專利名稱：搬送裝置及使用該搬送裝置的真空處理裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及例如搬送半導體晶圓等的處理對象基板的搬送裝置，尤其涉及適于在
對處理對象基板進行各種加工處理的具備1個或多個制程室的真空處理裝置中，進行處理 對象基板的進出的搬送裝置。
背景技術：
以往，作為此種搬送裝置，例如公開于日本特開2005-125479號公報的現(xiàn)有例。
圖8(a) (c)顯示現(xiàn)有技術的基本構(gòu)成。 如圖8(a) (c)所示，在該搬送裝置200中，在可沿水平方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺201 上固定有長條狀的引導部件202。而且，第1臂203的一端部，在能夠以貫通引導部件202 的基部202a和旋轉(zhuǎn)臺201的支軸203a為中心進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，安裝在驅(qū)動馬達(圖中 未顯示)上。 在引導部件202的延長部202b上設有直線導軌(linear guide) 204，構(gòu)成為移動 部件205沿著該直線導軌204向箭頭X方向或其反方向移動。而且，在移動部件205的前 端，例如安裝有用于載置晶圓或玻璃基板的搬送物300的搬送臺206。 而且，在上述第1臂203的另一端部，軸支有第2臂207的一端部，并且其另一端 部軸支在移動部件205上，經(jīng)由該第1和第2臂203、207將引導部件202的基部202a和移 動部件205聯(lián)接。 在具有此種構(gòu)成的現(xiàn)有技術的情況下，如果利用伸縮動作使第1臂203旋轉(zhuǎn)，則第 2臂207隨著該動作而旋轉(zhuǎn)，由此，移動部件205沿著直線導軌204的延長部202b直線移動。 另一方面，在第1和第2臂203、207處于其收縮位置的狀態(tài)下，使圖中未顯示的驅(qū) 動馬達進行動作，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺201，由此進行旋轉(zhuǎn)動作。 由于在該現(xiàn)有技術中，其構(gòu)成為由直線導軌204和引導部件202來支撐包括旋轉(zhuǎn) 臺201的搬送物300的重量和移動部件205的重量，因而第1和第2臂203、207采用能夠 使移動部件205在直線導軌204上移動的程度的剛性的部件，不能僅以第1和第2臂203、 207來支撐搬送物300等的重量。 結(jié)果，在現(xiàn)有技術中，在搬送物300的重量增大的情況下，直線導軌部(第1和第 2臂203、207以及移動部件205)并不會順利地移動，存在著搬送物300無法搬送到正確位 置的問題。 針對此種問題，在現(xiàn)有的裝置中，通過增加直線導軌部的滑動部分的潤滑劑(潤 滑脂)的填充量，或者采用更大尺寸的直線導軌來克服。但是，如果增加潤滑劑的填充量， 則尤其在真空裝置內(nèi)使用搬送裝置的情況下，真空裝置內(nèi)或搬送物被多余的潤滑脂污染。 另外，如果直線導軌成為較大的尺寸，則裝置整體的重量變大，必須加大該部份驅(qū)動的馬達 的功率，因而裝置整體變大。 而且，在圖8(a) (c)所示的現(xiàn)有的搬送裝置200中，引導部件202的延長部202b及其上方的直線導軌204為突出至旋轉(zhuǎn)臺201的前方的形狀，因而，例如即使移動部件205 為位于旋轉(zhuǎn)臺201的正上方的狀態(tài)，也無法使裝置的旋轉(zhuǎn)半徑小于延長部202b的前端位 置。所以，裝置的設置面積(軌跡覆蓋區(qū)(footprint))不變小。其它的現(xiàn)有技術，例如公開于日本特開2001-185596、特開2002-362738、特開
2003-209155、特開2004_323165、特開2004_130459、特開2005-12139等。 在這些現(xiàn)有裝置中，通過使用直線導軌將平行連桿臂機構(gòu)的"上腕臂"的動作傳達
至IJ"下腕臂"，從而控制平行連桿臂的"肘部〃 的動作。但是，由于在對搬送臂施加較大的力
的情況下或在搬送物的重量變大的情況下，直線導軌部不會順利地移動，因而搬送臂不會
順利地移動，所以存在著搬送物無法搬送到正確位置的問題。 針對此種問題，在現(xiàn)有的裝置中，也與上述現(xiàn)有技術相同，通過增加直線導軌部的 滑動部分的潤滑劑(潤滑脂)的填充量，或者采用更大尺寸的直線導軌來克服。但是，如果 增加潤滑劑的填充量，則尤其在真空裝置內(nèi)使用搬送裝置的情況下，真空裝置內(nèi)或搬送物 被多余的潤滑脂污染。另外，如果直線導軌成為較大的尺寸，則裝置整體的重量變大，必須 加大該部份驅(qū)動的馬達的功率，因而裝置整體變大。 有時候在腐蝕性氣體氛圍內(nèi)使用上述現(xiàn)有技術以及其它現(xiàn)有技術的裝置。在此種 情況下，雖然對部件表面進行耐蝕處理，以使裝置的構(gòu)成部件不腐蝕，但用于對直線導軌進 行耐蝕處理的技術在現(xiàn)階段未必確立，結(jié)果，存在著用于處理的費用增加，裝置的制作成本 也提高的問題。 專利文獻1 :日本特開2005-125479號公報
專利文獻2 :日本特開2001-185596號公報
專利文獻3 :日本特開2002-362738號公報
專利文獻4 :日本特開2003-209155號公報
專利文獻5 :日本特開2004-323165號公報
專利文獻6 :日本特開2004-130459號公報
專利文獻7 :日本特開2005-12139號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決此種現(xiàn)有技術的課題而提出的，其目的在于，提供一種不產(chǎn)生 真空裝置等被潤滑脂等污染的問題的搬送裝置。 另外，本發(fā)明的其它目的在于，提供一種裝置整體也不大且尤其是裝置的設置面 積(軌跡覆蓋區(qū))小的搬送裝置。 而且，本發(fā)明的其它目的在于，提供一種能夠以現(xiàn)存的技術容易地對旋轉(zhuǎn)部件 (軸承等)實施耐蝕處理的搬送裝置。 為了達成上述目的而提出的本發(fā)明，具有搬送部，支撐并搬送搬送物；動力傳達 機構(gòu)，用于將來自裝置本體部的動力傳達至上述搬送部，使該搬送部向相對于基準方向交 叉的方向移動；以及引導機構(gòu)，配設在上述裝置本體部和上述搬送部之間，用于引導上述搬 送部的移動方向，其中，上述引導機構(gòu)構(gòu)成為，具有軸支聯(lián)接的多個引導臂，該各引導臂沿 包括上述基準方向的成分的方向進行旋轉(zhuǎn)。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述引導機構(gòu)的引導臂中，該引導機構(gòu)的一端部側(cè)的引
