專利名稱：坐標(biāo)測量用測頭單元及坐標(biāo)測量機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及坐標(biāo)測量用測頭單元及坐標(biāo)測量機(jī)。特別是涉及小型、廉價(jià)、能夠進(jìn)行高速的高精度測量的、機(jī)床中的機(jī)上測量、輸送線等中的現(xiàn)場(觀察)測量容易的坐標(biāo)測量用測頭單元及具有該坐標(biāo)測量用測頭單元的坐標(biāo)測量機(jī)。
背景技術(shù)：
作為進(jìn)行高精度的三維坐標(biāo)測量的測量裝置，公知有三維坐標(biāo)測量機(jī)(以下也稱作 CMM)。但是，以往的CMM，一般測量行程為500mm左右，較大，該以往的CMM具有測頭，該測頭具有用于載置測量對象(例如工件)的較大的基座(底板)和用于使測量用探頭(例如在與測量對象接觸時(shí)產(chǎn)生接觸信號的接觸式的接觸探頭、獲得測量對象的圖像的非接觸式光學(xué)探頭等)相對于該基座移動的較大的門型或C字型的框架，該測頭能使該門型或C 字型的框架相對于基座沿一個(gè)軸向(例如前后方向)移動，并且能使該門型或C字型的框架沿與上述一個(gè)軸向正交的另一個(gè)軸向(例如左右方向)相對移動，從而使探頭相對于該測頭沿與上述兩個(gè)軸向正交的上下方向移動。因而，CMM不是測量位置的大小，而是覆蓋整個(gè)測量物的大小，并且必須維持其測量行程的整個(gè)范圍的精度。因此，CMM大型且設(shè)置空間大，價(jià)格昂貴，不適合機(jī)上測量或觀察測量。為了解決上述問題，申請人在日本特開平6-34356號公報(bào)(以下稱為專利文獻(xiàn)1) 中提出了能夠組裝到制造線上的簡易型CMM，在日本特開平11-325869號公報(bào)中(以下稱為專利文獻(xiàn)2)提出了能夠組裝到加工中心中的CMM。但是，專利文獻(xiàn)1、2的技術(shù)都是以使用測量行程較大的大型的CMM為前提，組裝到機(jī)床或制造線上，因此，存在價(jià)格昂貴、需要較寬的設(shè)置空間這樣的問題。另一方面，在實(shí)際的應(yīng)用中，多是以外部尺寸40mm IOOmm左右的小工件為測量對象，或者即使是大工件也是測量內(nèi)徑或軸部分的外徑等而未必需要大的測量行程。在這種情況下，即使是小型工件也多采用以往的測量行程較大的為500mm以上的CMM，則CMM的設(shè)置空間相對于測量對象(部分)大很多。另外，當(dāng)要在機(jī)床上進(jìn)行測量時(shí)，考慮取代刀具而安裝測量用的傳感器(例如接觸探頭)來進(jìn)行測量，但在該情況下，測長系統(tǒng)(導(dǎo)軌、標(biāo)尺)由于使用機(jī)床的構(gòu)件，因此也存在不能檢測機(jī)床的運(yùn)動誤差這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述以往的問題點(diǎn)而做成的，其課題在于提供小型、廉價(jià)、能夠進(jìn)行高速的高精度測量、機(jī)床中的機(jī)上測量、輸送線中的觀察測量容易的坐標(biāo)測量用測頭單元、具有該坐標(biāo)測量用測頭單元的坐標(biāo)測量機(jī)、機(jī)床以及輸送線。本發(fā)明是著眼于在測量較小的測量對象、較大的測量對象的局部時(shí)由CMM進(jìn)行的高精度測量所需的行程不需要較大的情況而做成的，提供一種解決了上述課題的坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于，該坐標(biāo)測量用測頭單元具有驅(qū)動部件，其用于通過計(jì)算機(jī)數(shù)值控制(Computer Numerical Control ;CNC)使探頭沿相互正交的多個(gè)驅(qū)動軸線移動，使探頭與測量對象相抵接來測量測量對象的尺寸；一體化而成的殼體，其用于容納該驅(qū)動部件； 安裝部件，其設(shè)置在該殼體的任一側(cè)面上，用于將上述驅(qū)動部件中的任一個(gè)驅(qū)動部件安裝在支承體上。