專利名稱：劃線器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在由易碎材料如玻璃、半導(dǎo)體或類似材料構(gòu)成的工件上劃線的劃線器。
背景技術(shù)：
通常，當(dāng)切割工件如玻璃板或類似物時(shí)，工件上形成一道劃線，且工件沿該劃線被切割。換句話說，如果由高硬度材料如金剛石制成的切割部件緊靠工件表面振動(dòng)，則工件表面在厚度方向上就會(huì)形成一道裂縫。那么，如果切割部件在工件表面上移動(dòng)，就可以在工件表面形成一道連續(xù)的劃線。在工件上產(chǎn)生這樣的劃線后，如果沿劃線對工件施力，則工件就會(huì)斷裂為兩半。
如上所述，在工件上形成劃線的劃線器中，為保證切割的精確度，工件表面的劃線必須具有極高的直線度。為此目的，需要一種能夠根據(jù)工件表面的不平整度來調(diào)節(jié)切割部件高度的劃線器。

發(fā)明內(nèi)容
因此，鑒于上述和/或其它問題進(jìn)行了本發(fā)明。本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種能根據(jù)工件表面的不平整度產(chǎn)生具有極高直線度劃線的劃線器。
本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種可工件表面形成劃線的劃線器，該劃線器包括一個(gè)用以產(chǎn)生振動(dòng)的激振器，一個(gè)用以接收激振器產(chǎn)生的振動(dòng)并在工件上形成劃線的切割部件，一個(gè)置于激振器和切割部件之間以將振動(dòng)從激振器轉(zhuǎn)移至切割部件的軸，一個(gè)位于激振器下部用以根據(jù)工件表面的不平整度調(diào)節(jié)切割部件高度的高度調(diào)節(jié)器，一個(gè)位于高度調(diào)節(jié)器下方用以向切割部件提供預(yù)壓力的預(yù)壓力供應(yīng)部件，一個(gè)與切割部件、激振器以及預(yù)壓力供應(yīng)部件結(jié)合并通過依次對齊切割部件、激振器、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件的中心線來固定切割部件、激振器、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件的主盤，以及一個(gè)與主盤結(jié)合用以在豎直方向上移動(dòng)主盤的豎直移送裝置；激振器、切割部件、軸、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件對齊。


本發(fā)明的這些和/或其它方面的優(yōu)點(diǎn)通過如下與附圖結(jié)合的實(shí)施例將得到更好的說明，附圖如下圖1為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的側(cè)視圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的豎直移送裝置的透視圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的切割部件結(jié)構(gòu)的截面視圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的球塞結(jié)構(gòu)的截面視圖；圖5為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的激振器結(jié)構(gòu)的截面視圖；圖6為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的激振器結(jié)構(gòu)的主視圖；圖7為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的雜質(zhì)消除器的側(cè)視圖；圖8為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的控制部件結(jié)構(gòu)的框圖；圖9為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的信號發(fā)生器結(jié)構(gòu)的框圖；圖10為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器的放大器結(jié)構(gòu)的框圖。
具體實(shí)施例方式
下面將根據(jù)附圖具體描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器1包括一個(gè)激振器10、一個(gè)切割部件20、一個(gè)軸30、一個(gè)高度調(diào)節(jié)器40、一個(gè)預(yù)壓力供應(yīng)器50、一個(gè)主盤60、一個(gè)豎直移送裝置70以及一個(gè)水平移送裝置(未示出)。