4導臂安裝在上述裝置本體部，并且，另一端部側(cè)的引導臂安裝在上述搬送部。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述引導機構(gòu)具有第1引導臂和第2引導臂，上述第1引
導臂的一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述裝置本體部，并且，上述第2
引導臂的一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述第1引導臂的另一端部，
而且，上述第2引導臂的另一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述搬送部。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述動力傳達機構(gòu)具有驅(qū)動臂和從動臂，上述驅(qū)動臂的
一端部以可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)固定在上述裝置本體部的驅(qū)動軸，并且，在該驅(qū)
動臂的另一端部，上述從動臂的一端部以可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支，而且，上
述從動臂的另一端部以可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述搬送部。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述動力傳達機構(gòu)具備驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)，具
有上述驅(qū)動臂；以及從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)，使用該驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的規(guī)
定的連桿而構(gòu)成。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述引導機構(gòu)構(gòu)成為，聯(lián)接在上述動力傳達機構(gòu)，限制上
述驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)和上述從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的相對動作。 在上述發(fā)明中，本發(fā)明的上述動力傳達機構(gòu)的裝置本體部側(cè)端部安裝于設置在上
述裝置本體部的旋轉(zhuǎn)部。 本發(fā)明是一種真空處理裝置，具備搬送室，具有上述任一搬送裝置，以及真空處 理室，構(gòu)成為與上述搬送室連通，使用上述搬送裝置來交接處理對象物。 在本發(fā)明的情況下，具備引導機構(gòu)以取代現(xiàn)有技術的直線導軌，該引導機構(gòu)具有 軸支聯(lián)接的多個引導臂，且構(gòu)成為各引導臂沿包括基準方向的成分(例如鉛直方向的成 分)的方向進行旋轉(zhuǎn)，因而裝置整體也不變大，尤其是裝置的設置面積變小，另外，能夠以 現(xiàn)存的技術容易地實施耐蝕處理。另外，能夠沿基準方向，尤其是鉛直方向?qū)璉導機構(gòu)施加 力。 除此之外，依照本發(fā)明，由于不存在如現(xiàn)有技術的因直線導軌的滑動部分的摩擦 而產(chǎn)生的阻力，因而由臂等構(gòu)成的動力傳達機構(gòu)順利地移動，搬送物被搬送到正確位置。
另外，由于不必像現(xiàn)有技術那樣使用大尺寸的直線導軌，因而尤其能提供旋轉(zhuǎn)用 驅(qū)動馬達不大且制作成本也不高的搬送裝置。 而且，在真空裝置內(nèi)使用本發(fā)明的搬送裝置的情況下，有時候不能使用潤滑脂 (油)作為潤滑油，在該情況下，使用干式的潤滑劑(固體潤滑劑)。雖然現(xiàn)在使用固體潤 滑劑作為直線導軌的潤滑劑，但耐荷重小且壽命也短。 但是，使用固體潤滑劑的軸承的技術遠比直線導軌的技術確立，耐荷重大且壽命 也長。 由于本發(fā)明的搬送裝置僅由旋轉(zhuǎn)要素(以軸承來軸支的構(gòu)造)構(gòu)成，因而在必須 使用干式潤滑劑(固體潤滑劑)的情況下，能夠使用技術上確立的干式軸承，能夠提供不污 染搬送物或真空環(huán)境，耐荷重大且壽命也長的搬送裝置。 在本發(fā)明中，關于引導機構(gòu)，該引導機構(gòu)的一端部側(cè)的引導臂安裝在裝置本體部， 并且，另一端部側(cè)的引導臂安裝在搬送部的情況下，尤其是在引導機構(gòu)具有第1引導臂和 第2引導臂，上述第1引導臂的一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述裝置本體部，并且，上述第2引導臂的一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上 述第1引導臂的另一端部，而且，上述第2引導臂的另一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的 狀態(tài)被軸支在上述搬送部，在這種情況下，由于能夠進一步減小沿引導機構(gòu)的鉛直方向施 加的力，并且，能夠簡化引導機構(gòu)的構(gòu)成，因而能夠提供可更圓滑地搬送搬送物的小型的搬
