線(向長度方向延伸的中央線)上的2個貫通孔，是在將第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31上時的定位孔81b。其余的6個貫通孔，是利用螺栓83等的緊固構(gòu)件將第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31上用的設(shè)有螺釘槽的安裝孔81c，在這些安裝孔81c中，設(shè)有臺階狀擴徑后的擴徑部81d以收容螺栓83等的頭部。
在第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81的一方的端部側(cè)，設(shè)有與軸嵌合凹部81a內(nèi)的8個貫通孔大致相同地配置的8個貫通孔。這些貫通孔中，第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81的中央線(向長度方向延伸的中央線)上的2個貫通孔是安裝第1偏心軸84時的定位孔81e，其余的6個貫通孔，是設(shè)有利用螺栓86等的緊固構(gòu)件安裝第1偏心軸84用的螺釘槽的安裝孔81f，在這些安裝孔81f中，設(shè)有收容螺栓等的頭部地臺階狀地擴徑的擴徑部81g。在該第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81的一方的端部側(cè)安裝著第1偏心軸84。
在第1偏心軸84上，可旋轉(zhuǎn)地安裝著第1a連桿65a的一端部。即，在第1a連桿65a的一端部，如圖8和圖13所示，設(shè)有貫通孔65aa，在該貫通孔65aa上以插入有第1偏心軸84的狀態(tài)將第1a連桿65a的一端部安裝在第1偏心軸84上(軸安裝)。在該第1a連桿65a的貫通孔65aa與第1偏心軸84之間，設(shè)有可旋轉(zhuǎn)地支承第1a連桿65a的軸承85，作為該軸承85，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第1a連桿65a，則不特別限定。由此，就能將第1a連桿65a的一端部安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31的偏心位置。另外，在圖8中，第1偏心軸84和第1a連桿65a等通常位于未圖示的位置，但為了容易理解對應(yīng)的關(guān)系，故記載在圖面上。
在與第1偏心軸84的第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81的相反側(cè)，安裝著第1曲柄82。第1曲柄82，如圖14所示，形成為4個角部形成R的大致正方形的板狀，在中央部設(shè)有以中心為軸的圓形的孔82a。在第1曲柄82的四角的1個上，設(shè)有與第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81(的一方的端部側(cè))的8個貫通孔大致相同地配置的8個貫通孔。這些貫通孔中，2個貫通孔是在安裝第1偏心軸84時的定位孔82b，是在將第1曲柄82安裝在第1偏心軸84上時、使第1曲柄82的中心位于主動旋轉(zhuǎn)軸31的軸上用的構(gòu)件。其余的6個貫通孔，是利用螺栓86等的緊固構(gòu)件安裝在第1偏心軸84上用的孔82c，在這些孔82c中，設(shè)有收容螺栓86等的頭部地臺階狀地擴徑的擴徑部82d。
在與安裝第1偏心軸84的部位鄰接的一方的第1曲柄82的轉(zhuǎn)角上，在與安裝有第1偏心軸84的面的相反側(cè)的面上設(shè)有安裝第2偏心軸87用的8個貫通孔。這些貫通孔中，2個貫通孔是安裝第2偏心軸87時的定位孔82e。其余的6個貫通孔，是利用螺栓88等的緊固構(gòu)件安裝于第2偏心軸87上用的孔82f，在這些孔82f中，設(shè)有收容螺栓88等的頭部地臺階狀地擴徑的擴徑部82g。即，安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31的上部的第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81、第1偏心軸84、第1曲柄82和第2偏心軸87，就與主動旋轉(zhuǎn)軸31一起一體地被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
又，在第1曲柄82上，最好是，設(shè)有使該曲柄82的重心位于主動旋轉(zhuǎn)軸31上的平衡配重82h。平衡配重82h只要能使第1曲柄82的重心位于主動旋轉(zhuǎn)軸31上則不特別限定，既可以與第1曲柄82設(shè)成一體，也可以另外地設(shè)置。
在第2偏心軸87上，如圖8所示，可旋轉(zhuǎn)地安裝著(軸安裝)第1b連桿65b的一端部。即，在第1b連桿65b的一端部設(shè)有貫通孔65ba，以在該貫通孔65ba中插入有第2偏心軸87的狀態(tài)將第1b連桿65b的一端部安裝在第2偏心軸87上。在該第1a連桿65a的貫通孔65ba與第1偏心軸87之間，設(shè)有可旋轉(zhuǎn)地支承第1b連桿65b的軸承89，作為該軸承89，只要能旋轉(zhuǎn)地支承第1b連桿65b，則不特別限定。由此，就能將第1b連桿65b的一端部安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸31的偏心位置即與第1a連桿65a大致90°(大致270°)相位偏差的位置。對于2個第1連桿65a、65b在第1曲柄82上的安裝位置不特別進行限定，但以大致30～150°(大致330～210°)的相位差進行安裝為佳，最好是以大致90°(大致270°)的相位差進行安裝。
