專(zhuān)利名稱(chēng)：襯底傳送裝置的制作方法
襯底傳送裝置背景1. 領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種襯底傳送裝置(substrate transport apparatus),更具 體地，涉及一種可配置且可互換的襯底傳送裝置。2. 相關(guān)開(kāi)發(fā)的簡(jiǎn)述 電子產(chǎn)品和電子器件中的進(jìn)步受到消費(fèi)需求的兩個(gè)主要刺激比以往更精致和更小的電子產(chǎn)品/電子器件；比以往更低的價(jià)格。為了追 求電子產(chǎn)品的進(jìn)步，人們希望在制造業(yè)中(無(wú)論是設(shè)備、工具還是工藝) 也能夠獲得與電子產(chǎn)品同樣多的進(jìn)步。幾乎直接相應(yīng)于這兩個(gè)消費(fèi)需 求，電子器件制造中的自動(dòng)化的引入和不斷展開(kāi)的應(yīng)用已經(jīng)取得了雙 重的收益。電子產(chǎn)品的自動(dòng)制造已經(jīng)具有較高的精確度并減少了制造 成本。自動(dòng)制造精度的提高可以增加并提高電子元器件的微型化程 度。并且，雖然自動(dòng)化的制造系統(tǒng)具有比非自動(dòng)的制造系統(tǒng)更高的一 次性成本，但是其基本上可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)從而最終以此種辦法帶來(lái)該器 件更低的制造成本。此外，自動(dòng)化的制造器件比起其非自動(dòng)化的對(duì)手 在精密度/準(zhǔn)確度上的改進(jìn)使得廢品和制造缺陷在商業(yè)上顯著得減少， 從而又使被制造器件的生產(chǎn)成本變得更低。已經(jīng)很好地使用自動(dòng)化的 電子器件制造的一個(gè)領(lǐng)域是傳送裝置、器件，也稱(chēng)作機(jī)器人，其在不 同的加工站之間處理并傳送扁平面板(例如晶片、絲網(wǎng)、薄膜、平板顯 示屏等)。公告于1988年11月29日，序號(hào)為No.4,787,813的美國(guó)專(zhuān) 利申請(qǐng)中介紹了用在清潔的空間環(huán)境中的常規(guī)機(jī)器人的一個(gè)示例。其 中所公開(kāi)的機(jī)器人具有帶支撐組件的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。支撐組件可轉(zhuǎn)動(dòng)地支 撐機(jī)器人的第一臂并且使其抬升和降低。用于使支撐組件轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝在基座上。用于轉(zhuǎn)動(dòng)第二臂和端部受動(dòng)器(effector)的驅(qū)動(dòng)結(jié) 構(gòu)安裝在支撐組件的上端。公告于2003年10月21曰，序號(hào)為 No.6,634,851的美國(guó)的專(zhuān)利申請(qǐng)介紹了具有基座和支柱的常規(guī)工件處 理機(jī)器人的另 一個(gè)示例。該常規(guī)機(jī)器人的基座具有線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)以及 位于該線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)上的柱桿。肩部驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使柱桿轉(zhuǎn)動(dòng)而最接近的 臂鏈節(jié)(link)安裝到柱桿上。肘部驅(qū)動(dòng)安裝到近側(cè)的鏈節(jié)上，用于相對(duì) 于該近側(cè)鏈節(jié)而轉(zhuǎn)動(dòng)遠(yuǎn)側(cè)鏈節(jié)。常規(guī)機(jī)器人具有受控的端部受動(dòng)器。 如同可以認(rèn)識(shí)到的那樣，上述常規(guī)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)自由度是有限的—— 因?yàn)槠淙狈︱?qū)動(dòng)系統(tǒng)或者獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)軸線，以用于獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)機(jī)器人 端部受動(dòng)器。同樣地，該常規(guī)機(jī)器人也不容易配置以提供端部受動(dòng)器 可獨(dú)立移動(dòng)的機(jī)器人結(jié)構(gòu)。上述常規(guī)機(jī)器人是通常的常規(guī)機(jī)器人的典 型示例。每個(gè)機(jī)器人都專(zhuān)門(mén)地為特殊的裝置而配置。此外， 一旦設(shè)定 機(jī)器人的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)就基本固定下來(lái)并且在主要的方面是不可變動(dòng) 的。實(shí)際上，如果不在將其基本拆除并再重新裝配，是無(wú)法再次設(shè)置 常規(guī)機(jī)器人的。這限制了常規(guī)機(jī)器人的可互換性及互操作性，并且導(dǎo) 致FAB操作員具有很多大體相似但不可互換的機(jī)器人。舉例來(lái)說(shuō)， FAB操作員可能具有常規(guī)的3軸線、4軸線和5軸線機(jī)器人(每一個(gè)都 用于適合3軸線、4軸線和5軸線機(jī)器人的相應(yīng)處理站或者處理工具)。 盡管結(jié)構(gòu)上大體相似——例如常規(guī)機(jī)器人全為SCARA(Selectively Compliance Articulated Robot Arm,選擇性柔順鉸接式機(jī)器人臂) 型一一常規(guī)的3軸線、4軸線和5軸線機(jī)器人是不可互換的，并且對(duì) 常規(guī)機(jī)器人進(jìn)行重新設(shè)置(例如將3軸線常規(guī)機(jī)器人設(shè)置為5軸線，反 之亦然)將牽涉到徹底地將常規(guī)機(jī)器人拆除并且重新裝配。因此假如將 常規(guī)機(jī)器人(例如3軸線)從線上取下來(lái)(例如為了對(duì)其進(jìn)行維護(hù))，并且 具有帶有不同結(jié)構(gòu)的備用的常規(guī)機(jī)器人(例如4軸線)，該備用的帶有不同結(jié)構(gòu)的常規(guī)機(jī)器人與拆下線的機(jī)器人是不可互換的。并且該備用 的機(jī)器人也不能重新設(shè)置而可以與下線的機(jī)器人進(jìn)行互換。相應(yīng)地， 如果是常規(guī)機(jī)器人，在處理站的由離線的機(jī)器人所進(jìn)行的生產(chǎn)會(huì)一直停止直到離線的機(jī)器人可以重新工作或FAB操作員獲得具有相同結(jié)構(gòu)的另一機(jī)器人。這是極其不受歡迎的。常規(guī)機(jī)器人的另 一個(gè)問(wèn)題在于(如同從上述的范例中認(rèn)識(shí)到的那 樣)機(jī)器人運(yùn)動(dòng)的定義(例如機(jī)器人上所希望的點(diǎn)/位置的真實(shí)的位置和 由機(jī)器人控制器命令的相同點(diǎn)的期望位置之間的差另'J)是相當(dāng)受限的。 盡管這種受限的運(yùn)動(dòng)定義可能源于若干因素， 一個(gè)很大的原因在于未 定義的機(jī)器人動(dòng)作(未被機(jī)器人控制器感應(yīng)和登記的運(yùn)動(dòng))。未定義機(jī) 器人動(dòng)作的一個(gè)原因是機(jī)器人(也即其結(jié)構(gòu)或者驅(qū)動(dòng)系統(tǒng))和(由于動(dòng) 態(tài)的負(fù)荷)支撐著機(jī)器人的基部的易變性。如下文所述，本發(fā)明的示例 性實(shí)施例克服了常規(guī)工件制造系統(tǒng)的這些和其它的問(wèn)題。示例性實(shí)施例概要根據(jù)示例性實(shí)施例，提供了一種襯底傳送裝置。該村底傳送裝置包括框架(frame)、驅(qū)動(dòng)部分(drive section)和鉸接式臂(articulated arm)。該驅(qū)動(dòng)部分連接到框架上。該驅(qū)動(dòng)部分具有至少一個(gè)電動(dòng)枳4莫塊，其 從若干不同的可互換的電動(dòng)機(jī)才莫塊中選擇，用于放置到驅(qū)動(dòng)部分中。 每一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊都具有不同的預(yù)定特征。鉸接式臂具有鉸接關(guān)節(jié) (joints)。該臂具有可選的結(jié)構(gòu)，其可從每個(gè)都具有預(yù)定構(gòu)造特征的一 些不同的臂結(jié)構(gòu)中選擇。對(duì)臂結(jié)構(gòu)的選擇通過(guò)對(duì)用于放置在驅(qū)動(dòng)部分 中的至少 一個(gè)電動(dòng)才;i^莫塊的選擇而實(shí)現(xiàn)。根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施例，提供了一種襯底傳送裝置。該傳送裝 置包括框架、驅(qū)動(dòng)部分以及鉸接式臂。該驅(qū)動(dòng)部分連接到框架上。鉸 接式臂連接到驅(qū)動(dòng)部分上，以用于臂的鉸接。該臂具有上臂部分、前 臂鏈節(jié)以及至少一個(gè)端部受動(dòng)器鏈節(jié)。前臂鏈節(jié)樞軸式地結(jié)合到上臂 鏈節(jié)上而端部受動(dòng)器樞軸式地結(jié)合到前臂鏈節(jié)上。驅(qū)動(dòng)部分具有笫一 驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段和連接到第一驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段上的電動(dòng)枳4莫塊。該電動(dòng)機(jī) 才莫塊具有至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)，其用于獨(dú)立地使前臂相對(duì)于上臂繞軸轉(zhuǎn)動(dòng) 或者使端部受動(dòng)器相對(duì)于前臂繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。從每個(gè)都具有不同預(yù)定特征的不同的可互換的電動(dòng)機(jī)模塊中可以選擇用于連接到笫 一驅(qū)動(dòng)部分 區(qū)段上的電動(dòng)機(jī)模塊。附圖簡(jiǎn)介參考附圖，本發(fā)明前述各方面及其它的特征將在下文得到闡明，其中

