專利名稱：夾取高溫蓋的夾鉗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
夾取高溫蓋的夾鉗
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域中的夾鉗，尤其涉及一種夾取高溫蓋的夾鉗。背景^支術(shù)
在半導(dǎo)體制造過程中，CVD(Chemical Vapor D印osition,化學(xué)氣相沉積) 工藝要求連續(xù)工位的進(jìn)出爐操作在一定時間內(nèi)完成。由于裝有較多硅片的碳化 硅舟在出CVD爐時溫度很高，通常是200 300。C,直接拿取碳化硅舟蓋可能造 成燙傷，帶來安全隱患，而使用高溫手套直接接觸又會帶來玷污，影響最后芯 片的質(zhì)量，若待其冷卻至室溫后再進(jìn)行操作，則需要很長時間，違反工藝規(guī)定， 且效率低下。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種夾取高溫蓋的夾鉗，能在高溫下 完成碳化硅舟蓋的夾取操作，既安全可靠，又減少玷污，節(jié)約時間。
為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型夾取高溫蓋的夾鉗，包括兩個鉗桿， 該兩個鉗桿通過樞軸樞接成一體，該兩個鉗桿的前端和后端分別為鉗臂部和手 柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述鉗臂部包括第一鉗臂和第二 鉗臂。
所述手柄部和4f臂部相互垂直。
所述第 一鉗臂和第二鉗臂的下端分別設(shè)有第 一鉗爪和第二鉗爪，該第 一鉗 爪和第二鉗爪的形狀與被夾取物的邊緣結(jié)構(gòu)相適配。 所述樞軸選用螺絲、鉚釘或軸銷。 所述夾鉗為不銹鋼材質(zhì)。
本實(shí)用新型夾取高溫蓋的夾鉗，由于手柄與兩個鉗臂通過樞軸樞接，因此 能安全有效地夾取高溫的碳化硅舟蓋，避免硅片的玷污，節(jié)省時間，提高效率。

圖1是本實(shí)用新型夾取高溫蓋的夾鉗的一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實(shí)用新型夾取高溫蓋的夾鉗的另 一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的^L明。 如圖1所示，本實(shí)用新型夾取高溫蓋的夾鉗，包括兩個鉗桿，該兩個鉗桿 通過樞軸7樞接成一體，該兩個鉗桿的前端和后端分別為鉗臂部和手柄部，所 述手柄部包括第一手柄1和第二手柄2,所述鉗臂部包括第一鉗臂3和第二鉗臂 4。
在本實(shí)用新型的一個實(shí)施例中(見圖l),所述手柄部和^l計臂部相互垂直， 通常所述手柄部位于鉗臂部的右上方，當(dāng)使用該結(jié)構(gòu)的夾鉗夾取碳化硅舟蓋時， 能有效防止碳化硅舟中的硅片被玷污，且操作方便。
在本實(shí)用新型的另一個實(shí)施例中(見圖2)，所述夾鉗的第一鉗臂3和第二 鉗臂4的下端分別設(shè)有第一鉗爪5和第二鉗爪6,該第一鉗爪5和第二鉗爪6的 形狀與被夾取物的邊緣結(jié)構(gòu)相適配，從而使夾鉗能穩(wěn)固地夾起被夾取物。CVD工 藝中使用的碳化硅舟蓋由碳化硅制成，易碎，碳化硅舟蓋若沒被夾穩(wěn)掉下來， 極容易摔碎。由于碳化硅舟蓋兩側(cè)邊緣靠中間的部位通常設(shè)有圓形的凹槽結(jié)構(gòu)， 因此，本實(shí)用新型夾鉗的第一鉗爪和第二鉗爪的形狀優(yōu)選設(shè)計成圓形，以與碳 化硅舟蓋上的圓形凹槽結(jié)構(gòu)相適配。
本實(shí)用新型夾鉗的樞軸選用螺絲、鉚釘或軸銷。
本實(shí)用新型夾鉗的材料優(yōu)選為不銹鋼材質(zhì)，更優(yōu)選抗高溫的316不銹鋼，
使用不銹鋼制成的夾鉗，能有效防止硅片的玷污。
使用本實(shí)用新型夾鉗夾取高溫的碳化硅舟蓋時，只需單手握住第 一手柄和 第二手柄，并將夾鉗的第一鉗臂和第二鉗臂分別落在碳化硅舟蓋的兩側(cè)，當(dāng)?shù)?一鉗臂和第二鉗臂下端的第 一鉗爪和第二鉗爪碰到碳化硅舟蓋上的圓形凹槽結(jié) 構(gòu)、并與其相適配扣合時，緊握第一手柄和第二手柄，然后稍;微用力上抬，即 可安穩(wěn)地夾起碳化硅舟蓋。使用本實(shí)用新型夾鉗，既安全省時、操作簡便，又 能有效避免夾取石友化硅舟蓋過程中給硅片造成玷污。
以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和 詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是， 對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以 做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型 專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種夾取高溫蓋的夾鉗，其特征在于，包括兩個鉗桿，該兩個鉗桿通過樞軸樞接成一體，該兩個鉗桿的前端和后端分別為鉗臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述鉗臂部包括第一鉗臂和第二鉗臂。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾鉗，其特征在于，所述手柄部和鉗臂部相互垂直。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的夾鉗，其特征在于，所述第一鉗臂和第二鉗臂的 下端分別設(shè)有第一鉗爪和第二鉗爪。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾鉗，其特征在于，所述第一鉗爪和第二鉗爪的 形狀與被夾取物的邊緣結(jié)構(gòu)相適配。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的夾鉗，其特征在于，所述樞軸選用 螺絲、鉚4r或軸銷。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾鉗，其特征在于，所述夾鉗為不銹鋼材質(zhì)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種夾取高溫蓋的夾鉗，包括兩個鉗桿，該兩個鉗桿通過樞軸樞接成一體，該兩個鉗桿的前端和后端分別為鉗臂部和手柄部，所述手柄部包括第一手柄和第二手柄，所述鉗臂部包括第一鉗臂和第二鉗臂。本實(shí)用新型的夾鉗，能安全有效地夾取高溫的碳化硅舟蓋，避免硅片的玷污，節(jié)省時間，提高效率。
文檔編號B25B11/00GK201183228SQ200820095330
公開日2009年1月21日 申請日期2008年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月8日
發(fā)明者葉宗桂, 王曉峰 申請人:深圳深愛半導(dǎo)體有限公司