另外，在圖示例的形態(tài)中，作為第1連桿使用2個連桿，但也可以使用3個以上的連桿，該場合，能與通過曲柄將第1b連桿安裝在第1a連桿上的情況大致同樣地安裝第3個以上的連桿。又，在使用3個以上的連桿的場合，最好是，這些連桿安裝成相位差成為等間隔的狀態(tài)。例如，在使用3個連桿的場合，最好是，以120°的相位差進行安裝。
第1a連桿65a的另一端部和第1b的連桿65b的另一端部，如圖7和圖9所示，被安裝在第1臂62與第2臂63之間的中間軸64的偏心位置上。第1a連桿65a的另一端部和第1b的連桿65b的另一端部向中間軸64的安裝，與向主動旋轉(zhuǎn)軸31的安裝大致同樣地進行。即，在與第1臂62相互旋轉(zhuǎn)自如地支承著的第1中間軸64a的上部，依次地安裝著第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90、第1a連桿65a(第3偏心軸91)、第2曲柄92、第1b連桿65b(第4偏心軸93)和第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94，該第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件被安裝在與第2臂63相互旋轉(zhuǎn)自如地支承著的第2中間軸64c的下部。即，第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90、第3偏心軸91、第2曲柄92、第4偏心軸93和第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94構(gòu)成中間軸64的一部分。
第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90，使用與所述第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81相同的構(gòu)件。在該第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的軸嵌合凹部90a內(nèi)嵌合著第1中間軸64a的上部并利用螺栓96等的緊固構(gòu)件將第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90安裝在第1中間軸64a上。在第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的一方的端部側(cè)，利用螺栓等的緊固構(gòu)件安裝著第3偏心軸91。在該第3偏心軸91上，通過軸承97可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著第1a連桿65a的另一端部，第1a連桿65a的另一端部被安裝在中間軸64a的偏心位置上。
在與第3偏心軸91的第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90的相反側(cè)，中心成為中間軸64的軸上的狀態(tài)地安裝著第2曲柄92。第2曲柄92，使用與第1曲柄82相同的構(gòu)件。在第2曲柄92上，以與第3偏心軸91大致90°(大致270°)的相位差安裝著第4偏心軸93，在第4偏心軸93上，以與第1a連桿65a大致平行地配置的狀態(tài)可通過軸承98可旋轉(zhuǎn)地安裝著(軸安裝)第1b連桿65b的另一端部。
在第4偏心軸93的上部，安裝著第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94。第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94，其形狀與第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81大致相同地形成，而不同點在于，8個貫通孔中的第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94的向長度方向延伸的2個側(cè)部附近的2個貫通孔，作為定位孔94a、94b而形成。在該第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94的一方的端部側(cè)利用螺栓99等的緊固構(gòu)件安裝著第3偏心軸93的上部，第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90與第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94被安裝成相互大致正交的狀態(tài)。在與安裝有第3偏心軸93的面的相反側(cè)的第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94的中央部，利用螺栓100等的緊固構(gòu)件安裝著第2旋轉(zhuǎn)軸64c的下部。這樣，在中間軸64之間(第1中間軸64a與第2中間軸64c之間)，設(shè)有第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90、第3偏心軸91、第2曲柄92、第4偏心軸93和第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94，當主動旋轉(zhuǎn)軸31被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動時，利用第1a連桿65a和第1b連桿65b構(gòu)成為中間軸64被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的狀態(tài)。
