專利名稱：晶粒承載結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，尤指一種提供真空吸附功能，以進行晶粒探測作業(yè)的晶粒承載結(jié)構(gòu)，屬晶粒探測裝置。
<二>背景技術(shù)一般的晶粒探測作業(yè)，主要是將晶粒承載膜(一般俗稱藍膜或白膜)放置于環(huán)形的夾座內(nèi)，然后進行晶粒探測作業(yè)。如圖6所示，是習知的晶粒探測結(jié)構(gòu)示意圖，其中，該環(huán)形夾座50是一呈中空的環(huán)座，且該夾座50的頂而分別延伸出數(shù)個呈間隔設(shè)置的凸板片51，該凸板片51的內(nèi)周緣凸設(shè)出一擋肋52，而該夾座50的其中一凸板片51裝設(shè)一夾扣53，該夾扣53內(nèi)裝設(shè)一彈簧54，使得晶粒承載膜(圖中未示)裝設(shè)于夾座50的擋肋52頂面后，利用該夾扣53以手動壓扣方式夾設(shè)，以令晶粒承載膜定位于該夾座50中。
雖然，這樣的結(jié)構(gòu)可以對晶粒承載膜進行探測，但是，當晶粒承載膜更換時，操作者需以手動方式按夾扣53、取出晶粒承載膜、放入晶粒承載膜、放開夾扣53，不僅造成操作上的麻煩不便，增加人工作業(yè)處理時間，且無法做自動化的大量作業(yè)處理，同時，該等定位效果不佳，更影響晶粒承載膜的探測品質(zhì)，極不具實用性。
<三>發(fā)明內(nèi)容本實用新型的主要目的是提供一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，它不僅操作方式簡單方便，且亦可確實改善人工操作的不便，有效地提升整體結(jié)構(gòu)的作業(yè)效率。
本實用新型一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，其包括一第一板架，該第一板架底面固設(shè)一第一滑軌，且該第一板架頂面中央固設(shè)一中央吸盤，另該第一板架側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第一板架呈X軸向推移的第一馬達；一第二板架，該第二板架中央具有一鏤空狀的容置空間，使該中央吸盤位于該容置空間內(nèi)，該第二板架底面與該第一板架頂面之間裝設(shè)一第二滑軌，而該第二板架側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第二板架呈Y軸向推移的第二馬達；其特征在于該第二板架容置空間內(nèi)設(shè)一晶粒承載結(jié)構(gòu)，該晶粒承載結(jié)構(gòu)是由一概呈中空環(huán)狀的固定環(huán)座及二相對狀的中空左、右環(huán)形吸盤所組成；該固定環(huán)座外周緣固設(shè)一真空分流塊，且該固定環(huán)座頂面分別相對固設(shè)該左、右環(huán)形吸盤，該左、右環(huán)形吸盤一側(cè)端分別設(shè)置一真空管，各真空管端部分別與該真空分流塊連接，而該左、右環(huán)形吸盤內(nèi)側(cè)面分別向上延伸出一肋片，各肋片分別具有一槽道，各槽道分別與各真空管連通。
其可進一步包括一角度調(diào)整結(jié)構(gòu)，該角度調(diào)整結(jié)構(gòu)是由一定位座、一調(diào)整軸、一調(diào)整鈕、一轉(zhuǎn)輪、一皮帶、二惰輪、二固定塊所組成；該定位座的內(nèi)部裝設(shè)該調(diào)整軸，該調(diào)整軸的底面套設(shè)該轉(zhuǎn)輪，且該調(diào)整軸的頂面固設(shè)該調(diào)整鈕，而該皮帶穿繞該二相對的惰輪及該轉(zhuǎn)輪后，并以該皮帶的兩自由端設(shè)置于該固定環(huán)座的外緣設(shè)定位置，并分別以該固定塊將該皮帶的兩自由端固設(shè)。
其中，該固定環(huán)座的外周緣設(shè)有一環(huán)凹溝，該環(huán)凹溝是供該皮帶容置。
本實用新型一種晶粒探測結(jié)構(gòu)，其優(yōu)點是不僅操作方式簡單方便，且可確實改善人工操作的不便，有效地提升整體的作業(yè)效率。
<四>
圖1本實用新型的立體組合外觀示意圖。
圖2本實用新型的晶粒承載結(jié)構(gòu)立體分解示意圖。
