專利名稱：切斷裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及覆蓋基板的覆蓋片的切斷技術。
背景技術：
玻璃基板或半導體晶片這樣的基板，為保護其表面有時由覆蓋片覆蓋。例如，在太陽能電池模塊基板中，保護接受太陽光的受光面同時構(gòu)成太陽能電池模塊基板的多個部件以多層構(gòu)成，要把這些部件統(tǒng)合在一起構(gòu)成也要使用覆蓋片。為了去掉覆蓋片中從基板周邊伸出的端緣部，必須將其切斷。因此，提出了切斷覆蓋片的端緣部的裝置(日本特開 2001-320069號公報，日本特公平07-049189號公報)。在這樣的裝置中，為很好地切斷覆蓋片的端緣部，在切斷端緣部的過程中必須保持基板不發(fā)生錯位。在日本特開2001-320069號公報中，公開了具備吸附保持基板下面的多個真空吸附頭的裝置。另外，在日本特公平07-049189號公報中，公開了具備夾著保持基板兩側(cè)部的基板用夾持器的裝置。但是，在如日本特公平07-049189號公報所示夾著保持基板的方式中，難以在與夾持器抵接的基板的兩側(cè)部對覆蓋片進行修邊，為在基板整周對覆蓋片進行修邊，必須重新握持基板。因此，如日本特開2001-320069號公報所示，吸附基板下面的方式在不必重新握持基板這一點是理想的。另一方面，在對覆蓋片進行修邊時若基板周緣振動，則妨礙順暢地切斷。如日本特開2001-320069號公報所示，在構(gòu)成為縱橫地配置多個吸附頭的情況下， 有時在各尺寸的基板的周緣不能適當?shù)嘏渲梦筋^的情況，會產(chǎn)生不能充分保持基板周緣的情況。而且，為對應多個尺寸的基板必須要有多個吸附頭，在保持小尺寸基板的情況下， 存在不被用于吸附的浪費的吸附頭。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是根據(jù)基板的尺寸更切實地保持其周緣，很好地切斷覆蓋片的端緣部。根據(jù)本發(fā)明，提供一種切斷裝置，該切斷裝置保持覆蓋有覆蓋片的矩形基板，將從矩形基板的周緣伸出的所述覆蓋片的端緣部切斷，其特征在于，所述切斷裝置具備周緣保持機構(gòu)和移動引導機構(gòu)，該周緣保持機構(gòu)具備載置所述矩形基板的周緣部的周緣載置部、 和吸附所述矩形基板的周緣的周緣吸附部，所述周緣保持機構(gòu)設置在所述矩形基板的每一個邊上，該移動引導機構(gòu)對相向的所述周緣保持機構(gòu)的相互接近/離開方向的移動進行引導。本發(fā)明的其它特征將根據(jù)以下實施方式的(參照附圖的)描述而變得明了。


圖1是本發(fā)明的一個實施方式的切斷裝置A的俯視圖。圖2是切斷裝置A的主視圖。
圖3是頭單元H的立體圖。圖4是頭單元H的一部分構(gòu)成的分解立體圖。圖5是驅(qū)動単元13的剖視圖。圖6A是定位按壓單元30的剖視圖。圖6B是控制裝置300的方框圖。圖7A是沿圖1的線I-I的周緣保持単元60的剖視圖。圖7B是沿圖1的線II-II的回收單元80的剖視圖。圖7C是從回收單元80的端部側(cè)觀看該回收単元的圖。圖8是回收単元80’的說明圖。圖9是移動引導單元90的說明圖。圖IOA是外側(cè)傳送器100的俯視圖。圖IOB是外側(cè)傳送器100的側(cè)視圖。圖IOC是外側(cè)傳送器100的主視圖。圖IOD是外側(cè)傳送器100的動作說明圖。圖11是處在中央保持単元70與外側(cè)傳送器100之間的基板1的交接動作的說明圖。圖12是處在中央保持単元70與外側(cè)傳送器100之間的基板1的交接動作的說明圖。圖13A是沿圖1的線III-III的中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200的剖視圖。圖13B及圖13C是中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200的動作說明圖。圖14A及圖14B是示教的說明圖。圖15是示教的說明圖。圖16及圖17是定位動作的說明圖。圖18 圖21是修邊動作的說明圖。
具體實施例方式〈裝置的概略〉圖1是本發(fā)明的一個實施方式的切斷裝置A的俯視圖，圖2是切斷裝置A的主視圖。另外，在圖2中省略外側(cè)傳送器100的圖示。圖中，箭頭X及Y表示在水平方向相互正交的兩個方向，箭頭Z表示垂直方向。切斷裝置A具備移動單元MUl及MU2、使移動單元MUl及MU2在Y方向移動的移動單元My、周緣保持単元60、中央保持単元70、回收單元80、移動引導単元90、外側(cè)傳送器 100和內(nèi)側(cè)傳送器200，這些構(gòu)成由在圖中以簡易方式圖示的框架F支承?；?例如是玻璃板，在本實施方式中，設定為矩形的基板?；?含有相互相向的第一組邊la、la和第二組邊lb，lb?；?在圖1及圖2中由未圖示的覆蓋片2覆蓋。 如后面所敘述地，切斷裝置A以使邊la、Ia與X方向平行、邊lb、Ib與Y方向平行的方式定位基板1，保持水平姿態(tài)，切斷從基板1的各邊伸出的覆蓋片2的端緣部。<移動單元My>移動單元My分別獨立地將移動単元MUl及MU2向與基板1的邊Ib平行的方向(在本實施方式中為Y方向)移動。在本實施方式中，移動單元My具有在X方向相互離開、 在Y方向延伸的一對導軌部51。導軌部51具有在其上面向Y方向延伸設置的引導槽51a。在一個導軌部51，設置由引導槽51a引導、可在導軌部51上移動的兩個驅(qū)動滑塊 52，在另ー個導軌部51，設置由引導槽51a引導、可在導軌部51上移動的兩個從動滑塊53。 驅(qū)動滑塊52與從動滑塊53成組，在本實施方式的情況下，設置兩組的驅(qū)動滑塊52和從動滑塊53。各驅(qū)動滑塊52具有各自獨立的驅(qū)動源，獨立地在導軌部51上自動行迸。作為使驅(qū)動滑塊52自動行進的機構(gòu)，采用例如設于導軌部51的滾珠絲杠及與該滾珠絲杠螺紋接合的滾珠螺母的滾珠絲杠機構(gòu)。各驅(qū)動滑塊52可以設置成具備滾珠螺母、和保持該滾珠螺母自由旋轉(zhuǎn)同時使?jié)L珠螺母旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(例如，中空馬達)。各從動滑塊53其自身雖沒有自動行進機構(gòu)，但也可以構(gòu)成其自身可自動行進的驅(qū)動機構(gòu)，使之與驅(qū)動滑塊52 同步驅(qū)動地進行驅(qū)動控制。在各組的驅(qū)動滑塊52與從動滑塊53，架設移動単元MUl或MU2的導軌部41。導軌部41向X方向延伸，由驅(qū)動滑塊52的Y方向的移動向Y方向移動。由此，可以使移動單元MUl及MU2各自獨立地向Y方向移動。 <移動單元MUl及MU2>移動單元MUl及MU2各自具備頭單元H、和支承頭單元H且使頭単元H在與基板1 的邊Ia平行的方向(在本實施方式為X方向)移動的移動機構(gòu)Mx。在本實施方式，在移動単元MUl及MU2中，各頭單元H和各移動機構(gòu)Mx為相同的構(gòu)成，但也可以是不同的構(gòu)成。