專利名稱：四自由度真空調(diào)諧器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空工程領(lǐng)域，涉及一種在低溫真空條件下，對(duì)超導(dǎo)微波濾波器實(shí)施調(diào)諧的裝置。
背景技術(shù)：
超導(dǎo)濾波器的屏蔽盒蓋上預(yù)制了許多調(diào)諧螺絲釘，在對(duì)濾波器測(cè)試時(shí)，調(diào)節(jié)這些螺釘?shù)母叨?，就可以完成濾波器的調(diào)諧工作。然而制冷機(jī)要求嚴(yán)格的真空環(huán)境，而調(diào)諧過(guò)程至少包括四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，需要解決的問(wèn)題是怎樣保證四自由度運(yùn)動(dòng)而且又能保持真空狀態(tài)。
圖1所示為調(diào)諧支架1在四自由度上運(yùn)動(dòng)的示意圖，在制冷機(jī)真空罩5內(nèi)設(shè)置有冷頭傳熱板4、濾波器盒3、調(diào)諧改錐2和調(diào)諧支架1，載有調(diào)諧改錐2的調(diào)諧支架1應(yīng)當(dāng)在xy平面上自由運(yùn)動(dòng)，調(diào)諧改錐2不僅可以自由旋轉(zhuǎn)而且還可以沿Z軸運(yùn)動(dòng)，以此來(lái)模擬人手的調(diào)諧動(dòng)作。研制這樣一個(gè)裝置的困難在于所以這些平移和旋轉(zhuǎn)都必須在真空以外的空間操作，對(duì)各種傳動(dòng)器件必須進(jìn)行很好的密封，絕對(duì)不能由于這些運(yùn)動(dòng)而漏氣。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種在操作簡(jiǎn)便并且在調(diào)諧過(guò)程中制冷機(jī)能夠保持嚴(yán)格真空環(huán)境的四自由度真空調(diào)諧器。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明一種四自由度真空調(diào)諧器，包括帶有透明視窗的真空室及設(shè)置在真空室內(nèi)的調(diào)諧工具和控制裝置，通過(guò)在真空室外部操縱該控制裝置，所述調(diào)諧工具能夠在真空室內(nèi)四自由度運(yùn)動(dòng)，在控制裝置上設(shè)置有保持真空室的真空狀態(tài)的真空密封裝置。
進(jìn)一步，所述調(diào)諧工具為調(diào)諧改錐，所述控制裝置包括調(diào)諧支架、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器和軟軸操作器，該調(diào)諧改錐安裝在調(diào)諧支架上；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與調(diào)諧支架和二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器相連，軟軸操作器驅(qū)動(dòng)調(diào)諧改錐作垂直方向運(yùn)動(dòng)及繞垂線轉(zhuǎn)動(dòng)，二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器通過(guò)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制調(diào)諧支架作二維平面運(yùn)動(dòng)。
進(jìn)一步，所述調(diào)諧支架包括執(zhí)行頭組件、執(zhí)行頭固定臂、軟軸和導(dǎo)向管，執(zhí)行頭組件內(nèi)設(shè)置有滑柱，執(zhí)行頭固定臂與導(dǎo)向管分別安裝在執(zhí)行組件上，導(dǎo)向管套在軟軸上，滑柱的兩端分別與所述調(diào)諧改錐和軟軸相連，軟軸的另一端與軟周操作器相連。
進(jìn)一步，所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括絲杠、齒輪組和x與y方向?qū)к?；其中齒輪組由二個(gè)互成90度的傘形狀齒輪組成，齒輪組分別與絲杠及所述二維傳動(dòng)器相連，絲杠穿過(guò)所述執(zhí)行頭固定臂。
進(jìn)一步，所述二維傳動(dòng)器包括內(nèi)轉(zhuǎn)軸、內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管、內(nèi)軸轉(zhuǎn)把、外轉(zhuǎn)軸套把、外轉(zhuǎn)軸、防轉(zhuǎn)管和外轉(zhuǎn)軸套管；其中，內(nèi)軸轉(zhuǎn)把和外轉(zhuǎn)軸套把設(shè)置在所述真空室外部，內(nèi)轉(zhuǎn)軸與內(nèi)軸轉(zhuǎn)把相連，內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管隨內(nèi)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)且能沿內(nèi)轉(zhuǎn)軸的軸向平動(dòng)，內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管的端部與所述齒輪組相連，該齒輪組將內(nèi)轉(zhuǎn)軸繞其軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)槔@所述絲杠的軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)；外轉(zhuǎn)軸套把和外轉(zhuǎn)軸固定連接且能同步旋轉(zhuǎn)，外轉(zhuǎn)軸套管設(shè)置在外轉(zhuǎn)軸內(nèi)，防轉(zhuǎn)管控制外轉(zhuǎn)軸套管只能沿其軸向平動(dòng)；外轉(zhuǎn)軸套管的端部與內(nèi)轉(zhuǎn)套管的端部相連接。