圖3本實用新型的晶粒承載結(jié)構(gòu)局部立體分解示意圖。
圖4本實用新型的晶粒承載結(jié)構(gòu)立體組合示意圖。
圖5本實用新型的實施例操作示意圖。
圖6習知結(jié)構(gòu)立體外觀示意圖。
本實用新型結(jié)構(gòu)圖號說明10第一板架11第一滑軌12中央吸盤13第一馬達20第二板架21容置空間22第二滑軌23第二馬達30晶粒承載結(jié)構(gòu)31固定環(huán)座311環(huán)凹溝 32左環(huán)形吸盤321、331真空管322、332肋片323、333槽道 33右環(huán)形吸盤 34真空分流塊40角度調(diào)整結(jié)構(gòu)41定位座 42調(diào)整軸
43轉(zhuǎn)輪44調(diào)整鈕45皮帶46惰輪47固定塊A晶粒圖片習用結(jié)構(gòu)圖號說明50夾座51凸板片52擋肋53夾扣54彈簧<五>具體實施方式
配合參閱圖1至圖5所示，本實用新型一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，其包括一第一板架10，第一板架10的底面固設(shè)一第一滑軌11，該第一滑軌11固設(shè)于一機具上(圖中未示)，而該第一板架10的頂面中央位置固設(shè)一中央吸盤12，且該第一板架10的側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第一板架10呈X軸向推移的第一馬達13(如圖1所示)；一第二板架20，該第二板架20的中央具有一鏤空狀的容置空間21，使該中央吸盤12位于該容置空間21內(nèi)，該第二板架20的底面與該第一板架10的頂面之間裝設(shè)一第二滑軌22，而該第二板架20的側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第二板架20呈Y軸向推移的第二馬達23(如圖1所示)；值得注意的是，該第二板架20的容置空間21內(nèi)裝設(shè)一晶粒承載結(jié)構(gòu)30，該晶粒承載結(jié)構(gòu)30是由一概呈中空環(huán)狀的固定環(huán)座31及二相對狀的中空左、右環(huán)形吸盤32、33所組成；該固定環(huán)座31的外周緣設(shè)定位置固設(shè)一真空分流塊34，且該固定環(huán)座31的頂面分別相對固設(shè)該左、右環(huán)形吸盤32、33，該左、右環(huán)形吸盤32、33一側(cè)端分別設(shè)置一真空管321、331，各真空管321、331的端部分別與該真空分流塊34連接，而該左、右環(huán)形吸盤32、33的內(nèi)側(cè)面分別向上延伸出一肋片322、332，各肋片322、332分別具有一槽道323、333，各槽道323、333分別與各真空管321、331連通(如圖2及圖5所示)。
另外，其可進一步包括一角度調(diào)整結(jié)構(gòu)40，該角度調(diào)整結(jié)構(gòu)40是由一定位座41、一調(diào)整軸42、一轉(zhuǎn)輪43、一調(diào)整鈕44、一皮帶45、二惰輪46、二固定塊47所組成(如圖2所示)；該定位座41的內(nèi)部裝設(shè)該調(diào)整軸42，該調(diào)整軸42的底面套設(shè)該轉(zhuǎn)輪43，且該調(diào)整軸42的頂面固設(shè)該調(diào)整鈕44，而該皮帶45穿繞該二相對的惰輪46及該轉(zhuǎn)輪43后，并以該皮帶45的兩自由端設(shè)置于該固定環(huán)座31的外周緣設(shè)定位置，并分別以該固定塊47將該皮帶45的兩自由端固設(shè)(如圖2及圖5所示)。
其中，該固定環(huán)座31的外周緣設(shè)有一環(huán)凹溝311，該環(huán)凹溝311是供該皮帶45容置(如圖2所示)。
藉由以上的組合構(gòu)成，配合參閱圖1至圖5所示，當操作者欲進行晶粒探測作業(yè)時，直接將晶粒圓片A放置于晶粒承載結(jié)構(gòu)30的左、右環(huán)形吸盤32、33的頂面后，藉由左、右環(huán)形吸盤32、33內(nèi)的空氣被抽吸，并使晶粒圓片A得以產(chǎn)生真空吸附固定的效果，如此即可進行晶粒探測作業(yè)，如此之操作方式，不僅整體的操作方式簡單方便，且亦可確實改善人工操作的不便，有效地提升整體的作業(yè)效率，深具實用性。