<移動機構(gòu)Mx>移動機構(gòu)Mx具備其兩端部由驅(qū)動滑塊52、從動滑塊53支承并沿X方向延伸的導軌部41。導軌部41具有在其上面沿X方向延伸設置的引導槽41a。在導軌部41上，設有由引導槽41a引導、可在導軌部41上移動的驅(qū)動滑塊42。驅(qū)動滑塊42是與上述的驅(qū)動滑塊52同樣的機構(gòu)，在導軌部41上自動行迸。頭單元H中的旋轉(zhuǎn)升降単元20固定在驅(qū)動滑塊42上。這樣，在本實施方式，通過由驅(qū)動滑塊42的移動使頭単元H沿X方向移動，由移動單元My使移動單元MUl及MU2沿Y方向移動，使各頭單元H可以在X-Y平面上移動。另外，切斷裝置A具備用于檢測頭単元H的X-Y方向位置的未圖示的傳感器裝置。 作為這樣的傳感器，可以列舉例如檢測驅(qū)動滑塊42、52的位置的傳感器裝置，更具體地可以列舉在驅(qū)動滑塊42、52的驅(qū)動源為馬達時檢測馬達旋轉(zhuǎn)量的傳感器(例如編碼器)。<頭單元H>參照圖1至圖3對頭單元H的構(gòu)成進行說明。圖3是頭單元H的立體圖。頭單元 H具備切斷単元10、定位按壓單元30、和使切斷単元10旋轉(zhuǎn)并升降的旋轉(zhuǎn)升降単元20。另外，在本實施方式，由于定位按壓單元30搭載在切斷単元10的主支承部11上，所以由旋轉(zhuǎn)升降単元20使定位按壓單元30也與切斷単元10 —起旋轉(zhuǎn)、升降。<旋轉(zhuǎn)升降単元20>旋轉(zhuǎn)升降単元20具備軸體21、及使軸體21圍繞其軸心(圖2中的虛線Li)旋轉(zhuǎn)同時使軸體21升降的機構(gòu)(未圖示)。軸體21在與基板1的基板面的法線方向平行的方向(Z方向)延長。在本實施方式，切斷単元10連結(jié)在軸體21上，通過使軸體21旋轉(zhuǎn)，可以使切斷單元10圍繞Z方向的旋轉(zhuǎn)中心軸(圖2中的虛線Li)旋轉(zhuǎn)，保持其旋轉(zhuǎn)角度，同吋，通過使軸體21升降，可以使切斷単元10沿Z方向升降。通過使切斷単元10旋轉(zhuǎn)，保持其旋轉(zhuǎn)角度，可以調(diào)整與包含修邊對象的邊Ia或Ib 的基板1的基板面垂直的面(在本實施方式為Z方向的垂直面)和形成圓板切刀14的平面(在本實施方式為Z方向的垂直面)之間的角度(交叉角度)。通過調(diào)整保持該角度，可以使圓板切刀14相對基板1的端緣以適當?shù)慕嵌鹊纸觼磉M行切斷，可以防止切斷覆蓋片時基板1的端緣損傷。另外，通過使切斷単元10升降，可以調(diào)整圓板切刀14相對與平行于基板1的基板面上的法線方向的方向垂直的面(在本實施方式為Z方向的垂直面)和形成圓板切刀14 的平面(在本實施方式為Z方向的垂直面)的切斷刀位置(高度位置)。由于可以這樣地調(diào)整圓板切刀14的朝向和切斷刀位置，所以可以根據(jù)覆蓋片的型號以最適當?shù)膬A斜度及切斷刀位置沿邊la、lb切斷覆蓋片。另外，通過使定位按壓單元 30升降，在定位基板1時，進行定位按壓單元30的抵接部件32與基板1在Z方向的對位， 接著進行圓板切刀14的切斷位置的對位。作為使軸體21旋轉(zhuǎn)升降的機構(gòu)采用公知的機構(gòu)。例如，作為使軸體21旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)，可以列舉馬達等驅(qū)動源與齒輪機構(gòu)或傳送帶機構(gòu)等機構(gòu)的組合。作為保持軸體21的旋轉(zhuǎn)角度的機構(gòu)，例如在把伺服馬達作為驅(qū)動源的情況下，可以利用伺服馬達的電磁鎖定功能，或者也可以另外設置以可解除的方式限制軸體21旋轉(zhuǎn)的鎖定機構(gòu)。另外，作為使軸體 21升降的機構(gòu)，可以列舉馬達等驅(qū)動源和齒輪齒條機構(gòu)等機構(gòu)的組合。另外，旋轉(zhuǎn)升降単元20具備用于檢測切斷単元10的旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)位置)和Z 方向位置的未圖示的傳感器裝置。作為這樣的傳感器，可以舉出例如在使軸體21旋轉(zhuǎn)并升降的驅(qū)動源各自是馬達的情況下、檢測馬達的旋轉(zhuǎn)量的傳感器(例如，編碼器)。<切斷單元10>參照圖3至圖5對切斷単元10進行說明。圖4是頭單元H的一部分構(gòu)成的分解立體圖，特別表示切斷単元10的主要構(gòu)成。圖5是驅(qū)動単元13的剖視圖。在本實施方式， 作為切斷単元10，采用使圓板切刀14旋轉(zhuǎn)并切斷覆蓋片的機構(gòu)，但不限于此。例如可以采用由固定的切刀切斷覆蓋片的機構(gòu)等其他種類的切斷機構(gòu)。切斷単元10具有板狀的主支承部11、連結(jié)旋轉(zhuǎn)升降単元20的軸體21與主支承部 11的連結(jié)部12、和相對基板1的面方向(在本實施方式為水平方向)垂直地支承圓板切刀 14并使其旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動單元13。驅(qū)動單元13具有具備垂直部和水平部、截面形狀為大體L字形的支承部(滑塊)131。驅(qū)動部132安裝在支承部131的垂直部的背面?zhèn)?與圓板切刀14側(cè)相反的一側(cè))。驅(qū)動部132具備作為驅(qū)動源的馬達132a、和使馬達13 的輸出減速的減速機132b。 在減速機132b上連接圓板切刀14的旋轉(zhuǎn)軸體133的后端部133b，由馬達13 的旋轉(zhuǎn)使旋轉(zhuǎn)軸體133圍繞其軸心旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸體133在其前端部具有安裝圓板切刀14的安裝部133a，在安裝部133a的旁邊形成凸緣狀的圓板切刀抵接部133c。在安裝部133a，依次安裝帶止轉(zhuǎn)鍵槽的圓板切刀 14、按壓部件135、固定部件134，固定部件134卡合在安裝部133a的前端。在固定部件134 和按壓部件135之間放入弾性部件136。在本實施方式，弾性部件136是螺旋彈簧。由弾性部件136的弾力，按壓部件135向圓板切刀14側(cè)被施力，在圓板切刀抵接部133c和按壓部件135之間夾持著圓板切刀14，因而，可以抑制圓板切刀14的旋轉(zhuǎn)振動。旋轉(zhuǎn)軸體133沿水平方向延伸設置，當在該旋轉(zhuǎn)軸體133上安裝圓板切刀14吋， 形成圓板切刀14的平面成為相對水平面垂直的面。然后，調(diào)整切斷単元10相對旋轉(zhuǎn)升降単元20的連結(jié)位置，使得旋轉(zhuǎn)升降単元20的旋轉(zhuǎn)中心軸(圖2的線Ll 垂直方向)包含在與包含圓板切刀14的平面(在本實施方式為垂直面)平行的平面上。該調(diào)整可以通過連結(jié)部12的形狀、連結(jié)部12與主支承部11的連結(jié)位置中的至少任意一個調(diào)整來完成。