圖1顯示了結(jié)合了本發(fā)明的特征(根據(jù)一個(gè)示例性實(shí)施例)的村底處理裝置以及襯底傳送容器C的示意圖；圖2顯示了圖1所示的處理裝置的襯底傳送裝置的透視圖；圖2A顯示了圖2所示的村底傳送裝置的另一個(gè)透視圖，其中為了清楚顯示而移除了一些部分；圖3顯示了襯底傳送裝置的平面圖；圖3A顯示了襯底傳送裝置的放大了的局部平面圖；圖4A-4B分別顯示了襯底傳送裝置的分解透視圖(顯示了傳送裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)部分)；圖5A-5B分別顯示了傳送裝置支撐結(jié)構(gòu)體(帶有位于其中的、傳送裝置驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的線性驅(qū)動(dòng)支架)的透視圖和傳送裝置支撐結(jié)構(gòu)體的另 一個(gè)透視圖(移除了驅(qū)動(dòng)支架)；圖5C顯示了圖5A所示支撐結(jié)構(gòu)體的正視截面圖；圖5D顯示了支撐結(jié)構(gòu)體的以及圖5A所示的一部分線性驅(qū)動(dòng)支架的放大了的局部截面圖；圖6A顯示了圖5A所示支撐結(jié)構(gòu)體的俯視平面圖，顯示了支撐結(jié)構(gòu)體的安裝系統(tǒng)；圖6B顯示了圖5A所示支撐結(jié)構(gòu)體的放大的局部透視圖；圖7顯示了上臂以及圖2所示襯底傳送裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的一部分的透一見(jiàn)圖；圖7A顯示了圖7所示上臂的截面圖；圖7B-7C分別顯示了圖7所示上臂的俯視圖以及圖7所示上臂的 仰視圖；圖8顯示了圖7所示上臂部分和一部分驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的俯視平面圖； 圖9顯示了圖2所示襯底傳送裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)模塊的透視圖； 圖IO顯示了圖2所示襯底傳送裝置的前臂的透視圖； 圖IOA顯示了圖IO所示前臂的俯視平面圖； 圖ll顯示了圖IO所示前臂的截面圖；圖IIA顯示了位于前臂肘關(guān)節(jié)處的軸桿系統(tǒng)的局部截面圖；以及 圖IIB顯示了位于前臂腕關(guān)節(jié)處的軸桿系統(tǒng)的局部截面圖。逸逸.實(shí)逸.創(chuàng).逆逸參考圖1，其顯示了結(jié)合了本發(fā)明的特征的襯底處理裝置10的透視圖。盡管將參考附圖中所顯示的實(shí)施例來(lái)描述本發(fā)明，必須認(rèn)識(shí)到， 本發(fā)明可以在許多供選擇的形式的實(shí)施例中具體化。另外，任何合適 的尺寸、形狀或者元件或材料的類(lèi)型都是可以采用的。在圖1中所示的實(shí)施例中，顯示了裝置IO(只是出于舉例目的)， 其具有一般的襯底批處理工具結(jié)構(gòu)。在可選實(shí)施例中，該襯底處理裝 置可以具有任何其它合適的結(jié)構(gòu)，其作為本發(fā)明的特征將在下文得到 詳盡的描述，這些特征同樣適用于任何村底處理工具結(jié)構(gòu)，包括用于 個(gè)別襯底處理的工具、儲(chǔ)料器、分類(lèi)機(jī)、度量工具或者其它所希望的 工具。裝置10也許能夠裝卸并處理任一所需類(lèi)型的扁平面板或者基 板(例如200mm或300mm的半導(dǎo)體晶片)、半導(dǎo)體包裝襯底(例如高密 度互聯(lián)部件)、半導(dǎo)體制造工序成像板(例如纟務(wù)膜或絲網(wǎng))和用于平板顯 示器的襯底。裝置10 —般可以包括前部部分12和后部部分14。前部 部分12(這里用術(shù)語(yǔ)"前"以方便標(biāo)識(shí)出示例性參考的框架，并且在可 選實(shí)施例中，裝置的前部可以建立在裝置的任一側(cè)上)具有系統(tǒng)(如下 文所詳盡描述的那樣)，該系統(tǒng)提供允許襯底從FAB進(jìn)入到裝置10內(nèi) 的^^口 。前部部分12 —^:也具有外殼16和自動(dòng)化部件，該部件位于外殼中，處理后部部分14和與外部具有接口的前部部分之間的村底。后部部分14連接到前部部分的外殼16上。裝置的后部部分14可以具有受控大氣(例如真空、惰性氣體)，并且一般包括用于處理襯底的 處理系統(tǒng)。例如，后部部分一般可以包括帶襯底傳送裝置的中央傳輸 室以及用于在裝置內(nèi)對(duì)襯底執(zhí)行所希望的制造加工(例如蝕刻、材料沉 淀、清洗、烘烤、檢查等)的外圍處理模塊。如上文所指出的那樣，在 可選實(shí)施例中，裝置的后部部分可以構(gòu)造成分類(lèi)機(jī)、儲(chǔ)料機(jī)或者其它 所需要的加工或處理工具以對(duì)襯底進(jìn)行處理。在制造中，可以將襯底傳送到容器L的處理裝置10中。容器L可以設(shè)置在前部部分接口的 鄰近處上或鄰近處中。利用前部部分中的自動(dòng)化元件，可將襯底/人容 器通過(guò)接口傳送到前部部分12中。接著可以將襯底通過(guò)負(fù)載鎖 (1oadlock)14L傳送到大氣受控的后部部分以在一個(gè)或多個(gè)處理才莫塊中 進(jìn)行處理。接著可以將處理過(guò)的襯底以基本相反的方式返回到前部部 分12,然后送到用于將其運(yùn)走的傳送容器F中。前部部分12(或者可以稱(chēng)為環(huán)境前端模塊或EFEM)可具有外殼 (housing)或外罩(casing),該外殼或外罩限定了受保護(hù)的環(huán)境或微環(huán) 境，在該環(huán)境中，該襯底可以^皮接近并處理，且在FAB內(nèi)傳送村底的 傳送容器T和在后部處理部分14中提供通往受控環(huán)境的入口的裝載 鎖14L之間，其潛在的污染是最小的。負(fù)荷端口或負(fù)荷端口模塊24(有 兩個(gè)顯示在圖1中以作為示例，但是可以使用更多或更少的模塊)位于 前部部分的一側(cè)或多側(cè)上，提供位于前部部分和FAB間的接口。負(fù)荷 端口才莫塊可以具有可關(guān)閉的端口 300，其形成了在EFEM內(nèi)部和外部 之間的可關(guān)閉的接口。如圖1所示，負(fù)荷端口模塊可以具有用于襯底 傳送容器C的支撐區(qū)域。也有可能在支撐區(qū)域下方提供第二支撐區(qū)域， 其中傳送容器可以暫時(shí)^皮緩沖。傳送容器支撐區(qū)域可以允許支撐其上 的傳送容器C自由移動(dòng)到最終的或者停駐的位置。如同上文所指出的那樣，裝置10的前部部分可以具有自動(dòng)化部 件以實(shí)現(xiàn)在傳送容器C(其與裝置具有接口)與位于裝置的前部部分或后部部分中的不同的處理站之間的工件傳送?，F(xiàn)在再參考圖2,裝置10可以在前部部分12中具有工件或者村底傳送裝置20，并且其可及 范圍足夠?qū)⒁r底拾取/放置到容器C和前部部分12及后部部分14內(nèi)的 任何所希望的站中。例如，傳送裝置20可以通過(guò)可關(guān)閉的開(kāi)口 300 延伸以拾取/放置位于(一個(gè)或多個(gè))容器T內(nèi)部的襯底。傳送裝置20 也可以延伸以拾取"丈置位于裝載鎖14L內(nèi)的襯底。因此，傳送裝置 20可以從容器中取出襯底并傳送襯底以將其放置在裝載鎖14L內(nèi)，反 之亦然。傳送裝置20—般具有支撐結(jié)構(gòu)體或者說(shuō)基座22、可移動(dòng)的 臂24和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26連接到支撐結(jié)構(gòu)體22上而可移動(dòng) 的臂24可操作地連接到驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26上，這使得驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以移動(dòng)該 臂。支撐結(jié)構(gòu)體26將傳送裝置20連接到裝置10的前部部分12上。 裝置10的前部部分12可以具有橫移器件(traverser)(未顯示)，其帶有 可以相對(duì)于前部部分而橫向地穿過(guò)的載架(carriage)——沿圖1箭頭X 指向的方向。在這種情況下，可以把支撐結(jié)構(gòu)體22連接到橫移器件 的橫的載架上。備選地，前部部分可以不具備橫移器件，其中支撐結(jié) 構(gòu)體可以連接到前部部分的結(jié)構(gòu)體上。傳送裝置支撐結(jié)構(gòu)體可以具有 剛性的脊?fàn)钬?fù)荷軸承部件。支撐結(jié)構(gòu)體可以具有用于安裝到前部部分 上的側(cè)面安裝裝置。該支撐結(jié)構(gòu)體的側(cè)面支架依賴(lài)于支撐結(jié)構(gòu)體的剛 性的脊?fàn)畈考膫?cè)部，這將在下文得到詳盡描述。該側(cè)面支架限定了 運(yùn)動(dòng)學(xué)上的聯(lián)接，其使得傳送裝置是可互換的。可移動(dòng)的臂24具有 用于支撐(一個(gè)或多個(gè))襯底的鉸接鏈節(jié)和(一個(gè)或多個(gè))端部受動(dòng)器。驅(qū) 動(dòng)系統(tǒng)26具有獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)器，其連接到可移動(dòng)的臂上以在R、 e和z 方向上移動(dòng)臂端受動(dòng)器(如圖1使用箭頭R、 e和z所示)。如下文所詳 盡描述，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的Z向驅(qū)動(dòng)部分可以集成到脊?fàn)畈考?。?qū)動(dòng)部分 也可以具有可再次移動(dòng)的驅(qū)動(dòng);漠塊，其可以從一些不同的可互換的驅(qū) 動(dòng)才莫塊中選擇，以選出驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。并且如下文所述那樣， 該可再次移動(dòng)的片莫塊可以與另一可互換的模塊交換，以改變驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 的獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)軸線的數(shù)量，并從而再次設(shè)置驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。