送裝置。 在本發(fā)明中，動力傳達機構(gòu)具有驅(qū)動臂和從動臂，上述驅(qū)動臂的一端部以可沿水 平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)固定在上述裝置本體部的驅(qū)動軸，并且，上述從動臂的一端部以 可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述驅(qū)動臂的另一端部，而且，上述從動臂的另 一端部是以可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在上述搬送部，在這種情況下，例如雖 然在蛙腿(frogleg)型臂機構(gòu)的搬送裝置中，在搬送部使用齒輪作為限制機構(gòu)，但在本發(fā) 明中，能夠提供一種不需要搬送部的齒輪且不存在因來自齒輪的灰塵而產(chǎn)生的搬連物(例 如晶圓或玻璃基板)的污染的搬送裝置。 在本發(fā)明中，上述動力傳達機構(gòu)，具備驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)，具有上述驅(qū) 動臂；以及從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)，使用該驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的規(guī)定的連桿 而構(gòu)成，在這種情況下，能夠利用4根臂來支撐搬送物和搬送部的重量，因而能夠提供不增 加臂的厚度且緊湊的搬送裝置。除此之外，由于利用4根臂來支撐搬送物和搬送部的重量， 因而能夠減小施加在臂聯(lián)接部(關節(jié)部)的力，能夠提供聯(lián)接部(關節(jié)部)的移動流暢的 搬送裝置。 這種情況下，如果上述引導機構(gòu)構(gòu)成為聯(lián)接在上述動力傳達機構(gòu)，限制上述驅(qū)動 側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)和上述從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的相對動作，那么，例如，在現(xiàn)有 的平行四邊形連桿機構(gòu)型臂(日本專利2531261號等)的搬送裝置中，構(gòu)成為由直線導軌 或齒輪來限制驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)和從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的相對動作，但在 本發(fā)明中，并不需要限制用的直線導軌或齒輪。所以，能夠提供不存在因來自直線導軌的滑 動部分的潤滑劑(潤滑脂)的油或來自齒輪的灰塵而產(chǎn)生的搬送物(例如晶圓或玻璃基 板)的污染的搬送裝置。 在本發(fā)明中，在上述動力傳達機構(gòu)的裝置本體部側(cè)端部安裝于設在上述裝置本體 部的旋轉(zhuǎn)部的情況下，除了上述的效果之外，在能夠提供旋轉(zhuǎn)來變更搬送物的搬送方向的 搬送裝置中，由于不需要用于支撐固定現(xiàn)有直線導軌的引導部件，因而能夠使旋轉(zhuǎn)用的驅(qū) 動馬達小型化，結(jié)果能夠提供小型且制造成本低的搬送裝置。 另一方面，依照真空處理裝置，其中該真空處理裝置具備搬送室，具有本發(fā)明的 搬送裝置；以及真空處理室，構(gòu)成為連通在上述搬送室，使用上述搬送裝置來交接處理對象 物，從而能夠提供小型且不易被灰塵或油等污染的真空處理裝置。 依照本發(fā)明，能夠提供不產(chǎn)生因潤滑脂或灰塵等而導致的真空裝置等的污染的問 題的搬送裝置。 另外，依照本發(fā)明，能夠提供一種本裝置整體也不變大，尤其是裝置的設置面積減 小，且能夠以現(xiàn)存的技術容易地實施耐蝕處理的搬送裝置。除此之外，能夠提供一種可由驅(qū) 動力小的馬達來驅(qū)動的搬送裝置。 結(jié)果，依照本發(fā)明，能夠提供小型且不易被灰塵或油污染，設置面積小的真空處理裝置。


圖1 (a) (c)顯示本發(fā)明的搬送裝置的實施方式的概略構(gòu)成，圖1 (a)是俯視圖， 圖1(b)是側(cè)視圖，圖1(c)是內(nèi)部構(gòu)成圖。 圖2是顯示同一搬送裝置中的引導機構(gòu)的安裝位置的俯視說明圖。
圖3(a) (c)是顯示本實施方式的動作的說明圖。 圖4(a) (b)顯示本發(fā)明的搬送裝置的其他實施方式的概略構(gòu)成，圖4(a)是俯視 圖，圖4(b)是正視圖。 圖5是顯示同一搬送裝置的主要部份的俯視圖。 圖6是顯示本發(fā)明的搬送裝置的其它實施方式的概略構(gòu)成的俯視圖。 圖7是概略地顯示具備本發(fā)明的搬送裝置的真空處理裝置的實施方式的構(gòu)成的
俯視圖。 圖8(a) (c)顯示現(xiàn)有技術的搬送裝置的概略構(gòu)成，圖8 (a)是俯視圖，圖8 (b) 是正視圈，圖8(c)是內(nèi)部構(gòu)成圖。部件列表1 :搬送裝置2 :裝置本體部3 :機殼4 :旋轉(zhuǎn)臺4a :上面6 :驅(qū)動馬達9 :驅(qū)動馬達10 :旋轉(zhuǎn)軸13 :第1臂14 :第2臂16:連桿(動力傳達機構(gòu))17 :移動部件19 :搬送臺20 :搬送物30:引導機構(gòu)31:第1引導臂32(32a、32b):第2引導臂34、35、37 :支軸36 :支柱
具體實施例方式
以下，參照附圖，詳細地說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。 圖1 (a) (c)顯示本發(fā)明的搬送裝置的實施方式的概略構(gòu)成，圖1 (a)是俯視圖， 圖l(b)是側(cè)視圖，圖l(c)是內(nèi)部構(gòu)成圖。另外，圖2是顯示同一搬送裝置中的引導機構(gòu)的安裝位置的俯視說明圖。 如圖1 (a) (c)所示，本實施方式的搬送裝置1構(gòu)成為具有成為裝置本體部2的圓筒形狀的機殼3，在該機殼3內(nèi)收容有旋轉(zhuǎn)臺4。 旋轉(zhuǎn)臺4形成為圓筒形狀，經(jīng)由軸承5以可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)安裝在機殼3的內(nèi)壁。
在機殼3的底面配設有驅(qū)動馬達6，設在該驅(qū)動馬達6的上部的旋轉(zhuǎn)軸7的前端固定在旋轉(zhuǎn)臺4上。而且，構(gòu)成為通過使驅(qū)動馬達6進行動作，從而使旋轉(zhuǎn)臺4在機殼3內(nèi)以鉛直方向的旋轉(zhuǎn)軸7為中心(順時針方向或逆時針方向)進行旋轉(zhuǎn)。 此外，旋轉(zhuǎn)臺4和機殼3內(nèi)壁之間的空間由軸封8以保持真空狀態(tài)的方式間隔開。
在旋轉(zhuǎn)臺4的內(nèi)部設有驅(qū)動馬達9，該驅(qū)動馬達9的旋轉(zhuǎn)軸10由軸承11支撐，并且其前端構(gòu)成為從旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a突出至鉛直上方。 另外，驅(qū)動馬達9的旋轉(zhuǎn)軸10和旋轉(zhuǎn)臺4內(nèi)壁之間的空間軸封12以保持真空狀態(tài)的方式間隔開。 而且，在該驅(qū)動馬達9的旋轉(zhuǎn)軸10的前端，固定有具有規(guī)定長度的直線狀的第1臂(驅(qū)動臂)13的一端部，通過使驅(qū)動馬達9進行動作，從而使第1臂13在該旋轉(zhuǎn)軸10的周圍沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。 在第1臂13的另一端部，軸支有與第1臂13相同的第2臂(從動臂)14，該第2臂能夠以支軸15為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)，構(gòu)成為可通過該第1和第2臂13、14進行伸縮的連桿(動力傳達機構(gòu))16。 在第2臂14的另一端部，軸支有例如平板狀的移動部件17，該移動部件能夠以支