第2連桿66，如圖5～圖7、圖9所示，是將中間軸64的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸61進行傳遞的構(gòu)件，一端部被軸安裝在中間軸64的偏心位置上，并且，另一端部被軸安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸61的偏心位置上。第2連桿66的數(shù)目，不特別限定，但最好是與第1連桿65的數(shù)目相同，例如是2根等。
第2連桿66向中間軸64和被動旋轉(zhuǎn)軸61的安裝結(jié)構(gòu)，是與第1連桿65的安裝結(jié)構(gòu)大致相同的結(jié)構(gòu)。即，第2連桿66，由第2a連桿66a和第2b連桿66b的2根構(gòu)成，第2a連桿66a和第2b連桿66b，使用相同的構(gòu)件。第2a連桿66a和第2b連桿66b，僅是與第1連桿65在其長度方向的長度不同，而其它的形狀形成為相同。又，在第2中間軸64c的上部，依次地安裝著第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101、第5偏心軸102(第2a連桿66a)、第3曲柄103和第6偏心軸104(第2b連桿66b)，這些第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101、第5偏心軸102、第3曲柄103和第6偏心軸104就構(gòu)成中間軸64的一部分。這些第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101、第5偏心軸102、第3曲柄103和第6偏心軸104，分別使用與第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81、第1偏心軸84、第1曲柄82和第2偏心軸87相同的構(gòu)件。另外，在圖9中，第3偏心軸91、第1a連桿65a、第5偏心軸102和第2a連桿66a等通常位于未圖示的位置，但為了容易理解對應(yīng)關(guān)系而記載在圖面上。
使第2中間軸64c的上部與第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101的軸嵌合凹部101a內(nèi)嵌合并利用螺栓106等的緊固構(gòu)件將第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101安裝在第2中間軸64c上。這時，第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101被安裝在第2中間軸64c上，以使第2a連桿66a的安裝位置與第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件91成為以中間軸64的軸為中心相對的位置(大致偏移180°后的位置)的狀態(tài)。在該第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101的一方的端部側(cè)利用螺栓等的緊固構(gòu)件安裝著第5偏心軸102。在該第5偏心軸102上，通過軸承107可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著第2a連桿66a的一端部，第2a連桿66a的一端部被安裝在中間軸64的偏心位置上。
在第5偏心軸102的第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101的相反側(cè)，中心處于中間軸64的軸上的狀態(tài)地安裝著第3曲柄103。第3曲柄103，以與第5偏心軸102大致90°(大致270°)的相位差安裝著第6偏心軸104，第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101、第5偏心軸102、第3曲柄103和第6偏心軸104與中間軸64一起進行旋轉(zhuǎn)。在第6偏心軸104上，通過軸承108可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著第2b連桿66b的一端部，2個第2連桿66a、66b以與第1連桿65a、65b大致180°的相位差、即與4個連桿66a、66b、65a、65b大致90°的相位差被配置著。