這也允許可移動(dòng)的臂得到重新設(shè)置。該可移動(dòng)的臂可以安裝在轉(zhuǎn)塔(turret)上。該轉(zhuǎn) 塔以及鉸接式臂的鏈節(jié)之一可以形成一個(gè)整體件，這將在下文得到進(jìn) 一步描述。可以將可選的驅(qū)動(dòng);溪塊可拆除地安裝到有轉(zhuǎn)塔的臂鏈節(jié)的 臂部分上。圖2A顯示了襯底傳送裝置20的另一透視圖，其中端口為了清晰 顯示移除了一些裝置。圖3是裝置20的平面圖，圖4A-4B分別是裝 置的分解透視圖(其中臂26從支撐結(jié)構(gòu)體22中分解出)以及另一分解 透視圖(其中臂鏈節(jié)和一部分驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)以分解的形式顯示)。在該示例 性實(shí)施例中，鏈接式的26作為選擇性順從關(guān)節(jié)機(jī)器手臂類(lèi)型的臂而 顯示，其帶有上臂28、前臂30和端部受動(dòng)器32A、 32B。在可選實(shí)施 例中，鉸接式臂可以是任何合適的類(lèi)型，并且可以具有較多或較少數(shù) 目的端部受動(dòng)器。如同圖2-2A所示，上臂26樞軸式地安裝(如下文所 詳細(xì)描述)以相對(duì)于支撐結(jié)構(gòu)體22圍繞肩部軸線T!轉(zhuǎn)動(dòng)。將上臂26 樞軸式地安裝到支撐結(jié)構(gòu)體22上，這形成了肩關(guān)節(jié)27。將前臂30樞 軸式地安裝到上臂28上。在前臂30和上臂26間的樞軸式關(guān)節(jié)29可 以看作是肘關(guān)節(jié)，其具有相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線T2。將端部受動(dòng)器32A、 32B 在腕關(guān)節(jié)31處樞軸式地安裝到前臂30上，其具有轉(zhuǎn)動(dòng)軸線W(見(jiàn)圖 2)。如上文所指出的那樣，示例性實(shí)施例中的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26可以具有Z 向驅(qū)動(dòng)部分34、肩部軸線或者說(shuō)T！軸線驅(qū)動(dòng)部分36和驅(qū)動(dòng)部分38， 用于圍繞一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸線驅(qū)動(dòng)一個(gè)或多個(gè)臂鏈節(jié)(如下文所述)。 在示例性實(shí)施例中，Z向驅(qū)動(dòng)部分34和Tl驅(qū)動(dòng)部分安裝到支撐結(jié)構(gòu) 體22上。驅(qū)動(dòng)部分38安裝到臂24上。仍然參考圖2,其顯示了支撐結(jié)構(gòu)體22并且環(huán)境罩27C包裹著支 撐結(jié)構(gòu)體。支撐結(jié)構(gòu)體22最好地顯示在圖5B中。支撐結(jié)構(gòu)體22 — 般包括脊?fàn)畈考?2和端部盤(pán)44、 46。脊?fàn)畈考?2基本上延伸過(guò)支撐 結(jié)構(gòu)體22的整個(gè)長(zhǎng)度。如圖所示，端部盤(pán)44、 46連接到脊?fàn)畈考?2 對(duì)面的端部上。在該實(shí)施例中，支撐結(jié)構(gòu)體22為單體橫造或者半單 體橫造結(jié)構(gòu)(也即，由脊?fàn)畈考?2形成的壁或外殼為負(fù)荷軸承并且承受著作用到支撐結(jié)構(gòu)體上的負(fù)荷)。如圖5B所示，脊?fàn)畈考?2具有 延長(zhǎng)的、大致為溝道的形狀。脊?fàn)畈考哂泻髠?cè)42以及反向的法蘭 壁42W以形成溝道形狀并限定在脊?fàn)畈考?如圖顯示的那樣從后側(cè)伸 出)里的內(nèi)部空間。在該實(shí)施例中，該脊?fàn)畈考?2是單一的結(jié)構(gòu)(也即 單塊部件)。脊?fàn)畈考梢砸匀魏纹渌线m的方式從合適的金屬鍛造、 鑄造或塑造而來(lái)，例如不銹鋼或者鋁合金。在可選實(shí)施例中，脊?fàn)畈?件可以由任何其它合適的材料制造，這些材料包括塑料、陶瓷或復(fù)合 材料。與空間框架結(jié)構(gòu)(定義了類(lèi)似的內(nèi)部空間作為脊?fàn)畈考?2)相比， 脊?fàn)畈考窍喈?dāng)剛性的?，F(xiàn)在還參考圖5C，其顯示了支撐結(jié)構(gòu)體22 的截面。如同圖5C所示，利用大致的兔關(guān)節(jié)(rabbit joint)構(gòu)造將端部 盤(pán)44、 46連接到與脊?fàn)畈考?2相對(duì)的端部。端部盤(pán)44、 46有利于限定支撐結(jié)構(gòu)體的內(nèi)部空間，其具有足夠 的尺寸以包圍驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的多個(gè)部分和鉸接式臂的轉(zhuǎn)塔。端部盤(pán)46中 的至少一個(gè)可以提供用于元件的安裝平臺(tái)，例如電子產(chǎn)品包裝E，其 支撐例如電源和用于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26的通訊信號(hào)。然而，當(dāng)基本上傳送 裝置20的所有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)負(fù)荷^l最終傳送到脊?fàn)畈考皮其承載時(shí)， 脊?fàn)畈考?2作為主要的負(fù)荷軸承部件。此外，如下文所進(jìn)一步描述 的那樣，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26和臂24由其中獲得的支撐直接地從剛性的脊?fàn)?部件中建立起來(lái)。形成主驅(qū)動(dòng)軸線(例如圖1所示的肩部軸線T!和Z 驅(qū)動(dòng)軸線，其限定了襯底傳送平面的空間方位角(attitude),并且沿著 其端部受動(dòng)器32A、 32B的R、 e運(yùn)動(dòng)受到引導(dǎo))的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)部分集成 在脊?fàn)畈考?。從而使支撐結(jié)構(gòu)體22的剛性的脊?fàn)畈考?2在靜態(tài)和 動(dòng)態(tài)的裝載中(由驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和臂的運(yùn)動(dòng)施加，或者如果傳送裝置20安 裝到橫移器件上時(shí)，由橫移器件的運(yùn)動(dòng)施力口)剛性地相對(duì)于彼此而固定 了主驅(qū)動(dòng)軸線。如圖5B所最佳地顯示，用于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)Z向驅(qū)動(dòng)部分的線性軌道 26R與脊?fàn)畈考?2集成到一起。線性軌道26R是用于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)Z載 架50的臺(tái)板(platens)26P的導(dǎo)向軌道(也見(jiàn)于圖5A)。從而使軌道26R有利于限定Z軸線的取向，而載架50可以沿著該軸線移除。在該實(shí)施例中，線性軌道26R位于脊?fàn)畈考?2的后側(cè)42S上，盡管在可選 實(shí)施例中，軌道可以放置在脊?fàn)畈考娜我黄渌栉恢蒙稀Ｍ瑯樱?在該實(shí)施例中，軌道26R固定到脊?fàn)畈考?2上。軌道可以利用任何 合適的機(jī)械緊固件而固定到脊?fàn)畈考?，或者利用銅焊、焊接或任何 合適的金屬的或化學(xué)的結(jié)合形式來(lái)連接。在該實(shí)施例中，脊?fàn)畈考?后側(cè)42S可以具有基座表面42M(也見(jiàn)于圖5L，其顯示了支撐結(jié)構(gòu)體 22的截面圖)，當(dāng)安裝到脊?fàn)畈考?2時(shí)，在該表面上設(shè)有線性軌道 26R?；砻?2M可以通過(guò)例如加工或其它的合適的成型法來(lái)成型， 以使基本彼此相互平行(例如左側(cè)和右側(cè)基座表面42M是基本上平行 的，或者假如需要的話是基本上共面的)，并且與Zs軸線相平行(由脊 狀部件限定，見(jiàn)圖5C),下文將對(duì)其進(jìn)行描述。在可選實(shí)施例中，該 滑動(dòng)軌道可以整體性地形成在單一的結(jié)構(gòu)脊?fàn)畈考?。仍然參考圖5B-5C,同時(shí)也參考圖5D(其顯示了支撐結(jié)構(gòu)體22和 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26的放大的局部截面圖)，脊?fàn)畈考?2具有軸環(huán)(collar)48。 在該實(shí)施例中，軸環(huán)48與單一的結(jié)構(gòu)脊?fàn)畈考?2形成一個(gè)整體。如 圖所示，軸環(huán)48位于脊?fàn)畈考暮髠?cè)42S上。如圖5B所示，軸環(huán) 48可以位于這兩條線性軌道26R的大致中心的地方。在可選實(shí)施例 中，可以將軸環(huán)設(shè)在脊?fàn)畈考系娜我馄渌栉恢蒙稀］S環(huán)也可以 利用適當(dāng)剛性的附件而機(jī)械地連接到脊?fàn)畈考稀Ｈ鐖D5B-5D所示， 軸環(huán)48支撐并提供用于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26的Z向驅(qū)動(dòng)部分的基礎(chǔ)支撐。從 而通過(guò)一體化的軸環(huán)48將驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的3-驅(qū)動(dòng)部分結(jié)合到脊?fàn)畈考?2S 中。如上文所指出的那樣，且如圖5C-5D所最佳地顯示，在該實(shí)施例 中，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26具有Z向驅(qū)動(dòng)部分34，其是線性驅(qū)動(dòng)器， 一般包括 驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)54的滾珠絲杠52。在可選實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以具有 任何其它所需要類(lèi)型的提供Z軸線驅(qū)動(dòng)的線性驅(qū)動(dòng)器。