在此，能夠使上述驅(qū)動部件為直線導(dǎo)軌、滾珠絲杠和電動機(jī)的組合而成的部件。另外，能夠使上述探頭沿三維方向移動自如，能夠?qū)⒂糜谑乖撎筋^沿其軸向移動的驅(qū)動部件配置在上述安裝部件側(cè)。或者，能夠使上述探頭沿與該探頭的軸向正交的二維方向移動自如。另外，能夠更換上述探頭。另外，本發(fā)明提供一種坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，該坐標(biāo)測量機(jī)具有上述坐標(biāo)測量用測頭單元；基座，其用于載置測量對象；支架，其用于在該基座上支承上述坐標(biāo)測量用測頭單元。在此，能夠在上述支架上安裝向上下方向驅(qū)動的Z軸驅(qū)動部件，在該Z軸驅(qū)動部件上安裝向前后方向驅(qū)動的Y軸驅(qū)動部件，在該Y軸驅(qū)動部件上安裝向左右方向驅(qū)動的X軸驅(qū)動部件，在該X軸驅(qū)動部件上安裝探頭。另外，能夠在上述基座上配置用于移動測量對象的、具有移動量測量部件的工作臺。另外，能夠在測量開始前為了與測量對象位置對準(zhǔn)而以手動初始調(diào)整上述坐標(biāo)測量用測頭單元的位置。另外，通過更換上述探頭，也能夠使上述坐標(biāo)測量機(jī)起到微小形狀測量機(jī)或圖像測量器的作用。另外，本發(fā)明提供一種機(jī)床，其特征在于，該機(jī)床安裝有上述坐標(biāo)測量用測頭單兀。在此，不用將在上述機(jī)床上加工中的加工對象從該機(jī)床上卸下，就能夠利用上述坐標(biāo)測量用測頭單元的探頭對該加工對象進(jìn)行測量。另外，能夠使上述坐標(biāo)測量用測頭單元的移動與機(jī)床的測長系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)。另外，本發(fā)明提供一種輸送線，其特征在于，該輸送線上安裝有上述坐標(biāo)測量用測頭單元。在此，能夠?qū)⑻筋^的軸向不同的多個(gè)上述坐標(biāo)測量用測頭單元安裝在輸送線上。另外，本發(fā)明提供一種機(jī)械臂，其特征在于，該機(jī)械臂安裝有上述坐標(biāo)測量用測頭單元。另外，本發(fā)明提供一種移動式坐標(biāo)測量機(jī)，其是將上述坐標(biāo)測量機(jī)與驅(qū)動用電池一起安裝在臺車上而成的。采用本發(fā)明，由于減小了坐標(biāo)測量用測頭單元的測量行程，使其與基座、支架獨(dú)立，因此，本發(fā)明的坐標(biāo)測量用測頭單元為小型、廉價(jià)，能夠進(jìn)行高速的高精度測量，且機(jī)床中的機(jī)上測量或輸送線中的觀察測量容易。特別是由于測量行程較小，因此能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)在大型的CMM中難以實(shí)現(xiàn)的高速測量與高精度測量。另外，本發(fā)明的坐標(biāo)測量用測頭單元向機(jī)床或輸送線(也包括制造線或檢測線)的組裝也較容易。
特別是在使探頭沿三維方向移動自如、將用于使該探頭沿其軸向移動的驅(qū)動部件配置在上述安裝部件側(cè)時(shí)，能夠進(jìn)行高精度的三維測量。另外，在具有用于載置測量對象的基座和用于在該基座上支承上述坐標(biāo)測量用測頭單元的支架時(shí)，能夠提供一種設(shè)置空間非常小、高精度且廉價(jià)的超小型CMM。另外，在將構(gòu)成懸臂型構(gòu)造的支架配置為從正面觀察沿前后方向(Y軸方向)的情況，從正面觀察向橫向(X軸方向)移動的負(fù)荷最輕，因此，將X軸驅(qū)動軸設(shè)于最下層對精度是最有利的。而且，在上述基座上設(shè)有用于移動測量對象的、具有移動量測量部件的工作臺的情況下，也能夠測量大于坐標(biāo)測量用測頭單元的行程的工件，與使坐標(biāo)測量用測頭單元自身移動相比，能夠廉價(jià)且高精度地進(jìn)行測量。特別是在將坐標(biāo)測量用測頭單元安裝在機(jī)床的頭部或其附近的情況下，能夠利用與機(jī)床的測長系統(tǒng)獨(dú)立的高精度的測長系統(tǒng)來進(jìn)行機(jī)上測量。


將參照