通過這樣調(diào)整，可以使圓板切刀14位于旋轉(zhuǎn)升降単元20的旋轉(zhuǎn)中心軸的正下方，因而，具有在使用旋轉(zhuǎn)升降単元20使切斷単元10旋轉(zhuǎn)吋，容易調(diào)整圓板切刀14所形成的平面相對基板1的邊la、lb的傾斜度的優(yōu)點。旋轉(zhuǎn)軸體133由球軸承138a軸支承。球軸承138a嵌插在筒狀的支承部件138的后端部側(cè)的內(nèi)周壁內(nèi)，由螺紋固定的固定部件138d實現(xiàn)脫出防止。另外，在旋轉(zhuǎn)軸體133的后端部側(cè)螺紋安裝著固定用環(huán)133d，在固定用環(huán)133d和球軸承138a之間設有固定用筒體 13；3ム通過在旋轉(zhuǎn)軸體133螺紋接合固定用環(huán)133d，向前端側(cè)擰進固定用環(huán)133d，固定旋轉(zhuǎn)軸體133的軸方向上的固定用環(huán)133d的位置。由此，固定用環(huán)133d與固定用筒體13 抵接，固定用筒體13 與球軸承138a抵接。由此，定位了支承部件138的軸方向的旋轉(zhuǎn)軸體133的相對位置。在形成干支承部件138上的小徑部138s的前端側(cè)，在小徑部138s的內(nèi)側(cè)構(gòu)成密封部138c，密封部138c的內(nèi)周面與從旋轉(zhuǎn)軸體133的圓板切刀抵接部133c連續(xù)到后端部側(cè)地形成的第一徑部133f的外周面緊密接觸。利用該密封部138c，防止覆蓋片的切屑等進入球軸承138a。另外，在支承部件138上，形成與在圓板切刀抵接部133c和支承部件138 之間設置的間隙連通的空氣通路138b。從未圖示的空氣供給部向空氣通路138b供給壓縮空氣，該壓縮空氣被供給到由旋轉(zhuǎn)軸體133、支承部件138及密封部件138c圍成的空間(間隙)。由此，該間隙內(nèi)部的氣壓升高，產(chǎn)生從間隙向外部(大氣側(cè))的氣流，可以進一歩防止覆蓋片的切屑等進入球軸承138a。筒體137以圓板切刀14為界與圓板切刀14的后端部側(cè)的面(背面)接近地配置， 設置成圍繞旋轉(zhuǎn)軸體133的圓板切刀抵接部133c的外周面。筒體137自由空轉(zhuǎn)地安裝在支承部件138的前端部外周面的小徑部。然后，由圓板切刀14的后端部側(cè)的面和在支承部件138的前端部外周面上形成的小徑部的階梯部，限定筒體137的旋轉(zhuǎn)軸體133的軸心方向的移動。由圓板切刀14切斷的覆蓋片的切除部分有時成為帯狀，纏繞在旋轉(zhuǎn)軸體133的周圍。在本實施方式，通過在圓板切刀14的背面部位自由空轉(zhuǎn)地設置筒體137，在切除部分與筒體137接觸時(到達上面時)，由于筒體137空轉(zhuǎn)，所以可以防止切斷部分纏繞在筒體 137 上。接著，參照圖4對驅(qū)動単元13的進退機構(gòu)進行說明。在支承部131的水平部的上面固定一對滑動部件131a。在主支承部11的下面固定引導滑動部件131a的一對導軌部件 111。導軌部件111及滑動部件131a沿圓板切刀14的旋轉(zhuǎn)中心線方向(旋轉(zhuǎn)軸體133的軸方向)延伸設置，驅(qū)動單元13借助干支承部131支承在主支承部11上，同時由導軌部件 111引導，在圓板切刀14的旋轉(zhuǎn)中心線方向自由進退。在主支承部11上設有止動部11加、112b，通過止動部11 與設于支承部131上的止動部131b抵接，止動部112b與支承部131的背面抵接，由此限制驅(qū)動單元13即圓板切刀14的移動范圍。在主支承部11的下面，設有始終對驅(qū)動單元13向接近基板1的方向施力的施力部113。施力部113具備傳遞部件113a、支承軸113b、支承部113c、弾性部件113d和承受部件li:3e。支承軸11 延伸設置成與導軌部件111平行，其兩端部由支承部113c支承。 傳遞部件113a是具有供支承軸11 貫通的孔的L字形的部件，由支承軸11 引導而能夠移動。另外，在傳遞部件113a的下部連結(jié)驅(qū)動單元13的支承部131。支承軸11 在承受部件11 中貫通，在傳遞部件113a和承受部件113e之間，以由支承軸IHb插通的方式安裝弾性部件113d。弾性部件113d在本實施方式是螺旋彈簧， 是向使傳遞部件113a和承受部件11 相互離開的方向施力的壓縮螺旋彈簧。該彈性部件 113d的施力通過傳遞部件113a傳遞給支承部131。由于彈性部件113d的施力，連結(jié)在傳遞部件113a上的驅(qū)動單元13(圓板切刀14) 始終向接近基板1的方向被施力。為此，在切斷覆蓋片吋，可以使圓板切刀14與基板1的邊la、Ib穩(wěn)定地抵接，實現(xiàn)覆蓋片的順暢切斷。另外，即使預先確定的切斷位置和實際定位的基板的切斷位置錯位，只要在弾性部件113d的施カ行程的范圍內(nèi)，就可以吸收該錯位的量而切斷覆蓋片。而且，在從基板1的邊la、lb的中途開始切斷覆蓋片的情況下，即使圓板切刀14與邊la、Ib抵接，通過圓板切刀14被按壓向與接近方向相反的方向，弾性部件113d 撓曲，也可以吸收圓板切刀14抵接時的沖擊。<定位按壓單元30>參照圖1至圖4及圖6A，特別是圖6A，說明定位按壓單元30。圖6A是定位按壓單元30的剖視圖。定位按壓單元30具備固定于切斷単元10的主支承部11上的本體部31。 在本體部31上固定有抵接部件32。定位按壓單元30以抵接部32位于比圓板切刀14更靠近基板1的位置的方式配置安裝在主支承部11上。抵接部件32是用于與基板1的ー個邊(在本實施方式，邊la)抵接、由此對基板1 進行定位的部件。抵接部件32的形狀雖沒特別說明，但在本實施方式，在水平剖面(圖6A 中為垂直剖面)形成大體三角形，其前端與基板1的邊Ia抵接。在本實施方式，一個頭單元H具備兩個定位按壓單元30，有兩個在水平方向分開的抵接部件32。另外，在定位吋，使在水平方向分開的兩個抵接部件32與基板1的ー個邊抵接，進行基板1的定位。但是，對于ー個頭單元H，也可以把抵接部件32設為ー個。在這種情況下，與基板1的邊抵接的部分優(yōu)選的是在邊的縱向具有一定寬度的面狀。接著，在本體部31上設有在Z方向貫通的孔31a，軸34插入在該孔31a中。在孔 3Ia的中部形成大徑部32b，弾性部件35放置在大徑部32b中。在本實施方式，弾性部件35 是螺旋彈簧。軸34在其中部形成凸緣部34a，該凸緣部3 放置在大徑部32b中，同時由彈性部件35始終壓向下方。在軸34的下端部固定著按壓部件33。按壓部件33是用于從基板1的表面?zhèn)?上面?zhèn)?向保持単元60的上面按壓基板1的端部的部件，例如，是下面平滑的塑料等。在本實施方式，通過用該按壓部件33緩緩地按壓基板1的端部，可以將基板1壓向后面敘述的構(gòu)成于保持単元60的吸附部62，切實地進行吸附保持。這可以防止在有基板1所產(chǎn)生的微小變形的情況下因在吸附部和基板之間產(chǎn)生空間而造成的吸附不良。