而且，由于本實用新型另外裝設(shè)一角度調(diào)整結(jié)構(gòu)40，操作者得以直接旋動調(diào)整鈕44，使之可連動調(diào)整軸42，而調(diào)整軸42可同步連動轉(zhuǎn)輪43，使之得以調(diào)整固定環(huán)座31至適當?shù)慕嵌任恢?，如此一來，便可將晶粒承載結(jié)構(gòu)30調(diào)整至大略位于中央吸盤12的中心位置，整體的角度調(diào)整方式極為簡單方便。
權(quán)利要求1.一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，它包括有一第一板架，該第一板架底面固設(shè)一第一滑軌，且該第一板架頂面中央固設(shè)一中央吸盤，另該第一板架側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第一板架呈X軸向推移的第一馬達；一第二板架，該第二板架中央具有一鏤空狀的容置空間，使該中央吸盤位于該容置空間內(nèi)，該第二板架底面與該第一板架頂面之間裝設(shè)一第二滑軌，而該第二板架側(cè)面設(shè)定位置裝設(shè)一得以將該第二板架呈Y軸向推移的第二馬達；其特征在于該第二板架容置空間內(nèi)設(shè)一晶粒承載結(jié)構(gòu)，該晶粒承載結(jié)構(gòu)是由一呈中空環(huán)狀的固定環(huán)座及二相對狀的中空左、右環(huán)形吸盤所組成；該固定環(huán)座外周緣固設(shè)一真空分流塊，且該固定環(huán)座頂面分別相對固設(shè)該左、右環(huán)形吸盤，該左、右環(huán)形吸盤一側(cè)端分別設(shè)置一真空管，各真空管端部分別與該真空分流塊連接，而該左、右環(huán)形吸盤內(nèi)側(cè)面分別向上延伸出一肋片，各肋片分別具有一槽道，各槽道分別與各真空管連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，其特征在于它可進一步包括一角度調(diào)整結(jié)構(gòu)，該角度調(diào)整結(jié)構(gòu)是由一定位座、一調(diào)整軸、一調(diào)整鈕、一轉(zhuǎn)輪、一皮帶、二惰輪、二固定塊所組成；該定位座的內(nèi)部裝設(shè)該調(diào)整軸，該調(diào)整軸的底面套設(shè)該轉(zhuǎn)輪，且該調(diào)整軸的頂面固設(shè)該調(diào)整鈕，而該皮帶穿繞該二相對的惰輪及該轉(zhuǎn)輪后，并以該皮帶的兩自由端設(shè)置于該固定環(huán)座的外緣設(shè)定位置，并分別以該固定塊將該皮帶的兩自由端固設(shè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，其特征在于該固定環(huán)座的外周緣設(shè)有一供該皮帶容置的環(huán)凹溝。
專利摘要本實用新型是有關(guān)于一種晶粒承載結(jié)構(gòu)，其由一第一板架、一第二板架及一晶粒承載結(jié)構(gòu)所組成；第一板架頂面固設(shè)一中央吸盤，而第二板架中央具有一鏤空狀的容置空間，使該中央吸盤位于容置空間內(nèi)，另外晶粒承載結(jié)構(gòu)是裝設(shè)于第二板架容置空間內(nèi)，其是由一固定環(huán)座及二相對狀的中空左、右環(huán)形吸盤所組成；固定環(huán)座外周緣固設(shè)一真空分流塊，且該固定環(huán)座頂面分別相對固設(shè)該左、右環(huán)形吸盤，左、右環(huán)形吸盤一側(cè)端分別設(shè)置一真空管，各真空管端部分別與該真空分流塊連接，而左、右環(huán)形吸盤內(nèi)側(cè)面分別向上延伸出一肋片，各肋片分別具有一槽道，各槽道分別與各真空管連通；藉此，不僅操作方式簡單方便，且可確實改善人工操作的不便，有效地提升整體的作業(yè)效率。
文檔編號B25B11/00GK2784136SQ200520011008
公開日2006年5月31日 申請日期2005年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者盧彥豪 申請人:盧彥豪