在該優(yōu)選實(shí)施例中，激振器10是一個(gè)產(chǎn)生振動(dòng)切割部件20所必需的激振力的部件。在優(yōu)選實(shí)施例中，激振器10如圖1所示，包括一個(gè)致動(dòng)器12、一個(gè)致動(dòng)器支架14、一個(gè)致動(dòng)器上板16以及一個(gè)致動(dòng)器下板18。
此處，致動(dòng)器12在通電時(shí)振動(dòng)并提供激振力。在優(yōu)選實(shí)施例中，致動(dòng)器12為一個(gè)并聯(lián)式預(yù)應(yīng)力致動(dòng)器。
接下來，如圖5所示，致動(dòng)器支架14是一個(gè)將致動(dòng)器12和軸30與主盤60組合在一起的部件。致動(dòng)器支架14將軸30與主盤60結(jié)合以在致動(dòng)器14的振動(dòng)下直線移動(dòng)。換句話說，軸30與致動(dòng)器支架14結(jié)合，插入致動(dòng)器支架14上的一個(gè)環(huán)形通孔，這樣軸30可沿該通孔直線移動(dòng)。致動(dòng)器12的上端固定于致動(dòng)器支架14。
致動(dòng)器上板16如圖5和6所示結(jié)合于致動(dòng)器12的上端和致動(dòng)器支架14上并使致動(dòng)器12可拆卸。致動(dòng)器下板18與致動(dòng)器的下端和軸30結(jié)合并使致動(dòng)器12可拆卸。
一個(gè)套管17，如圖5和6所示，優(yōu)選置于致動(dòng)器支架14和軸30的接觸部分之間。該套管17引導(dǎo)軸30的直線運(yùn)動(dòng)，并避免切割部件20的直線度由于軸30在直線運(yùn)動(dòng)中的摩擦而產(chǎn)生的損壞而降低。因此，套管17優(yōu)選由強(qiáng)耐摩材料制成。在優(yōu)選實(shí)施例中，一個(gè)直線金屬套管用作套管17。
激振器10如圖5所示，優(yōu)選還包括一個(gè)位于套管17的下側(cè)面套管蓋19，以避免套管17在直線運(yùn)動(dòng)中脫落。套管蓋19的安裝要使其一側(cè)與致動(dòng)器17的下表面結(jié)合并固定其上，另一側(cè)與套管17的下側(cè)面接觸以避免套管17分離。
激振器10如圖6所示，優(yōu)選還包括一個(gè)致動(dòng)器冷卻支架15，以避免致動(dòng)器12的溫度在致動(dòng)器12的振動(dòng)過程中升高。該致動(dòng)器冷卻支架15優(yōu)選僅置于為致動(dòng)器12提供電力的電極安裝的位置，以簡化劃線器的結(jié)構(gòu)。該致動(dòng)器冷卻支架15還包括一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器(未示出)，以調(diào)節(jié)為致動(dòng)器冷卻支架15提供的冷卻劑的壓力，這樣致動(dòng)器冷卻支架15可被精確控制。
切割部件20如圖3所示，包括一個(gè)切割器22和一個(gè)切割器固定件24。
這里，切割器22通過直接接觸工件在其上形成劃線從而在工件上產(chǎn)生裂縫。因此，切割器22必須由比工件硬度更高的材料制成，通常使用金剛石。
切割器固定件24如圖3所示與切割器22結(jié)合并將其固定，并且將切割器22與軸30結(jié)合。在優(yōu)選實(shí)施例中，切割器固定件24具有一個(gè)結(jié)合凹部24a，圓柱形軸30的末端插入其中。軸30插入該結(jié)合凹部24a并與切割器固定件24結(jié)合。切割器固定件24在下端具有一個(gè)凹部，這樣切割器22結(jié)合在該凹部中并固定于切割器固定件24。在優(yōu)選實(shí)施例中，如圖3所示，切割器22與切割器固定件24中心線略偏放置。因此，當(dāng)切割器固定件24旋轉(zhuǎn)并移動(dòng)時(shí)，切割器22沿一條與切割器固定件24的中心線間隔并與之平行的假想線移動(dòng)。因此，切割器22形成的劃線具有非常高的直線度。在優(yōu)選實(shí)施例中，優(yōu)選提供一個(gè)切割器蓋(未示出)，以避免切割器22從切割器固定件24上脫落。
優(yōu)選提供一個(gè)位于軸30和切割器固定件24之間的球塞26。該球塞26如圖3所示，插入形成于軸30下側(cè)面的球塞凹部31中。如圖4所示，球塞26包括一個(gè)置于球塞26下側(cè)的球26a，一個(gè)置于球塞26上側(cè)的彈簧26b，以及一個(gè)置于球26a和彈簧26b之間的盤26c。球塞26允許切割器22在與工件接觸并在其上水平運(yùn)動(dòng)形成劃線時(shí)可在預(yù)定距離內(nèi)豎直移動(dòng)，這樣就提高了切割器22所形成劃線的直線度。