如后面所述，在切斷覆蓋片前，按壓部件33配置在基板1的上方，由旋轉(zhuǎn)升降単元 20形成的切斷単元10的下降，被壓向基板1的表面。此時，作為反作用力，從基板1對按壓部件33及軸34作用向上方移動的力，但由彈性部件35形成的施力，按壓部件33以適當?shù)陌磯亥鸦?壓向保持単元60。另外，在本實施方式，由ー個定位按壓單元30構(gòu)成基板1的定位用単元和基板1 的表面按壓用単元，但也可以構(gòu)成為分開的単元。<周緣保持單元60>參照圖1、圖2及圖7A說明周緣保持単元60。圖7A是沿圖1的線1_1的周緣保持単元60的剖視圖。周緣保持単元60設在基板1的每ー個邊la、Ib上，合計設置四個。各周緣保持単元60具備載置基板1的周緣部(邊緣區(qū)域)的周緣載置部61、吸附基板1的周緣的周緣吸附部62、和支承部件63。支承部件63是沿水平方向延伸設置的方形筒狀的管狀部件。在四個周緣保持單元60中，與基板1的邊la、Ia對應的兩個周緣保持単元60的各支承部件63沿X方向延伸設置，與基板1的邊lb、lb對應的兩個周緣保持単元60的各支承部件63沿Y方向延伸設置。各支承部件63借助于周緣載置部61及周緣吸附部62從其下方水平支承基板1。特別是通過水平支承基板1的周緣(各邊緣部)，可以很好地進行覆蓋片2的修邊。周緣吸附部62是真空吸附墊，與支承部件63的內(nèi)部空間連通。支承部件63借助于配管65與未圖示的真空泵連接，真空泵動作，使支承部件63內(nèi)形成真空狀態(tài)，由此基板 1的周緣部由周緣吸附部62吸附保持。當由周緣吸附部62吸附基板1的周緣部吋，由其吸附カ使基板1的周緣部被吸引靠向周緣載置部61，緊貼在周緣載置部61上。由此，沿基板1的各邊la、la、lb、lb的周緣部水平且切實地被保持，在修邊覆蓋片2時可以防止基板周緣振動或晃動。其結(jié)果，可以很好地切斷覆蓋片2的端緣部。在本實施方式，不僅把支承部件63作為支承基板1的部件，還作為從周緣吸附部 62吸引空氣的空氣通路使用，這有利于削減構(gòu)成部件。周緣吸附部62沿支承部件63的縱向(延伸設置方向)以等間隔設置多個，使基板1的周緣部的吸附カ更牢靠且均勻。周緣載置部61是在其上面載置基板1的周緣部的部分，與支承部件63成為一體或是分體均可。在本實施方式，周緣載置部61形成為與支承部件63分體地固定在支承部件63上的結(jié)構(gòu)。在本實施方式，把周緣載置部61和周緣吸附部62交替地配置。由此，可以使基板1的周緣部遍及其整個區(qū)域地以均勻的吸附カ緊貼在周緣載置部61上?！椿厥諉卧?0>參照圖1、圖2、圖7B及圖7C說明回收單元80。圖7B是沿圖1的線II-II的回收単元80的剖視圖，圖7C是從其端部側(cè)觀看回收單元80的圖。回收單元80分別配置在各個周緣保持単元60的外側(cè)，合計設置四個?；厥諉卧?80是用于回收被切斷后的覆蓋片2的端緣部的裝置。由此，可以防止被切斷的覆蓋片2的端緣部散亂。在本實施方式，回收單元80沿鄰接的周緣保持単元60，在沿基板1的邊la、lb的方向(即X方向或Y方向)延伸設置，具備傳送器81和回收導向部件82。橫剖面為U字形的回收導向部件82在兩側(cè)部具備向上方開ロ逐漸變大那樣地傾斜的引導部82a、82a，設在傳送器81周圍，把從覆蓋片2切斷落下的端緣部引導至傳送器81。在兩個引導部82a、82a中，位于內(nèi)側(cè)(周緣保持単元60側(cè))的引導部82a的上端如本實施方式所示，位于比周緣載置部61的上面更靠下側(cè)的位置是理想的，進而，位于比周緣載置部61的外邊緣更靠內(nèi)側(cè)(中央保持単元70側(cè))的位置是理想的。由此，可以提高從覆蓋片2被切斷落下的端緣部的獲取能力。傳送器81設在回收導向部件82的底部，是具備一對帶輪81a、和纏繞在一對帶輪 81a上的環(huán)形傳送帶81b的帶式傳送帯。一對帶輪81a中的一個由馬達等的驅(qū)動部(未圖示)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，由此傳送帶81b行迸。當由切斷単元10切斷的覆蓋片2的端緣部落在傳送帶81b上吋，由傳送帶81b的行迸，如圖7B的箭頭所示，向沿基板1的邊Ia或Ib的方向(即X方向或Y方向)輸送端緣部，從回收単元80的端部落向下方。如圖1及圖2所示，在回收單元80的端部下方配設回收箱db，從回收単元80的端部落向下方的端緣部被收納在回收箱db中。這樣可以回收被切斷的端緣部。另外，傳送帶 81b既可以在修邊操作中始終行迸，也可以設成定期行迸。另外，端緣部的回收也可以是吸引輸送。圖8是表示另一例的回收單元80’的說明圖，相當于圖7B的剖視圖。在該圖的例子中，回收導向部件82’呈向著其縱向的中央部整體地傾斜的漏斗狀，接受并回收從覆蓋片2被切斷落下的端緣部。吸引裝置84通過配管 83與回收導向部件82’的縱向的中央部連接。吸引裝置84例如包含真空泵等，吸引回收導向部件82’內(nèi)的被切斷的端緣部，排向回收箱db。く移動引導單元90>參照圖1、圖2及圖9說明移動引導単元90。圖9是移動引導單元90的說明圖， 表示移動基座部件91X、91X、91Y、91Y(以下，總稱時稱為移動基座部件91)的間隔不同的兩種方式。移動引導単元90引導相向的周緣保持単元60、60在相互接近/分開方向上的移動。因為可以調(diào)整相向的周緣保持単元60、60之間的間隔，所以可根據(jù)基板1的尺寸保持其周緣(各邊緣)。在本實施方式，移動引導単元90具備移動引導單元MGX、移動引導単元MGY、和載置它們的共同的基座部件93。基座部件93在平面觀看時是十字形的板體。通過共同使用基座部件93，在安裝移動引導単元MGX及MGY吋，可以把基座部件93的上面作為共同的基準面。其結(jié)果，可以在周緣保持単元60的移動前后提高周緣載置部61的上面的水平精度。 另外，由于在安裝各周緣保持単元60吋，可以以周緣載置部61的上面為基準，所以容易進行組裝，同時容易進行各周緣保持単元60的周緣載置部61的載置面的高度對位。移動引導単元MGX使移動基座部件91Χ、91Χ沿X方向接近、分開，移動引導単元 MGY使移動基座部件91Υ、91Υ沿Y方向接近、分開。各移動基座部件91借助支柱部件64搭載周緣保持単元60。移動引導単元MGX具備引導移動基座部件91Χ、91Χ的X方向的滑動移動的引導部件92。引導部件92分別設在移動基座部件91Χ的Y方向兩端部，沿X方向延伸固定在基座部件93上。另外，與設于移動基座部件91Χ的下面的滑動部卡合，引導移動基座部件91的移動。移動引導単元MGX具備用于使移動基座部件9IX、9IX的移動連動的傳送帶傳動機構(gòu)94。傳送帶傳動機構(gòu)94具備自由旋轉(zhuǎn)地由基座部件93支承并沿X方向分開的ー對帶輪 94a、和纏繞在一對帶輪94a間的環(huán)形的傳送帶94b。移動基座部件91X、91X借助連結(jié)部件 94c,94c固定在傳送帶94b上。移動基座部件9IX、9IX相對于傳送帶94b的固定部位，設為各傳送帶94b的行進方向不同的部位。為此，移動基座部件91X、91X相互朝相反方向移動。