專利名稱：真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭及其操作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器制造工藝中的濺射設(shè)備，尤其涉及一種真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭及其操作方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器制造工藝中，濺射設(shè)備是通過(guò)真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭來(lái)實(shí)現(xiàn)玻璃基板的穩(wěn)定搬送的。真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭的作用是玻璃基板在高真空狀態(tài)下搬送時(shí)，保持基板與機(jī)械臂手沒(méi)有相對(duì)滑動(dòng)，即在保持基板與機(jī)械臂手保持相對(duì)靜止的靜摩擦力(即基板保持力)下從而實(shí)現(xiàn)基板的搬送精度。
但是在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭一般為橡膠材質(zhì)。橡膠材質(zhì)的防滑盤(pán)頭一般隨著搬送基板枚數(shù)的增加，防滑盤(pán)頭本身的磨損及高溫裂化會(huì)引起基板與機(jī)械臂手之間產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)，從而造成搬送位置偏移，最終導(dǎo)致降低有效基板處理枚數(shù)(是指由于保持力不足導(dǎo)致搬送位置偏移為止搬送基板的數(shù)量)，降低生產(chǎn)效率。
因此，迫卻需要對(duì)真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭加以改進(jìn)，來(lái)提高有效基板處理枚數(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)延長(zhǎng)防滑盤(pán)頭的有效基板處理枚數(shù)，提出改進(jìn)措施。
本發(fā)明的目的是提供一種真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭，其中，該防滑盤(pán)頭的材質(zhì)為氟素彈性體。本發(fā)明的氟素彈性體的真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭在操作時(shí)摩擦小，在高溫下不易裂化，從而可以延緩衰老，可以極大地提高有效基板的處理枚數(shù)。
本發(fā)明的另一目的是提供操作真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭的方法，該方法為在高真空狀態(tài)下，防滑盤(pán)頭以48.2dec/s2(度/秒2)的加速度，再以63.6dec/s(度/秒)的速度，最后以48.2dec/s2(度/秒2)的減速度搬送玻璃基板。使用這種速度的操作方法也可以極大地提高有效基板的處理枚數(shù)。
若使用本發(fā)明的真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭和本發(fā)明的操作真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭的方法更可以極大地提高有效基板的處理枚數(shù)。
本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于本發(fā)明通過(guò)更換防滑盤(pán)頭的材質(zhì)和/或改變真空機(jī)械手的動(dòng)作速度來(lái)有效提高玻璃基板的處理枚數(shù)。


圖1為機(jī)械臂示意圖；圖2為橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭的保持力比較圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例1在真空機(jī)械臂上安裝橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭，橡膠防滑盤(pán)頭的數(shù)量為204個(gè)，氟素彈性體防滑盤(pán)頭的數(shù)量為104個(gè)，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的減速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2dec/s2的減速度將玻璃基板從搬送室處搬送至成膜室處。各種方案下的有效基板處理枚數(shù)如表1所示。
表1 各種方案下的有效基板處理枚數(shù)

結(jié)果表明在真空機(jī)械手動(dòng)作速度為72.3dec/s2、74.2dec/s、72.3dec/s2狀態(tài)下，氟素彈性體的防滑盤(pán)頭比橡膠的防滑盤(pán)頭少使用100個(gè)，而氟素彈性體防滑盤(pán)頭的有效基板處理枚數(shù)比橡膠防滑盤(pán)頭多15000枚；在真空機(jī)械手動(dòng)作速度為48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2狀態(tài)下，氟素彈性體防滑盤(pán)頭的有效基板處理枚數(shù)比橡膠防滑盤(pán)頭的多10000枚。本發(fā)明的真空機(jī)械手的速度越慢，防滑盤(pán)頭的有效基板處理枚數(shù)越多。
實(shí)施例2在真空機(jī)械臂上安裝橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭，但橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭的數(shù)量各為204個(gè)和104個(gè)，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的減速度，以及以48.2dec/s2的加速度、再以63.6dec/s的速度、最后以48.2 dec/s2的減速度將玻璃基板從搬送室處搬送至成膜室處。各種方案下的有效基板處理枚數(shù)如表2所示。
表2 各種方案下的有效基板處理枚數(shù)


結(jié)果表明用橡膠防滑盤(pán)頭，在機(jī)械手速度下降10％的情況下，有效基板處理枚數(shù)增加55000枚；而用氟素彈性體防滑盤(pán)頭，有效基板處理枚數(shù)增加50000枚。
實(shí)施例3在真空機(jī)械臂上安裝橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭，橡膠防滑盤(pán)頭的數(shù)量都為204個(gè)，氟素彈性體防滑盤(pán)頭的數(shù)量為104個(gè)，在真空中以72.3dec/s2的加速度、再以74.2dec/s的速度、最后以72.3dec/s2的減速度將玻璃基板從搬送室處搬送至成膜室處。橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭的保持力(如圖1所示的機(jī)械臂的正面3和側(cè)面4，1為機(jī)械臂，2為基板)如表3及圖2所示。
表3 橡膠防滑盤(pán)頭和氟素彈性體防滑盤(pán)頭的保持力

結(jié)果表明在高真空及高溫的狀態(tài)下，氟素彈性體防滑盤(pán)頭比橡膠防滑盤(pán)頭對(duì)基板有更大的基板保持力和更緩慢的裂化速度。
結(jié)論本發(fā)明的防滑盤(pán)頭的材質(zhì)選用氟素彈性體，且真空機(jī)械手的速度設(shè)定為48.2dec/s2、63.6dec/s、48.2dec/s2。
權(quán)利要求
1.一種真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭，其特征在于該防滑盤(pán)頭的材質(zhì)為氟素彈性體。
2.一種權(quán)利要求1所述的真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭的操作方法，該方法為在高真空狀態(tài)下，防滑盤(pán)頭以48.2度/秒2的加速度，再以63.6度/秒的速度，最后以48.2度/秒2的減速度搬送玻璃基板。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭，其中該防滑盤(pán)頭的材質(zhì)為氟素彈性體。本發(fā)明還公開(kāi)了一種真空機(jī)械手用防滑盤(pán)頭的操作方法，該方法為在高真空狀態(tài)下，防滑盤(pán)頭以48.2度/秒
文檔編號(hào)B25J15/06GK1994691SQ200510112270
公開(kāi)日2007年7月11日 申請(qǐng)日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日
發(fā)明者曹陽(yáng) 申請(qǐng)人:上海廣電Nec液晶顯示器有限公司