專利名稱：薄板夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄板夾持裝置，特別是關(guān)于一種用于工藝中夾持掩膜、晶片、玻璃
基板及液晶顯示面板等元件的夾持裝置，通過此可穩(wěn)固地夾取存放于承載盒中的掩膜或半 導(dǎo)體元件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造過程中，清潔是不可或缺的重要步驟之一，其主要的目的在于徹底 清除半導(dǎo)體元件或掩膜表面殘留的有機物質(zhì)、污染物、化學殘留物等，否則被污染的半導(dǎo)體 元件或掩膜一旦流入后續(xù)的工藝中，將會對產(chǎn)品的質(zhì)量以及產(chǎn)線的產(chǎn)能造成負面的影響。
而光刻技術(shù)(Optical Lithogr即hy)則在半導(dǎo)體工藝當中扮演重要的角色，只要 是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需依賴光刻技術(shù)，光刻技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計好 的線路制作成具有特定形狀可透光的掩膜(Photo mask)，利用曝光原理，光源通過掩膜投 影至硅晶片(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。其中會經(jīng)過多道濕式工藝與后續(xù)工藝 交替，而在這兩種工藝交替轉(zhuǎn)換的過程中，需要將半導(dǎo)體元件或掩膜等元件由保存盒體或 承載盒內(nèi)夾持取出，以利將殘留在半導(dǎo)體元件或掩膜上的藥劑或水分及其它任何殘留物清 除，避免影響后續(xù)工藝，同時，半導(dǎo)體元件或掩膜在移動或儲存中產(chǎn)生的灰塵及其它異物， 亦須做徹底的清潔，以免造成任何影響到后續(xù)工藝的可能。 而依照不同工藝需求，半導(dǎo)體元件或掩膜需經(jīng)過風干的程序，因此在執(zhí)行該程序 時要將半導(dǎo)體元件或掩膜取出并穩(wěn)定的夾持著，以利相關(guān)作業(yè)。特別因掩膜價值不斐，處理 過程中每個步驟都需格外小心，尤其在取出保存盒體進行相關(guān)作業(yè)時，更須特別小心，以免 認何損傷的產(chǎn)生而造成經(jīng)濟上的損失。然而現(xiàn)有的半導(dǎo)體相關(guān)裝置，夾持機構(gòu)設(shè)計不夠穩(wěn) 定，且動作程序流程亦不夠順暢，不僅無法滿足不同種類的作業(yè)需求，造成工藝上的不便， 又可能提高半導(dǎo)體元件或掩膜損傷的機率。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的一主要目的在于提供一種薄板夾持裝置，其可穩(wěn)固的 夾取存放于承載盒中的掩膜或半導(dǎo)體元件。 本發(fā)明的另一主要目的在于提供一種薄板夾持裝置，于具有凹槽的夾頭上配置一 對或多對滾輪，可增加夾持薄板的穩(wěn)定性與密合度，避免不當或不穩(wěn)固的夾持而導(dǎo)致薄板 受損° 本發(fā)明的又一主要目的在于提供一種薄板夾持裝置，其夾頭上配置的滾輪是以 PEEK或彈性橡膠材質(zhì)所制成，可大幅降低因摩擦所產(chǎn)生的塵粒(particle)影響薄板的潔 凈度。 本發(fā)明一種薄板夾持裝置，其包含至少一對支架，而每一該支架之一端與一連接 架扣接，且于每一該支架上配置至少一凸輪槽，而每一該凸輪槽的兩端構(gòu)成一移動路徑，以 及每一該凸輪槽與一夾持臂之一端扣接，并通過該夾持臂的另一端夾持住該薄板，其中該薄板夾持裝置的每一該夾持臂的該另一端上形成一具有凹槽的夾頭，并于該夾頭的該凹槽上配置至少一對滾輪。 本發(fā)明一種薄板夾持裝置，其包含至少一支架，該支架是以一端固設(shè)于一座體上，且于該支架上配置至少一凸輪槽，而每一該凸輪槽的兩端構(gòu)成一移動路徑，以及每一該凸輪槽與一夾持臂的一端扣接，并通過該夾持臂的另一端夾持住該薄板，其中該薄板夾持裝置的每一該夾持臂的該另一端上形成一具有凹槽的夾頭，并于該夾頭的該凹槽上配置至少一對滾輪。 本發(fā)明的有益效果是，所提供的薄板夾持，其機構(gòu)設(shè)計穩(wěn)定，且動作程序流程順
暢，不僅滿足不同種類的作業(yè)需求，又可以避免半導(dǎo)體元件或掩膜損傷的機率。


圖1是本發(fā)明薄板夾持裝置的-一正視2是本發(fā)明的夾持臂的一等角視圖3是本發(fā)明薄板夾持裝置的-一正視4是本發(fā)明薄板夾持裝置的-一正視5是本發(fā)明齒輪模塊結(jié)構(gòu)的--示意圖。主要元件符號說明薄板夾持裝置1座體10支架12凸輪槽14夾持臂16薄板18從動滾子20連結(jié)架22旋轉(zhuǎn)部24動力源26夾頭28凹槽282滾輪30齒輪模塊32第一齒條34第二齒條36轉(zhuǎn)動齒輪38第一嚙合部40第二嚙合部4具體實施例方式