軸18為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。在該移動部件17的臂伸長方向(圖中箭頭X方向)
前方側(cè)緣部，安裝有用于載置例如晶圓或玻璃基板等的搬送物20的搬送臺19。于是，構(gòu)成
了通過該移動部件17及搬送臺19可平行(水平)移動的搬送部21。 而且，在本實施方式中，旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a與移動部件17由引導機構(gòu)30聯(lián)接。 該引導機構(gòu)30具有軸支聯(lián)接的多個直線狀的引導臂(在本實施方式的情況下，為
兩個第1和第2引導臂31、32)。 在此，第1引導臂31構(gòu)成為其一端部被軸支于設在旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a的支撐部件33，以支軸34為中心，沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)。 在第1引導臂31的另一端部，軸支有相對配置成夾著第1引導臂31的一對相同的第2引導臂32(32a、32b)，該第2引導臂能夠以支軸35為中心沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)。
而且，第2引導臂32a、32b的另一端部以夾著安裝在移動部件17的臂伸長方向后方側(cè)緣部的支柱36的方式被軸支，并能夠以支軸37為中心沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)。
該3個支軸34、35、37分別由軸承構(gòu)成，各旋轉(zhuǎn)中心軸配設成與移動部件17的移動方向(圖中箭頭X方向或相反方向)成直角且水平。 由此，本實施方式中的引導機構(gòu)30的第1和第2引導臂31、32的可移動的范圍(方向)僅限于平行于X軸方向的方向。 此外，雖然在本發(fā)明中未特別限定，但從動作的穩(wěn)定性的觀點來看，如圖2所示，在旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a，可以相對于旋轉(zhuǎn)用的驅(qū)動馬達9的旋轉(zhuǎn)軸IO，夾著旋轉(zhuǎn)中心軸0而將第2引導臂32的支軸34的位置配置在通過旋轉(zhuǎn)中心軸0的直線A上。
另外，在本實施方式中，第1弓|導臂13和第2引導臂14采用能夠支撐包括搬送物20的搬送臺19的重量和移動部件17的重量的剛性的部件。由此，力就不會施加到引導機 構(gòu)30的鉛直方向上。 圖3(a) (c)是顯示本實施方式的動作的說明圖。 在具有此種構(gòu)成的本實施方式的情況下，在伸縮動作中，如果使上述驅(qū)動馬達9 進行動作，則第1引導臂13繞著旋轉(zhuǎn)軸10沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)，第2引導臂14隨著該 動作以支軸15、18為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)，由此將動力傳達至移動部件17。
在此，在本實施方式中，如上所述，由于引導機構(gòu)30的第1和第2弓|導臂31、32的 可動范圍僅限于平行于X軸方向的方向，因而如圖3(a) (c)所示，移動部件17沿著X軸 方向(或相反方向)平行移動。 此外，圖3(a)顯示收縮位置，圖3(b)顯示中間位置，圖3(c)顯示伸長位置。
另一方面，通過在移動部件17處于該收縮位置的狀態(tài)(圖3(a))下，對驅(qū)動馬達 9進行驅(qū)動，使旋轉(zhuǎn)臺4旋轉(zhuǎn)，從而進行旋轉(zhuǎn)動作。 如以上所述，依照本實施方式，由于構(gòu)成引導機構(gòu)30的第1和第2引導臂31、32 以分別沿鉛直方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支，因而裝置整體也不變大，尤其是裝置的設置面 積變小，并能夠以現(xiàn)存的技術容易地實施耐蝕處理。另外，力不施加到引導機構(gòu)30的鉛直 方向上。除此之外，由于沒有如現(xiàn)有技術的因直線導軌的滑動部分的摩擦而產(chǎn)生的阻力，因 而由第1和第2臂13、 14構(gòu)成的連桿16順利地移動，搬送物20被搬送至正確位置。
另外，由于不必像現(xiàn)有技術那樣使用大尺寸的直線導軌，因而尤其能夠提供旋轉(zhuǎn) 用的驅(qū)動馬達9不大且制作成本也不高的搬送裝置1。 而且，本實施方式的搬送裝置由于僅由旋轉(zhuǎn)要素(以軸承來軸支的構(gòu)成)構(gòu)成，因
而在必須使用干式潤滑劑(固體潤滑劑)的情況下，能夠使用技術上已確立的干式軸承，不
污染搬送物20或真空環(huán)境，能夠提供耐荷重大且壽命也長的搬送裝置1。 圖4(a) (b)顯示本發(fā)明的搬送裝置的其他實施方式的概略構(gòu)成，圖4(a)是俯視
圖，圖4(b)是正視圖。另外，圖5是顯示同一搬送裝置的主要部分的俯視圈。 以下，對與上述實施方式相對應的部分附上相同的符號，省略其詳細的說明。 如圖4(a) (b)所示，本實施方式的搬送裝置50構(gòu)成為具有成為上述相同的裝置本
體部2的圓筒形狀的機殼3，在該機殼3內(nèi)收容有旋轉(zhuǎn)臺4。 旋轉(zhuǎn)臺4形成為圓筒形狀，經(jīng)由圖中未顯示的軸承以可旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)安裝在機殼3 的內(nèi)壁。 在旋轉(zhuǎn)臺4內(nèi)設有圖中未顯示的驅(qū)動馬達，該驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)軸51的前端構(gòu)成為 從旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a突出至鉛直上方。 此外，在本實施方式的情況下，驅(qū)動馬達的旋轉(zhuǎn)軸51相對于旋轉(zhuǎn)臺4的旋轉(zhuǎn)中心， 在相對于基板搬送方向(圖中箭頭Y方向)的后方側(cè)設在離開規(guī)定距離的位置。