第2a連桿66a的另一端部和第2b連桿66b的另一端部，如圖5～圖7、圖10所示，分別被安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸61的偏心位置。第2a連桿66a的另一端部和第2b的連桿66b的另一端部向被動旋轉(zhuǎn)軸61的安裝，與第1a連桿65a的另一端部和第1b的連桿65b的另一端部向中間軸64的安裝大致同樣地進行。即，在第2臂63與相互旋轉(zhuǎn)自如地支承著的下部被動旋轉(zhuǎn)軸61a的上部，依次安裝著第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111、第7偏心軸112(第2a連桿66a)、第4曲柄113、第8偏心軸114(第2b連桿66b)和第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115。這些第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111、第7偏心軸112、第4曲柄113、第8偏心軸114和第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115構(gòu)成被動旋轉(zhuǎn)軸61的一部分。這些第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111、第7偏心軸112、第4曲柄113和第8偏心軸114，使用與第2旋轉(zhuǎn)構(gòu)件90、第3偏心軸91、第2曲柄92和第4偏心軸93相同的構(gòu)件，第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115使用僅形狀不同而功能與第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94大致相同的構(gòu)件。另外，在圖10中，第7偏心軸112和第2a連桿66a等通常位于不圖示的位置，但為了容易理解對應(yīng)關(guān)系而記載在圖面上。
使下部被動旋轉(zhuǎn)軸61a的上部與第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111的軸嵌合凹部111a內(nèi)嵌合并利用螺栓120等的緊固構(gòu)件將第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111安裝在下部被動旋轉(zhuǎn)軸61a上。將第7偏心軸112利用螺栓等的緊固構(gòu)件安裝在該第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111的一方的端部側(cè)。通過軸承121將第2a連桿66a可旋轉(zhuǎn)地軸安裝在該第7偏心軸112上，并將第2a連桿66a的另一端部安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸61的偏心位置上。
在第7偏心軸112的第6旋轉(zhuǎn)構(gòu)件111的相反側(cè)，中心處于被動旋轉(zhuǎn)軸61的軸上的狀態(tài)地安裝著第4曲柄113。第4曲柄113，以與第7偏心軸112大致90°(大致270°)的相位差安裝著第8偏心軸114，在該第8偏心軸114上，通過軸承122可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著第2b連桿66b的另一端部。
在第8偏心軸114的上部，利用螺栓123等的緊固構(gòu)件安裝著第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115。第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115，如圖17所示，是僅形狀與第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94不同而功能與第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94大致相同的構(gòu)件。在第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115的一方的端部側(cè)，與第3旋轉(zhuǎn)構(gòu)件94大致同樣地設(shè)有8個貫通孔，但在第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115的中央部以規(guī)定的間隔設(shè)有8個安裝在用于在滾珠絲杠15的同軸上利用聯(lián)軸器58、59連接的上部被動旋轉(zhuǎn)軸61c上的貫通孔115a。由于該第7旋轉(zhuǎn)構(gòu)件115通過上部被動旋轉(zhuǎn)軸61c與滾珠絲杠15連接著，故當被動旋轉(zhuǎn)軸61旋轉(zhuǎn)時，滾珠絲杠15就進行旋轉(zhuǎn)。