優(yōu)選實(shí)施方式，其中，在所有的圖中，相似的元件被分配相似的附圖標(biāo)記，在附圖中圖1是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的CMM的立體圖。圖2是表示能更換的探頭的另一例的圖。圖3是表示驅(qū)動部的配置與誤差的關(guān)系的圖。圖4是表示驅(qū)動部的構(gòu)成的圖。圖5是表示在圖1的CMM上配置了工作臺的狀態(tài)的立體圖。圖6是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的電火花加工裝置的立體圖。圖7是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的輸送線的主要部分的立體圖。圖8是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的機(jī)械臂的立體圖。圖9是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的二維坐標(biāo)測量機(jī)的立體圖。圖10是表示配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的移動式CMM的立體圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1中示出了配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元的CMM。本實(shí)施方式的坐標(biāo)測量用測頭單元10具有用于使探頭12沿X軸方向(圖中的左右方向)移動自如的X軸驅(qū)動部14、用于使該X軸驅(qū)動部14沿Y軸方向(圖中的前后方向)移動自如的Y軸驅(qū)動部16、用于使該Y軸驅(qū)動部16沿Z軸方向(圖中的上下方向)移動自如的Z軸驅(qū)動部18、用于容納這些驅(qū)動部的一體化的殼體13、設(shè)置在該殼體13的任一側(cè)面(在此為后表面)的用于將上述Z軸驅(qū)動部18安裝在支承體(在此為固定在基座30上的支架32的支承件34)上的安裝部件(在此為安裝面)20。在此，各個(gè)軸向的測量行程例如能夠設(shè)為X軸及Y軸方向?yàn)?0mm 120mm，Z軸方向?yàn)?0mm。在上述坐標(biāo)測量用測頭單元10上，利用線纜19連接有用于控制上述驅(qū)動部14、 16、18的控制裝置40，在該控制裝置40上連接有用于發(fā)送測量命令或者接收測量數(shù)據(jù)并進(jìn)行幾何計(jì)算的主計(jì)算機(jī)42、數(shù)據(jù)處理軟件44以及用于發(fā)送驅(qū)動指令的操縱桿箱(joystick box)46。上述數(shù)據(jù)處理軟件44例如具有用于校正探頭12的前端球的坐標(biāo)位置與直徑的探頭校正功能、根據(jù)溫度校正測量坐標(biāo)及測量對象(例如工件)的尺寸的溫度校正功能、靜態(tài)動態(tài)地校正空間精度的空間精度校正功能等。上述坐標(biāo)測量用測頭單元10安裝在支架32的支承件34上，該支架32固定在用于載置測量對象(省略圖示)的基座30上。該支承件34具有用于與進(jìn)給絲杠38螺合的螺紋部34A，利用配置在支架32上端的手柄36能使該進(jìn)給絲杠38轉(zhuǎn)動，通過轉(zhuǎn)動手柄36， 能夠在測量開始前為了與測量對象位置對準(zhǔn)而以手動初始調(diào)整支承件34的上下位置，進(jìn)而調(diào)整坐標(biāo)測量用測頭單元10的上下位置。這樣，例如通過在基座30上固定支架32、將坐標(biāo)測量用測頭單元10安裝在使支承件34在該支架32上上下移動的專用支架上，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)置空間小的超小型CMM。探頭12 也能夠更換，采用圖1所示那樣的接觸探頭、仿形探頭構(gòu)成為CMM，采用圖2A所示那樣的微小探頭構(gòu)成為微小形狀測量機(jī)，采用圖2B所示那樣的圖像探頭構(gòu)成為圖像測量機(jī)。