此時(shí)，在該優(yōu)選實(shí)施例中，切割器固定件24在與軸30結(jié)合的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)。這樣，因?yàn)榍懈钇鞯囊莆唤Y(jié)構(gòu)，切割器22具有預(yù)定的自由度，這樣切割器通常沿一條與切割器固定件24的中心線間隔并與之平行的假想線水平移動(dòng)。如果切割器可以自由旋轉(zhuǎn)360度，就變得的很難控制了。因此，必須限制切割器固定件24在預(yù)定角度內(nèi)旋轉(zhuǎn)。為此目的，在優(yōu)選實(shí)施例中，軸30的末端的預(yù)定部分被切除以形成一個(gè)切除凹部32，切割器固定件24在其側(cè)壁上沿其厚度方向上與所述切除凹部32相對應(yīng)形成有通孔24b。一個(gè)楔塊29插入通孔24b并固定其中使楔塊28的末端與切除凹部32接觸。楔塊28的末端如圖3所示具有彎曲表面，這樣切割器固定件24可以在預(yù)定角度內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
軸30如圖1所示，位于激振器10和切割部件20之間，將激振器10產(chǎn)生的振動(dòng)傳至切割部件20。
高度調(diào)節(jié)器40如圖1所示，位于激振器30上方以根據(jù)工件的不平整度來調(diào)節(jié)切割部件20的高度。通常，劃線器切割的工件具有平整表面。然而，盡管工件表面具有微小的不平整區(qū)域，但工件表面也會(huì)有平整區(qū)域或工件表面完全平整。因此，必須根據(jù)工件表面的不平整度來調(diào)節(jié)切割部件20的高度，以提高工件上劃線的直線度。為此目的，在該優(yōu)選實(shí)施例中，設(shè)置了高度調(diào)節(jié)器從而通過實(shí)時(shí)檢測工件的不平整度來調(diào)節(jié)切割部件20的高度。優(yōu)選高度調(diào)節(jié)器40包括一個(gè)測力傳感器(l0ad cell)，當(dāng)所施加的負(fù)載超過預(yù)定值時(shí)伸長，當(dāng)所施加的負(fù)載低于預(yù)定值時(shí)收縮。
預(yù)壓力供應(yīng)器50位于高度調(diào)節(jié)器40的上方，為切割部件20提供預(yù)壓力。此處，預(yù)壓力指的是沿軸向壓迫切割部件20的力。因此，預(yù)壓力供應(yīng)器50沿軸向壓迫切割器22，當(dāng)切割器22接觸工件并在工件上形成劃線時(shí)在厚度方向上將振動(dòng)作用至工件。
在優(yōu)選實(shí)施例中，預(yù)壓力供應(yīng)器50包括一個(gè)汽缸以產(chǎn)生氣壓。該汽缸優(yōu)選為微速汽缸(micro-speed cylinder)。
此外，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器1還包括一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器80。該壓力調(diào)節(jié)器80如圖1所示，位于高度調(diào)節(jié)器40和預(yù)壓力供應(yīng)器50之間。壓力調(diào)節(jié)器80調(diào)節(jié)預(yù)壓力供應(yīng)器50提供的壓力，這樣就將其維持在低于預(yù)定值。因?yàn)楫?dāng)預(yù)壓力供應(yīng)器50提供過剩壓力時(shí)工件可能遭到損壞，必須對壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)以避免壓力超過根據(jù)工件特性所確定的預(yù)定值。在優(yōu)選實(shí)施例中，壓力調(diào)節(jié)器80包括一個(gè)電氣動(dòng)調(diào)節(jié)器。
主盤60如圖1所示與切割部件20、激振器10以及預(yù)壓力供應(yīng)器50結(jié)合，并使得切割部件20、激振器10、高度調(diào)節(jié)器40和預(yù)壓力供應(yīng)器50的中心線彼此順序?qū)R。切割部件20、激振器10、高度調(diào)節(jié)器40以及預(yù)壓力供應(yīng)器50固定于主盤60并且在此狀態(tài)下豎直和水平移動(dòng)。
此外，在優(yōu)選實(shí)施例中，如圖1所示，一個(gè)隔離件62優(yōu)選置于主盤60和預(yù)壓力供應(yīng)器50之間。隔離件62將預(yù)壓力供應(yīng)器50和切割部件20的中心線對齊，并固定預(yù)壓力供應(yīng)器以避免預(yù)壓力供應(yīng)器50在驅(qū)動(dòng)時(shí)偏離其位置。
