專利名稱：拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及拆裝設(shè)備的方法，特別涉及拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法。
背景技術(shù)：
在薄膜的物理化學(xué)淀積、刻蝕和其他半導(dǎo)體處理工藝時，都需要將硅片放置在潔凈的真空腔室內(nèi)進(jìn)行微電子工藝。而要得到一個潔凈的腔室，在通入工藝氣體之前，通常使用抽真空設(shè)備(如擺閥、分子泵等)將腔室抽到高真空狀態(tài)?，F(xiàn)行的某些半導(dǎo)體處理設(shè)備(PM)采用如圖1和圖2所示的結(jié)構(gòu)，腔室由小車支架支撐，抽真空設(shè)備安裝固定在腔室上，周圍緊密的分布電氣控制盒、電源、水電氣管路等。硅片通過傳送平臺(TM)的機械手傳送到PM。通常為提高效率，一個TM上發(fā)散狀的安裝數(shù)個PM如圖3所示。因此，各PM間的空間將很狹小，當(dāng)維護(hù)抽真空設(shè)備(通常重量在30kg以上)時，拆卸、安裝將極為困難。
如圖1和圖2所示結(jié)構(gòu)，拆裝時需在分子泵下方放置輔助工具支撐，斷開抽真空設(shè)備與腔體的緊固聯(lián)接，然后從側(cè)面取出抽真空設(shè)備。
由于抽真空設(shè)備下方要預(yù)留放置輔助支撐工具的空間，造成空間的浪費，且拆裝過程都在PM側(cè)面極小的空間里完成，很不方便。

發(fā)明內(nèi)容
要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的提供一種不用預(yù)留放置輔助支撐工具的空間的拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法。
技術(shù)方案本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下
一種拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，包括在支架上梁安裝滑動支撐部件；在抽氣腔上安裝滑動部件；在拆裝小車上安裝與設(shè)備支架上梁相同高度的橫梁，并在橫梁上固定與設(shè)備上相同型號的滑動支撐部件；對接拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件；用輔助固定件固定拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件；斷開抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接；用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從設(shè)備的滑動支撐部件滑動到拆裝小車的滑動支撐部件。
在拆裝小車上的抽氣腔、擺閥、分子泵就可能很方便的進(jìn)行維護(hù)和修理了，完畢后可按下面的方法方便地安裝回去。
用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從拆裝小車的滑動支撐部件滑動到設(shè)備的滑動支撐部件上；固定抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接；分開拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件。
其中，所述滑動支撐部件可以采用直線滑軌，也可利用別的滑動、滾動形式的零部件如直線軸承、滾輪、滾珠等直線運動零部件。所述滑動部件可以采用滑動塊，也可以配合滑動支撐部件使用滾輪或滾珠等零部件。
其中，所述橫梁為兩根，所述直線導(dǎo)軌為兩根，拆裝小車的直線滑軌安裝在橫梁內(nèi)側(cè)左右兩邊，設(shè)備上的直線滑軌安裝在支架上梁內(nèi)左右兩側(cè)。
有益效果本發(fā)明提供的拆裝方法結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)省設(shè)備及工作空間且拆裝簡單方便。


圖1為現(xiàn)行半導(dǎo)體處理設(shè)備(PM)結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖；圖2為現(xiàn)行半導(dǎo)體處理設(shè)備(PM)結(jié)構(gòu)的后視圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中傳送平臺(TM)與半導(dǎo)體處理設(shè)備(PM)布置示意圖；圖4本發(fā)明一個實施例的拆裝結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖；圖5本發(fā)明一個實施例的拆裝結(jié)構(gòu)的后視圖。
圖中1、拆裝小車；2、支架；3、直線滑軌。
具體實施例方式
以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由各項權(quán)利要求限定。
一種拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，它可方便的使抽真空設(shè)備從半導(dǎo)體處理設(shè)備中取出。如圖3中后視圖所示，在支架2上梁的內(nèi)側(cè)的左右兩邊分別裝一個直線滑軌3，直線滑軌3的導(dǎo)軌固定在支架上，直線滑軌3的滑塊安裝在抽氣腔上。電氣控制單元分布在抽真空設(shè)備的下方和側(cè)方。
拆卸時，斷開抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接，此時，將拆裝小車1與設(shè)備對接，拆裝小車1上裝有兩根與設(shè)備支架上梁相同高度、跨度的橫梁，橫梁內(nèi)側(cè)左右兩邊分別固定與設(shè)備上的直線滑軌3同一型號的直線滑軌；對接并保證拆裝小車的直線滑軌和設(shè)備上的直線滑軌3完全對齊，并用輔助固定件固定?；瑝K帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從設(shè)備的直線滑軌3到拆裝小車1的直線滑軌上，然后就可方便地維修。
安裝時，滑塊帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從拆裝小車1的直線滑軌到設(shè)備的直線滑軌3上，固定抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接，斷開拆裝小車的直線滑軌和設(shè)備上的直線滑軌3，拆裝小車即可移開。
權(quán)利要求
1.一種拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，其特征在于，包括如下步驟A.在設(shè)備支架(2)上梁安裝滑動支撐部件(3)；B.在抽氣腔上安裝滑動部件；C.在拆裝小車(1)上安裝與設(shè)備支架(2)上梁相同高度的橫梁，并在橫梁上固定與設(shè)備上相同型號的滑動支撐部件；D.對接拆裝小車(1)上的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件(3)；E.斷開抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接；F.用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從設(shè)備的滑動支撐部件滑動到拆裝小車(1)的滑動支撐部件。
2.如權(quán)利要求1所述的拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，其特征在于，還包括G.用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從拆裝小車(1)的滑動支撐部件滑動到設(shè)備的滑動支撐部件(3)上的步驟；H.固定抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接的步驟；I.分開拆裝小車(1)的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件(3)的步驟。
3.如權(quán)利要求1或2所述的拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，其特征在于，所述滑動支撐部件(3)是直線滑軌、直線軸承、滾輪或滾珠，所述滑動部件是滑動塊、滾輪或滾珠。
4.如權(quán)利要求3所述的拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，其特征在于，所述橫梁為兩根，所述直線導(dǎo)軌為兩根，其中拆裝小車的直線滑軌安裝在橫梁內(nèi)側(cè)左右兩邊，設(shè)備上的直線滑軌安裝在支架上梁內(nèi)左右兩側(cè)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，其特征在于，所述步驟D還包括輔助固定件固定拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件(3)步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種拆裝半導(dǎo)體抽真空設(shè)備的方法，包括在設(shè)備支架上梁安裝滑動支撐部件；在抽氣腔上安裝滑動部件；在拆裝小車上安裝與設(shè)備支架上梁相同高度的橫梁，并在橫梁上固定與設(shè)備上相同型號的滑動支撐部件；對接拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件；斷開抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接；用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從設(shè)備的滑動支撐部件滑動到拆裝小車的滑動支撐部件；用滑動部件帶動抽氣腔、擺閥、分子泵從拆裝小車的滑動支撐部件滑動到設(shè)備的滑動支撐部件上；固定抽氣腔和反應(yīng)腔的緊固聯(lián)接；分開拆裝小車的滑動支撐部件和設(shè)備上的滑動支撐部件。本發(fā)明提供的拆裝方法結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)省設(shè)備及工作空間且拆裝簡單方便。
文檔編號B25B27/14GK1935467SQ20051012639
公開日2007年3月28日 申請日期2005年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月8日
發(fā)明者胡謙 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司