接著，對本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)的作用進行說明。當驅(qū)動電機進行驅(qū)動而使主動旋轉(zhuǎn)軸31進行旋轉(zhuǎn)時，安裝在該主動旋轉(zhuǎn)軸31上的第1旋轉(zhuǎn)構(gòu)件81、第1偏心軸84、第1曲柄82和第2偏心軸87進行旋轉(zhuǎn)。第1偏心軸84和第2偏心軸87進行偏心旋轉(zhuǎn)，中間軸64通過安裝在這些第1偏心軸84和第2偏心軸87上的第1a連桿65a和第1b連桿65b進行旋轉(zhuǎn)。當中間軸64旋轉(zhuǎn)時，安裝在該中間軸64(第2旋轉(zhuǎn)軸)上的第4旋轉(zhuǎn)構(gòu)件101、第5偏心軸102、第3曲柄103和第6偏心軸104進行旋轉(zhuǎn)。第5偏心軸102和第6偏心軸104進行偏心旋轉(zhuǎn)，被動旋轉(zhuǎn)軸61通過安裝在這些第5偏心軸102和第6偏心軸104上的第2a連桿66a和第2b連桿66b進行旋轉(zhuǎn)。滾珠絲杠15被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動且叉部12向上下的一個方向進行移動。由此，利用叉部12進行基板等的裝卸。
第1連桿65和第2連桿66，分別由2個連桿構(gòu)成，這些連桿65a、65b、66a、66b由于以大致90°(大致270°)的相位差被安裝著，故分別以較小的驅(qū)動力能將主動旋轉(zhuǎn)軸31的旋轉(zhuǎn)力向中間軸64傳遞并將中間軸64的旋轉(zhuǎn)力向被動旋轉(zhuǎn)軸61傳遞，效率高。
又，通過在第1曲柄82、第2曲柄92、第3曲柄103和第4曲柄113上設(shè)有平衡配重82h，使曲柄82、92、103、113的重心位于旋轉(zhuǎn)的軸上，故能抑制旋轉(zhuǎn)時的振動的發(fā)生。又，在中間軸64上，通過以錯開90°的相位安裝有4個連桿，故能更進一步抑制中間軸64上的振動的發(fā)生。由此，也能應(yīng)對高速旋轉(zhuǎn)。
又，在利用移動電機23的驅(qū)動使搬送部本體11沿導(dǎo)向部13進行直線移動時，由于可旋轉(zhuǎn)地將第1臂62的一端部支承在壁部34上并將另一端部可旋轉(zhuǎn)地支承在中間軸64上，并且，將第2臂63的一端部可旋轉(zhuǎn)地支承在中間軸64上并將另一端部可旋轉(zhuǎn)地支承在被動旋轉(zhuǎn)軸61上，故第1臂62和第2臂63隨此進行旋轉(zhuǎn)而使中間軸64進行移動。即使中間軸64進行移動，由于始終能旋轉(zhuǎn)地被支承在第1臂62和第2臂63上，故能將主動旋轉(zhuǎn)軸31的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力向被動旋轉(zhuǎn)軸61傳遞。即，如中間軸64不能被第1臂62和第2臂63可旋轉(zhuǎn)地支承，則中間軸64不旋轉(zhuǎn)而不能傳遞旋轉(zhuǎn)動力的緣故。
因此，本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)60，由于不使用皮帶地進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的傳遞，故不會發(fā)生切斷或打滑等而能提高可靠性。又，因不會產(chǎn)生間隙等、驅(qū)動傳遞精度高。又，由于能對平面上任意部位輸出驅(qū)動力，故通用性好。
又，本發(fā)明的驅(qū)動連接機構(gòu)60，由于使用臂62、63及連桿65、66等，與皮帶例如鋼帶相比剛性也高，故控制性也好、并能對遠距離進行動力的傳遞。又，由于與皮帶相比基本上無打滑，故基本上無起塵而能保持清潔的環(huán)境。又，由于臂62、63及連桿65、66等的構(gòu)件本身不會彎曲變形，故壽命高、耐久性優(yōu)異。
另外，在本發(fā)明的形態(tài)中，使用第1臂和第2臂的2個臂、以及第1連桿和第2連桿的2種連桿來傳遞旋轉(zhuǎn)動力，還可使用第3臂及第3連桿來傳遞旋轉(zhuǎn)動力，還可使用第4、第5臂來傳遞旋轉(zhuǎn)動力。
權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動連接機構(gòu)，將在固定的位置上被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的主動旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，向與該主動旋轉(zhuǎn)軸的軸大致平行地延伸并沿與主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的面進行移動的被動旋轉(zhuǎn)軸進行傳遞，其特征在于，具有朝與所述主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向延伸、一端部以所述主動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地被安裝的第1臂；朝與所述主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向延伸、一端部以所述被動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地被安裝的第2臂；在所述第1臂的另一端部和所述第2臂的另一端部上可旋轉(zhuǎn)地被安裝著的中間軸；朝與所述主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向延伸、一端部向與該主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝在所述主動旋轉(zhuǎn)軸的偏心位置上、且另一端部向與