電動(dòng)機(jī)54可 以是任何合適的電動(dòng)機(jī)，例如無(wú)刷DC電動(dòng)機(jī)、AC電動(dòng)機(jī)或步進(jìn)式 電動(dòng)機(jī)。滾珠絲杠52可以與電動(dòng)機(jī)的輸出軸聯(lián)接或者具有延伸進(jìn)入電動(dòng)機(jī)的軸桿擴(kuò)展部52E，電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子54R安裝在該軸桿擴(kuò)展部上(如 圖5D所示)。Z驅(qū)動(dòng)電機(jī)54可以具有合適的編碼器54E，其安裝到電 動(dòng)機(jī)軸桿或者軸桿擴(kuò)展部上以利用工具控制器400來(lái)促進(jìn)所需要的電 動(dòng)機(jī)的控制C也見(jiàn)于圖1)。如圖5D所示，軸環(huán)48具有帶中心軸線Zs的鉆孔48B。通過(guò)合 適的軸承53，滾珠絲杠52沿徑向容納于孔46B中。因此，滾珠絲杠 52在軸環(huán)中與孔48B同心，并且滾珠絲杠的中心軸線，或者當(dāng)^^皮電動(dòng) 機(jī)54轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)由螺釘提供的運(yùn)動(dòng)的Z軸線在軸環(huán)48中基本與鉆孔48B 的中心軸線Zs—致。因此，鉆孔中心軸線Zs限定了 Z向驅(qū)動(dòng)部分34 的運(yùn)動(dòng)的Z軸線。此外，當(dāng)線性軌道26R基本平行于Zs軸線建立起 來(lái)時(shí)(如上文所述，形成于基座表面42M到軸線Zs的平行性，而該 Zs軸線基本上也是滾珠絲杠52的中心軸線)，并且當(dāng)軌道26R和滾珠 絲杠52都被支撐在共同的剛性的脊?fàn)畈考?2上時(shí)，這保證了在軌道 26R(因此，Z載架50騎在軌道上)和在Z軸線上驅(qū)動(dòng)Z載架50的滾珠 絲杠52之間在開(kāi)始時(shí)建立起來(lái)的平行狀態(tài)在任何時(shí)候都得以保持。 在傳送裝置20的運(yùn)轉(zhuǎn)中，在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26和支撐結(jié)構(gòu)體22上的靜態(tài) 和動(dòng)態(tài)負(fù)荷將不會(huì)引起滾珠絲杠和軌道間的對(duì)齊的任何變化，因此也 不會(huì)引起在Z軸線和轉(zhuǎn)動(dòng)T！的肩部軸線(由載架50定義，將在下文作 進(jìn)一步描述)之間的對(duì)齊的變化。因此，如上文所指出的那樣，驅(qū)動(dòng)系 統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)T\、 Z的主軸線(限定襯底傳送平面的空間方位角)保持在基 本剛性的定向。如圖5D所示，通過(guò)合適的支撐環(huán)51將滾珠絲杠52 豎直地鎖定到軸環(huán)48上。在所顯示的實(shí)施例中，軸環(huán)48可以延伸以 形成用于電動(dòng)機(jī)54的外殼。電動(dòng)機(jī)靜子54S可以安裝在軸環(huán)的鉆孔 48B的內(nèi)部。在可選實(shí)施例中，Z驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以位于分開(kāi)的外殼中(其 又由脊?fàn)畈考?，使得電動(dòng)機(jī)相對(duì)于脊?fàn)畈考臐L珠絲杠支撐軸環(huán) 的位置坤皮基本上剛性地保持。如圖5C所示，滾珠絲杠52的上端受到 端部盤(pán)44的支撐。合適的軸承將滾珠絲杠的端部連接到端部盤(pán)44上。 在該實(shí)施例中，端部盤(pán)44具有保持滾珠絲杠的端部和支撐軸承的鉆孔或凹部。形成端部盤(pán)中的鉆孔可以與滾珠絲杠同心、對(duì)齊軸線Zs。 在可選實(shí)施例中，可以可動(dòng)地調(diào)節(jié)該凹部或者任何其它用于在端部盤(pán) 上部支撐架滾珠絲杠的端部的保持座架以與滾珠絲杠同心。如圖5C所示，脊?fàn)畈考暮髠?cè)42S具有安裝系統(tǒng)60,其用于將 傳送裝置20安裝到處理裝置10的前部部分12上(例如直接安裝到前 部部分或橫移器件的結(jié)構(gòu)體上)。位于脊?fàn)畈考?cè)面上的安裝系統(tǒng)60 充當(dāng)將傳送裝置20連接到橫移器件/前部部分結(jié)構(gòu)體的單獨(dú)的支架。 在傳送裝置的運(yùn)行中，由于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)部件之間的高度剛性的結(jié)構(gòu)體對(duì) 安裝系統(tǒng)60的張緊，因此，可能如所認(rèn)識(shí)到的那樣有助于保持驅(qū)動(dòng) 軸線的對(duì)齊，并且因此有助于傳送裝置的襯底傳送平面的對(duì)齊。安裝 系統(tǒng)60可以包括運(yùn)動(dòng)學(xué)的聯(lián)接部，其對(duì)于把支撐結(jié)構(gòu)體22、并因此 而把裝置20定位在所需位置上以及定位在相對(duì)于前部部分12的參考 框架的所需方向上來(lái)說(shuō)是決定性的。如可以認(rèn)識(shí)到的那樣，安裝系統(tǒng) 60的由位置決定的特征可以建立起來(lái)，以具有與傳送裝置的Z軸線和 Tl軸線(見(jiàn)圖l)的所需關(guān)系(如下文進(jìn)一步所示，定位T1軸線可以關(guān) 于或基于Zs/Z!軸線，并且結(jié)合例如位于建立軸線T！的驅(qū)動(dòng)部分38 和安裝系統(tǒng)60之間的脊?fàn)畈考?2的介入結(jié)構(gòu)的高度剛性，這可以允 許設(shè)置相對(duì)于Zs/Z!軸線的決定性特性以確保當(dāng)裝置2(H皮安裝時(shí)，T！ 軸線相對(duì)于前部部分的參考框架位于所需要的位置上)。為了設(shè)定安裝 系統(tǒng)60相對(duì)于驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26的所需軸線(例如Z軸線、L軸線)或相對(duì) 于村底傳送平面的決定性特征，在2005年6月15日提交的序號(hào)為 11/154,787的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)中(本申請(qǐng)參考引用了該專(zhuān)利的全部?jī)?nèi)容) 公開(kāi)了合適的示例。相應(yīng)地，安裝系統(tǒng)60的由位置決定的特征(在不 同的與裝置20類(lèi)似的傳送裝置上)可以在與每一個(gè)這樣的裝置的驅(qū)動(dòng) 軸線所需的已知關(guān)系中重復(fù)地建立，以使在不同的裝置之間基本沒(méi)有 顯著的變化。在該實(shí)施例中，安裝系統(tǒng)60具有上部支撐架62和下部 安裝支持部64。圖6A顯示了支撐結(jié)構(gòu)體的俯視平面圖并顯示了支撐 架62和下部支持部64的俯視圖。圖6B顯示了放大的支撐結(jié)構(gòu)體22的局部透視圖，其中該下部支持部64局部可見(jiàn)。安裝系統(tǒng)的上部支撐架62和下部支持部64的結(jié)構(gòu)只起示例性作用，并且在可選實(shí)施例 中，支撐結(jié)構(gòu)體安裝系統(tǒng)的支架可以具有任何所需要的結(jié)構(gòu)。在該實(shí) 施例中，上部支撐架62和下部支持部64—般是法蘭，其可以與單一 的結(jié)構(gòu)脊?fàn)畈考?2形成一個(gè)整體。上部支撐架62和下部支持部64 為懸臂式(從脊?fàn)畈考?2的后側(cè)42S向外)。如圖5D所最佳地顯示， 上部支撐架62和下部支持部彼此豎直偏移。上部支撐架和下部支持 部間的豎直偏移距離可以設(shè)置，使得驅(qū)動(dòng)部分26的CG和可移動(dòng)臂 24組件可以鎖定在上部支撐架和下部支持部之間，而不必管可移動(dòng)的 臂24和載架55的Z向位置。如圖5C所示，在該實(shí)施例中，上部支 撐架具有基座表面62S。基座表面62S可以置于支撐架法蘭中的凹部 的62R里。凹部62R可以調(diào)整尺寸以容納前部部分結(jié)構(gòu)體的配合支撐 部(未顯示)的匹配部分(未顯示)中。上部支撐架也可以具有由位置決定 的特征，例如銷(xiāo)62P(其可以由合適的緊固件4是供)。銷(xiāo)62P可以在前 部部分12的配合支撐部(未顯示)與孔或者槽(未顯示)接觸，以在X方 向或Y方向或者兩個(gè)方向上都限定和鎖定裝置20的位置。如圖5C和 圖6A所示，下部支持部64可以具有豎直的接觸表面64S。該接觸表 面64S可以鄰接位于前部部分結(jié)構(gòu)體上的配合表面(未顯示)以在Y方 向上限制裝置20。下部支持部也可以具有決定位置的銷(xiāo)64Pl、 64P2(例 如也可由合適的緊固件形成)。定位銷(xiāo)64P1、 64P2可以位于下部支持 部的相反端上，如圖6A所示，或者位于任何其它所需要的位置上。 通過(guò)將容納孔接合到前部部分12的配合結(jié)構(gòu)體(未顯示)中，銷(xiāo)64Pl、 64P2可以用于在Z方向上鎖定該裝置。如可認(rèn)識(shí)的那樣，位于定位銷(xiāo) 62P、 64P1、 64P2和配合結(jié)構(gòu)體之間的接口可以構(gòu)造成避免產(chǎn)生任何 過(guò)度的限制。相應(yīng)地，定位銷(xiāo)62、 64Pl、 64P2協(xié)作(提供3個(gè)點(diǎn))以相 對(duì)于前部部分參考平面而限定裝置20的座架平面。再次參考圖5C-5D,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26的Z向驅(qū)動(dòng)部分34具有載架50。 載架50具有框架、底盤(pán)或者外罩70。如先前所述，臺(tái)板26P(也見(jiàn)于圖5B)連接到載架外罩70上，允許載架沿著軌道26R(沿著裝置的Z 軸線)滑動(dòng)。如圖5C所示，載架外罩70也可以連接到滾珠絲杠滑道 56上。如可以認(rèn)識(shí)到的那樣，由電動(dòng)機(jī)54驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠52的轉(zhuǎn)動(dòng) 導(dǎo)致滾珠絲杠滑道56(其受到可轉(zhuǎn)動(dòng)的支撐，-故外罩70固定)在軸向上 沿裝置Z軸線的滾珠絲杠移動(dòng)。