在此，將用于使探頭12沿其軸向(即Z軸方向)移動的Z軸驅(qū)動部18配置在比X 軸驅(qū)動部14及Y軸驅(qū)動部16靠安裝面20側(cè)，是出于如下理由。S卩，如圖3(A)所示，在將 Z軸驅(qū)動部18配置在比X軸驅(qū)動部14及Y軸驅(qū)動部16靠探頭12側(cè)(圖中的下側(cè))的情況下，由測量過程中的X軸驅(qū)動部14、Y軸驅(qū)動部16的移動引起的傾斜在Z軸驅(qū)動部18處擴(kuò)大，導(dǎo)致探頭12前端(圖中的下端)的誤差增大。與此相對，如圖3(B)所示，在如本實(shí)施方式這樣將Z軸驅(qū)動部18配置在比X軸驅(qū)動部14及Y軸驅(qū)動部16靠安裝面20側(cè)(圖中的上側(cè))的情況下，由測量過程中的X軸驅(qū)動部14、Y軸驅(qū)動部16的移動引起的傾斜不會在Z軸驅(qū)動部18處擴(kuò)大，探頭12前端的誤差也不會增大。另外，作為X軸驅(qū)動部14、Y軸驅(qū)動部16、Z軸驅(qū)動部18的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，例如優(yōu)選使用圖4所示那樣的直線導(dǎo)軌14Α、滾珠絲杠14Β和電動機(jī)14C的組合來抑制發(fā)熱。這是由于當(dāng)為了使驅(qū)動部小型化而使用較小的殼體時(shí)，熱量會蓄積，有可能因驅(qū)動系統(tǒng)的發(fā)熱引起產(chǎn)生測量誤差。另外，在沒有發(fā)熱問題的情況或采用了送風(fēng)、冷卻等發(fā)熱對策的情況下， 例如也能夠使用線性電動機(jī)等其他驅(qū)動系統(tǒng)。在圖1的例子中，將測量對象直接載置在基座30上來進(jìn)行三維測量，但是如圖5 所示的變形例所示，在基座30上載置能夠沿單軸或雙軸(在圖中為X軸方向的單軸)移動的、能夠借助例如線性編碼器輸出移動量的測量對象(工件)移動臺31，能夠沿單軸或雙軸方向(在圖中為X軸的單軸方向)擴(kuò)大相對于測量對象(在圖中為連接桿)8的測量行程。 這樣，通過使測量對象8移動，與使坐標(biāo)測量用測頭單元10移動相比，能夠廉價(jià)且高精度地?cái)U(kuò)大三維測量的行程。圖5是單軸的例子，但是也可以使用雙軸的XY工作臺。另外，為了輸送工件可以利用計(jì)算機(jī)對輸送裝置進(jìn)行程序控制，也可以手動移動工件。另外，也可以利用在單軸、雙軸的輸送裝置中都能夠應(yīng)用的機(jī)械臂來輸送工件。
圖6中示出了將坐標(biāo)測量用測頭單元10安裝在機(jī)床(在圖中為電火花加工裝置 50)上的例子。通過將小型的坐標(biāo)測量用測頭單元10安裝在機(jī)床加工用的頭部或其附近， 能夠比較容易地進(jìn)行機(jī)上測量。由于與安裝通常的傳感器(接觸探頭等)的情況不同，具有獨(dú)立的測長系統(tǒng)與驅(qū)動系統(tǒng)，因此不會受到機(jī)床運(yùn)動精度的影響。另外，與一般機(jī)床的行程相比，坐標(biāo)測量用測頭單元10的行程較小，但在測量多個(gè)加工件的情況下，有時(shí)將加工件一個(gè)一個(gè)收納在坐標(biāo)測量用測頭單元10的行程內(nèi)。在這種情況下，能夠僅靠坐標(biāo)測量用測頭單元10進(jìn)行測量，但是在測量整個(gè)區(qū)域的情況下，也能夠使坐標(biāo)測量用測頭單元10的移動與機(jī)床的測長系統(tǒng)52相關(guān)聯(lián)。組裝坐標(biāo)測量用測頭單元10的對象，并不限定于電火花加工裝置，能夠像專利文獻(xiàn)2那樣組裝到加工中心中或者組裝到其他機(jī)床中。而且，安裝坐標(biāo)測量用測頭單元10的位置期望為機(jī)床的加工用頭部或其周邊，但是如果能夠相對于機(jī)床的工作臺裝卸自如，也可以不安裝在加工用頭部周邊，而且，即使是從與機(jī)床獨(dú)立的位置也能夠進(jìn)行測量。即，由于坐標(biāo)測量用測頭單元10是小型的，因此能夠?qū)崿F(xiàn)撓性結(jié)構(gòu)，能夠做成組裝到機(jī)床上的類型、與機(jī)床相鄰接的類型、在與機(jī)床分開的位置獨(dú)立地配置的類型、從工件剛從機(jī)床上出來起在線上配置多個(gè)等各種各樣的配置。