該中間軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝在所述中間軸的偏心位置上的2個以上的第1連桿；朝與所述主動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向延伸、一端部向與該中間軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝在所述中間軸的偏心位置上、且另一端部向與該被動旋轉(zhuǎn)軸大致正交的方向可旋轉(zhuǎn)地被軸安裝在所述被動旋轉(zhuǎn)軸的偏心位置上的2個以上的第2連桿，在所述主動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，通過所述第1連桿和所述第2連桿使所述被動旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
2.如權(quán)利要求1所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述第1連桿由2個第1連桿構(gòu)成，在這些第1連桿的各兩端部之間，分別配置有以所述主動旋轉(zhuǎn)軸的軸或所述中間軸的軸為中心進行旋轉(zhuǎn)的曲柄，在這些曲柄的偏心位置上，分別可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著2個第1連桿的兩端部，所述第2連桿由2個第2連桿構(gòu)成，在這些第2連桿的各兩端部之間，分別配置有以所述中間軸的軸或所述被動旋轉(zhuǎn)軸的軸為中心進行旋轉(zhuǎn)的曲柄，在這些曲柄的偏心位置上，分別可旋轉(zhuǎn)地軸安裝著2個第2連桿的兩端部。
3.如權(quán)利要求2所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述2個第1連桿大致平行地配置，且以大致30～150°的相位差安裝在所述曲柄上，所述2個第2連桿大致平行地配置，且以大致30～150°的相位差安裝在曲柄上。
4.如權(quán)利要求2或3所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述2個第1連桿大致平行地配置，且以大致90°的相位差安裝在曲柄上，所述2個第2連桿大致平行地配置，隔有大致90°的相位差且與所述第1連桿以大致180°的相位差安裝在曲柄上。
5.如權(quán)利要求2～4中任一項所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，在所述曲柄上，設(shè)有使該曲柄的重心位于旋轉(zhuǎn)的軸上的平衡配重。
6.如權(quán)利要求1～5中任一項所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述主動旋轉(zhuǎn)軸被配設(shè)在，所述被動旋轉(zhuǎn)軸在直線上進行移動時，使所述第1臂與所述第2臂交叉的位置上。
7.如權(quán)利要求6所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述中間軸，分別通過面對面雙聯(lián)向心推力軸承可旋轉(zhuǎn)地支承在所述第1臂的另一端部和所述第2臂的另一端部上。
8.如權(quán)利要求6或7所述的驅(qū)動連接機構(gòu)，其特征在于，所述第1臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度與所述第2臂的兩端部的進行旋轉(zhuǎn)的軸間的長度不同。
9.一種真空機械手，其特征在于，具有所述權(quán)利要求1～8中任一項所述的驅(qū)動連接機構(gòu)。
全文摘要
一種驅(qū)動連接機構(gòu)，具有一端部以主動旋轉(zhuǎn)軸(31)的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地進行安裝的第1臂(62)；一端部以被動旋轉(zhuǎn)軸(61)的軸為中心可旋轉(zhuǎn)地進行安裝的第2臂(63)；可旋轉(zhuǎn)地安裝在第1臂(62)的另一端部和第2臂(63)的另一端部上的中間軸(64)；一端部軸安裝在主動旋轉(zhuǎn)軸(31)的偏心位置上且另一端部軸安裝在中間軸(64)的偏心位置上的2個以上的第1連桿(65a、65b)；一端部軸安裝在中間軸(64)的偏心位置上且另一端部軸安裝在被動旋轉(zhuǎn)軸(61)的偏心位置上的2個以上的第2連桿(66a、66b)，在主動旋轉(zhuǎn)軸(31)進行旋轉(zhuǎn)時，通過第1連桿(65a、65b)和第2連桿(66a、66b)使被動旋轉(zhuǎn)軸(61)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，故提供能不會發(fā)生打滑或切斷地進行動力的傳遞的驅(qū)動連接機構(gòu)。
文檔編號B25J9/06GK1623743SQ20041010014
公開日2005年6月8日 申請日期2004年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月2日
發(fā)明者矢澤隆之, 中島弘登, 竹內(nèi)靖典 申請人:株式會社三協(xié)精機制作所