進(jìn)一步，所述軟軸操作器包括平柄、中心桿和軟軸芯，其中，平柄設(shè)置在所述真空室外，中心桿的一端與平柄固定、另一端與軟軸芯相連，軟軸芯的另一端與所述滑柱相連。
進(jìn)一步，所述真空密封裝置包括三重密封裝置，第一重密封裝置為在所述二維傳動(dòng)器和所述軟軸操作器的所有轉(zhuǎn)筒、轉(zhuǎn)桿上均設(shè)置有密封圈，第二重密封裝置包括兩個(gè)真空接管，一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接二維傳動(dòng)器與真空室，另一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接軟軸控制器與真空室，在二維傳動(dòng)器和軟軸操作器上還設(shè)置有帶有O圈的密封頭，密封頭與真空接管之間利用卡箍密封；第三重密封裝置是真空接管與真空室之間利用O圈密封。
本發(fā)明四自由度真空調(diào)諧器，模擬人手調(diào)諧動(dòng)作，操作者通過(guò)在真空室外操縱運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)把手，就可以實(shí)現(xiàn)調(diào)諧工具的四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，準(zhǔn)確便利的完成在真空、低溫條件下對(duì)超導(dǎo)濾波器的調(diào)諧工藝。
圖1是調(diào)諧支架在四自由度上運(yùn)動(dòng)的示意圖；圖2是調(diào)諧支架和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是二維傳動(dòng)器中的x方向傳動(dòng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是二維傳動(dòng)器中的y方向傳動(dòng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是軟軸操作器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是調(diào)諧支架的裝配圖；圖7是軟軸操作器的裝配圖；圖8是二維傳動(dòng)器裝配圖；
圖9是調(diào)諧支架和x、y運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的總裝圖；圖10是四自由度真空調(diào)諧器的總裝配圖。
具體實(shí)施例方式
四自由度真空調(diào)諧器包括帶有透明視窗的真空室及設(shè)置在真空室內(nèi)的調(diào)諧改錐和控制調(diào)諧改錐做四自由度運(yùn)動(dòng)的控制裝置，控制裝置包括調(diào)諧支架、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器和軟軸操作器，軟軸操作器驅(qū)動(dòng)調(diào)諧改錐作垂直方向(Z軸)運(yùn)動(dòng)及繞垂線(Z軸)轉(zhuǎn)動(dòng)，二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器通過(guò)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制調(diào)諧支架作二維平面(XY軸)運(yùn)動(dòng)。
圖2所示，調(diào)諧支架由執(zhí)行頭組件8、執(zhí)行頭固定臂9、軟軸6和導(dǎo)向管7組成，執(zhí)行頭組件8內(nèi)設(shè)置有滑柱，執(zhí)行頭固定臂9與導(dǎo)向管7分別安裝在執(zhí)行組件8上，導(dǎo)向管7套在軟軸6上，滑柱的兩端分別與調(diào)諧改錐10和軟軸6相連，軟軸6的另一端與軟軸操作器(圖中未示出)相連。調(diào)諧改錐10是調(diào)諧工具，其它所有部件都是為它服務(wù)的，在軟軸6的推動(dòng)下，調(diào)諧改錐10可以上下運(yùn)動(dòng)(Z軸)，也可以隨軟軸6一起繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)，完成模擬人手使用調(diào)諧改錐10的動(dòng)作。