在該驅(qū)動軸51的前端，固定有具有規(guī)定長度的直線狀的第1下臂61的一端部，由 此構(gòu)成為第1下臂61沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。 另外，在旋轉(zhuǎn)臺4的上面4a，可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的從動軸52以沿鉛直方向 突出的方式設置。 在本實施方式的情況下，該從動軸52相對于上述的驅(qū)動軸51，在相對于基板搬送 方向(圖中箭頭Y方向)的前方側(cè)設在離開規(guī)定距離的位置。此外，在本示例中，驅(qū)動軸51和從動軸52設在通過旋轉(zhuǎn)臺4的直徑的直線上。 在從動軸52的前端，例如固定有具有與第1下臂61相同的支點間距離的直線狀 的第2下臂的的一端部，由此第2下臂62可沿水平面方向旋轉(zhuǎn)。 而且，第1下臂61的另一端部和第2下臂62的另一端部聯(lián)接在例如板狀的接合 連桿部件63上。 如圖4(b)所示，在本實施方式中，以貫通接合連桿部件63的方式設有第1和第2
支軸64、65，在該第1支軸64的下側(cè)的部位，第1下臂61的另一端部可旋轉(zhuǎn)地被軸支，并
且，在第2支軸65的下側(cè)的部位，第2下臂62的另一端部可旋轉(zhuǎn)地被軸支。 而且，由該第1和第2下臂61、62，接合連桿部件63的第l和第2支軸64、65，旋
轉(zhuǎn)臺4的驅(qū)動軸51和從動軸52構(gòu)成第1 (驅(qū)動側(cè))平行四邊形連桿機構(gòu)Rl。 而且，在接合連桿部件63的第1支軸64的上側(cè)的部位，支點間距離比第1和第2
下臂61、62更長的直線狀的第1上臂71在其中腹部被軸支，該第1上臂能夠沿水平面方向
進行旋轉(zhuǎn)。 該第1上臂71的一端部，例如可旋轉(zhuǎn)地被軸支在板狀的移動部件73上。
該移動部件73，在基板搬送方向前方側(cè)的部位，安裝有用于支撐搬送物20的搬送 臺76，構(gòu)成搬送部77，在本實施方式中，第1上臂71的一端部按照能夠以設在移動部件73 的下面的支軸74為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支。在此，第1上臂71的支軸 64和支軸74間的距離(支點間距離)構(gòu)成為與上述的第1和第2下臂61、62的支點間距 離相同。 而且，該第1上臂71的一端部(延長部71a的前端部)聯(lián)接在后述的引導機構(gòu)80 上。 另一方面，在接合連桿部件63的第2支軸65的上側(cè)的端部，軸支有直線狀的第2 上臂72的一端部，該一端部能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。在本實施方式的情況下，該第2 上臂72具有與上述的第1和第2下臂61、62相同的支點間距離。 另外，第2上臂72的另一端部按照能夠以設在上述移動部件73的下面的支軸75 為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支。 而且，由該第1和第2下臂71、72，接合連桿部件63，移動部件73的支軸74、75構(gòu) 成第2 (從動側(cè))平行四邊形連桿機構(gòu)R2。 在本實施方式中，第1和第2平行四邊形連桿機構(gòu)R1、R2具有相同的構(gòu)成，由分別 共有的接合連桿部件63聯(lián)接，進行動作。 而且，在本實施方式中，設有如下說明的引導機構(gòu)80。 本實施方式的引導機構(gòu)80由L字形狀的基座部件81和引導連桿機構(gòu)90構(gòu)成。
在此，基座部件81的直線狀的本體部82和在相對于該本體部82直交的方向上延 伸的聯(lián)接部83形成為一體。 而且，基座部件81的聯(lián)接部83的端部以相對于設在第2下臂62的下面的支軸84 能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支。 另一方面，基座部件81的本體部82的端部與具有以下構(gòu)成的引導連桿機構(gòu)90聯(lián)接。 在此，引導連桿機構(gòu)90分別由直線狀的第1引導臂91、第2引導臂92、第3引導臂93構(gòu)成。 第1引導臂91由棒狀的部件制成，構(gòu)成為其一端部在夾著設于基座部件81的本 體部82的端部上面的一對支撐部件85(85a、85b)的狀態(tài)下，以支軸94為中心沿鉛直面方 向進行旋轉(zhuǎn)。 第2引導臂92由相對配置成夾著第1弓l導臂91的另一端部的一對相同的部件制 成，其一端部按照能夠以支軸95為中心沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支。
另一方面，第3引導臂93由棒狀的部件制成，構(gòu)成為其一端部在被第2引導臂92 夾著的狀態(tài)下，以支軸96為中心沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)。 而且，第3引導臂93的另一端部按照能夠以設在第1上臂71的延長部71a的端 部的下部的支軸97為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式被軸支。 該引導連桿機構(gòu)90的3個支軸94、95、96分別由軸承構(gòu)成，以各旋轉(zhuǎn)中心軸通常 與移動部件73的移動方向(圖中箭頭Y方向或相反方向)相同且水平的方式設定L字狀 的基座部件81的形狀和大小、支軸84的位置、第1上臂71的延長部71a的長度。