載架外罩70于是沿著Z軸線受到滾 珠絲杠滑道56的推動(dòng)力作用。如同上文所指出的那樣，在該實(shí)施例 中，驅(qū)動(dòng)部分34(圍繞T!或者肩部軸線驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng))安裝在載架50上。 驅(qū)動(dòng)部分34可以包括電動(dòng)機(jī)72和軸桿組件74。該實(shí)施例中的電動(dòng)機(jī) T2可以被遮蓋起來(lái)或以其它方式位于載架外罩70的內(nèi)部。在可選實(shí) 施例中，電動(dòng)機(jī)電源在Tl軸線轉(zhuǎn)動(dòng)中可以以任何其它所需的方式安 裝到Z軸線載架。電動(dòng)機(jī)72可以是任何合適的電動(dòng)機(jī)，例如無(wú)刷DC、 AC或步進(jìn)式電動(dòng)機(jī)。在該實(shí)施例中，電動(dòng)機(jī)靜子72S固定地連接到 外罩70上。電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子72R固定地安裝到軸桿組件74的軸76上。 軸桿組件74 —般包括軸76、(一個(gè)或多個(gè))軸承78、滑環(huán)80和編碼器 82。在該實(shí)施例中，如圖5D所示，軸桿組件74也位于載架外罩70 內(nèi)。在可選實(shí)施例中，軸桿組件可以具有任何其它合適的安裝裝置。 通過(guò)軸承78,軸76可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐在外罩70內(nèi)，并且因此(如圖所示)， 建立起了與軸桿的軸線的對(duì)齊。外罩70具有鉆孔70B，其在壓力配合 中容納軸承78。如可以認(rèn)識(shí)到的那樣，外罩70空間方位角可以控制， 例如通過(guò)合適的調(diào)節(jié)裝置，例如使用位于外罩和臺(tái)板26P之間的可變 墊片，于是鉆孔中心線與框架結(jié)構(gòu)體22的Zs軸線(或裝置的Z軸線) 平行或者就是它?？梢允褂霉潭ㄎ镆栽O(shè)定載架鉆孔中心線的對(duì)齊—— 如同在上述的序列號(hào)為11/154，787的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)中所述的那樣一一 以提供與裝置20類(lèi)似的不同的傳送裝置的可重復(fù)的對(duì)齊。通過(guò)軸承 78,軸74安裝在外罩70中，因此，其與鉆孔中心線對(duì)齊，并且因此 基本與裝置的Z軸線平行。軸76的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線為轉(zhuǎn)動(dòng)T\的肩部軸線， 并且如上所述，轉(zhuǎn)動(dòng)軸線Tl依賴(lài)于Z軸線(臂的線性位置的軸線)而建 立。此外，這里可再次認(rèn)識(shí)到，如果裝置位于橫移器件上，在裝置20的運(yùn)動(dòng)或橫移器件(未顯示)的運(yùn)動(dòng)中產(chǎn)生的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的負(fù)荷條件將 不會(huì)導(dǎo)致T!軸線和Z軸線之間的明顯的錯(cuò)誤對(duì)齊，因?yàn)檫@些軸線的對(duì)齊由共同的剛性部件設(shè)置；支撐結(jié)構(gòu)體的脊?fàn)畈考?2(也即Tl軸線直 接取決于脊?fàn)畈考?，而Z軸線由脊?fàn)畈考薅ǎ缟衔乃?。這確保 裝置端部受動(dòng)器32A、 32B(見(jiàn)圖2)的所有運(yùn)動(dòng)(Z、 9、 R)始終都是可 預(yù)測(cè)和可重復(fù)的。編碼器82可以安裝到軸76上，并且可連通地連接 到控制器40D(見(jiàn)圖l)上，以提供電動(dòng)機(jī)72的所需控制。軸76可以是 中空的。滑環(huán)80可以安裝到軸76上?；h(huán)連接到合適的電源上，而 信號(hào)耦合到外罩70上以給臂24上的裝置提供能量和信息。如圖5D 所示，軸桿組件74也可以具有氣動(dòng)供給管路84。該氣動(dòng)供給管路84 可以延伸穿過(guò)軸76的內(nèi)部到達(dá)進(jìn)給端口 。外罩70可以具有合適的氣 動(dòng)聯(lián)接部，其與軸桿組件上的進(jìn)給端口匹配，到達(dá)氣動(dòng)供給部并允許 軸76的連續(xù)的轉(zhuǎn)動(dòng)(因此而允許臂圍繞肩關(guān)節(jié)軸線T！的連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng))。再次參考圖4A、 4B，臂組件24安裝到載架50上。尤其臂組件 24的臂28安裝到安裝在載架50中的軸76的端部76E上(也見(jiàn)于圖 5D)。圖7顯示了臂組件24的上臂28的透視圖。圖7A是截面圖，而 圖7B和圖1C分別為所示上臂28的俯視圖和仰視圖，在該實(shí)施例中， 該上臂具有下部部分或轉(zhuǎn)塔84以及上部部分86。轉(zhuǎn)塔84具有中空的、 大致圓柱形的形狀。如圖所示，上部部分86依賴(lài)轉(zhuǎn)塔84。上臂28為 單塊部件(或者也可以當(dāng)作是一體化結(jié)構(gòu))并且轉(zhuǎn)塔84和上部部分86 整體地形成在一體化結(jié)構(gòu)的上臂28中。上臂28可以通過(guò)鑄造、^酸造 或任何其它合適的構(gòu)造過(guò)程來(lái)形成。上臂可以由金屬，例如鋁合金、 不銹鋼或者例如塑料陶瓷或復(fù)合材料的非金屬材料制成。在可選實(shí)施 例中，轉(zhuǎn)塔和上臂的上部部分可以具有任何其它合適的形狀。見(jiàn)圖7B 所示，該上部部分在頂部86T中具有通道或孔86A。該通道86A可以 具有任何合適的形狀，并且可以調(diào)整尺寸以允許操作人員容易接近在 上臂28中的部件(下文將進(jìn)一步描述)。轉(zhuǎn)塔84也可以具有形成于其 中的通道84A，用于接近轉(zhuǎn)塔84內(nèi)部的部件。在該實(shí)施例中，顯示轉(zhuǎn)塔84的通道84A位于轉(zhuǎn)塔的側(cè)面上，大致地與上部部分86伸出轉(zhuǎn) 塔的方向相反。在可選實(shí)施例中，轉(zhuǎn)塔中的(一個(gè)或多個(gè))通道可以位 于在任何所需要的(一個(gè)或多個(gè))側(cè)面上，以用于接近轉(zhuǎn)塔內(nèi)部的部件。 如圖7B所示，轉(zhuǎn)塔84可以具有其它(一個(gè)或多個(gè))開(kāi)口 84H以露出 (lighten)轉(zhuǎn)塔或用于所需要的接近?？梢园惭b外蓋28C(見(jiàn)圖4A)以關(guān) 閉轉(zhuǎn)塔84。轉(zhuǎn)塔84的底部端部84L可以具有安裝轂或安裝取:接部84H 以在載架50內(nèi)將上臂連"^妻到T!轉(zhuǎn)動(dòng)軸76的端部73E上。如圖7A和 圖7C所最佳地顯示，轉(zhuǎn)塔84的安裝聯(lián)接部84A具有安裝表面，其設(shè) 置成大致地符合軸76的端部76E的形式(也見(jiàn)于圖5D)。當(dāng)安裝到軸 76上時(shí)，轉(zhuǎn)塔84在上端部盤(pán)44中延伸穿過(guò)開(kāi)口 44D(也見(jiàn)于圖5C和 圖6A)進(jìn)入由支撐結(jié)構(gòu)體22限定的空間22S(見(jiàn)圖5A)。通過(guò)合適的緊 固件將轉(zhuǎn)塔聯(lián)4妻部84H連接到軸76的端部76E上，該緊固件能夠?qū)?剪切負(fù)荷和軸向負(fù)荷穿過(guò)轉(zhuǎn)塔傳送到軸桿聯(lián)接部。上臂28顯示在其 圖4B中的安裝位置上。上臂部分86位于端部盤(pán)44的上方。如可認(rèn) 識(shí)到的那樣，通過(guò)軸76,上臂28可以圍繞軸線^連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)(見(jiàn)圖2)。 一體的結(jié)構(gòu)上臂28連同整體的轉(zhuǎn)塔84和上臂部分86消除了耦合連 接，簡(jiǎn)化可移動(dòng)的臂26的組裝。此外，具有大得多的扭轉(zhuǎn)區(qū)域的轉(zhuǎn) 塔84(與軸76相比)使T!驅(qū)動(dòng)部分電動(dòng)機(jī)74能夠安裝在支撐結(jié)構(gòu)體內(nèi) 的低處(例如在Z載架內(nèi)部)，以在裝置座架上獲得4交低的裝置66并減 少倒轉(zhuǎn)力矩，并同時(shí)保持4交短的驅(qū)動(dòng)軸76,以減少軸的柔性并改善臂 的移動(dòng)精確性。如圖4B所示，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26具有驅(qū)動(dòng)^^莫塊38,其可移除可連接到 臂24。驅(qū)動(dòng)模塊38與一些基本驅(qū)動(dòng)模塊38A(示意性的顯示在圖4B 中)是可互換的，這些驅(qū)動(dòng)模塊具有不同的驅(qū)動(dòng)特征，下文將對(duì)這些特 征進(jìn)行詳細(xì)的描述。驅(qū)動(dòng)模塊38最佳地如圖9所示。該驅(qū)動(dòng)模塊38 一般具有外罩90和電動(dòng)機(jī)簇92。該電動(dòng)機(jī)簇92位于外罩90中。外 罩90將驅(qū)動(dòng)模塊38安裝到上臂28的部分86上(也見(jiàn)于圖8,其是上 臂部分86的平面圖)。在示例性實(shí)施例中，電動(dòng)機(jī)簇92包括三(3)個(gè)電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C。在可選實(shí)施例中，電動(dòng)機(jī)簇可以具有或 多或少的電動(dòng)機(jī)組件。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的其它可互換的^f莫塊38可具有電動(dòng) 機(jī)蔟92A,其帶有兩(2)個(gè)或一(1)個(gè)與組件94A、 MB、 94C類(lèi)似的電 動(dòng)機(jī)組件。在該實(shí)施例中，每一個(gè)電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C都是 基本類(lèi)似的。因此，該電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C本身是可互換的。 