移動引導単元MGX具備用于使移動基座部件91X、91X沿引導部件92移動的驅(qū)動機構(gòu)95。移動引導単元MGX的驅(qū)動機構(gòu)95使一個移動基座部件91X移動，但利用上述的傳送帶傳動機構(gòu)94則會使兩個移動基座部件9IX、9IX移動。驅(qū)動機構(gòu)95具備固定于基座部件93上的馬達95a、由馬達9 驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的滾珠絲杠95b、固定在基座部件93上并軸支承滾珠絲杠9 的端部的軸支承部95c、和連結(jié)部件 95d。滾珠絲杠9 沿X方向延伸。連結(jié)部件95d具有與滾珠絲杠9 嚙合的滾珠螺母，同時與移動基座部件91X連接。為此，若驅(qū)動馬達9 使?jié)L珠絲杠9 旋轉(zhuǎn)吋，則移動基座部件91X就會移動。移動基座部件91X、91X的位置由檢測滾珠絲杠95b的旋轉(zhuǎn)量的編碼器等未圖示的傳感器進行檢測。這樣，在本實施方式，可以通過馬達95a的驅(qū)動，自動地進行移動基座部件91X、 91X之間的間隔調(diào)整、即載置于這些自動調(diào)整移動基座部件91X、91X上的周緣保持単元60、 60的間隔調(diào)整。另外，在本實施方式，這樣采用了滾珠絲杠機構(gòu)，但也可以是其他種類的機構(gòu)。移動引導単元MGY的構(gòu)成也與移動引導単元MGX—祥。即，移動引導単元MGY具備引導移動基座部件91Y、91Y的Y方向的滑動移動的引導部件92。引導部件92分別設在移動基座部件91Υ的X方向兩端部，沿Y方向延伸并固定在基座部件93上。另外，與設在移動基座部件91Υ的下面的滑動部卡合，引導移動基座部件91Υ的移動。移動引導単元MGY具備用于使移動基座部件91Υ、91Υ的移動連動的傳送帶傳動機構(gòu)94。傳送帶傳動機構(gòu)94具備由基座部件93自由旋轉(zhuǎn)地支承并沿Y方向分開的ー對帶輪 94a、和纏繞在一對帶輪94a間的環(huán)形的傳送帶94b。為了避免移動引導単元MGX的傳送帶 94b和移動引導単元MGY的傳送帶94b的干渉，它們在沿Z方向錯開的位置行迸。移動基座部件91Y、91Y借助于連結(jié)部件Mc、Mc固定在傳送帶94b上。移動基座部件91Y、91Y相對于傳送帶94b的固定部位，設為各傳送帶94b的行進方向不同的部位。為此，移動基座部件91Y、91Y相互朝相反方向移動。移動引導単元MGY具備用于使移動基座部件91Υ、91Υ沿引導部件92移動的驅(qū)動機構(gòu)95。移動引導単元MGY的驅(qū)動機構(gòu)95是與移動引導単元MGX的驅(qū)動機構(gòu)95相同的構(gòu)成，在此，滾珠絲杠95b的延伸方向是Y方向。通過使移動引導単元MGY也具備驅(qū)動機構(gòu) 95，可以自動進行移動基座部件91Y、91Y間的間隔調(diào)整、即載置于這些自動調(diào)整移動基座部件91Υ、91Υ上的周緣保持単元60、60的間隔調(diào)整。另外，在本實施方式，在各移動基座部件91上還載置回收單元80。由此，在周緣保持単元60移動時，由于回收単元80也同時移動，所以可以把回收單元80始終定位在相對于周緣保持単元60最合適的位置，可以對應基板的多個尺寸?！赐鈧?cè)傳送器100>參照圖1、圖IOA至圖12說明外側(cè)傳送器100。圖IOA是外側(cè)傳送器100的俯視圖，圖IOB是外側(cè)傳送器100的側(cè)視圖，圖IOC是外側(cè)傳送器100的主視圖，圖IOD是外側(cè)傳送器100的動作說明圖。圖11及圖12是處在中央保持単元70和外側(cè)傳送器100之間的基板1的交接動作的說明圖。如圖1所示，在本實施方式，外側(cè)傳送器100在Y方向分開地設置兩個。在該圖中，下側(cè)的外側(cè)傳送器100用于搬入修邊前的基板1，上側(cè)的外側(cè)傳送器100用于搬出修邊完成后的基板1。另外，在圖1中，任意一個外側(cè)傳送器100都被省略一部分。參照圖IOA 10D，外側(cè)傳送器100具備兩列第一傳送器101、和設在它們之間的第二傳送器102。第一傳送器101是具備一對帶輪101a、和纏繞在一對帶輪IOla間的環(huán)形的傳送帶IOlb的帶式傳送器。一對帶輪IOla中的ー個由馬達等驅(qū)動部(未圖示)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，由此傳送帶IOlb行迸。傳送帶IOlb的行進方向是Y方向。第二傳送器102具備軸體10 和自由輥10沘。在各個第一傳送器101的內(nèi)側(cè)側(cè)面設有引導部件103，第二傳送器102借助于引導部件103由傳送器101支承，同時與傳送帶IOlb的行進方向同方向地自由進退。圖IOA表示第二傳送器102處于退避位置的情況， 圖IOD表示第二傳送器102處于前出位置的情況。第二傳送器102設置用以能夠改變第一傳送器101的輸送距離。在前出位置，第二傳送器102形成與第一傳送器101連續(xù)的輸送路徑。即是，延長了可用第一傳送器101的驅(qū)動カ進行輸送的基板1的輸送距離。在退避位置，第二傳送器102置于第一傳送器101的整個長度內(nèi)，可用第一傳送器101的驅(qū)動カ進行輸送的基板1的輸送距離沒有延長。外側(cè)傳送器100還具備成為使第二傳送器102進退的驅(qū)動源的促動器104。促動器104在此是汽缸，通過聯(lián)桿部10 的移動使第二傳送器102進退。如圖1所示，第一傳送器101配置在由四個周緣保持単元60圍起的區(qū)域外，需要跨越周緣保持単元60把基板1送往中央保持単元70。在此，在由切斷単元10進行修邊操作吋，周緣保持単元60上的空間必須預先空出。因此，在本實施方式，設置第二傳送器102，構(gòu)成為只在搬入基板1時才使其位于前出位置。如圖11及圖12所示，在前出位置，第二傳送器102跨越周緣保持単元60，同時形成與第一傳送器101連續(xù)的輸送路徑。當基板1的搬入結(jié)束吋，回到由周緣保持單元圍起的區(qū)域外的退避位置。在搬出基板1時也是同樣的動作。<中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200>參照圖1、圖2及圖13A 13C說明中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200。圖13A 是沿圖1的線III-III的中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200的剖視圖，圖1 及圖13C是中央保持単元70及內(nèi)側(cè)傳送器200的動作說明圖?；?的保持由周緣保持単元60就足夠了，但在大型基板的情況下存在中央松弛的情況。因此，在本實施方式，設置保持基板1的中央部分的中央保持単元70。參照圖1及圖13A，中央保持単元70具備載置基板1的中央部的板狀的中央載置部71。中央載置部71其上面形成載置基板1的水平面，在其中央部分形成開ロ部71a。