由于本發(fā)明是揭露一種薄板夾持裝置，特別是一種用于工藝中夾持掩膜、晶片、玻璃基板及液晶顯示面板等元件的夾持裝置，通過此可穩(wěn)固的夾取存放于承載盒中的掩膜或 半導(dǎo)體元件。由于，本發(fā)明所利用到的一些夾持裝置的詳細制造或動作過程，是利用現(xiàn)有技 術(shù)來達成，故在下述說明中，并不作完整描述。而且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未依據(jù)實際的 相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達與本發(fā)明特征有關(guān)的示意圖。 首先，請先參考圖l，其是根據(jù)本發(fā)明的薄板夾持裝置的一較佳實施例示意圖。如 圖1所示，薄板夾持裝置1主要包含至少一對支架12，而每一個支架12的一端與一連接架 22扣接，且于每一個支架12上配置至少一凸輪槽14，而每一個凸輪槽14的兩端構(gòu)成一移 動路徑，以及每一個凸輪槽14與一夾持臂16的一端扣接，并通過夾持臂16的另一端則夾 持住薄板18，其中薄板夾持裝置1的特征在于每一個夾持臂16的另一端上形成一具有凹 槽282的夾頭28，并于夾頭28的凹槽282上配置至少一對滾輪30。其中前述的薄板18可 為掩膜、晶片、玻璃基板及液晶顯示面板等元件。 請參考圖2，是本發(fā)明夾持臂的詳細示意圖。此夾持臂16的夾頭28具有一凹槽 282，用以夾持或松釋薄板18的四個角落，并于凹槽282上配置一對或多對滾輪30，其中凹 槽282的形狀可大致呈現(xiàn)為v型、直角型及弧型等具有相互對稱的形狀，因此成對的滾輪 30則各自配設(shè)于凹槽282的相互對稱之處，因此可增加夾持薄板18的穩(wěn)定性與密合度， 避免不當或不穩(wěn)固的夾持而導(dǎo)致薄板18受損，又成對的滾輪30為高分子材質(zhì)所制成，且 此種高分子材質(zhì)以PEEK或彈性橡膠材質(zhì)為最佳，通過此可大幅降低因摩擦所產(chǎn)生的塵粒 (particle)影響薄板的潔凈度。 請繼續(xù)參考圖l，薄板夾持裝置1的凸輪槽14兩端所構(gòu)成的移動路徑，可為S型、Z 型及平行四邊型等形狀，而夾持臂16另具有一從動滾子20，設(shè)于夾持臂16與凸輪槽14扣 接之處，并且部分伸出凸輪槽14，因此當薄板夾持裝置1動作時，夾持臂16可通過從動滾子 20的牽引，依照凸輪槽14的移動路徑移動，使夾頭28遠離或靠近薄板18，以達到夾持或松 釋薄板18的目的。此薄板夾持裝置1另具有一動力源26，用以驅(qū)動這些夾持臂16，而這個 動力源26可為一步進馬達；又于薄板夾持裝置1的連結(jié)架22上配置一旋轉(zhuǎn)部24，此旋轉(zhuǎn) 部24具有反轉(zhuǎn)機制，可將成對的支架12旋轉(zhuǎn)至少180度或依一特定角度進行旋轉(zhuǎn)。
接著，請參考圖3，其是根據(jù)本發(fā)明的薄板夾持裝置的另一較佳實施例示意圖。如 圖3所示，薄板夾持裝置1主要包含至少一支架12，支架12的一端固設(shè)于一座體10上，且 于支架12上配置至少一凸輪槽14，而每一個凸輪槽14的兩端構(gòu)成一移動路徑，以及每一個 凸輪槽14與一夾持臂16的一端扣接，并通過夾持臂16的另一端則夾持住薄板18，其中薄 板夾持裝置1的特征在于每一個夾持臂16的另一端上形成一具有凹槽282的夾頭28，并 于夾頭28的凹槽282上配置至少一對滾輪30。其中前述的薄板18可為掩膜、晶片、玻璃基 板及液晶顯示面板等元件，而夾持臂16的詳細示意圖如圖2所示，其內(nèi)容亦與前述相同，不 再重復(fù)贅述。 請參考圖4，其是根據(jù)本發(fā)明的薄板夾持裝置的又一較佳實施例示意圖。依據(jù)圖3 所揭露的元件，圖4的夾持臂16另具有至少一齒輪模塊32，設(shè)于夾持臂16與凸輪槽14扣 接之處。 接著，請參考圖5，其是本發(fā)明的齒輪模塊結(jié)構(gòu)的詳細示意圖。如圖5所示，齒輪模 塊32是由一第一齒條34、一第二齒條36以及一具有齒輪槽的轉(zhuǎn)動齒輪38所組成，第一齒 條34是設(shè)于支架12上，第二齒條36是設(shè)于夾持臂16上，轉(zhuǎn)動齒輪38是以一端固設(shè)于座體10上，其中，轉(zhuǎn)動齒輪38的齒輪槽是由一第一嚙合部40以及一第二嚙合部42所組合而成，且第一齒條34與第一嚙合部40相互嚙合，第二齒條36則與第二嚙合部42相互嚙合。