由于電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C基本類(lèi)似，下文將具體參考電動(dòng)機(jī) 組件94A對(duì)電動(dòng)機(jī)組件進(jìn)行更詳盡的描述。電動(dòng)機(jī)組件94A具有電動(dòng) 機(jī)96A和軸桿98A。電動(dòng)機(jī)96A可以是無(wú)刷DC、 AC電動(dòng)機(jī)或步進(jìn) 式電動(dòng)機(jī)，或任意其它合適類(lèi)型的電動(dòng)機(jī)。電動(dòng)機(jī)組件94A可以作為 整體單元從外罩90移除。在可選實(shí)施例中，可以將電動(dòng)機(jī)和軸桿分 別地/人;漠塊外罩移除。如圖所示，電動(dòng)^/L組件94A、 94B、 94C安置 在才莫塊外罩90中。在該實(shí)施例中，外罩90可以具有用于每一電動(dòng)機(jī) 組件94A、 94B、 94C的外殼90A、 90B、 90C。例如，外罩90可以具 有用于T2電動(dòng)機(jī)組件94A的電動(dòng)機(jī)組件外殼90A(也即，如圖2所示， 用于圍繞丁2/肘部軸線驅(qū)動(dòng)獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)組件94A)、用于Wi 電動(dòng)機(jī)組件94B的外殼90B(例如如圖2所示，用于圍繞Wl/腕部軸線 驅(qū)動(dòng)獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)組件94B)以及用于第二 Wi電動(dòng)機(jī)組件94C 的外殼90C(也即用于圍繞Wl/腕部軸線驅(qū)動(dòng)第二端部受動(dòng)器獨(dú)立的 轉(zhuǎn)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)組件94C)。在可選實(shí)施例中，才莫塊外罩可以成型以形成 用于電動(dòng)機(jī)簇的電動(dòng)機(jī)組件的共用外殼，或者可以具有任何其它所需 設(shè)置。如可以認(rèn)識(shí)到的那樣，在其它類(lèi)似模塊38A的可互換的模塊中 (其具有較少的電動(dòng)機(jī)組件，以用于獨(dú)立地圍繞較少的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線而驅(qū)動(dòng)獨(dú)立旋轉(zhuǎn))， 一個(gè)或多個(gè)類(lèi)似外殼90A-90C的外殼可以不具有位于其 中的電動(dòng)機(jī)組件。例如，在驅(qū)動(dòng)模塊38A不帶第二 Wi電動(dòng)機(jī)組件的 情況下，用于遮蓋第二W1電動(dòng)機(jī)組件的電動(dòng)機(jī)組件外殼(與外殼90C 類(lèi)似)是空的。在可選實(shí)施例中(其中，電動(dòng)機(jī)簇具有多于三個(gè)的電動(dòng) 機(jī)組件，這里只是出于舉例的目的)，模塊外罩可以設(shè)有更多的電動(dòng)機(jī) 組件外殼。在其它可選實(shí)施例中，模塊外罩可以具有設(shè)在驅(qū)動(dòng)才莫塊中的針對(duì)電動(dòng)機(jī)組件數(shù)量的外殼。因此，例如針對(duì)三個(gè)電動(dòng)機(jī)組件就有 三個(gè)相應(yīng)的外殼，針對(duì)兩個(gè)電動(dòng)機(jī)組件就有兩個(gè)相應(yīng)的外殼，以此類(lèi) 推。在這種情況下，模塊外罩以及因此該模塊將仍然是可互換的；每 一不同的可互換模塊的模塊外罩都具有類(lèi)似的普遍結(jié)構(gòu)和用于將模塊安裝到上臂28上的安裝特征。如同從圖4B可以認(rèn)識(shí)到的那樣，通過(guò)選擇帶電動(dòng)機(jī)簇92、92A(具 有所需數(shù)量的電動(dòng)機(jī)組件)的^^塊38、 39A對(duì)可移動(dòng)的臂組件24的結(jié) 構(gòu)進(jìn)行選擇，以為臂提供所需數(shù)量的獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)的軸線。例如，所示的 可移動(dòng)臂26具有(除軸線Tl和軸線Z之外)三(3)根獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線(例 如，前臂鏈節(jié)30圍繞軸線T2的獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)端部受動(dòng)器32A、 32B 圍繞腕部軸線Wi的獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng))。相應(yīng)地，為了給臂組件26提供三(3) 根獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線，驅(qū)動(dòng)模塊38被選擇以用于安裝。假如需要為可 移動(dòng)的臂26提供兩根或一根獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)軸線，那么可互換的驅(qū)動(dòng)才莫塊 38A可以選擇帶具有相應(yīng)數(shù)量的電動(dòng)機(jī)組件的電動(dòng)機(jī)簇92A，以用于 安裝在上臂28內(nèi)。如以前所指出的那樣，附圖所示的模塊外罩90的結(jié)構(gòu)只是作為 示例，而在可選實(shí)施例中，模塊外罩可以具有任何其它所需要的結(jié)構(gòu)。 外罩90可以具有安裝法蘭90F，用于將模塊38、 38A連接到上臂28 上。在該實(shí)施例中，安裝法蘭向外伸出并限定基座表面90S(見(jiàn)圖9), 其與位于上臂的轉(zhuǎn)塔84內(nèi)的共形的(conformal)配合表面86S(見(jiàn)圖7A) 重疊。如可以從圖7A和圖9所認(rèn)識(shí)到的那樣，以及部分地如圖7所 示，當(dāng)安裝到上臂上時(shí)，驅(qū)動(dòng)^^塊38位于上臂的轉(zhuǎn)塔84內(nèi)。在可選 實(shí)施例中，^^莫塊外罩可以具有任何其它所需結(jié)構(gòu)的安裝特征。當(dāng)安裝 到上臂28內(nèi)部時(shí)，電動(dòng)機(jī)簇軸桿98A-98C的軸桿端部位于上臂部分 86內(nèi)。如圖9所示，在該實(shí)施例中，將模塊外罩外殼90A-90C相對(duì) 于安裝法蘭90F豎直地錯(cuò)開(kāi)排列。外殼90A-90C的豎直交錯(cuò)安排決定 了在相應(yīng)的軸桿98A-98C的端部上的鋸齒狀的滑輪110A-110C(見(jiàn)圖 8)的位置，其處在相同的豎直間距上以允許每一滑輪與相應(yīng)的變速器112、 114、 116連接。因此如以前提出的那樣，才莫塊38、 38A的基本 完全相同的電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C是完全可互換的，并且可以 彼此互換，且每一個(gè)都可以位于任意的外殼90A、 90B、 90C中，而 不會(huì)存在差異和改變。該實(shí)施例中，軸滑輪110A、 IIOB、 IIOC的每 一相應(yīng)的端部的間3巨(在相應(yīng)的外殼90A、 90B、 90C的頂部之上)都是 相同的。如圖9所示，在該實(shí)施例中，用于丁2電動(dòng)機(jī)組件94A的外 殼90位于最高處，用于W！電動(dòng)機(jī)組件94B(驅(qū)動(dòng)端部受動(dòng)器32A)的 外殼90B位于中間，而用于第二 W！電動(dòng)才幾組件94C(驅(qū)動(dòng)端部受動(dòng)器 32B)的外殼90C位于最低處?，F(xiàn)在參考圖8，其顯示了上臂28的俯視平面圖。如圖8所示，共 軸的軸桿組件40安裝到上臂28的外端上。如上文所指出的那樣，通 過(guò)共軸軸桿組件40將前臂30樞軸式地安裝到上臂28上。共軸軸桿 組件限定了旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)T2的肘部軸線。圖10-10A分別為前臂30的透視 圖和俯視平面圖。同時(shí)參考圖ll-llA，其分別顯示了前臂30的截面 圖和共軸軸桿組件40的截面圖。如圖11A所最佳地顯示，該實(shí)施例 中的共軸軸桿組件40包括三根同心的軸124、 126、 128。軸124、 126、 128通過(guò)合適的軸承B分別地沿徑向支撐在大致嵌套的裝置中。通過(guò) 軸承BB,外軸124#皮沿徑向支撐在上臂中。W軸線的軸桿組件40的 軸124、 126、 128可以圍繞旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)T2的公共軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。在可選實(shí)施 例中，共軸軸桿組件可以具有或多或少的共軸軸桿。如圖11A所示， 外軸124固定到前臂30上，以便前臂和軸124圍繞軸線T2作為整體 單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。外軸也具有固定于其上的用于變速器112的惰輪112P(盡 管可以使用任何合適的變速器，在該實(shí)施例中使用可無(wú)限循環(huán)的變速 器)。惰輪112P和軸桿124作為一個(gè)單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。中軸126具有固定 于其上的惰輪114P。在該實(shí)施例中，中軸126作為單塊部件而顯示， 其帶有一體化的滑輪114P，盡管在可選實(shí)施例中，惰輪可以以任何合 適的方式固定到軸線上。惰輪114P是變速器114的一部分，在該實(shí) 施例中，變速器114也是無(wú)限循環(huán)型的。中軸126在其上端部處牢固120P上。因此，軸126和滑輪固定于其上， 惰輪114P和轉(zhuǎn)移滑輪120P作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。在惰輪和轉(zhuǎn)移滑輪 間的減速比大約為2:1,不過(guò)可以使用任何所需要的比率。內(nèi)軸128 具有固定于其上的用于變速器116的惰輪116P。軸128也可以是帶有 一體化的惰輪116P的單塊部件。軸128具有如圖所示，固定到其上 端的轉(zhuǎn)移滑輪122P。