與開ロ部71a面對，配置吸附基板1的中央部的中央吸附部72。中央吸附部72是從其背面?zhèn)缺３只?的真空吸附墊，與未圖示的真空泵連接。中央吸附部72借助干支承體73由框架F固定支承。另ー方面，中央載置部71用由支承體73支承的升降裝置74、74在Z方向升降。 升降裝置74可以列舉組合有汽缸或馬達等驅(qū)動源和齒輪齒條機構(gòu)等機構(gòu)的驅(qū)動機構(gòu)。圖13A表示中央載置部71處于下降的位置的情況，在該情況下，中央載置部71的上面和各周緣載置部61的上面在同一水平面上。內(nèi)側(cè)傳送器200設有兩列，都是與外側(cè)傳送器100的第一傳送器100相同的輸送方向。內(nèi)側(cè)傳送器200是具備一對帶輪201、和纏繞在一對帶輪201間的環(huán)形的傳送帶202 的帶式傳送器。一對帶輪201中的一個由馬達等的驅(qū)動部(未圖示)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，由此傳送帶202行迸。傳送帶202的行進方向是Y方向。兩個內(nèi)側(cè)傳送器200用梁狀的連結(jié)部件210、210連結(jié)。在連結(jié)部件210、210和框架F之間配設升降裝置220、220，內(nèi)側(cè)傳送器200、200沿Z方向升降。升降裝置220可以舉出組合了如汽缸或馬達等驅(qū)動源和齒輪齒條機構(gòu)等機構(gòu)的驅(qū)動機構(gòu)。圖13A表示內(nèi)側(cè)傳送器200、200處于下降的位置的情況，在該情況下，如該圖所示，內(nèi)側(cè)傳送器200、200的輸送面位于比處于下降位置的中央載置部71的上面更低的位置。如圖1所示，內(nèi)側(cè)傳送器200、200配置在由四個周緣保持単元60圍起的區(qū)域內(nèi)， 在外側(cè)傳送器100和中央保持単元70之間進行基板1的交接。下面對搬入基板1時的動作進行說明。首先，如圖1 所示，內(nèi)側(cè)傳送器200、200用升降裝置220上升到上升位置。在這種情況下，如該圖所示，內(nèi)側(cè)傳送器200、200的輸送面位于比處于下降位置的中央載置部 71的上面高的位置。在該狀態(tài)下，如參照圖11、圖12所說明的那樣，使外側(cè)傳送器100的第二傳送器102移動到前出位置，驅(qū)動內(nèi)側(cè)傳送器200和第一傳送器101。修邊對象的基板 1用機械手裝置等輸送到第一傳送器101上，按第一傳送器101ヰ第二傳送器102ヰ內(nèi)側(cè)傳送器200的順序輸送基板1，用未圖示的傳感器檢測基板1的位置來控制輸送量。由此，可以使基板1位于中央保持単元70的上方。接著，外側(cè)傳送器100的第二傳送器102返回至退避位置，如圖13C所示，內(nèi)側(cè)傳送器200、200由升降裝置220下降，用升降裝置74使中央載置部71上升(或在上升的位置待機)。在這種情況下，中央載置部71的上面位于比各周緣載置部61的上面高的位置。 這樣，完成基板1向中央載置部71的搬入作業(yè)。此后，進行基板1的定位、保持動作，這將在后面敘述。另外，搬出基板1時的動作使用搬出用的外側(cè)傳送器100，形成與搬入時大體相反的順序?！纯刂蒲b置〉接著，對控制切斷裝置A的控制裝置300進行說明。圖6B是控制裝置300的方框圖。控制裝置300具備CPU等處理部301、RAM、ROM、硬盤等存儲部302、和界面連接外部設備與處理部301的接ロ部303。處理部301執(zhí)行存儲在存儲部302中的程序，根據(jù)各種傳感器306的檢測結(jié)果控制各種促動器307。在各種傳感器306中包含檢測切斷単元10的位置的傳感器、檢測移動基座部件91的位置的傳感器等，在各種促動器307中包含馬達132a、馬達％a等。輸入部 304是接受操作者指示的鍵盤、鼠標等，顯示部305是顯示各種信息的圖像顯示裝置。く動作例〉接著，對用切斷裝置A進行的覆蓋片2的修邊動作進行說明。作為到達修邊動作的前面階段的操作，首先，根據(jù)作為對象的基板1的尺寸，調(diào)整相向的周緣保持単元60、60 之間的間隔。間隔的調(diào)整根據(jù)顯示基板1的尺寸的尺寸信息，控制驅(qū)動機構(gòu)95的馬達95a，以使周緣保持単元60位于基板1的各周緣內(nèi)側(cè)部分。尺寸信息既可以通過來自輸入部304的輸入由控制裝置300確認，也可以根據(jù)來自與控制裝置300可通訊連接的上位的計算機的指令由控制裝置300確認。另外，也可以在存儲部302中預先存儲與尺寸信息對應的周緣保持単元60的位置信息，根據(jù)該位置信息控制馬達95a。根據(jù)這樣的構(gòu)成，進ー步實現(xiàn)相向的周緣保持単元60、60之間的間隔調(diào)整的自動化。接著，對修邊動作進行說明。在本實施方式，移動單元MUl的切斷単元10和移動単元MU2的切斷単元10分別分擔基板1的相互相向的邊，對基板1的四個邊進行覆蓋片2 的修邊。切斷時的圓板切刀14的朝向(圓板切刀14相對于包含邊la、lb的垂直面的交叉角度)，根據(jù)由旋轉(zhuǎn)升降単元20形成的切斷単元10的旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量)進行調(diào)整，但預先設定最佳值是理想的。另外，由抵接部件32定位時的抵接部件32的位置也預先設定最佳值是理想的。在本實施方式，通過所謂示教預先在存儲部302中設定并存儲切斷時的切斷単元10的旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量)或?qū)诨?的尺寸的開始切斷位置的數(shù)據(jù)、或是抵接部件32的位置的數(shù)據(jù)。圖14A、圖14B及圖15是示教的說明圖。圖14A表示由抵接部件32進行的定位位置的設定，圖14B表示有關切斷沿基板1的邊Ia的覆蓋片的信息的設定，圖15表示有關切斷沿基板1的邊Ib的覆蓋片的信息的設定。在所有的情況下，作為基準的樣本的基板1都以定位的狀態(tài)保持在周緣保持単元 60及中央保持単元70上。然后，在使兩個頭単元H移動到基板1旁邊的狀態(tài)下，操作者通過手動進行切斷単元10的旋轉(zhuǎn)或移動，設定各位置。在圖14A的例子中，分別在基板1的ー個邊Ia上抵接移動單元MUl的兩個抵接部件32，在另ー個邊Ia上抵接移動單元MU2的兩個抵接部件32，在存儲部302中存儲其抵接時的位置信息。另外，在圖14B或圖15的例子中，操作者通過手動旋轉(zhuǎn)或移動切斷単元10，使圓板切刀14相對于邊Ia或邊Ib位于最佳的切斷位置。另外，在控制裝置300中，通過使此時的各切斷単元10的位置及旋轉(zhuǎn)量符合切斷的基板及覆蓋片來進行樣本切斷動作(基準切斷動作)，求出最佳的切斷位置(基準切斷位置)，存儲在存儲部302中。如后所述，在本實施方式，在沿邊Ia的修邊中，由于有使切斷単元10沿X方向的ー個方向移動的情況和沿另 ー個方向移動的情況，所以切斷単元10的旋轉(zhuǎn)量針對各個情況進行設定。