專利名稱：多線切割載荷控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及切割控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種多線切割載荷控制方法。
背景技術(shù)：
目前廣泛使用在電子行業(yè)的多線切割機(jī)(其工作原理是使用極細(xì)的鋼絲，反復(fù)纏繞在2到4個滾筒上，形成數(shù)百道鋼絲，然后鋼線運(yùn)動，輔以切割油粉，被加工工件靠近鋼線，進(jìn)行切割，一般有石英、硅材料、砷化鎵等半導(dǎo)體材料以及各種光學(xué)晶體玻璃)。
主要的切割參數(shù)1、工件進(jìn)給速度也就是工作臺速度；2、鋼線的運(yùn)動線速度；目前所使用的切割控制方式一般為勻速切割，也就是設(shè)定的切割鋼線和工件的相對接近的進(jìn)給速度是恒定的，或者是根據(jù)工件的形狀進(jìn)行速度的變化，這兩種切割控制模式切割時容易在切割產(chǎn)品的切割面上產(chǎn)生凹凸不平的鋸紋，給后道加工工序帶來很大的困難，在加工過程中容易導(dǎo)致被切割工件的破損；同時切割后容易產(chǎn)生較大的翹曲度warp，尤其是對較薄的半導(dǎo)體晶片，而且這類晶片對翹曲度的要求也比較高，如果切割產(chǎn)生的翹曲度偏離要求比較大，超出后道工序的修復(fù)范圍就會導(dǎo)致產(chǎn)品報廢。另外采用這兩種切割控制方式要達(dá)到較好的切割效果對切割過程中的各個要素要求很嚴(yán)，由于很多因素難以控制和預(yù)料，切割的重復(fù)性較差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一種新的多線切割控制方式，特點(diǎn)是它借助傳感器測量工件所受來自切割鋼線的載荷壓力(在勻速切割方式中，它是不斷變化的)，在切割全過程或部分過程中使用以載荷壓力為參數(shù)來調(diào)整切割進(jìn)給速度、鋼線速度的方式，載荷壓力的值可以預(yù)先設(shè)定，或者在切割過程中按照一定的方式變化。這種切割方式可以較好的控制翹曲度和鋸紋的產(chǎn)生，同時對其它切割要素的要求降低，在一定范圍內(nèi)均可以保證切割結(jié)果在可控制的范圍內(nèi)波動，有較好的重復(fù)性。
一種多線切割的控制方法，在整個切割過程或切割部分過程中使用以工件所承受的載荷壓力為主要參數(shù)，調(diào)節(jié)切割進(jìn)給速度和鋼線運(yùn)動速度。
所述的多線切割的控制方法，載荷壓力可以為預(yù)先設(shè)定的固定變化模式，也可以根據(jù)測量中的載荷壓力按照一定的函數(shù)計算后自動地設(shè)定按照一定的方式變化，控制的方式為同時調(diào)整切割進(jìn)給速度和鋼線速度來滿足預(yù)先設(shè)定的載荷壓力要求，也可以單獨(dú)調(diào)整某一個參數(shù)來滿足預(yù)先設(shè)定的載荷壓力要求。


圖1是本發(fā)明的多線切割載荷控制系統(tǒng)方框圖。
圖2是本發(fā)明的多線切割載荷控制方法流程圖。
具體實(shí)施例方式
圖1的多線切割載荷控制系統(tǒng)中，切割參數(shù)控制系統(tǒng)檢測到的載荷壓力值同設(shè)定的載荷壓力或計算后得出的載荷壓力值進(jìn)行比較，根據(jù)偏差發(fā)出指令調(diào)節(jié)切割參數(shù)，之后傳送到切割系統(tǒng)，再由切割系統(tǒng)傳送到載荷壓力傳感器檢測切割中的載荷壓力參數(shù)，之后傳送到切割參數(shù)控制系統(tǒng)。
圖2的多線切割載荷控制方法流程圖，其步驟如下步驟S1采用載荷控制方法進(jìn)行切割控制時，傳感器檢測切割載荷壓力的載荷數(shù)值并發(fā)送給切割控制系統(tǒng)；步驟S2切割控制系統(tǒng)將接收的載荷壓力數(shù)值與設(shè)定的值或者按照某種函數(shù)運(yùn)算后的結(jié)果進(jìn)行比較，并給出對比結(jié)果，如果對比結(jié)果滿足某種要求時則繼續(xù)執(zhí)行目前的切割參數(shù)，如果對比結(jié)果不滿足某種要求時則發(fā)出指令，同時調(diào)整切割進(jìn)給速度和鋼線速度或者單獨(dú)調(diào)整某一個參數(shù)來滿足對對比結(jié)果的要求；步驟S3切割系統(tǒng)執(zhí)行切割控制系統(tǒng)指令，切割參數(shù)的變化將引起新的載荷壓力改變，過程返回到步驟S1。
權(quán)利要求
1.一種多線切割的控制方法，其特征在于，在整個切割過程或切割部分過程中使用以工件所承受的載荷壓力為主要參數(shù)，調(diào)節(jié)切割進(jìn)給速度和鋼線運(yùn)動速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的多線切割的控制方法，其特征在于，載荷壓力可以為預(yù)先設(shè)定的固定變化模式，也可以根據(jù)測量中的載荷壓力按照一定的函數(shù)計算后自動地設(shè)定按照一定的方式變化，控制的方式為同時調(diào)整切割進(jìn)給速度和鋼線速度來滿足預(yù)先設(shè)定的載荷壓力要求，也可以單獨(dú)調(diào)整某一個參數(shù)來滿足預(yù)先設(shè)定的載荷壓力要求。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的多線切割的控制方法，其特征在于，其步驟如下步驟S1采用載荷控制方法進(jìn)行切割控制時，傳感器檢測切割載荷壓力的載荷數(shù)值并發(fā)送給切割控制系統(tǒng)；步驟S2切割控制系統(tǒng)將接收的載荷壓力數(shù)值與設(shè)定的值或者按照某種函數(shù)運(yùn)算后的結(jié)果進(jìn)行比較，并給出對比結(jié)果，如果對比結(jié)果滿足某種要求時則繼續(xù)執(zhí)行目前的切割參數(shù)，如果對比結(jié)果不滿足某種要求時則發(fā)出指令，同時調(diào)整切割進(jìn)給速度和鋼線速度或者單獨(dú)調(diào)整某一個參數(shù)來滿足對對比結(jié)果的要求；步驟S3切割系統(tǒng)執(zhí)行切割控制系統(tǒng)指令，切割參數(shù)的變化將引起新的載荷壓力改變，過程返回到步驟S1。
全文摘要
本發(fā)明涉及切割控制技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種多線切割載荷控制方法。特點(diǎn)是它借助傳感器測量工件所受來自切割鋼線的載荷壓力，在切割全過程或部分過程中使用以載荷壓力為參數(shù)來調(diào)整切割進(jìn)給速度、鋼線速度的方式，載荷壓力的值可以預(yù)先設(shè)定，或者在切割過程中按照一定的方式變化。這種切割方式可以較好的控制翹曲度和鋸紋的產(chǎn)生，同時對其它切割要素的要求降低，在一定范圍內(nèi)均可以保證切割結(jié)果在可控制的范圍內(nèi)波動，有較好的重復(fù)性。
文檔編號B26D1/01GK1883890SQ20051007861
公開日2006年12月27日 申請日期2005年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月20日
發(fā)明者朱蓉輝, 惠峰, 卜俊鵬, 鄭紅軍 申請人:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所