專利名稱：傳送手臂的制作方法
傳送手臂
所屬駄領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備上用于傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安全傳
i^載帶WM曲變型的晶片的機械傳送手臂。 背景默
目前，半導(dǎo)體設(shè)備的傳送機器人上安裝的傳送手臂有用真空吸附式的，但 制品在制作過程中有時會發(fā)生翹曲，翹曲有時為上，有時向下，不固定。這時， 普通的傳送手臂在傳送過程中，由于制品的翹曲，手臂不能完全吸住制品，制 品M成位置偏移造成不良品，甚至會發(fā)生掉片，造成不必要的損失。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片的不足，本 發(fā)明提供一種新型的傳送手臂，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可以緊 緊的吸附住帶有翹曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發(fā)生偏移和掉片。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是
一種傳送手臂，在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與 吸盤相通的真空M。
戶;M傳送手臂本體為雙叉形結(jié)構(gòu)。 戶;M吸盤在傳送手臂本體上均布，與其傳送的晶片相對應(yīng)。 本發(fā)明的有益效果是-
1、 本發(fā)明在手臂與晶片真空吸附處安,軟的微型吸盤，吸盤的;U:表面 要^^寺在一個平面上，且與手臂的基面保持平行。
2、 無論機器人傳送的晶片是不是有翹曲變型，本發(fā)明都可以安全裝載傳送， 不掉片，結(jié)構(gòu)簡單。


圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，1、傳送手臂本體；2、真空通道；3、吸盤。具敝施力式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
如圖1所示，本發(fā)明傳送手臂，在傳送手臂本體1上設(shè)有吸盤3，在傳送手 臂本體1內(nèi)部設(shè)有與吸盤3相通的真空通道2，傳送手臂本體1為雙叉形結(jié)構(gòu)， 吸盤3在傳送手臂本體1上均布，與所傳送的晶片相對應(yīng)。本發(fā)明吸盤的材料 可以為硅橡、膠。
當為沒有變形的標準晶片裝載傳送時，晶片底面和吸盤3完全吸附上，和 普通傳送手臂相同；當帶有翹曲變型的晶片裝載時，由于重力的作用，吸盤3 會隨著晶片翹曲變型的方向發(fā)生變型，使吸盤的上圈完全和變型的晶片重合。 當真空通過傳送手臂內(nèi)部的真空通道2開啟后，由于變型的吸盤3和變型晶片 完全封閉形成負壓就會和傳送手臂本體1牢牢吸附在一起，即使在急速運行中 也不會掉下，當運行到指定位置后，真空閥關(guān)閉，卸載晶片。
權(quán)利要求
1、一種傳送手臂，其特征在于在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與吸盤相通的真空通道。
2、 按照權(quán)利要求1所述的傳送手臂，其特征在于傳送手臂本體為雙叉形 結(jié)構(gòu)。
3、 按照權(quán)利要求1戶腿的傳送手臂，其特征在于吸盤在傳送手臂本體上 均布，與其傳送的晶片相對應(yīng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備上用于傳送、運載晶片的手臂裝置，尤其能安全傳送運載帶有翹曲變型的晶片的機械傳送手臂，在傳送手臂本體上設(shè)有吸盤，在傳送手臂本體內(nèi)部設(shè)有與吸盤相通的真空通道。本發(fā)明可以解決現(xiàn)有機器人上的傳送手臂不能傳送有翹曲變型的晶片等問題，這種手臂不僅可以傳送標準的晶圓，也可以緊緊的吸附住帶有翹曲變型的晶片，使之在傳送過程中不會發(fā)生偏移和掉片。
文檔編號B25J15/06GK101434069SQ200710158320
公開日2009年5月20日 申請日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者王紹勇 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司