圖2中，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)由絲杠15、齒輪組16、x方向?qū)к?1、x方向?qū)к壸?2和y方向?qū)к?3組成。其中，齒輪組16由二個(gè)互成90度的傘形狀齒輪組成，齒輪組16分別與絲杠15及二維傳動(dòng)器14相連，絲杠15穿過(guò)執(zhí)行頭固定臂9。當(dāng)傘形齒輪帶動(dòng)絲杠15轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，執(zhí)行頭固定臂9帶動(dòng)整個(gè)調(diào)諧支架沿x方向?qū)к?1上移動(dòng)，當(dāng)操作二維傳動(dòng)器14時(shí)，二維傳動(dòng)器14將驅(qū)使齒輪組16、絲杠15和調(diào)諧支架一起沿y方向?qū)к?3滑動(dòng)。這樣，在二維傳動(dòng)器14的推動(dòng)下，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使調(diào)諧支架上的調(diào)諧改錐10可以處在超導(dǎo)諧振器蓋子平面的任一點(diǎn)，從而完成了調(diào)諧改錐10工作點(diǎn)的定位。
二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器14是一種同軸的密封手動(dòng)控制裝置，圖3是x軸運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)示意圖，x軸運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括內(nèi)轉(zhuǎn)軸18、內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管19和內(nèi)軸轉(zhuǎn)把17。圖4是y方向運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖，y軸運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括外轉(zhuǎn)軸套把24、外轉(zhuǎn)軸27、防轉(zhuǎn)管31和外轉(zhuǎn)軸套管28。其中，外轉(zhuǎn)軸套管28的端部與內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管19的端部靠封頭卡在一起共同進(jìn)退。x軸運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的內(nèi)軸轉(zhuǎn)把17與內(nèi)轉(zhuǎn)軸18用螺絲固定，內(nèi)軸轉(zhuǎn)把17設(shè)置在真空室外部。當(dāng)操作者在真空室外旋轉(zhuǎn)內(nèi)軸轉(zhuǎn)把17時(shí)，內(nèi)轉(zhuǎn)軸18旋轉(zhuǎn)。內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管19與內(nèi)轉(zhuǎn)軸18靠銷釘連接，一方面內(nèi)轉(zhuǎn)軸管19可隨外轉(zhuǎn)軸27一同轉(zhuǎn)動(dòng)，另一方面還可能沿著內(nèi)轉(zhuǎn)軸管19的軸向滑動(dòng)，或者說(shuō)沿y軸方向伸縮。內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管19的另一端與齒輪組16相連，由于其中的一個(gè)傘狀齒輪安裝在絲杠15的一端，所以內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管19的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)絲杠15轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使調(diào)諧支架完成沿x方向的滑動(dòng)。
y軸運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的外轉(zhuǎn)軸套把24和外轉(zhuǎn)軸27靠螺釘固定在一起，可以同步旋轉(zhuǎn)。外轉(zhuǎn)軸27實(shí)際是一個(gè)金屬筒，在筒內(nèi)側(cè)有螺紋。在外轉(zhuǎn)軸27內(nèi)放置有外轉(zhuǎn)軸套管28，外轉(zhuǎn)軸套管28的表面也有螺紋與外轉(zhuǎn)軸27的螺紋相配合。當(dāng)外轉(zhuǎn)軸27旋轉(zhuǎn)時(shí)，外轉(zhuǎn)軸套管28也可能在螺紋的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)起來(lái)，為了防止外轉(zhuǎn)軸套管28在螺紋的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，專門(mén)設(shè)置有防轉(zhuǎn)管31，防轉(zhuǎn)管31就是在管壁上沿軸向開(kāi)槽，槽內(nèi)有銷釘與外轉(zhuǎn)軸套管28相連，這樣外轉(zhuǎn)軸套管28受到了只能沿軸向運(yùn)動(dòng)的約束，也就是說(shuō)當(dāng)操作外轉(zhuǎn)軸把24旋轉(zhuǎn)時(shí)，外轉(zhuǎn)軸套管28在螺旋推動(dòng)下只能沿y方向(軸向)平動(dòng)。