因此，軸128和固定于其上的滑輪116P、 122P 作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖8所最佳地顯示，在電動(dòng)機(jī)簇中，通過(guò)變 速器皮帶112、 114、 116,電動(dòng)機(jī)組件各自的驅(qū)動(dòng)滑輪110A、 IIOB、 110C連接到軸桿組件40的相應(yīng)的滑輪112P、 114P、 116P上。驅(qū)動(dòng) 滑輪IIOA通過(guò)皮帶112連接到滑輪112P上，驅(qū)動(dòng)滑輪110B通過(guò)皮 帶114連接到滑輪114P上而驅(qū)動(dòng)滑輪110C通過(guò)皮帶116連接到滑輪 116P上。皮帶張緊器150A、 150B、 150C安裝到上臂28上以提供并 保持變速器皮帶上的所需張緊，這將在下文作進(jìn)一步描述。因此驅(qū)動(dòng) 滑輪IIOA(在電動(dòng)機(jī)組件94A上)圍繞軸線丁2轉(zhuǎn)動(dòng)前臂30而驅(qū)動(dòng)滑輪 IIOB(在電動(dòng)機(jī)組件94B上)圍繞軸線丁2轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)移滑輪120P,并且驅(qū) 動(dòng)滑輪IIOC(在電動(dòng)機(jī)組件94C上)圍繞軸線丁2轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)移滑輪122P。 在所示實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)滑輪與惰輪的直徑比約為1:4,不過(guò)可以使用 任何合適的比率。仍然參考圖IO-IOA和圖11,轉(zhuǎn)移滑輪120P、 122P分別由變速器 120、 122連接到相應(yīng)的惰輪1201、 1221和共軸軸桿組件140上。如圖 11所最佳地顯示，共軸的軸桿組件140由位于前臂30上的合適的軸 承來(lái)支撐。在圖11B中顯示了共軸軸桿組件140的截面圖。共軸軸桿 組件140具有同心的外部軸桿和內(nèi)部軸桿142、 144,它們^皮可轉(zhuǎn)動(dòng)地 支撐以圍繞旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的公共軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。軸142、 144可以設(shè)有滑環(huán) 及貫穿的氣動(dòng)進(jìn)給部，使得軸可以連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。外軸142具有用于變速 器122的固定于其上的惰輪1221，因此軸和惰輪作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。 下端受動(dòng)器32B固定到外軸142上，因此端部受動(dòng)器32B和軸142也 作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。內(nèi)軸144如同惰輪1201,用于變速器120且固定于其上，因此軸和惰輪作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。上端受動(dòng)器32A固定到內(nèi)軸144上以與軸桿作為整體單元而轉(zhuǎn)動(dòng)。如圖10和圖11所示， 在該實(shí)施例中，分別將轉(zhuǎn)移滑輪120P連接到惰輪1201上以及將轉(zhuǎn)移 滑輪122P連接到惰輪1221上的變速器120、 122是無(wú)限循環(huán)變速器。 在可選實(shí)施例中，可以使用任何合適的變速器。在轉(zhuǎn)移滑輪120P、 122P 和惰輪1201、 1221間的減速比可能約為1:2，不過(guò)可以采用任何所需 要的減速比。如圖10A所示，張緊件120T、 122T安裝在前臂中并相 對(duì)于變速器皮帶120、 122偏置，以產(chǎn)生所需的皮帶張緊?，F(xiàn)在又參 考圖3A，其顯示了可移動(dòng)的臂24和位于其上的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)部分的俯視 平面圖。圖3A顯示了驅(qū)動(dòng)沖莫塊38的電動(dòng)機(jī)組件94A、 94B、 94C，分別 為了通過(guò)變速器112來(lái)驅(qū)動(dòng)T2軸線轉(zhuǎn)動(dòng)并且通過(guò)變速器114、 116及 次級(jí)變速器122、 120來(lái)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)端部受動(dòng)器32A、 32B的獨(dú)立的繞 W!軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)而連接。如可以認(rèn)識(shí)到的那樣，如果帶有較少電動(dòng)機(jī)組 件的驅(qū)動(dòng)才莫塊38A安裝在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)，例如具有與組件94A、 94C類(lèi) 似的組件(用于T2軸線轉(zhuǎn)動(dòng)和單獨(dú)的Wl軸線轉(zhuǎn)動(dòng))和不具備類(lèi)似于組 件94B的電動(dòng)機(jī)組件(也即，沒(méi)有第二獨(dú)立的Wl軸線轉(zhuǎn)動(dòng))，那么相 應(yīng)地較少的變速器會(huì)位于臂中。例如，假如驅(qū)動(dòng)模塊不具備與組件94B 類(lèi)似的電動(dòng)機(jī)組件，那么變速器114和120將不會(huì)安裝到臂內(nèi)。因此， 一個(gè)類(lèi)似端部受動(dòng)器32A的端部受動(dòng)器將不能獨(dú)立圍繞軸線W1轉(zhuǎn)動(dòng) 或者從臂上移除。因此，通過(guò)選擇待安裝在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)的驅(qū)動(dòng)才莫塊38、 38A，臂結(jié)構(gòu)是可選的。仍然參考圖3A、圖8和圖10，并且如同上文所指出的那樣，通 過(guò)相應(yīng)的皮帶張緊器150A、 150B、 150C、 120T、 122T張緊各變速器 112、 114、 116、 120、 122。在該實(shí)施例中，張緊件150A、 150B、 150C、 120T、 122T基本上是類(lèi)似的，因此，在下文通過(guò)專(zhuān)門(mén)參考張緊件122T 對(duì)其進(jìn)行描述(如圖IOA所最佳地顯示)。在可選實(shí)施例中，任何合適 的張緊件結(jié)構(gòu)都可使用。張緊件122T—般包括輥?zhàn)?60，其樞軸式地安裝在可移動(dòng)基座162上。在該實(shí)施例中，盡管可以設(shè)置任何合適的可移動(dòng)基座，基座162是釘住在一端上的可樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)的鏈節(jié)?？梢苿?dòng) 基座162還可以具有定位鎖(position lock)，在該實(shí)施例中顯示了摩擦 式閘門(mén)(friction 1ock)162L,其通過(guò)相對(duì)于基座側(cè)面而轉(zhuǎn)動(dòng)緊固件來(lái)鎖 住基座并因此將張緊件122T鎖住在某一位置上，在該位置上張緊件 接合并適當(dāng)?shù)貜埦o相應(yīng)的變速器122?？梢苿?dòng)基座162可以受到有彈 性的偏置，通過(guò)彈簧或氣動(dòng)地(未顯示)方式迫使張緊輥?zhàn)?60貼靠變 速器122。在所示實(shí)施例中，張緊件122T可以包括合適的力傳感器 (force transducer)164。力傳感器164可以是任意合適的類(lèi)型，例如壓 電型力傳感器、應(yīng)變計(jì)、光電力傳感器，其相應(yīng)于由張緊輥?zhàn)?60相 對(duì)于變速器皮帶122產(chǎn)生的力而產(chǎn)生信號(hào)。示意性顯示在圖IOA中的 力傳感器164可以安裝在張緊件上的所需位置上(適合所用的變換器 類(lèi)型)。變換器164通過(guò)合適的通信鏈節(jié)(可以是無(wú)線的或有線的，未 顯示)連接到控制器400(也見(jiàn)于圖l)上?？刂破?00具有程序才莫塊401 、 404，至少其中之一具有合適的程序以用于記錄來(lái)從力傳感器的信號(hào) 并由信號(hào)決定由張緊輥?zhàn)?60施加在變速器122上的張緊力。該控制 器中的程序還能夠決定何時(shí)由張緊件122T在變速器上施加作用力以 提供變速器上所需的張緊。然后控制器程序可以發(fā)送命令，使可以在 合適的用戶界面上(未顯示)進(jìn)行顯示，例如從發(fā)聲裝置發(fā)出能聽(tīng)到的 聲音或者在用戶界面上激發(fā)信號(hào)燈以顯示在變速器上已經(jīng)取得了所 需的張緊。張緊件122T的可移動(dòng)基座可以鎖定在適當(dāng)位置上。當(dāng)設(shè) 定驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)26并防止過(guò)度張緊變速器時(shí)，該系統(tǒng)排除了任何猜測(cè)工 作。控制器400也可以通過(guò)編程而周期性地對(duì)來(lái)自張緊件力傳感器的 信號(hào)進(jìn)行采樣，用于監(jiān)視變速器的運(yùn)作狀態(tài)。當(dāng)變速器張緊超出范圍 時(shí)，控制器可以把變速器張緊的操作范圍編入程序，并且也可以通過(guò) 編程來(lái)產(chǎn)生合適的顯示。因此，還提供了驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)健康監(jiān)視系統(tǒng)。雖然描述了具體的實(shí)施例，申請(qǐng)者或其它本領(lǐng)域的技術(shù)人員都可 能提出不同的備選、修改、變型、改進(jìn)以及大致等價(jià)物(無(wú)法預(yù)料或目前可能無(wú)法預(yù)料)。因此，所提出的權(quán)利要求一一盡管其可能被修 改一一其目的在于包含所有這些備選、修改、變種、改進(jìn)以及大致等 價(jià)物。
權(quán)利要求