另外，在上述實(shí)施方式中，任意一個(gè)探頭12的軸向都是圖中的上下方向(即Z軸方向)的立式，但是也能夠使探頭12的軸向?yàn)樗椒较虻呐P式。圖7中示出了在輸送線的傳送帶60附近改變探頭12的軸向、以一個(gè)立式一個(gè)臥式的方式配置了多個(gè)(在圖中為2臺)坐標(biāo)測量用測頭單元10的例子。通過這樣地配置多個(gè)坐標(biāo)測量用測頭單元10，能夠在輸送線上進(jìn)行迅速的在線測量。另外，配置坐標(biāo)測量用測頭單元10的對象，不論是制造線、檢查線等任何對象，都能夠例如如圖8所示安裝在機(jī)器人的臂70上。另外，例如如圖9所示也可以省略Z軸驅(qū)動部18來進(jìn)行二維坐標(biāo)測量。而且，將圖1所示的超小型CMM如圖10所示地與驅(qū)動用電池82、無限發(fā)送裝置84 一起安裝在臺車80上，向接收裝置86、運(yùn)算裝置88、顯示裝置90等無線發(fā)送測量信號，也能夠?qū)崿F(xiàn)移動式的CMM。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明適合于形狀復(fù)雜的小零件的外形、例如內(nèi)燃機(jī)的渦輪增壓機(jī)、噴氣式發(fā)動機(jī)的散熱片形狀的仿形測量、孔的內(nèi)徑、軸的外徑的測量等。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以了解，上述示例性實(shí)施方式僅是說明性的，以示出本發(fā)明的原理的應(yīng)用。在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以容易地想到許多不同的其它配置。相關(guān)申請的引用2010年9月27日提交的日本專利申請No. 2010-215956的包括說明書、附圖和權(quán)利要求書的公開的全部內(nèi)容通過引用合并于此。
權(quán)利要求
1.一種坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于，該坐標(biāo)測量用測頭單元具有驅(qū)動部件，其用于通過計(jì)算機(jī)數(shù)值控制使探頭沿相互正交的多個(gè)驅(qū)動軸線移動，使探頭與測量對象相抵接來測量測量對象的尺寸； 一體化而成的殼體，其用于容納該驅(qū)動部件；安裝部件，其設(shè)置在該殼體的任一側(cè)面上，用于將上述驅(qū)動部件中的任一個(gè)驅(qū)動部件安裝在支承體上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于， 上述驅(qū)動部件是由直線導(dǎo)軌、滾珠絲杠和電動機(jī)組合而成的部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于， 上述探頭沿三維方向移動自如，用于使該探頭沿其軸向移動的驅(qū)動部件配置在上述安裝部件側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于， 上述探頭沿與該探頭的軸向正交的二維方向移動自如。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量用測頭單元，其特征在于， 上述探頭能夠更換。
6.一種坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，該坐標(biāo)測量機(jī)具有 權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量用測頭單元； 基座，其用于載置測量對象；支架，其用于在該基座上支承上述坐標(biāo)測量用測頭單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，在上述支架上安裝有向上下方向驅(qū)動的Z軸驅(qū)動部件，在該Z軸驅(qū)動部件上安裝有向前后方向驅(qū)動的Y軸驅(qū)動部件，在該Y軸驅(qū)動部件上安裝有向左右方向驅(qū)動的X軸驅(qū)動部件，在該X軸驅(qū)動部件上安裝有探頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，在上述基座上配置有用于移動測量對象的、具有移動量測量部件的工作臺。