當(dāng)調(diào)諧支架的位置確定后，調(diào)諧工作主要靠軟軸操作器進(jìn)行。在超導(dǎo)濾波器盒蓋上有幾十個(gè)調(diào)諧螺絲，它們分布在不同的地方，調(diào)諧支架要把調(diào)諧改錐10分別帶到這些位置的上方，那么操作調(diào)諧改錐10運(yùn)動(dòng)的軸也應(yīng)當(dāng)跟隨到那里，然而軸的起點(diǎn)是固定的，因此這種軸只能是柔軟的，而不是剛性的。圖5是軟軸操作器的結(jié)構(gòu)示意圖，軟軸操作器包括平柄33、密封頭36、中心桿35和軟軸芯39，軟軸芯39是由多股鋼絲絞合而成，軟軸芯39外面是一個(gè)軟的套管支持管38，平柄33與中心桿35用螺絲固定在一起，中心桿35的末端與軟軸芯39相固定，軟軸芯39的另一端與調(diào)諧支架的滑柱(圖中未示出)相連，平柄33設(shè)置在真空室外。平柄33和密封頭36之間留有空間，當(dāng)平柄33向前推進(jìn)時(shí)，軟軸芯39盡管處在彎曲狀態(tài)，也依然能夠推動(dòng)調(diào)諧改錐10(圖中未示出)向下運(yùn)動(dòng)。
為保證系統(tǒng)在工作時(shí)無(wú)漏氣而保持真空狀態(tài)，真空密封裝置包括三重密封裝置，第一重密封裝置為在二維傳動(dòng)器14和軟軸操作器的所有轉(zhuǎn)筒、轉(zhuǎn)桿上均設(shè)置有密封圈，第二重密封裝置包括兩個(gè)真空接管，一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接二維傳動(dòng)器與真空室，另一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接軟軸控制器與真空室，在二維傳動(dòng)器14和軟軸操作器上還設(shè)置有帶有O圈的密封頭，密封頭與真空接管之間利用卡箍密封；第三重密封裝置是真空接管與真空室之間利用O圈密封。
在設(shè)計(jì)方案確定之后，設(shè)計(jì)尺寸取決于調(diào)諧面積的大小，假定濾波器的最大面積為50*50mm2，考慮到調(diào)諧支架和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)占據(jù)的空間等因素，真空室內(nèi)的有效面積取143*143mm2，真空室的高度取120mm，真空室法蘭取圓角正方形，真空室上蓋采用候10mm的有機(jī)玻璃，面積與外法蘭相同，孔位與孔徑亦相同，真空室用整塊合金鋁車、銑而成。
圖6是調(diào)諧支架的裝配圖，表1列出了相關(guān)部件的名稱。
圖7是軟軸操作器的裝配圖，表2列出了相關(guān)部件的名稱。
圖8是二維傳動(dòng)器的裝配圖，表3列出了相關(guān)部件的名稱。
圖9是調(diào)諧支架和xy運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝配剖視圖，剖面相當(dāng)于圖10中總裝圖的ABCD方向。與圖6不同之處在于，此圖中繪出了x和y導(dǎo)軌的位置和裝配方式。表4列出了相關(guān)部件的名稱。
圖10是四自由度真空調(diào)諧的總裝配圖，表5列出了各部件名稱。
由于二維密封傳動(dòng)器14和軟軸操作器的筒身較長(zhǎng)，而真空室內(nèi)空間有限，真空密封是分三部分進(jìn)行的，其一是管內(nèi)各活動(dòng)的轉(zhuǎn)軸和轉(zhuǎn)筒的密封工作，在上述圖中都已標(biāo)出；其二是在手柄的末端的密封，圖9中標(biāo)出了兩個(gè)真空接管，真空接管的一端和手柄的末端相接，利用O圈和KF25卡箍密封；其三是真空室的側(cè)壁的密封，真空接管的另一端做成正方形，并加裝O圈(見(jiàn)圖10)，用螺釘壓緊，達(dá)到密封的作用。另外，真空室的上下法蘭都采用矩形橡膠密封條密封，如圖9所示。
表1
表2
表3
表4
表5
權(quán)利要求
1.一種四自由度真空調(diào)諧器，其特征在于，包括帶有透明視窗的真空室及設(shè)置在真空室內(nèi)的調(diào)諧工具和控制裝置，通過(guò)在真空室外部操縱該控制裝置，所述調(diào)諧工具能夠在真空室內(nèi)四自由度運(yùn)動(dòng)，在控制裝置上設(shè)置有保持真空室的真空狀態(tài)的真空密封裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述調(diào)諧工具為調(diào)諧改錐，所述控制裝置包括調(diào)諧支架、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器和軟軸操作器，該調(diào)諧改錐安裝在調(diào)諧支架上；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與調(diào)諧支架和二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器相連，軟軸操作器驅(qū)動(dòng)調(diào)諧改錐作垂直方向運(yùn)動(dòng)及繞垂線轉(zhuǎn)動(dòng)，二維運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)器通過(guò)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制調(diào)諧支架作二維平面運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述調(diào)諧支架包括執(zhí)行頭組件、執(zhí)行頭固定臂、軟軸和導(dǎo)向管，執(zhí)行頭組件內(nèi)設(shè)置有滑柱，執(zhí)行頭固定臂與導(dǎo)向管分別安裝在執(zhí)行組件上，導(dǎo)向管套在軟軸上，滑柱的兩端分別與所述調(diào)諧改錐和軟軸相連，軟軸的另一端與軟周操作器相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括絲杠、齒輪組和x與y方向?qū)к?