專利名稱：一種真空吸附裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種真空吸附裝置技術(shù)領(lǐng)城本實(shí)用新型涉及吸附裝置，特別涉及一種真空吸附裝置。
技術(shù)背景在集成電路制造過程中，晶圓需經(jīng)過清洗、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、氧化等多 道工序，才能制成具有特定功能的芯片。為保證整個(gè)生產(chǎn)的有序進(jìn)行，通常每 道工序后都會(huì)設(shè)有用以存儲(chǔ)已完成該道工序的晶圓的倉庫，該晶圓在完成每道工序后都會(huì)裝載在晶圓盒中，然后儲(chǔ)存在倉庫中。當(dāng)將晶圓盒儲(chǔ)存到倉庫時(shí)，首先將該晶圓盒設(shè)置在一承栽平臺(tái)上，然后通 過一傳送裝置傳送到倉庫中的預(yù)定儲(chǔ)存位置。為確保承栽平臺(tái)承栽的穗定性， 通常會(huì)通過一真空吸附裝置將晶圓盒吸附在承栽平臺(tái)上，該真空吸附裝置包括 設(shè)置在承載平臺(tái)上用于直接吸附晶圓盒的吸嘴以及提供真空吸附力的真空氣動(dòng) 閥，但是，由于吸嘴和晶圓盒長(zhǎng)期暴露在空氣中，其上易沉積灰塵，該灰塵易 進(jìn)入真空氣動(dòng)閥中且在其中累積，當(dāng)累積的灰塵過多時(shí)會(huì)導(dǎo)致真空氣動(dòng)閥的損 壞，如此就需頻繁的更換真空氣動(dòng)闊，于是將造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空吸附裝置，通過所述裝置可延長(zhǎng)使用 壽命，節(jié)約成本。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種真空吸附裝置，該真空吸附裝置包 括直接吸附被吸附件的吸嘴以及與該吸嘴相連接且用于提供真空吸附力的驅(qū)動(dòng) 模塊，該真空吸附裝置還包括設(shè)置在吸嘴與驅(qū)動(dòng)模塊間的空氣過濾器。在上述的真空吸附裝置中，該空氣過濾器包括一殼體以及設(shè)置在該殼體內(nèi) 用于過濾空氣的濾芯。在上述的真空吸附裝置中，該殼體具有進(jìn)氣口以及出氣口。
在上述的真空吸附裝置中，該濾芯為吸附式纖維濾紙。 在上述的真空吸附裝置中，該濾芯為無紡布纖維過濾棉。 在上述的真空吸附裝置中，該驅(qū)動(dòng)模塊為真空氣動(dòng)閥。在上述的真空吸附裝置中，該吸嘴與該空氣過濾器間以及該空氣過濾器與 該驅(qū)動(dòng)模塊間通過氣管連接。與現(xiàn)有技術(shù)中真空吸附裝置僅包括相互連接的吸嘴和驅(qū)動(dòng)模塊相比，本實(shí) 用新型的真空吸附裝置在吸嘴與驅(qū)動(dòng)模塊間增設(shè)了空氣過濾器，如此可減少直 接進(jìn)入驅(qū)動(dòng)模塊的灰塵，延長(zhǎng)了驅(qū)動(dòng)模塊的使用壽命，大大節(jié)約了成本。


本實(shí)用新型的真空吸附裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為本實(shí)用新型的真空吸附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為空氣過濾器的透^L圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的真空吸附裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 本實(shí)用新型的真空吸附裝置用于在栽送晶圓盒至倉庫時(shí)將晶圓盒吸附在承載平臺(tái)(未圖示)上。參見圖1，本實(shí)用新型的真空吸附裝置1包括吸嘴10、驅(qū)動(dòng)模塊ll、空氣過濾器12和連接吸嘴10與空氣過濾器12、連接驅(qū)動(dòng)模塊11與空氣過濾器12的氣管13。以下將對(duì)本實(shí)用新型的真空吸附裝置1的上述構(gòu)成要件進(jìn)行詳細(xì)說明。吸嘴10設(shè)置在承栽平臺(tái)上用于直接吸附被吸附件。在本實(shí)施例中，所述被 吸附件為晶圓盒，所述吸嘴10可為一個(gè)或多個(gè)。驅(qū)動(dòng)模塊ll用于提供真空吸附的吸附力。在本實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)模塊為 真空氣動(dòng)閥?？諝膺^濾器12通過氣管13分別與吸嘴10和驅(qū)動(dòng)模塊11相連接，用于過 濾進(jìn)入驅(qū)動(dòng)才莫塊11的空氣。參見圖2，顯示了空氣過濾器12的結(jié)構(gòu)，空氣過濾器12包括殼體120、設(shè)
置在殼體120中的濾芯121，其中，所述殼體120形成有進(jìn)氣口 120a和出氣口 120b，所述進(jìn)氣口 120a和出氣口 120b均與氣管13相連接，所述濾芯為吸附式 纖維濾紙或無紡布纖維過濾棉。在本實(shí)施例中，所述殼體120可旋開，濾芯121在使用一段時(shí)間后，可旋 開殼體120更換濾芯121，如此可避免現(xiàn)有技術(shù)中頻繁更換驅(qū)動(dòng)模塊所造成的經(jīng) 濟(jì)損失。綜上所述，本實(shí)用新型的真空吸附裝置在吸嘴與驅(qū)動(dòng)模塊間增設(shè)了空氣過 濾器，如此可減少直接進(jìn)入驅(qū)動(dòng)模塊的沉積物，延長(zhǎng)了驅(qū)動(dòng)模塊的使用壽命， 大大節(jié)約了成本。
權(quán)利要求1、一種真空吸附裝置，該真空吸附裝置包括直接吸附被吸附件的吸嘴以及與該吸嘴相連接且用于提供真空吸附力的驅(qū)動(dòng)模塊，其特征在于，該真空吸附裝置還包括設(shè)置在吸嘴與驅(qū)動(dòng)模塊間的空氣過濾器。
2、 如權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置，其特征在于，該空氣過濾器包括一 殼體以及設(shè)置在該殼體內(nèi)用于過濾空氣的濾芯。
3、 如權(quán)利要求2所述的真空吸附裝置，其特征在于，該殼體具有進(jìn)氣口以 及出氣口。
4、 如權(quán)利要求2所述的真空吸附裝置，其特征在于，該濾芯為吸附式纖維 濾紙。
5、 如權(quán)利要求2所述的真空吸附裝置，其特征在于，該濾芯為無紡布纖維 過濾棉。
6、 如權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)模塊為真空氣 動(dòng)閥。
7、 如權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置，其特征在于，該吸嘴與該空氣過濾 器間以及該空氣過濾器與該驅(qū)動(dòng)模塊間通過氣管連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空吸附裝置?，F(xiàn)有技術(shù)中的真空吸附裝置因無過濾功能而致使驅(qū)動(dòng)模塊在使用一段時(shí)間后因進(jìn)入過多灰塵而需更換，造成了嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。本實(shí)用新型的真空吸附裝置包括直接吸附被吸附件的吸嘴、與該吸嘴相連接且用于提供真空吸附力的驅(qū)動(dòng)模塊以及設(shè)置在吸嘴與驅(qū)動(dòng)模塊間的空氣過濾器。采用本實(shí)用新型的真空吸附裝置可延長(zhǎng)使用壽命進(jìn)而大大節(jié)約成本。
文檔編號(hào)B25J15/06GK201049465SQ20072007009
公開日2008年4月23日 申請(qǐng)日期2007年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月22日
發(fā)明者孫新穎, 陳曉冬 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司