豎直移送裝置70與主盤60結(jié)合，并沿豎直方向驅(qū)動(dòng)主盤60。豎直移送裝置70如圖1和2所示，固定于一個(gè)側(cè)基部72，包括一個(gè)馬達(dá)74、一個(gè)滾珠絲杠76以及一個(gè)移動(dòng)塊78。馬達(dá)74提供必需的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力以豎直移動(dòng)主盤60。在優(yōu)選實(shí)施例中，為精確控制主盤60的豎直移動(dòng)，馬達(dá)74包括一個(gè)伺服馬達(dá)。
滾珠絲杠76結(jié)合于馬達(dá)74并被其驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，其在圓周具有螺紋。滾珠絲杠76與跟主盤60相固定的移動(dòng)塊78相結(jié)合。為此目的，移動(dòng)塊具有母螺紋孔，滾珠絲杠76從中穿過，母螺紋孔的內(nèi)圓周有對應(yīng)于滾珠絲杠76上螺紋的母螺紋。因此，當(dāng)滾珠絲杠76被馬達(dá)74驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，移動(dòng)塊78豎直移動(dòng)。
優(yōu)選豎直移送裝置70還包括一個(gè)直線塊75和一個(gè)直線導(dǎo)桿77以引導(dǎo)主盤60的直線運(yùn)動(dòng)。直線塊75結(jié)合于主盤60并引導(dǎo)主盤60直線移動(dòng)。直線導(dǎo)桿77結(jié)合于直線塊75并引導(dǎo)直線塊75的運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器1如圖7所示，還包括雜質(zhì)消除器90。雜質(zhì)消除器90消除如玻璃粉末這樣在工件上形成劃線過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)。雜質(zhì)消除器90包括一個(gè)鼓風(fēng)機(jī)92和一個(gè)吸入部件94。
如圖7所示的鼓風(fēng)機(jī)92位于切割部件20的一側(cè)并與之一起移動(dòng)。此外，鼓風(fēng)機(jī)92向切割部件20與工件S的接觸點(diǎn)噴射氣體，以吹走在工作中沿鼓風(fēng)機(jī)92的相反方向產(chǎn)生的雜質(zhì)。鼓風(fēng)機(jī)92優(yōu)選包括一個(gè)噴嘴92a以噴射氣體，以及一個(gè)噴射角度調(diào)節(jié)器92b以調(diào)節(jié)噴嘴92a的角度。因?yàn)閲娚浣嵌日{(diào)節(jié)器92b，如圖7所示，可以旋轉(zhuǎn)同時(shí)與噴嘴92a結(jié)合，因此從噴嘴92a噴出的噴射氣體的噴射角度可被調(diào)節(jié)。
通過放置切割部件20于吸入部件94和鼓風(fēng)機(jī)92之間，吸入部件94如圖7所示被置于鼓風(fēng)機(jī)92的另一側(cè)，與切割部件20一同移動(dòng)。吸入部件94吸入并移走鼓風(fēng)機(jī)92吹送的雜質(zhì)。
優(yōu)選設(shè)置一個(gè)水平移送裝置(未示出)以水平移動(dòng)主盤60和豎直移送裝置70。
根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器1還包括一個(gè)控制部件以控制激振器10和激振器10產(chǎn)生的振動(dòng)。
控制部件如圖8所示包括一個(gè)信號發(fā)生器、一個(gè)控制器、一個(gè)放大器和一個(gè)顯示器。
信號發(fā)生器先產(chǎn)生一個(gè)控制激振器10的信號。激振器10如圖9所示，可產(chǎn)生三角波、正弦波、脈沖波或類似波。在該優(yōu)選實(shí)施例中，信號發(fā)生器產(chǎn)生1V(伏特)和預(yù)定頻率的正弦波信號，并將該信號傳至控制器。
控制器相應(yīng)地改變所述激振器所產(chǎn)生信號的頻率并將改變的信號傳至顯示器?？刂破靼ㄒ粋€(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器以將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，一個(gè)微控單元以控制信號的頻率，以及一個(gè)數(shù)模轉(zhuǎn)換器以將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換為模擬信號。