而且，通過此種構(gòu)成，使得本實施方式中的引導連桿機構(gòu)90的第1 第3引導臂 91、92、93的可移動的范圍(方向)僅限于平行于X軸方向的方向。 而且，在本實施方式中，構(gòu)成為第1平行四邊形連桿機構(gòu)Rl和第2平行四邊形連 桿機構(gòu)R2的旋轉(zhuǎn)方向相反，并且，與Y方向所成的角度相等。 在具有此種構(gòu)成的本實施方式的情況下，在伸縮動作中，如果使驅(qū)動軸51進行動 作，則第1下臂61繞著驅(qū)動軸51沿水平面方向例如順時針方向旋轉(zhuǎn)，第2下臂62隨著該 動作繞著從動軸52沿水平面方向旋轉(zhuǎn)，因而第1平行四邊形連桿機構(gòu)Rl的接合連桿部件 63 —邊保持與Y方向平行的狀態(tài)，一邊沿水平方向移動。 在此，在本實施方式中，引導機構(gòu)90的第1 第3引導臂91、92、93的可動范圍僅 限于平行于X軸方向的方向，而第2平行四邊形連桿機構(gòu)R2相對于第1平行四邊形連桿機 構(gòu)Rl沿相反方向且以與Y方向所成的角度相等的方式進行旋轉(zhuǎn)，因而通過使驅(qū)動軸51進 行動作，從而使移動部件73沿Y軸方向(或相反方向)平行移動。 另一方面，通過在移動部件73處于該收縮位置的狀態(tài)下，使旋轉(zhuǎn)臺4旋轉(zhuǎn)，從而進 行本實施方式中的旋轉(zhuǎn)動作。 依照以上所述的本實施方式，與上述實施方式同樣，能夠提供小型且不易被潤滑 脂或灰塵等污染的真空處理裝置。 而且，依照本實施方式，尤其由于引導機構(gòu)80的引導連桿機構(gòu)90由多個引導臂 91 93構(gòu)成，因而能夠以現(xiàn)存的技術容易地實施耐蝕處理。 圖6是顯示本發(fā)明的搬送裝置的其它實施方式的概略構(gòu)成的俯視圖，以下對與上 述實施方式相對應的部分附上相同的符號，省略其詳細的說明。 如圖6所示，本實施方式的搬送裝置60將上述的引導連桿機構(gòu)90組合于以下說 明的搬送機構(gòu)100中。 首先，該搬送機構(gòu)100其有第1平行四邊形連桿組101和第2平行四邊形連桿組 102。 第1平行四邊形連桿組101具有支點A D，由連桿110、連桿111、連桿112、連桿 113構(gòu)成。在此，連桿111和連桿113使用比連桿110和連桿112長的部件。
另一方面，第2平行四邊形連桿組102使用在第1平行四邊形連桿組的支點A、 D 共有的連桿110，由長度分別與連桿110相同的連桿114、連桿115、連桿116構(gòu)成。
第1平行四邊形連桿組101和第2平行四邊形連桿組102共有的連桿110按照能 夠以其兩端的支點A和支點D為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝，另外，在第1平行 四邊形連桿組中與連桿110相對的連桿112按照能夠以其兩端的支點B和支點C為中心沿 水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝。 而且，在第1和第2平行四邊形連桿組101、 102所共有的連桿110的一端的支點 A，構(gòu)成第1平行四邊形連桿組的連桿111和構(gòu)成第2平行四邊形連桿組的連桿114構(gòu)成為 例如在被以90。的角度限制的狀態(tài)下進行旋轉(zhuǎn)。 即，該連桿111和連桿114被緊固，構(gòu)成L型連桿，該緊固部按照能夠以支點A為
中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝。 而且，構(gòu)成為，例如在支點A對由該連桿111和連桿114構(gòu)成的L型連桿賦予水平 方向的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。 另外，在第1和第2平行四邊形連桿組101、102所共有的連桿110的另一端的支 點D，構(gòu)成第1平行四邊形連桿組的連桿113和構(gòu)成第2平行四邊形連桿組的連桿116構(gòu)成 為例如在被以90。的角度限制的狀態(tài)下進行旋轉(zhuǎn)。 S卩，構(gòu)成第1平行四邊形連桿組101的連桿113和構(gòu)成第2平行四邊形連桿組102 的連桿116被緊固，構(gòu)成L型連桿，該緊固部按照能夠以支點D為中心沿水平面方向進行旋 轉(zhuǎn)的方式安裝。 另一方面，在第2平行四邊形連桿組102中，與上述的連桿110相對的連桿115的 一端在位于連桿114的另一端的支點E以能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝。
另外，構(gòu)成上述L型連桿的連桿116的端部在支點F以能夠相對于上述連桿115 的另一端沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝。 在此，如下所述，支點F設在引導連桿機構(gòu)90的第3引導臂93的前端部上。
在本實施方式的情況下，引導連桿機構(gòu)90具有構(gòu)成為分別沿鉛直面方向進行旋 轉(zhuǎn)的第1 第3引導臂91 93，配置成通過上述支點A并位于與X軸平行的搬送基準線 120上，并且，上述的支撐部件85 (85a、85b)固定在圖中未顯示的基座部件上。
另外，上述的支點A例如與引導連桿機構(gòu)90相同，設在基座部件上，由此構(gòu)成為引 導連桿機構(gòu)90相對于支點A的相對位置關系不變化。 于是，通過此種構(gòu)成，使得引導連桿機構(gòu)90和第2平行四邊形連桿組102伸縮，第 3引導臂93的前端部的支點F在搬送基準線120上沿X軸方向或相反方向移動。
另外，在上述的第1和第2平行四邊形連桿組101、 102上聯(lián)接有如下的平行連桿 型連桿機構(gòu)126。 該平行連桿型連桿機構(gòu)126具有上腕連桿組127和下腕連桿組128。 在此，上腕連桿組127共有上述的第1平行四邊形連桿組101的連桿111，由分別
平行相對的連桿111和連桿117、連桿123和124構(gòu)成。另一方面，下腕連桿組128由分別
平行相對的連桿118和119、連桿124和搬送臺116 (支點I、 J)構(gòu)成。 而且，在上述的連桿111的兩端部的支點A、 B，安裝有連桿123、124，該連桿123、
124能夠分別沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)，而且，在與連桿123U24的支點A、B相反的一側(cè)的端部的支點G、H，安裝有連桿117，該117能夠分別沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。 在此，支點G配置在上述的搬送基準線120上。另外，支點G例如與支點A相同，
設在基座部件(圖中未顯示)上，構(gòu)成為相對于支點A的相對位置關系不變化。 另一方面，下腕連桿組128的連桿118與上述連桿112以例如90°的角度被緊固，
構(gòu)成L型連桿，該緊固部按照能夠以支點B為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝。 而且，與連桿118相對的連桿119以能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝在上
腕連桿組127的支點H，該連桿118U19的前端部以能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的方式安裝
