專利名稱：一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種半導體制造裝備離子注入機中離子源的輔助安裝和拆卸裝置，特別適合于半導體工藝設備中的離子注入機。
背景技術：
離子源是離子注入機的一個重要部件，其作用在于使需要注入的物質(如硼、磷、砷)的原子電離成為離子，其性能好壞對整機的性能影響極大，尤其對束流的強度、品質、束流能量及整機注入的穩(wěn)定性有著決定性的影響。離子源的性能，除與使氣體電離產生離子的燈絲電源、偏壓電源和弧壓電源有關外，還與本身的結構設計有極大關系。帶狀束流離子源要求從離子源發(fā)出的離子束具有較大的寬度，本專利所涉及的離子源束流寬度超過了300mm，為了使離子源產生較為均勻的束流，滿足集成電路工藝和生產的要求，需保證離子源的結構設計最近合理性。

發(fā)明內容
本發(fā)明涉及一種半導體制造裝備離子注入機中離子源的輔助安裝和拆卸裝置，能可靠保證離子源上重要零部件在安裝和拆卸過程中不被損壞以及保證離子源在安裝過程中的定位準確。本發(fā)明通過以下方案實現(xiàn):1.一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置，該裝置主要包括:滑桿(I)、線性軸承(2)、軸承安裝座(3)、離子源(4)和源安裝法蘭(5)等。2.如權利要求1所述的一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置該，裝置特征在于，滑桿(I)和線性軸承(2)之間可以實現(xiàn)相對滑動，通過線性軸承(2)與滑桿(I)之間的相對滑動間接的帶動離子源(4)在滑桿(I)上滑動。本發(fā)明有以下幾個顯著特點:1.可以有效的保護離子源上的零部件在裝配和拆卸過程中不被損壞，并且可以實現(xiàn)在安裝時的定位準確；2.結構簡單，便于加工制造。


圖1為一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置的立體圖。圖2為一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置的立體的剖視圖。
具體實施例方式下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。如圖1和圖2所示，該裝置主要包括:滑桿(I)、線性軸承(2)、軸承安裝座⑶、離子源(4)和源安裝法蘭(5)等。
滑桿(I)通過螺紋連接固定在源安裝法蘭(5)，軸承安裝座(3)位于離子源(4)上，軸承安裝座⑶和線性軸承⑵之間通過過盈配合聯(lián)接，線性軸承⑵和滑桿⑴之間可以相對滑動，通過線性軸承(2)與滑桿(I)之間的相對滑動間接的帶動離子源(4)在滑桿(I)上滑動。滑桿(I)采用強度和硬度高的材料制造，且表面光滑。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置，該裝置主要包括:滑桿(I)、線性軸承(2)、軸承安裝座(3)、離子源(4)和源安裝法蘭(5)等。
2.如權利要求1所述的一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置該，該裝置特征在于，滑桿(I)和線性軸承(2)之間可以實現(xiàn)相對滑動，通過線性軸承(2)與滑桿(I)之間的相對滑動間接的帶動離子源(4)在滑桿(I)上滑動。
3.如權利要求2所述的一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置該，其裝置特征在于，軸承安裝座⑶在離子源⑷上，軸承安裝座⑶和線性軸承⑵之間通過過盈配合聯(lián)接。
4.如權利要求2所述的一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置該，其裝置特征在于，滑桿(I)采用強度和硬度高的材料制造，且表面光滑。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種離子源的輔助安裝和拆卸裝置。主要包括滑桿(1)、線性軸承(2)、軸承安裝座(3)、離子源(4)和源安裝法蘭(5)等。其特征在于，滑桿(1)安裝在源安裝法蘭(5)上，通過線性軸承(2)與滑桿(1)之間的相對滑動間接的帶動離子源(4)在滑桿(1)上滑動，從而保證離子源上重要零部件在安裝和拆卸過程中不被損壞以及保證離子源在安裝過程中的定位準確。說明書對該裝置工作原理進行了詳細的說明，并給出了具體的實施方案。
文檔編號B25B27/14GK103182698SQ201110452438
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權日2011年12月30日
發(fā)明者趙葉軍 申請人:北京中科信電子裝備有限公司