放大器如圖10所示包括一個(gè)用于初級放大信號的前置放大器、一個(gè)用于放大由前置放大器所放大信號的主放大器，以及一個(gè)與主放大器電接的調(diào)壓器以穩(wěn)定主放大器。前置放大器主要放大并改變控制器傳送的信號，使之成為適于主放大器的信號。主放大器將該信號放大為激振器需要的電壓，優(yōu)選20V(伏特)。優(yōu)選在主放大器和激振器之間設(shè)置緩沖器。因?yàn)橹鞣糯笃髦苯舆B接于激振器，放大器可能完全受激振器影響。如果主放大器受這種方式影響就可能損壞。所以，緩沖器通過阻斷激振器的影響來保護(hù)主放大器。
顯示器用來顯示控制器和放大器傳送的頻率和電壓值。因此，顯示器能讓工作人員直接確認(rèn)控制部件是正常運(yùn)行還是非正常運(yùn)行。
一個(gè)電源為信號發(fā)生器、控制器、放大器和顯示器提供電力。
接下來，將描述劃線器1的使用方式。
首先，根據(jù)要?jiǎng)澗€的工件確定預(yù)壓力并將預(yù)壓力輸入壓力調(diào)節(jié)器80，以防止壓力調(diào)節(jié)器80為工件提供過剩的預(yù)壓力。驅(qū)動(dòng)豎直移送裝置70使切割器22與工件表面接觸。驅(qū)動(dòng)預(yù)壓力供應(yīng)器50為工件提供預(yù)壓力，控制部件將信號傳至致動(dòng)器12以產(chǎn)生振動(dòng)。接著，切割器22振動(dòng)并在工件表面形成裂縫。同時(shí)，驅(qū)動(dòng)水平移送裝置水平移動(dòng)劃線器1。這樣在劃線器1的移動(dòng)方向上形成劃線。
根據(jù)本發(fā)明，劃線器實(shí)時(shí)響應(yīng)表面的不平整從在工件表面形成統(tǒng)一的劃線。此外，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的劃線器由于不會(huì)剝落所以使用壽命延長。
盡管出于描述的目的公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，在不背離所附權(quán)利要求所揭示的本發(fā)明要旨和范圍的情況下，可以對本發(fā)明作出各種改進(jìn)、添加和替換。
權(quán)利要求
1.一種在工件表面形成劃線的劃線器，包括一個(gè)激振器，用以產(chǎn)生振動(dòng)；一個(gè)切割部件，用于接收激振器產(chǎn)生的振動(dòng)并在工件表面形成劃線；一個(gè)軸，置于激振器和切割部件之間并將激振器產(chǎn)生的振動(dòng)傳至切割部件；一個(gè)高度調(diào)節(jié)器，低于激振器放置，可根據(jù)工件表面的不平整度調(diào)節(jié)切割部件的高度；一個(gè)預(yù)壓力供應(yīng)部件，置于高度調(diào)節(jié)器下方用來為切割部件提供預(yù)壓力；一個(gè)與切割部件、激振器和預(yù)壓力供應(yīng)部件結(jié)合的主盤，通過依次對齊切割部件、激振器、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件的中心線來固定切割部件、激振器、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件；以及一個(gè)豎直移送裝置，與主盤結(jié)合并豎直移動(dòng)主盤；其中激振器、切割部件、軸、高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件對齊。
2.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中豎直移送裝置包括一個(gè)馬達(dá)，提供豎直移動(dòng)主盤所需的驅(qū)動(dòng)力；一個(gè)滾珠絲杠，與馬達(dá)結(jié)合并在其圓周具有螺紋；以及一個(gè)移動(dòng)塊，與主盤結(jié)合并形成有母螺紋孔，滾珠絲杠通過該母螺紋孔與其結(jié)合。
3.如權(quán)利要求2所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中豎直移送裝置還包括一個(gè)直線塊，與主盤結(jié)合并引導(dǎo)主盤的直線運(yùn)動(dòng)；以及一個(gè)直線導(dǎo)桿，與直線塊結(jié)合并引導(dǎo)直線塊的運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中馬達(dá)包括一個(gè)伺服馬達(dá)。
5.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中切割部件包括一個(gè)切割器，用于接觸工件并在工件表面形成劃線；以及一個(gè)切割器固定件，具有一個(gè)結(jié)合孔且所述軸的末端可旋轉(zhuǎn)地插入并與之結(jié)合，以及一個(gè)與切割器結(jié)合的外下端。