9.根據(jù)權(quán)利要求6 8中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，能夠在測量開始前為了與測量對象位置對準(zhǔn)而以手動初始調(diào)整上述坐標(biāo)測量用測頭單元的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求6 9中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，通過更換上述探頭，也能夠使坐標(biāo)測量機(jī)起到微小形狀測量機(jī)或圖像測量機(jī)的作用。
11.一種機(jī)床，其特征在于，該機(jī)床安裝有權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量用測頭單元。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的機(jī)床，其特征在于，不用將在上述機(jī)床上加工中的加工對象從該機(jī)床上卸下，就能夠利用上述坐標(biāo)測量用測頭單元的探頭對該加工對象進(jìn)行測量。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的機(jī)床，其特征在于， 上述坐標(biāo)測量用測頭單元的移動與機(jī)床的測長系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)。
14.一種輸送線，其特征在于，該輸送線上安裝有權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量用測頭單元。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的輸送線，其特征在于，該輸送線上安裝有探頭的軸向不同的多個(gè)上述坐標(biāo)測量用測頭單元。
16.一種機(jī)械臂，其特征在于，該機(jī)械臂安裝有權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量用測頭單元。
17.—種移動式坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，該移動式坐標(biāo)測量機(jī)是將權(quán)利要求6 10中任一項(xiàng)所述的坐標(biāo)測量機(jī)與驅(qū)動用電池一起安裝在臺車上而成的。
全文摘要
本發(fā)明提供坐標(biāo)測量用測頭單元及坐標(biāo)測量機(jī)。坐標(biāo)測量用測頭單元(10)小型、廉價(jià)，能夠進(jìn)行高速的高精度測量，機(jī)床中的機(jī)上測量、輸送線等中的現(xiàn)場(觀察)測量容易，坐標(biāo)測量用測頭單元(10)具有驅(qū)動部件(X軸驅(qū)動部14、Y軸驅(qū)動部16、Z軸驅(qū)動部18)，用于通過計(jì)算機(jī)數(shù)值控制使探頭(12)沿相互正交的多個(gè)驅(qū)動軸線移動，使探頭與測量對象(8)抵接來測量測量對象(8)的尺寸；一體化而成的殼體(13)，用于容納該驅(qū)動部件(14、16、18)；安裝部件(安裝面20)，設(shè)置在該殼體(13)的任一側(cè)面上，用于將上述驅(qū)動部件(14、16、18)的任一個(gè)安裝在支承體(固定在基座30上的支架32上的支承件34)上。
文檔編號B25J19/00GK102564368SQ201110294229
公開日2012年7月11日 申請日期2011年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月27日
發(fā)明者上山修一, 吉岡晉, 宮崎智之, 新井雅典, 松宮貞行 申請人:株式會社三豐