于設在搬送臺116的支點I、J。 在本實施方式的情況下，連桿123U24的長度(支點間距離)和搬送臺116的支 點間距離(支點I和J之間的距離)構(gòu)成為分別相同。另外，連桿111、117，連桿118、119 的長度(支點間距離)也構(gòu)成為分別相同。由此，搬送臺116上的支點I、 J位于搬送基準 線120上。 此外，在搬送臺116的一方的前端部上，安裝有用于載置例如晶圓等的搬送物的 末端執(zhí)行器(end effector) 125。 而且，在本實施方式中，設有用于通過不動點(死點)位置的如以下說明的死點通 過機構(gòu)135。 在此，在由連桿112、118構(gòu)成的L型臂的緊固部，安裝有與連桿112成為一體并能 夠以支點B為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的連桿130，而且，安裝有與連桿110成為一體并 能夠以支點A為中心沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的連桿131。 另外，構(gòu)成為，連桿131相對于連桿110的安裝角度和連桿130相對于連桿112的 安裝角度為相同大小。 而且，在與連桿130的支點B相反的一側(cè)的端部的支點K和與連桿131的支點A 相反的一側(cè)的端部的支點L，分別安裝有連桿134，該連桿134能夠沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)。 該連桿134的長度與連桿111的長度相同(支點間的距離相同)。
而且，由該的連桿111、130、134、131構(gòu)成死點通過機構(gòu)135。 此外，在本實施方式的情況下，優(yōu)選連桿131相對于連桿110的安裝角度和連桿 130相對于連桿112的安裝角度根據(jù)裝置構(gòu)成、可動范圍等成為最佳的安裝角度。從穩(wěn)定地 通過死點位置的觀點來看，優(yōu)選該安裝角度為約30。 約60° 。 在具有此種構(gòu)成的本實施方式中，如果使L型連桿111U14以支點A為中心沿 CW(順時針旋轉(zhuǎn))方向旋轉(zhuǎn)角度9 ，則連桿114與連桿111一起以支點A為中心沿CW方向 旋轉(zhuǎn)角度9 。 此時，支點F在連桿114和連桿116的動作的同時，由引導連桿機構(gòu)90沿著搬送 基準線120向靠近支點A的方向直線地移動。 由此，第2平行四邊形連桿組102 —邊保持平行四邊形的形狀，一邊改變形狀，連 桿110以支點A為中心沿CCW(逆時針旋轉(zhuǎn))方向旋轉(zhuǎn)角度9 。 在本實施方式的情況下，由于由連桿110、連桿111、連桿112、連桿113構(gòu)成第1 平行四邊形連桿組101，因而如果連桿110以支點A為中心沿CCW方向旋轉(zhuǎn)角度e ，則連桿 112以支點B為中心沿CCW方向旋轉(zhuǎn)角度9 ，由此連桿118與連桿112—起以支點B中心，
沿ccw方向旋轉(zhuǎn)角度e 。
如果考慮以該一連串的動作以支點B為基準，則連桿111以支點B為中心沿CW方 向旋轉(zhuǎn)角度9 ，同時，連桿118以支點B為中心沿CCW方向旋轉(zhuǎn)角度e，因而連桿118相對
于連桿111以支點B為中心沿ccw方向旋轉(zhuǎn)角度2 e 。 而且，在本實施方式中，由連桿111、117、123、124構(gòu)成平行四邊形的上腕連桿組 127，因而如果以支點A為中心沿CW方向?qū)⑦B桿111旋轉(zhuǎn)角度e ，則連桿117也以支點G為 中心沿CW方向旋轉(zhuǎn)角度e ，由此連桿124保持與連桿123平行的狀態(tài)而移動。
與此同時，如上所述，連桿118相對于連桿111以支點B為中心沿CCW方向旋轉(zhuǎn)角 度29 。 而且，如果連桿111以支點A為中心沿CW方向旋轉(zhuǎn)角度e ，則決定連桿118和連 桿124的位置，就能唯一地決定下腕連桿組128的平行四邊形的形狀，因而搬送機構(gòu)100進 行伸長動作。 結(jié)果，末端執(zhí)行器125在搬送基準線120上向X軸方向移動。 此外，當末端執(zhí)行器125在搬送基準線120上向與X軸相反的方向移動時，使連桿 111沿與上述的動作相反的方向(CCW方向)進行旋轉(zhuǎn)。 如此，通過使連桿111旋轉(zhuǎn)，進行搬送機構(gòu)100的伸縮動作，從而能夠使搬送臺116 和末端執(zhí)行器125在搬送基準線120上平行移動。 然而，在以支點A為中心沿CW方向使連桿111旋轉(zhuǎn)的情況下，通過引導連桿機構(gòu)
90的移動使連桿IIO沿CCW方向進行旋轉(zhuǎn)，但并不能強制地決定連桿112的旋轉(zhuǎn)方向，因而
無法決定連桿112以支點B為中心沿CW、 CCW方向的哪個方向進行旋轉(zhuǎn)。 但是，在本實施方式的情況下，構(gòu)成為設置死點通過機構(gòu)135，連桿131與連桿110
的動作一體地以支點A為中心沿CCW方向進行旋轉(zhuǎn)，因而連桿130以支點B為中心沿CCW
方向進行旋轉(zhuǎn)。 結(jié)果，由于連桿112與連桿130 —體地以支點B為中心沿CCW方向進行旋轉(zhuǎn)，因而 能夠脫離不動點位置。 同樣地，當構(gòu)成死點通過機構(gòu)135的連桿111、連桿134、連桿130、連桿131成為一 直線狀(不動點位置)時，通過構(gòu)成第1平行四邊形連桿組101的連桿110 113的動作， 使得連桿130能夠脫離不動點位置。 如此，依照本實施方式，連桿118的旋轉(zhuǎn)方向在不動點位置不再不穩(wěn)定，能夠穩(wěn)定 地繞著支點B進行旋轉(zhuǎn)。 如以上所述，依照本實施方式，與上述實施方式相同，能夠提供小型且不易被潤滑 脂或灰塵等污染的真空處理裝置。 另外，依照本實施方式，尤其是引導機構(gòu)80的引導連桿機構(gòu)90由多個引導臂 91 93構(gòu)成，因而能夠以現(xiàn)存的技術容易地實施耐蝕處理。 而且，依照本實施方式，由于共有構(gòu)成第1平行四邊形連桿組101的連桿lll，構(gòu)成
死點通過機構(gòu)135，因而連桿118的旋轉(zhuǎn)在不動點位置不再不穩(wěn)定，穩(wěn)定地繞支點B進行旋
轉(zhuǎn)，結(jié)果，能夠使下腕連桿組128穩(wěn)定地越過不動點位置而移動。 其它的構(gòu)成及作用效果與上述實施方式相同，因而省略其詳細的說明。 圖7是概略地顯示具備本發(fā)明的搬送裝置的真空處理裝置的實施方式的構(gòu)成的