6.如權(quán)利要求5所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中切割器偏離切割器固定件的中心線放置。
7.如權(quán)利要求5所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)球塞，位于切割器固定件與軸接觸的位置，以補(bǔ)償切割器的直線度。
8.如權(quán)利要求5所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中切割器固定件還包括一個(gè)切割器蓋，以避免切割器與切割器固定件分離。
9.如權(quán)利要求5所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中切割器固定件在側(cè)壁具有一個(gè)通孔，所述軸具有一個(gè)切除凹部，在其末端的側(cè)面并與通孔對應(yīng)以及一個(gè)楔塊插入通孔以避免切割器固定件的旋轉(zhuǎn)超出預(yù)定角度。
10.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中激振器包括一個(gè)用于提供振動(dòng)動(dòng)力的致動(dòng)器；一個(gè)致動(dòng)器支架，將致動(dòng)器和軸與主盤結(jié)合，這樣所述軸可以在致動(dòng)器的振動(dòng)下直線移動(dòng)；一個(gè)與致動(dòng)器上端和致動(dòng)器支架結(jié)合的致動(dòng)器上板，以拆分致動(dòng)器；以及一個(gè)與致動(dòng)器下端和所述軸結(jié)合的致動(dòng)器下板，以拆分致動(dòng)器。
11.如權(quán)利要求10所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中致動(dòng)器包括一個(gè)并聯(lián)式預(yù)應(yīng)力致動(dòng)器。
12.如權(quán)利要求10所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)套管，位于致動(dòng)器支架與軸接觸的位置，用于引導(dǎo)軸的直線運(yùn)動(dòng)。
13.如權(quán)利要求12所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中套管包括一個(gè)直線金屬套管。
14.如權(quán)利要求12所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)套管蓋，位于致動(dòng)器支架的下端，用來防止套管脫離。
15.如權(quán)利要求10所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)致動(dòng)器冷卻支架，位于致動(dòng)器的一側(cè)，用于在致動(dòng)器運(yùn)行時(shí)冷卻致動(dòng)器。
16.如權(quán)利要求15所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中致動(dòng)器冷卻支架被限定在致動(dòng)器的一側(cè)，該處設(shè)置有為致動(dòng)器供應(yīng)電力的電極。
17.如權(quán)利要求15所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中致動(dòng)器冷卻支架還包括一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器，以調(diào)節(jié)供應(yīng)給致動(dòng)器冷卻支架的冷卻劑的壓力。
18.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中高度調(diào)節(jié)器包括一個(gè)測力傳感器，當(dāng)施加的負(fù)載超過預(yù)定值時(shí)伸長，當(dāng)施加的負(fù)載低于預(yù)定值時(shí)收縮。
19.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中預(yù)壓力供應(yīng)部件包括一個(gè)汽缸以提供氣壓。
20.如權(quán)利要求19所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中汽缸包括一個(gè)微速汽缸。
21.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)壓力調(diào)節(jié)器，位于高度調(diào)節(jié)器和預(yù)壓力供應(yīng)部件之間并調(diào)節(jié)預(yù)壓力供應(yīng)部件所供應(yīng)的壓力，使其低于預(yù)定值。