通過以上的示教處理，定位時的位置、切斷時的切斷単元10的旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量)或位置的設定結(jié)束。接著，參照圖16至圖21對實際的定位動作及修邊動作的例子進行說明。首先，參照圖16及圖17對由覆蓋片2覆蓋的基板1的定位動作的例子進行說明。圖16的STl表示如圖13C所示由覆蓋片2覆蓋表面的基板1被搬入到中央載置部71上的狀態(tài)。圖17的STll是從X方向觀看圖16的STl狀態(tài)的切斷裝置A的主要部分的圖。在該狀態(tài)下，基板1沒有被定位，從原來的位置錯開地被載置。周緣吸附部62及中央吸附部72是非吸附狀態(tài)，處于基板1在中央載置部71上可以水平移動的狀態(tài)。移動單元MUl及MU2的各頭單元H從基板1的邊la、Ia沿Y方向分開，位于定位在夾著基板1相向的位置的初期位置上。在該初期位置，其后，抵接部件32的X方向及Z 方向的位置成為根據(jù)由示教處理設定的定位用的位置信息的位置，使得只要使頭單元H向Y方向移動，就形成由抵接部件32進行的基板1的定位。接著，在抵接部件32的Y方向的位置成為根據(jù)由示教處理設定的定位用的位置信息的位置之前，由移動單元My的作用，使移動單元MUl及MU2在相互接近的方向移動(圖 16的ST2、圖17的STU)。通過各抵接部件32與基板1的邊la、Ia抵接(實際上夾著覆蓋片2)，完成基板1的定位。在本實施方式，抵接部件32與基板1的邊Ia抵接的位置設為邊 Ia的中途部(大體正中(中央部))。在本實施方式，由于這樣由抵接部件32向基板1的抵接來進行基板1的定位(定中心)，所以可以用比較簡單的構(gòu)成進行基板的定位，可以高效率地切斷覆蓋片2的端緣部。而且，作為抵接部件32的移動機構(gòu)，兼用作用于使圓板切刀14移動的機構(gòu)(移動機構(gòu) Mx、My、旋轉(zhuǎn)升降単元20)，不必獨自具有抵接部件32的移動用的移動機構(gòu)，所以成為更為簡易的構(gòu)成。當基板1的定位結(jié)束時，如圖17的ST13所示，使移動單元MUl及MU2在相互離開的方向移動，使中央載置部71下降(圖13A的狀態(tài))。由此，基板1與中央載置部71 一起成為被載置在各周緣保持単元60的周緣載置部61上的狀態(tài)。接著，如圖17的ST14所示，使移動單元MUl及MU2在相互接近的方向上移動，使各頭單元H下降，用按壓部件33緩緩地把基板1的端部按向保持単元60。在按壓狀態(tài)下， 使周緣吸附部62及中央吸附部72成為吸附狀態(tài)，保持基板1。由此，基板1保持被定位于規(guī)定位置(切斷位置)的狀態(tài)。通過用按壓部件33按壓，在存在基板1所產(chǎn)生的微小變形的情況下，可以防止由于在周緣吸附部62及中央吸附部72和基板1之間、特別是在周緣吸附部62和基板1之間產(chǎn)生空間而導致的吸附不良。接著，使各頭單元H上升，使各頭單元H(的按壓部件3 從基板1退避之后，轉(zhuǎn)移到覆蓋片2的修邊(切斷)動作。在本實施方式，以可以在短時間內(nèi)從定位動作轉(zhuǎn)移到修邊動作的方式，從邊Ia的中途部(大體正中)開始切斷覆蓋片2。由此，由于可以連續(xù)進行從定位動作到開始切斷的動作，所以可高效率地使用于移動圓板切刀14的機構(gòu)動作。首先，使各頭單元H移動到切斷準備位置。其后，通過使圓板切刀14開始旋轉(zhuǎn)同時讓頭單元H沿Z方向移動，使圓板切刀14移動(按壓)到覆蓋片2的端緣部側(cè)，從而開始切斷。此時，以切斷単元10位于開始由圓板切刀14切斷覆蓋片2的端緣部的切斷開始位置的方式，切斷単元10的X及Y方向的位置及旋轉(zhuǎn)角度(旋轉(zhuǎn)量)設成為基于由示教處理設定的切斷用的信息的位置、旋轉(zhuǎn)角度。然后，通過使頭単元H沿基板1的邊水平移動(向 X或Y方向的移動)，切斷從基板1的邊Ia伸出的覆蓋片2的端緣部。被切斷的端緣部落在回收單元80內(nèi)，回收到回收箱db中。另外，通過在切斷開始位置和由抵接部件32形成的基板1的定位時的位置上預先使X方向的切斷単元10的位置共通，在由圖17的ST13所示的切斷単元10移動時，不需要 X方向的移動，可以用更短的時間從定位動作轉(zhuǎn)移到修邊動作。接著，參照圖18至圖21對實際的修邊動作的例子進行說明。如圖18的ST3所示， 在本實施方式，為在短時間從定位動作轉(zhuǎn)移到修邊動作，從邊Ia的中途部(大體正中)開始切斷覆蓋片2。由各移動機構(gòu)Mx的作用，使兩個切斷単元10在X方向且相互朝反方向移動，同時用圓板切刀14沿邊Ia切斷覆蓋片2的端緣部。由于可以對基板1的兩個邊同時進行覆蓋片2的修邊，所以操作效率提高。另外，不僅可以直線狀切斷覆蓋片2的端緣部，也可以通過使移動單元My動作來交錯狀切斷覆蓋片2的端緣部。如圖18的ST4所示，當切斷単元10到達邊Ia的一個端部吋，就切斷從邊Ia伸出的覆蓋片2的端緣部的大體一半(第一部分切斷エ序)。接著，轉(zhuǎn)移到切斷剩下一半的操作。首先，通過移動機構(gòu)Mx及移動單元My的作用，使切斷単元10經(jīng)由圖19的ST5所示的準備位置，移動到ST6所示的開始切斷位置，開始進行切斷。這時，通過旋轉(zhuǎn)升降単元20的動作，使切斷単元10的旋轉(zhuǎn)角度成為由示教處理設定的旋轉(zhuǎn)角度。另外，在切斷単元10從圖18的ST4的位置向圖19的ST6的位置移動時，也可以伴隨有其Z方向的移動。接著，通過各移動機構(gòu)Mx的動作，使兩個切斷単元10在X方向且相互朝反方向移動，同時由圓板切刀14沿邊Ia切斷覆蓋片2的端緣部。在這種情況下，通過使切斷単元10 向與第一部分切斷エ序中的切斷方向相反的方向、即向邊Ia的另一端部移動，切斷覆蓋片 2剩下的端緣部(第二部分切斷エ序)。當沿基板1的邊Ia完成覆蓋片2剩下的端緣部的切斷時，轉(zhuǎn)移到沿邊Ib的覆蓋片2的端緣部的切斷操作。首先，使各切斷単元10從基板1暫時離開，使各切斷単元10旋轉(zhuǎn)到由示教設定的邊Ib用的旋轉(zhuǎn)角度，如圖20的ST7所示把ー個切斷単元10移動到切斷開始位置，開始切斷覆蓋片。在切斷從邊Ib伸出的覆蓋片2的端緣部的情況下，為了防止兩個驅(qū)動滑塊52干涉，按每ー側(cè)來依次進行。圖20的ST7表示從移動単元MUl側(cè)進行切斷操作的情況。移動単元MU2的切斷単元10在離開基板1的位置待機。然后，如圖20的ST8所示，由移動單元My的動作使移動單元MUl向ー個Y方向 (圖20中為上方)移動，切斷在該圖中從左側(cè)的邊Ib伸出的覆蓋片2的端緣部。若完成由移動單元MUl的切斷単元10進行的切斷，則如圖21的ST9所示，就通過把移動單元MU2的切斷単元10移動到另ー個Y方向(圖20中為下方)，進行從該圖右側(cè)的邊Ib伸出的覆蓋片2的端緣部的切斷。此時，移動單元MUl為離開基板1的狀態(tài)，且向另ー個Y方向移到兩個驅(qū)動滑塊52不干渉的位置。由移動單元MU2進行的切斷移動和移動單元MUl的退避移動既可以同時進行，也可以分別進行。當完成從在圖21中右側(cè)的邊Ib伸出的覆蓋片2的端緣部的切斷吋，一系列的修邊操作結(jié)束。其后，對另一基板1反復進行同樣的修邊操作。這樣，在本實施方式，可以接續(xù)于基板1的定位連續(xù)地進行覆蓋片2的端緣部的切斷操作，可以提高操作效率。另外，示教處理只對相同尺寸的基板1進行一次即可，當然不必對每塊基板1都進行。另外，對邊Ib 的切斷動作也可以與對邊Ia的切斷動作同樣從邊Ib的中途進行切斷。以上已經(jīng)參照實施方式對本發(fā)明進行了說明，但應理解到本發(fā)明并不限定于上述的實施方式。只要不脫離本發(fā)明的技術構(gòu)思，則本發(fā)明應包括所有變型例、等同的結(jié)構(gòu)及功能。