由于，轉(zhuǎn)動齒輪38是以一端固設(shè)于座體10上，并且部分伸出凸輪槽14，因此當薄板夾持裝置1動作時，夾持臂16可通過轉(zhuǎn)動齒輪38的牽引，依照凸輪槽14的移動路徑移動，使夾頭28遠離或靠近薄板18，以達到夾持或松釋薄板18的目的。 以上，本發(fā)明已通過各個實施例及其相關(guān)圖式而清楚載明。然而，熟習該項技術(shù)者當了解的是，本發(fā)明的各個實施例在此僅為例示性而非為限制性，亦即，在不脫離本發(fā)明實質(zhì)精神及范圍之內(nèi)，上述所述及的各元件的變化例及修正例均為本發(fā)明所涵蓋。緣此，本發(fā)明是由后附的申請專利范圍所加以界定。
權(quán)利要求
一種薄板夾持裝置，其包含至少一對支架，而每一該支架的一端與一連接架扣接，且于每一該支架上配置至少一凸輪槽，而每一該凸輪槽的兩端構(gòu)成一移動路徑，以及每一該凸輪槽與一夾持臂的一端扣接，并通過該夾持臂的另一端夾持住該薄板，其特征在于該薄板夾持裝置的每一該夾持臂的該另一端上形成一具有凹槽的夾頭，并于該夾頭的該凹槽上配置至少一對滾輪。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于該凹槽的形狀是由下列組合中 選出V型、直角型及弧型。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于該滾輪的材質(zhì)是選自以下所構(gòu) 成的群組PEEK以及彈性橡膠。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于該凸輪槽的移動路徑是由下列 組合中選出S型、Z型及平行四邊型。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于所述薄板夾持裝置進一步包括 一步進馬達，用以驅(qū)動該些夾持臂。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于該連結(jié)架上配置一旋轉(zhuǎn)部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的薄板夾持裝置，其特征在于該薄板是由下列組合中選出掩 膜、晶片、玻璃基板及液晶顯示面板。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板夾持裝置，其特征在于該夾持臂另具有一從動滾子設(shè) 于與該凸輪槽扣接之處。
9. 一種薄板夾持裝置，其包含至少一支架，該支架是以一端固設(shè)于一座體上，且于該支 架上配置至少一凸輪槽，而每一該凸輪槽的兩端構(gòu)成一移動路徑，以及每一該凸輪槽與一 夾持臂的一端扣接，并通過該夾持臂的另一端夾持住該薄板，其特征在于該薄板夾持裝置 的每一該夾持臂的該另一端上形成一具有凹槽的夾頭，并于該夾頭的該凹槽上配置至少一 對滾輪。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄板夾持裝置，其特征在于該齒輪模塊是由一第一齒條、 一第二齒條以及一具有齒輪槽的轉(zhuǎn)動齒輪所組成。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的薄板夾持裝置，其特征在于該第一齒條設(shè)于該支架上，該 第二齒條設(shè)于該夾持臂上，該轉(zhuǎn)動齒輪是以一端固設(shè)于該座體上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的薄板夾持裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)動齒輪的齒輪槽是由一 第一嚙合部以及一第二嚙合部組合而成。
全文摘要
本發(fā)明主要提供一種薄板夾持裝置，其中此薄板可為掩膜、晶片、玻璃基板及液晶顯示面板等元件，此裝置包含至少一對支架，而每一支架之一端與一連接架扣接，且于每一支架上配置至少一凸輪槽，通過每一凸輪槽的兩端構(gòu)成一移動路徑，而每一凸輪槽與一夾持臂之一端扣接，夾持臂的另一端夾持住薄板，其中薄板夾持裝置的特征在于每一夾持臂的另一端上形成一具有凹槽的夾頭，并于夾頭的凹槽上配置至少一對滾輪，通過此可穩(wěn)固的夾取存放于承載盒中的掩膜或半導(dǎo)體元件。
文檔編號B25J15/10GK101728299SQ20081017034
公開日2010年6月9日 申請日期2008年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月16日
發(fā)明者楊家豪, 潘勇順 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司