；其中齒輪組由二個(gè)互成90度的傘形狀齒輪組成，齒輪組分別與絲杠及所述二維傳動(dòng)器相連，絲杠穿過(guò)所述執(zhí)行頭固定臂。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述二維傳動(dòng)器包括內(nèi)轉(zhuǎn)軸、內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管、內(nèi)軸轉(zhuǎn)把、外轉(zhuǎn)軸套把、外轉(zhuǎn)軸、防轉(zhuǎn)管和外轉(zhuǎn)軸套管；其中，內(nèi)軸轉(zhuǎn)把和外轉(zhuǎn)軸套把設(shè)置在所述真空室外部，內(nèi)轉(zhuǎn)軸與內(nèi)軸轉(zhuǎn)把相連，內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管隨內(nèi)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)且能沿內(nèi)轉(zhuǎn)軸的軸向平動(dòng)，內(nèi)轉(zhuǎn)軸套管的端部與所述齒輪組相連，該齒輪組將內(nèi)轉(zhuǎn)軸繞其軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)槔@所述絲杠的軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)；外轉(zhuǎn)軸套把和外轉(zhuǎn)軸固定連接且能同步旋轉(zhuǎn)，外轉(zhuǎn)軸套管設(shè)置在外轉(zhuǎn)軸內(nèi)，防轉(zhuǎn)管控制外轉(zhuǎn)軸套管只能沿其軸向平動(dòng)；外轉(zhuǎn)軸套管的端部與內(nèi)轉(zhuǎn)套管的端部相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述軟軸操作器包括平柄、中心桿和軟軸芯，其中，平柄設(shè)置在所述真空室外，中心桿的一端與平柄固定、另一端與軟軸芯相連，軟軸芯的另一端與所述滑柱相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的調(diào)諧器，其特征在于，所述真空密封裝置包括三重密封裝置，第一重密封裝置為在所述二維傳動(dòng)器和所述軟軸操作器的所有轉(zhuǎn)筒、轉(zhuǎn)桿上均設(shè)置有密封圈，第二重密封裝置包括兩個(gè)真空接管，一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接二維傳動(dòng)器與真空室，另一個(gè)真空接管用來(lái)密封連接軟軸控制器與真空室，在二維傳動(dòng)器和軟軸操作器上還設(shè)置有帶有O圈的密封頭，密封頭與真空接管之間利用卡箍密封；第三重密封裝置是真空接管與真空室之間利用O圈密封。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種四自由度真空調(diào)諧器，包括帶有透明視窗的真空室及設(shè)置在真空室內(nèi)的調(diào)諧工具和控制裝置，通過(guò)在真空室外部操縱該控制裝置，所述調(diào)諧工具能夠在真空室內(nèi)四自由度運(yùn)動(dòng)，在控制裝置上設(shè)置有保持真空室的真空狀態(tài)的真空密封裝置；本發(fā)明四自由度真空調(diào)諧器，模擬人手調(diào)諧動(dòng)作，操作者通過(guò)在真空室外操縱運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)把手，就可以實(shí)現(xiàn)調(diào)諧工具的四個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，準(zhǔn)確便利的完成在真空、低溫條件下對(duì)超導(dǎo)濾波器的調(diào)諧工藝。
文檔編號(hào)B25J1/00GK1927552SQ20051009588
公開(kāi)日2007年3月14日 申請(qǐng)日期2005年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月6日
發(fā)明者楊海清, 黎紅, 李春光, 張雪強(qiáng), 何艾生, 何豫生, 黃建冬, 張強(qiáng), 孫亮, 孟慶端, 李翡 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院物理研究所