權利要求
1.一種切斷裝置，該切斷裝置保持覆蓋有覆蓋片的矩形基板，將從矩形基板的周緣伸出的所述覆蓋片的端緣部切斷，其特征在于，所述切斷裝置具備周緣保持機構(gòu)，該周緣保持機構(gòu)具備載置所述矩形基板的周緣部的周緣載置部、和吸附所述矩形基板的周緣的周緣吸附部，所述周緣保持機構(gòu)設置在所述矩形基板的每一個邊上，和移動引導機構(gòu)，該移動引導機構(gòu)對相向的所述周緣保持機構(gòu)的相互接近/離開方向的移動進行引導。
2.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述移動引導機構(gòu)具備第一移動引導機構(gòu)，該第一移動引導機構(gòu)對相向的第一組的所述周緣保持機構(gòu)的相互接近/離開方向的移動進行引導，和第二移動引導機構(gòu)，該第二移動引導機構(gòu)對相向的第二組的所述周緣保持機構(gòu)的相互接近/離開方向的移動進行引導；所述移動弓I導機構(gòu)還具備搭載所述第一以及第二移動弓I導機構(gòu)的基座部件。
3.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述周緣載置部具備管狀部件，該管狀部件沿著所述周緣部延伸設置并從下方水平支承所述矩形基板的周緣部，所述周緣吸附部沿著所述管狀部件的長度方向設置有多個。
4.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置具備中央保持機構(gòu)，該中央保持機構(gòu)具備載置所述矩形基板的中央部的中央載置部、和吸附所述矩形基板的中央部的中央吸附部。
5.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述移動引導機構(gòu)具備移動基座部件，該移動基座部件搭載所述周緣保持機構(gòu)，導軌部件，該導軌部件對所述移動基座部件的滑動移動進行引導，和驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)使所述移動基座部件沿著所述導軌部件移動。
6.如權利要求5所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置具備控制機構(gòu)，該控制機構(gòu)基于表示所述矩形基板的尺寸的尺寸信息控制所述驅(qū)動機構(gòu)，以使所述周緣保持機構(gòu)位于所述矩形基板的各周緣內(nèi)側(cè)部分。
7.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置具備回收機構(gòu)，該回收機構(gòu)分別配置于各個所述周緣保持機構(gòu)的外側(cè)，回收被切斷的所述覆蓋片的端緣部。
8.如權利要求7所述的切斷裝置，其特征在于，所述回收機構(gòu)具備傳送器，該傳送器在沿著所述矩形基板的邊的方向上輸送被切斷的所述端緣部，和回收導向部件，該回收導向部件設于所述傳送器的周圍，將從所述覆蓋片被切斷而落下的所述端緣部向所述傳送器弓I導。
9.如權利要求7所述的切斷裝置，其特征在于，所述回收機構(gòu)具備回收導向部件，該回收導向部件配置于各個所述周緣保持機構(gòu)的外側(cè)，接受并回收從所述覆蓋片被切斷而落下的所述端緣部，和吸引機構(gòu)，該吸引機構(gòu)與所述回收導向部件連通，吸引被所述回收導向部件回收的所述端緣部。
10.如權利要求1所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置具備回收機構(gòu)，該回收機構(gòu)配置于各個所述周緣保持機構(gòu)的外側(cè)，回收被切斷的所述端緣部，所述移動引導機構(gòu)具備移動基座部件，該移動基座部件搭載該周緣保持機構(gòu)和所述回收機構(gòu)， 導軌部件，該導軌部件引導所述移動基座部件的滑動移動，和驅(qū)動機構(gòu)，該驅(qū)動機構(gòu)使所述移動基座部件沿著所述導軌部件移動。
11.如權利要求4所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置具備外側(cè)傳送器，該外側(cè)傳送器在由所述周緣保持機構(gòu)圍起的區(qū)域的外部與該區(qū)域的內(nèi)部之間輸送所述矩形基板，和內(nèi)側(cè)傳送器，該內(nèi)側(cè)傳送器配置在所述區(qū)域的內(nèi)部，進行在所述外側(cè)傳送器與所述中央保持機構(gòu)之間的所述矩形基板的交接。
12.如權利要求11所述的切斷裝置，其特征在于，所述外側(cè)傳送器具備第一傳送器，該第一傳送器配置在由所述周緣保持機構(gòu)圍起的區(qū)域的外部，和第二傳送器，該第二傳送器設置成在前出位置和退避位置自由進退，在該前出位置，所述第二傳送器跨越所述周緣保持機構(gòu)并且形成與所述第一傳送器連續(xù)的輸送路徑，在該退避位置，所述第二傳送器位于由所述周緣保持機構(gòu)圍起的區(qū)域的外部。
13.如權利要求11所述的切斷裝置，其特征在于，所述切斷裝置設置有升降機構(gòu)，該升降機構(gòu)使所述內(nèi)側(cè)傳送器和所述中央保持機構(gòu)中的至少任何一方升降。
全文摘要
本發(fā)明提供切斷裝置，其保持覆蓋了覆蓋片的矩形基板、切斷從矩形基板的周緣伸出的所述覆蓋片的端緣部。該切斷裝置具備周緣保持機構(gòu)，該周緣保持機構(gòu)具備載置所述矩形基板的周緣部的周緣載置部、和吸附所述矩形基板的周緣的周緣吸附部，并且設置在所述矩形基板的每一個邊上。另外，該切斷裝置具備對相向的所述周緣保持機構(gòu)的相互接近/離開方向的移動進行引導的移動引導機構(gòu)。
文檔編號B26D7/08GK102554960SQ20111042177
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月16日 優(yōu)先權日2010年12月17日
發(fā)明者古關靖久 申請人:平田機工株式會社