1、一種襯底傳送裝置，其包括框架；連接到所述框架上的驅(qū)動(dòng)部分，所述驅(qū)動(dòng)部分具有至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊，而所述電動(dòng)機(jī)模塊能夠從每個(gè)都具有不同預(yù)定特征的多個(gè)不同的可互換的電動(dòng)機(jī)模塊中選擇，用于放置在所述驅(qū)動(dòng)部分內(nèi)；以及帶有鉸接關(guān)節(jié)的鉸接式臂，所述臂連接到所述驅(qū)動(dòng)部分上以鉸接所述鉸接關(guān)節(jié)中的至少一個(gè)，其中，所述臂具有可選的臂結(jié)構(gòu)，其能夠從每個(gè)都具有預(yù)定構(gòu)造特征的多個(gè)不同的臂結(jié)構(gòu)中選擇，對(duì)所述臂結(jié)構(gòu)的選擇通過(guò)對(duì)用于放置在所述驅(qū)動(dòng)部分內(nèi)的所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊的選擇而實(shí)現(xiàn)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鉸接式臂包 括多個(gè)剛性的臂鏈節(jié)，其可移動(dòng)地結(jié)合到一起以限定所述鉸接關(guān)節(jié)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鉸接關(guān)節(jié)為 樞軸式關(guān)節(jié)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述預(yù)定構(gòu)造特 征指的是多個(gè)可獨(dú)立移動(dòng)的鉸接關(guān)節(jié)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鉸接式臂是 SCARA臂，且所述可選結(jié)構(gòu)能夠從具有一個(gè)可獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)的端部受動(dòng) 器的臂和具有兩個(gè)可獨(dú)立轉(zhuǎn)動(dòng)的端部受動(dòng)器的臂中進(jìn)行選擇。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述預(yù)定構(gòu)造特 征指的是所述鉸接式臂的多條獨(dú)立的運(yùn)動(dòng)軸線。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電 動(dòng)機(jī)模塊能夠作為整體單元而可拆卸地附接到所述鉸接式臂上。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鉸接式臂具 有上臂，其能夠相對(duì)于所述框架?chē)@第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，前臂在所述 鉸接關(guān)節(jié)之一處結(jié)合到所述上臂上，而至少一個(gè)端部受動(dòng)器在另一所述鉸接關(guān)節(jié)處結(jié)合到所述前臂上，并且，所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)才莫塊由 所述上臂承載。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電動(dòng)枳4莫塊位于所述上臂上、緊鄰所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電 動(dòng)機(jī);漠塊具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，并且，所述預(yù)定特征指的是位于所述至少 一個(gè)電動(dòng)機(jī);f莫塊中的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
11、 根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè) 電動(dòng)機(jī)一莫塊包括外罩，所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)才莫塊的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)位于 所述外罩中。
12、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)才莫塊具有多個(gè)一體式電動(dòng)機(jī)，其每個(gè)都限定了獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線，并且，至少一個(gè)所述電動(dòng)^L與至少另一個(gè)所述電動(dòng)才幾存在偏移，因此， 所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線和所述至少另一個(gè)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸 線在水平方向上彼此存在偏移。
13、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)才莫塊具有多條獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)軸線，并且，所述預(yù)定特征指的是多條 所述的獨(dú)立驅(qū)動(dòng)軸線。
14、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)電 動(dòng)機(jī)才莫塊能夠從具有一條、兩條或三條獨(dú)立驅(qū)動(dòng)軸線的不同的可互換 的電動(dòng)機(jī)沖莫塊中選擇。
15、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部分具 有限定了獨(dú)立驅(qū)動(dòng)軸線的驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段，所述鉸接式臂能夠作為整體至少 一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊豎直地與所述驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段分隔開(kāi)。
16、 根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè) 電動(dòng)機(jī)才莫塊限定了另一條獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)軸線，并且，所述另一條獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)軸線在水平方向上與由所述驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段限定的所述獨(dú)立驅(qū)動(dòng) 軸線存在偏移。
17、 一種襯底傳送裝置包括框架；連"l妄到所述框架上的驅(qū)動(dòng)部分；以及鉸接式臂，其連接到所述驅(qū)動(dòng)部分上以用于所述臂的鉸接，所述 臂具有上臂鏈節(jié)、樞軸式地結(jié)合到所述上臂鏈節(jié)上的前臂鏈節(jié)和樞軸 式地結(jié)合到所述前臂鏈節(jié)上的至少一個(gè)端部受動(dòng)器鏈節(jié)；其中，所述驅(qū)動(dòng)部分具有第一驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段和電動(dòng)積4莫塊，所述 電動(dòng)機(jī)模塊連接到所述第一驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段上并且具有至少一個(gè)電動(dòng) 機(jī)，以用于獨(dú)立地相對(duì)于所述上臂而樞軸式地轉(zhuǎn)動(dòng)所述前臂或者獨(dú)立 地相對(duì)于所述前臂而樞軸式地轉(zhuǎn)動(dòng)所述至少一個(gè)端部受動(dòng)器，并且， 所述電動(dòng)機(jī)模塊能夠從每一個(gè)都具有不同預(yù)定特征的不同的可互換 的電動(dòng)機(jī)模塊中選擇，用于連接到所述第 一驅(qū)動(dòng)部分區(qū)段上。
18、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于，所述上臂鏈節(jié) 相對(duì)于所述框架是樞軸式的。
19、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于，所述電動(dòng)機(jī)模 塊可拆卸地附接到所述上臂鏈節(jié)上。
20、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于，所述預(yù)定特征 指的是由所述才莫塊支持的多個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
全文摘要
一種襯底傳送裝置，其具有框架、驅(qū)動(dòng)部分和鉸接式臂。驅(qū)動(dòng)部分具有至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊，其可以從一些不同的可互換的電動(dòng)機(jī)模塊中選擇，用于放置在驅(qū)動(dòng)部分中。每一電動(dòng)機(jī)模塊都具有不同的預(yù)定特征。鉸接式臂具有鉸接關(guān)節(jié)。該臂連接到驅(qū)動(dòng)部分上以用于鉸接。臂具有可選的結(jié)構(gòu)，其可從每個(gè)都具有預(yù)定構(gòu)造特征的一些不同的臂結(jié)構(gòu)中選擇。對(duì)臂結(jié)構(gòu)的選擇通過(guò)對(duì)用于放置在驅(qū)動(dòng)部分中的至少一個(gè)電動(dòng)機(jī)模塊的選擇而實(shí)現(xiàn)。
文檔編號(hào)B25J9/06GK101258001SQ200680032500
公開(kāi)日2008年9月3日 申請(qǐng)日期2006年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月11日
發(fā)明者C·霍夫梅斯特, U·吉爾克里斯特 申請(qǐng)人:布魯克斯自動(dòng)化公司