俯視圖。
如圖7所示，在本實施方式的真空處理裝置40中，在配置有上述搬送裝置1的搬 送室41的周圍，經(jīng)由圖中未顯示的閘閥而配設有并列進行成膜等的真空處理的制程室42、 43、44，和用于搬入作為搬送物的晶圓的搬入室45，以及用于搬出晶圓的搬出室46。
該制程室42 44、搬入室45、搬出室46連接在圖中未顯示的真空排氣系統(tǒng)上。
在具有此種構(gòu)成的真空處理裝置40中，由搬送裝置1取入收納在搬入室45的未 處理晶圓47，搬送到例如制程室43。 而且，搬送裝置1通過進行上述的動作，從制程室43接收已處理的晶圓48，將其搬 送至其他的例如制程室42。 以下同樣地，使用搬送裝置l，在制程室42 44、搬入室45、搬出室46之間，進行 未處理晶圓47及已處理晶圓48的交接。 此外，在使用上述的其它的搬送裝置50或搬送裝置60以取代搬送裝置1的情況 下，也進行同樣的動作。 依照具有此種構(gòu)成的本實施方式，能夠提供可圓滑地搬送搬送搬送物的小型且設 置面積小的真空處理裝置。另外，能夠提供不易被灰塵或油等污染的真空處理裝置。
此外，本發(fā)明并不限于上述實施方式，可進行各種的變更。 例如，在上述實施方式中，由以能夠沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支的臂構(gòu) 成引導機構(gòu)，但本發(fā)明并不限于此，臂的旋轉(zhuǎn)方向不限于鉛直面方向，也可以相對于鉛直面 方向傾斜。 另外，引導機構(gòu)的引導臂的數(shù)量不限于兩個或三個，也能夠由三個以上的引導臂 構(gòu)成。這種情況下，引導臂的形狀也不限于直線狀。 另一方面，在上述實施方式中，動力傳達機構(gòu)雖然由以能夠沿水平面方向進行旋 轉(zhuǎn)的方式被軸支的連桿臂構(gòu)成，但也可以使臂等的旋轉(zhuǎn)方向相對于水平面方向傾斜任意的 角度。
權(quán)利要求
一種搬送裝置，具有搬送部，支撐并搬送搬送物；動力傳達機構(gòu)，用于將來自裝置本體部的動力傳達至所述搬送部，使該搬送部向相對于基準方向交叉的方向移動；以及引導機構(gòu)，配設在所述裝置本體部和所述搬送部之間，用于引導所述搬送部的移動方向，其中，所述引導機構(gòu)構(gòu)成為，具有軸支聯(lián)接的多個引導臂，該各引導臂沿包括所述基準方向的成分的方向進行旋轉(zhuǎn)。
2. 如權(quán)利要求l所述的搬送裝置，其特征在于，所述引導機構(gòu)的引導臂中，該引導機構(gòu)的一端部側(cè)的引導臂安裝在所述裝置本體部， 并且，另一端部側(cè)的弓I導臂安裝在所述搬送部。
3. 如權(quán)利要求l所述的搬送裝置，其特征在于，所述引導機構(gòu)具有第1引導臂和第2引導臂，所述第1引導臂的一端部以可沿鉛直面 方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在所述裝置本體部，并且，所述第2引導臂的一端部以可沿鉛 直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在所述第1引導臂的另一端部，而且，所述第2引導臂的另 一端部以可沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在所述搬送部。
4. 如權(quán)利要求l所述的搬送裝置，其特征在于，所述動力傳達機構(gòu)具有驅(qū)動臂和從動臂，所述驅(qū)動臂的一端部以可沿水平面方向進行 旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)固定在所述裝置本體部的驅(qū)動軸，并且，在該驅(qū)動臂的另一端部，所述從動臂的 一端部以可沿水平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支，而且，所述從動臂的另一端部以可沿水 平面方向進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被軸支在所述搬送部。
5. 如權(quán)利要求4所述的搬送裝置，其特征在于，所述動力傳達機構(gòu)，具備驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)，具有所述驅(qū)動臂；以及從動側(cè) 平行四邊形連桿機構(gòu)，使用該驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的規(guī)定的連桿而構(gòu)成。
6. 如權(quán)利要求5所述的搬送裝置，其特征在于，所述引導機構(gòu)構(gòu)成為，聯(lián)接在所述動力傳達機構(gòu)，限制所述驅(qū)動側(cè)平行四邊形連桿機 構(gòu)和所述從動側(cè)平行四邊形連桿機構(gòu)的相對動作。
7. 如權(quán)利要求l所述的搬送裝置，其特征在于，所述動力傳達機構(gòu)的裝置本體部側(cè)端部安裝于設在所述裝置本體部的旋轉(zhuǎn)部。
8. —種真空處理裝置，其特征在于，其備 搬送室，具有如權(quán)利要求1所述的搬送裝置；以及真空處理室，構(gòu)成為與所述搬送室連通，使用所述搬送裝置來交接處理對象物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不產(chǎn)生因潤滑脂或灰塵等而導致的真空裝置等的污染的問題的搬送裝置，并提供一種裝置的設置面積小且能夠以現(xiàn)存的技術容易地進行耐腐蝕處理的搬送裝置。本發(fā)明的搬送裝置(1)具有搬送部(21)，支撐并搬送搬送物(20)；連桿(16)，用于將來自裝置本體部(2)的動力傳達至搬送部(21)，使該搬送部(21)向水平面方向移動；引導機構(gòu)(30)，配設在裝置本體部(2)與搬送部(21)之間，用于引導搬送部(21)的移動方向。引導機構(gòu)(30)具有軸支聯(lián)接的第1和第2引導臂(31、32)，該引導機構(gòu)(30)的一端部側(cè)的第1引導臂(31)安裝在裝置本體部(2)，并且，另一端部側(cè)的第2引導臂(32)安裝在搬送部(21)。第1和第2引導臂(31、32)構(gòu)成為分別沿鉛直面方向進行旋轉(zhuǎn)。
文檔編號B25J9/06GK101730613SQ200880016319
公開日2010年6月9日 申請日期2008年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月15日
發(fā)明者南展史, 藤村和廣 申請人:株式會社愛發(fā)科