22.如權(quán)利要求21所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中壓力調(diào)節(jié)器包括一個(gè)電氣動(dòng)調(diào)節(jié)器。
23.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)位于主盤和預(yù)壓力供應(yīng)部件之間的隔離件，將預(yù)壓力供應(yīng)部件固定于主盤使得預(yù)壓力供應(yīng)部件的中心線與切割部件的中心線對齊。
24.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)雜質(zhì)消除器，用于除去在工件上形成劃線時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)。
25.如權(quán)利要求24所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中雜質(zhì)消除器包括一個(gè)鼓風(fēng)機(jī)，位于切割部件的一側(cè)并向切割部件與工件的接觸點(diǎn)噴射氣體，以吹走在工作中沿鼓風(fēng)機(jī)92相反方向產(chǎn)生的雜質(zhì)；一個(gè)吸入部件，通過將切割部件放置于吸入部件和鼓風(fēng)機(jī)之間這樣位于鼓風(fēng)機(jī)的相對側(cè)，并且與切割部件20一同移動(dòng)，用來吸入并移走鼓風(fēng)機(jī)吹送的雜質(zhì)。
26.如權(quán)利要求25所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中鼓風(fēng)機(jī)還包括一個(gè)噴射氣體的噴嘴；以及一個(gè)噴射角度調(diào)節(jié)器，以調(diào)節(jié)噴嘴的角度。
27.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)水平移送裝置，以沿水平方向移動(dòng)主盤和豎直移送裝置。
28.如權(quán)利要求1所述的在工件表面形成劃線的劃線器，還包括一個(gè)控制部件以控制激振器和激振器產(chǎn)生的振動(dòng)。
29.如權(quán)利要求28所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中控制部件包括一個(gè)信號發(fā)生器，用于產(chǎn)生控制激振器的信號；一個(gè)控制器，用以改變激振器所產(chǎn)生信號的頻率；一個(gè)放大器，用以放大控制器所傳送信號的電壓；一個(gè)顯示器，用于顯示控制器和放大器所傳送的頻率和電壓值；以及一個(gè)電源，用于為信號發(fā)生器、控制器、放大器和顯示器提供電力。
30.如權(quán)利要求29所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中控制器包括一個(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器以將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號；一個(gè)微控單元以控制信號的頻率；以及一個(gè)數(shù)模轉(zhuǎn)換器以將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換為模擬信號。
31.如權(quán)利要求29所述的在工件表面形成劃線的劃線器，其中放大器包括一個(gè)前置放大器以初級放大信號；一個(gè)主放大器以放大經(jīng)前置放大器放大的信號；以及一個(gè)與主放大器連接的調(diào)壓器以穩(wěn)定主放大器。
32.如權(quán)利要求31所述在工件表面形成劃線的劃線器，其中放大器還包括一個(gè)緩沖器，位于主放大器和激振器之間，用于阻斷激振器傳至主放大器的影響。
全文摘要
公開了一種在由易碎材料如玻璃、半導(dǎo)體或類似物組成的工件上形成劃線的劃線器，包括一個(gè)與切割部件和激振器具有相同中心線的高度調(diào)節(jié)器，以根據(jù)工件表面的不平整度調(diào)節(jié)切割部件的高度。該劃線器根據(jù)工件表面的不平整度做出精確反應(yīng)，形成具有高直線度的劃線。
文檔編號B26D3/12GK1762668SQ20051000160
公開日2006年4月26日 申請日期2005年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月18日
發(fā)明者金相經(jīng), 李康憙, 樸昶玟 申請人:三發(fā)機(jī)電有限公司